JP6682657B2

JP6682657B2 - 距離測定装置

Info

Publication number: JP6682657B2
Application number: JP2018556312A
Authority: JP
Inventors: フランケイェアク
Original assignee: TDK Micronas GmbH
Current assignee: TDK Micronas GmbH
Priority date: 2016-04-29
Filing date: 2016-04-29
Publication date: 2020-04-15
Anticipated expiration: 2036-04-29
Also published as: EP3742127A1; EP3449216A1; JP2019515276A; WO2017186256A1; US20190063953A1; US11181394B2; CN109073413A; EP3449216B1; EP3567347B1; EP3742127B1; EP3567347A1; EP3742128B1; EP3742128A1; CN109073413B

Description

本発明は距離測定装置に関する。

独国特許出願公開第１０２０１５０１１０９１号明細書（ＤＥ１０２０１５０１１０９１Ａ１）から、磁界測定装置が公知である。

独国特許出願公開第１０２０１５０１１０９１号明細書

これを背景として、本発明の課題は、従来技術をさらに発展させる装置を提供することにある。

この課題は、請求項１の特徴を備えた距離測定装置によって解決される。従属請求項には、本発明の有利な実施形態が記載されている。

本発明の構成によれば、第１の磁界センサを有する距離測定装置が提供され、この場合、磁界センサは、磁界強度に依存する第１の測定信号を供給し、さらに距離測定装置は少なくとも１つの永久磁石を有する。

永久磁石は、第１の磁極面を備えた第１の磁極と、第２の磁極面を備えた第２の磁極とを有する。

モノリシックに集積された評価回路を備えた半導体ボディも設けられており、この場合、評価回路は、第１の磁界センサと接続されて電気的動作状態におかれており、半導体ボディはＸ−Ｙ平面に形成された表面を有する。

さらに、第１の磁界センサと同じ物理的動作原理に基づく第２の磁界センサが設けられており、この場合、第２の磁界センサは、磁界強度に依存して第２の測定信号を供給し、第２の磁界センサは評価回路と接続されて動作状態におかれている。

評価回路は、定常磁界を抑制するために差分信号を求め、求めた結果として出力信号を供給し、この場合、無磁束領域の消滅に基づく出力信号の値は、強磁性の発信器から両方の磁界センサまでの距離に依存する。

両方の磁界センサは、半導体ボディの表面に摩擦力で結合されており、かつ、同じ磁界成分を測定するために、実質的に等しく、または、正確に等しく配置されている。

第１の実施形態によれば、両方の半導体センサに等しい強さで作用を及ぼす第１の発信器であれば、磁束変化の大きさを測定する目的で、半導体ボディは、Ｘ方向に磁化された磁石のＵ字型に形成された各磁極脚部間に配置されている。

ここで第１の磁界センサは、第１の磁極の互いに対向する２つの脚部間に位置する領域に配置されている一方、第２の磁界センサは、第２の磁極の互いに対向する２つの脚部間に位置する領域に配置されている。

磁極脚部間に底面が形成されており、半導体ボディはＺ方向において底部領域の上方に配置されている。

第２の実施形態によれば、両方の半導体センサにそれぞれ異なる強さで作用を及ぼす第２の発信器であれば、磁束変化の大きさを測定する目的で、永久磁石がＺ方向に磁化されている。

両方の磁極面のうち一方の磁極面がＸ−Ｙ平面に形成されており、磁界センサは少なくともこの一方の磁極面に沿って配置されている。

なお、自明のとおり、永久磁石の第１の磁極はＮ極として、第２の磁極はＳ極として、または、その逆に形成されている。永久磁石が一体的に形成されているのがたしかに好ましいけれども、あとで述べる発展形態のいくつかにおいては、２つの個別のまたはそれよりも多くの個別の永久磁石も有利に適用することができる。

さらにここで述べておくと、第１の実施形態において等しい強さで作用を及ぼす発信器という概念は、いわゆる対称型の発信器のことであると解される。好ましくは、この種の発信器はプレート状に形成されており、ここでプレートのサイズは特に、両方の磁界センサ間の間隔よりも大きい。発信器は両方の磁界センサまでに等しい距離を有し、つまり、距離が変化するときは両方の磁界センサに対して等しく変化が生じる。

第２の実施形態においてそれぞれ異なる強さで作用を及ぼす発信器という概念は、いわゆる非対称型の発信器のことであると解される。この場合、発信器から両方の磁界センサまでの距離は常にそれぞれ異なる。

さらにここで述べておくと、半導体ボディの両方の実施形態について両方の磁界センサは、発信器がなければこれらのセンサは磁界を検出しないように、つまり、測定信号を発生しないように、一方の磁極または両方の磁極と関連させて配置されている。換言すれば両方の磁界センサは、これら両方の磁界センサが感応する磁界成分について実質的にほぼゼロとなるように、または、好ましくは磁界センサがそれらの成分を検出することができない程度に小さくなるように、ポジショニングされている。さらに換言するならば、両方の磁界センサは好ましくは、厳密に無磁束領域に配置されている。強磁性の発信器が近づくことで、その後は測定信号および出力信号は、最終的に無磁束領域の消滅に基づくようになり、少なくとも１つの測定可能な磁界成分に基づくようになる。

自明のとおり、３つの磁界成分すべてを捕捉するいわゆる３Ｄ磁界センサを適用した場合には、無磁束領域は３つの成分すべてに関係するものである。

本発明による装置の１つの利点は、２つの磁界センサから成る装置によって差分信号を求めることで定常磁界を隠すことができる、ということである。しかも信号変位が大きくなり、距離測定の信頼性が高められる。

１つの発展形態によれば、永久磁石はＵ字型に形成されており、２つの互いに対向する直線状に平行に延在する脚部または環状の脚部を有する。この場合、第１の実施形態によれば、磁界の極性はＺ軸に対し垂直な方向において切り替わるのに対し、第２の実施形態によれば、磁石の底部領域が全体として脚部領域全体とは異なる極性を有する。

別の発展形態によれば、永久磁石は中央領域に切欠きを有する。好ましくは切欠きは孔状に形成されており、この場合、孔状の切欠きは環状に形成されており、同様に四角形好ましくは長方形に形成されている。調査の結果、判明したのは、この切欠きによってゼロ磁界領域を拡大させることができる、ということである。好ましくは切欠きを備えた中央領域には、永久磁石の重心が含まれる。

１つの実施形態によれば、永久磁石の重心の位置に形成された法線が半導体ボディを貫通するように、半導体ボディは永久磁石の重心の上方に配置されている。

別の実施形態によれば、永久磁石は選択的な第１の実施形態によれば、互いに逆向きに直近に並置されて垂直方向に磁化された２つの個別磁石から成る。この永久磁石は、これまで一体的であった代わりに、ここでは２つの部分として形成されている。

１つの発展形態によれば、各脚部間に底部領域が形成されており、この場合、選択的な第１の実施形態であれば、底部領域における中央線に沿って磁石の極性が切り替わり、選択的な第２の実施形態であれば、極性は磁石の底部領域において同じまま維持される。

１つの実施形態によれば、脚部はＸ−Ｙ平面において周囲を巡る壁部を形成している。選択的な第１の実施形態の場合には、この壁部の第１の半部が第１の磁気極性を有し、この壁部の第２の半部が第２の磁気極性を有する。この場合、第１の磁界センサは第１の磁気極性の領域に配置されており、第２の磁界センサは第２の磁気極性の領域に配置されている。選択的な第２の実施形態によれば、周囲を巡る壁部は１つの画一的な磁気極性を有し、つまり、両方の磁界センサは、第１の極性の領域または第２の極性の領域に配置されている。

さらに別の実施形態によれば、Ｘ−Ｙ平面に配置された両方の磁界センサの表面は、Ｚ方向に関して永久磁石の内部底面に対し、脚部の端部に形成された磁極面が有する間隔と等しい間隔またはこの磁極面が有する間隔よりも小さい間隔を有する。換言すれば、磁界センサの表面は、最大で磁極面と同じ高さにあるが、好ましくは磁極面よりもいくらか低い。

１つの実施形態によれば、両方の磁界センサは、直接隣り合う個々の磁極面に対し等しい間隔を有し、つまり、それぞれ直接隣り合う磁極面までのＸ方向および／またはＹ方向の間隔は等しい。

１つの発展形態によれば、選択的な第２の実施形態においては、両方の磁界センサはＸ方向において、Ｙ方向に沿って形成された唯一の磁極面に対し離間されている。

さらに別の発展形態によれば、選択的な第２の実施形態においては、両方の磁界センサはＸ方向に沿って配置されており、かつ、Ｘ方向において互いに離間された２つの永久磁石の間に配置されている。

１つの発展形態によれば、両方の磁界センサはホールセンサとして形成されており、好ましくは半導体ボディにモノリシックに形成されている。１つの実施形態によれば、ホールセンサはＸ−Ｙ平面に形成されたホールプレートとして構成されている。

次に、図面を参照しながら本発明について詳しく説明する。この場合、同じ部材には同じ参照符号が付される。図示されている実施形態はかなり概略的に描かれたものであり、つまり、間隔および水平方向と垂直方向の長さは縮尺どおりではなく、特に明記しないかぎり、それらの寸法は互いに導き出すことのできる幾何学的関係をもつものでもない。

本発明による第１の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第２の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第２の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第２の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第３の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第３の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第３の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第４の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第４の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第４の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第５の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第５の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第５の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第６の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第６の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第６の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第７の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第７の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第７の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第８の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第８の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第８の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第９の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第９の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第９の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１０の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１０の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１０の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１１の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１１の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１１の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１２の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１２の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１２の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１３の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１３の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１３の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１４の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１４の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１４の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１５の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１５の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１５の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１６の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１６の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１６の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１７の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１７の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図である。本発明による第１７の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図である。

以下に挙げるすべての実施形態について、次のことを述べておく。ここでは例示のためにそれぞれ１つの選択された磁化方向だけしか書き込まれていない。ただし、自明のとおり、図示されたすべての実施例において、他の幾何学的配置はそのままに、特に表面に２つの磁界センサを備えた半導体ボディの向きはそのままに、ちょうど１８０°ずらして、すなわち、それぞれ図示された方向とは逆方向に、磁化方向を形成することも可能である。

図１ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｙ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。両方の磁界センサ３４および３８は、Ｙ方向において互いに離間されている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

図１ｂの図面には、本発明による第１の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１ａとの相違点だけを説明する。

永久磁石２０はＮ極２８として、Ｘ方向に離間された２つの脚部１２８を有する。Ｎ極２８の各脚部１２８の間に、底部領域１３０がやはりＮ極２８として形成されている。これによって、永久磁石は、Ｙ方向において磁化されたＵ字型の構成を有する。

半導体ボディ３０は、各脚部１２８間のほぼ中央に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を等しく覆っており、換言すれば、発信器４０は両方の磁界センサ３４および３８に対称に作用を及ぼす。

図１ｃの図面には、本発明による第１の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１ａおよび図１ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

永久磁石２０は、Ｙ方向においてＮ極２８に隣接してＳ極２４を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されており、つまり、Ｓ極２４は、２つの脚部１２４とその間に位置する底部領域１３０とを有する。Ｓ極２４の脚部１２４およびＮ極２８の脚部１２８は、Ｙ軸に沿って形成されている。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の両方の脚部１２４間の領域に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の両方の脚部１２８間に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｙ軸に沿ってその長手軸線を有し、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、長手軸線に沿ってＹ方向において互いに離間されている。換言すれば、底部領域１３０中央から出発して永久磁石２０の重心の位置でＺ方向に形成された法線が、半導体ボディ３０表面における面重心を貫通し、これによって、半導体ボディ３０表面における両方の磁界センサ３４と３８との間の仮想の間隔直線も二等分している。

図２ａの図面は、距離測定装置１０の本発明による第２の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｙ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

図２ｂの図面には、本発明による第２の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図２ａとの相違点だけを説明する。

永久磁石２０はＮ極２８として、Ｘ方向に離間された２つの脚部１２８を有する。Ｎ極２８の各脚部１２８の間に、底部領域１３０がやはりＮ極２８として形成されている。これによって、永久磁石は、Ｙ方向において磁化されたＵ字型の構成を有する。底部領域１３０中央において、永久磁石２０は孔１４０を有する。

半導体ボディ３０は、各脚部１２８間においてほぼ中央に配置されており、かつ、Ｚ方向において見て孔１４０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を等しく覆っており、換言すれば、これら両方の磁界センサに対称に作用を及ぼす。

図２ｃの図面には、本発明による第２の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図２ａおよび図２ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

永久磁石２０は、Ｙ方向においてＮ極２８に隣接してＳ極２４を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されており、つまり、Ｓ極２４は、２つの脚部１２４とその間に位置する底部領域１３４とを有する。Ｓ極２４の脚部１２４およびＮ極２８の脚部１２８は、Ｙ軸に沿って形成されている。孔１４０は四角形に形成されており、これには底部領域１３０の面中心が含まれる。孔１４０の面積の半分はＮ極２８の底部領域１３０に、孔１４０の面積の他の半分はＳ極２４の底部領域１３０に配置されている。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の両方の脚部１２４間の領域に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の両方の脚部１２８間に配置されている。半導体ボディ３０は、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて、Ｚ方向において孔１４０上方の中央に、好ましくは正確に中央に配置されている。

換言すれば、底部領域１３０中央から出発して永久磁石２０の重心の位置でＺ方向に形成された法線が、半導体ボディ３０表面における面重心を貫通し、これによって、半導体ボディ３０表面における両方の磁界センサ３４と３８との間の仮想の間隔直線も二等分している。

図３ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第３の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｘ方向の磁化方向およびＮ極２８ならびにＮ極２８によって遮られて見えないＳ極２４を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４および第１の磁界センサ３４によって遮られて見えないモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

図３ｂの図面には、本発明による第３の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図３ａとの相違点だけを説明する。

永久磁石２０は、Ｘ方向において離間され、かつ、それぞれＹ方向に形成された２つの脚部１２４および１２８を有する。Ｓ極２４の脚部１２４とＮ極２８の脚部１２８との間において底部領域１３０が、半分まではＳ極２４として、残りの半分ではＮ極２８として形成されており、換言すれば、底部領域１３０中央でＸ軸に沿って極性が切り替わっている。この場合、永久磁石は、Ｘ方向において磁化されたＵ字型の構成を有する。

図示されていない実施形態によれば、永久磁石２０は底部領域１３０中央に孔１４０を有する。

半導体ボディ３０は、脚部１２４と脚部１２８との間においてほぼ中央に配置されており、かつ、Ｚ方向において見て底部領域１３０の上方に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を等しく覆っており、換言すれば、これら両方の磁界センサに対し発信器４０によって対称に作用が及ぼされる。

図３ｃの図面には、本発明による第３の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図３ａおよび図３ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

永久磁石２０は、Ｘ方向においてＮ極２８に隣接してＳ極２４を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されている。Ｓ極２４の脚部１２４およびＮ極２８の脚部１２８は、それぞれＹ軸に沿って形成されており、互いに平行に対向している。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて、Ｚ方向に配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＸ方向において互いに離間されている。

図示されていない実施形態によれば、底部領域１３０には孔１４０が含まれている。孔１４０は四角形に形成されており、これには底部領域１３０の面中心が含まれる。孔１４０の面積の半分はＮ極２８の底部領域１３０に、孔１４０の面積の他の半分はＳ極２４の底部領域１３０に配置されている。

半導体ボディ３０は、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて、Ｚ方向において孔１４０上方の中央に、好ましくは正確に中央に配置されている。

図４ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第４の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｙ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。両方の磁界センサ３４および３８は、Ｙ方向において互いに離間されている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

永久磁石２０は、Ｙ方向においてＮ極２８に隣接してＳ極２４を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されている。Ｓ極２４の脚部１２４およびＮ極２８の脚部１２８は、それぞれＸ軸に沿って形成されており、互いに平行に対向している。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされ、または、ほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＹ方向において互いに離間されている。

図４ｂの図面には、本発明による第４の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図４ａとの相違点だけを説明する。

この場合、半導体ボディ３０は見えず、脚部１２８によって遮られている。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を等しく覆っており、換言すれば、発信器４０は両方の磁界センサ３４および３８に対称に作用を及ぼす。

図４ｃの図面には、本発明による第４の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図４ａおよび図４ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

永久磁石２０は、Ｙ方向においてＮ極２８に隣接してＳ極２４を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されており、つまり、Ｓ極２４は、脚部１２４とその間に位置する底部領域１３０とを有する。Ｓ極２４の脚部１２４およびＮ極２８の脚部１２８は、Ｘ軸に沿って互いに対向するように平行に形成されている。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の脚部１２４間の領域に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の両方の脚部１２８間に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｙ軸に沿ってその長手軸線を有し、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、長手軸線に沿ってＹ方向において互いに離間されている。

図５ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第５の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれており、この場合、永久磁石２０は、第１の部分２１および第２の部分２２から形成されており、Ｚ方向またはＺ方向とは逆の磁化方向と、それぞれその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８とを備えている。永久磁石２０の第１の部分２１および永久磁石２０の第２の部分２２は、それぞれ垂直方向に、すなわち、Ｚ軸方向に形成された磁化を有する。両方の磁界センサ３４および３８は、Ｙ方向において互いに離間されている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

永久磁石の第１の部分２１および第２の部分２２は、１０ｍｍよりも狭い、好ましくは３ｍｍよりも狭い空隙によって、互いに離間されている。図示されていない実施形態によれば、これらの両方の部分は磁気的な牽引力によって空隙なく互いに接続されている。

Ｙ方向において、永久磁石２０の第１の部分２１に下側では、Ｎ極２８のところに、永久磁石２０の第２の部分２２のＳ極２４が隣り合っている。上側では、永久磁石２０の第１の部分２１のＳ極に、永久磁石２０の第２の部分２２のＮ極２８が隣り合っている。換言すれば、永久磁石２０の第１の部分２１は、永久磁石２０の第２の部分２２に対し逆の磁化方向を有する。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされ、または、ほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、Ｙ方向に形成された半導体ボディ３０の長手軸線に沿って互いに離間されている。

図５ｂの図面には、本発明による第５の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図５ａとの相違点だけを説明する。

半導体ボディ３０はＹ方向に沿って形成されており、頭部側だけしか見えない。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を等しく覆っており、換言すれば、発信器４０は両方の磁界センサ３４および３８に対称に作用を及ぼす。

図５ｃの図面には、本発明による第５の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図５ａおよび図５ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

第１の部分２１のＳ極２４は、幾何学的視点では、第２の部分２２のＮ極２８とまったく同じように形成されている。第１の部分２１のＳ極２４の互いに対向する両方の脚部１２４と、第２の部分２２のＮ極２８の互いに対向する両方の脚部１２８とが、それぞれＸ方向に沿って形成されている。それぞれ互いに対向する脚部１２４およびそれぞれ互いに対向する脚部１２８は、Ｘ方向において平行に延在して形成されている。

Ｙ方向において永久磁石２０は、第１の部分２１のＳ極２４と隣り合って、第２の部分２２のＮ極２８を有する。第１の部分２１のＳ極２４は、幾何学的視点では、第２の部分２２のＮ極２８とまったく同じように形成されており、つまり、第１の部分２１のＳ極２４は、互いに対向する２つの脚部１２４と、その間に位置する底部領域１３０とを有し、これとまったく同じように第２の部分２２のＮ極２８は、互いに対向する２つの脚部１２８と、その間に位置する底部領域１３０とを有する。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の脚部１２４間の領域に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の両方の脚部１２８間に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｙ軸に沿ってその長手軸線を有し、磁石２０の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、長手軸線に沿ってＹ方向において互いに離間されている。底部領域１３０中央においてＹ軸に平行に形成された中心線に沿って、Ｓ極２４とＮ極２８との間で極性が切り替わっていく。

図６ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第６の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｘ方向の磁化方向およびその結果として生じたＮ極２８ならびにＮ極２８によって遮られて見えないＳ極２４を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合には第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８によって遮られて見えない。

図６ｂの図面には、本発明による第６の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図６ａとの相違点だけを説明する。

環状でポット状に形成された永久磁石２０は、Ｓ極２４の半円状の脚部１２４と、Ｎ極２８の対向する半円状の脚部１２８とを有する。Ｓ極２４の脚部１２４とＮ極２８の脚部１２８との間において底部領域１３０が、半分まではＳ極２４として、残りの半分ではＮ極２８として形成されており、換言すれば、底部領域１３０中央でＸ軸に沿って極性が切り替わっている。ＳからＮへ極性が切り替わる面は、Ｙ−Ｚ平面に形成されている。この場合、永久磁石はＸ方向の磁化を有する。

半導体ボディ３０は、Ｘ方向に長手軸線を有し、かつ、脚部１２４と脚部１２８との間においてほぼ中央に配置されており、かつ、Ｚ方向において見て底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を等しく覆っており、換言すれば、これら両方の磁界センサに対し発信器４０によって対称に作用が及ぼされる。

図６ｃの図面には、本発明による第３の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図６ａおよび図６ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

永久磁石２０は、Ｘ方向においてＳ極２４に隣接してＮ極２８を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されている。Ｓ極２４の半円状の脚部１２４およびＮ極２８の半円状の脚部１２８は互いに大部分が対向しており、極性の切り替わりが生じている面Ｙ−Ｚで接触している。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、磁石２０の両方の半円状の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされ、または、ほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＸ方向において互いに離間されている。

図７ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第７の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｘ方向の磁化方向およびその結果として生じたＮ極２８ならびにＮ極２８によって遮られて見えないＳ極２４を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合には第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８によって遮られて見えない。

図７ｂの図面には、本発明による第７の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図７ａとの相違点だけを説明する。

半導体ボディ３０はＸ方向に長手軸線を有し、かつ、脚部１２４と脚部１２８との間においてほぼ中央に配置されており、かつ、Ｚ方向において見て底部領域１３０上方に、ただし、Ｚ方向に形成された脚部１２４および１２８の高さ以内に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を等しく覆っており、換言すれば、これら両方の磁界センサに対し発信器４０によって対称に作用が及ぼされる。

底部領域１３０中央において、永久磁石は孔１４０を有する。

図７ｃの図面には、本発明による第７の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図７ａおよび図７ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

中央の底部領域１３０に配置された孔１４０は円形に形成されており、これには底部領域１３０の面中心が含まれる。孔１４０の面積の半分はＮ極２８の底部領域１３０に、孔１４０の面積の他の半分はＳ極２４の底部領域１３０に配置されている。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の半円状の脚部１２４に取り囲まれた領域に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の半円状の脚部１２８に取り囲まれた領域に配置されている。これにより、半導体ボディ３０は、Ｓ極２４の半円状の脚部１２４およびＮ極２８の半円状の脚部１２８の中央に、かつ、Ｚ方向において孔１４０上方の中央に、好ましくは正確に中央に配置されている。

換言すれば、底部領域１３０中央から出発して永久磁石２０の重心の位置で、つまり、孔１４０が形成されている位置で、Ｚ方向に形成された法線が、半導体ボディ３０表面における面重心を貫通し、これによって、半導体ボディ３０表面において両方の磁界センサ３４と３８との間にＸ方向において形成された仮想の間隔直線も二等分している。

図８ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第８の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｘ方向の磁化方向およびその結果として生じたＮ極２８ならびにＮ極２８によって遮られて見えないＳ極２４を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合には第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８によって遮られて見えない。

図８ｂの図面には、本発明による第８の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図８ａとの相違点だけを説明する。

四角形でポット状に形成された永久磁石２０は、Ｘ方向に形成されたＳ極２４のＵ字型の脚部１２４と、やはりＸ方向に形成されたＮ極２８の対向するＵ字型の脚部１２８とを有する。Ｓ極２４の脚部１２４とＮ極２８の脚部１２８との間において底部領域１３０が、半分まではＳ極２４として、残りの半分ではＮ極２８として形成されており、換言すれば、底部領域１３０中央でＸ軸に沿って極性が切り替わっている。ＳからＮへ極性が切り替わる面は、Ｙ−Ｚ平面に形成されている。この場合、永久磁石はＸ方向の磁化を有する。

図示されていない実施形態によれば、底部領域１３０中央に四角形の孔１４０が形成されている。

図８ｃの図面には、本発明による第８の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図８ａおよび図８ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

永久磁石２０は、Ｘ方向においてＳ極２４に隣接してＮ極２８を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されている。Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４およびＮ極２８のＵ字型の脚部１２８は互いに大部分が対向しており、極性の切り替わりが生じている面Ｙ−Ｚで接触している。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、磁石２０の両方のＵ字型の脚部１２４と１２８との間に正確にセンタリングされ、または、ほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＸ方向において互いに離間されている。

中央の底部領域１３０には、永久磁石２０の重心も位置している。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４に取り囲まれた領域に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８のＵ字型の脚部１２８に取り囲まれた領域に配置されている。これにより、半導体ボディ３０は、Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４およびＮ極２８のＵ字型の脚部１２８の中央に、かつ、Ｚ方向において重心上方の中央に、好ましくは正確に中央に配置されている。

換言すれば、底部領域１３０中央から出発して永久磁石２０の重心の位置でＺ方向に形成された法線が、半導体ボディ３０表面における面重心を貫通し、これによって、半導体ボディ３０表面において両方の磁界センサ３４と３８との間にＸ方向において形成された仮想の間隔直線も二等分している。

図示されていない実施形態によれば、中央の底部領域１３０に孔１４０が四角形に形成されており、これには底部領域１３０の面中心が含まれる。孔１４０の面積の半分はＮ極２８の底部領域１３０に、孔１４０の面積の他の半分はＳ極２４の底部領域１３０に配置されている。

換言すれば、図示されていない実施形態によれば、底部領域１３０中央から出発して永久磁石２０の重心の位置で、つまり、孔１４０が形成されている位置で、Ｚ方向に形成された法線が、半導体ボディ３０表面における面重心を貫通し、これによって、半導体ボディ３０表面において両方の磁界センサ３４と３８との間にＸ方向において形成された仮想の間隔直線も二等分している。

図９ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第９の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｘ方向の磁化方向およびその結果として生じたＮ極２８ならびにＮ極２８によって遮られて見えないＳ極２４を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状対称型発信器４０とが含まれている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合には第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８によって遮られて見えない。

図９ｂの図面には、本発明による第９の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図９ａとの相違点だけを説明する。

四角形で部分的にポット状に形成された永久磁石２０は、Ｘ−Ｙ方向に形成されたＳ極２４の角状の脚部１２４と、やはりＸ方向に形成されたＮ極２８の対向する角状の脚部１２８とを有する。Ｓ極２４の脚部１２４とＮ極２８の脚部１２８との間において底部領域１３０が、半分まではＳ極２４として、残りの半分ではＮ極２８として形成されており、換言すれば、底部領域１３０中央でＸ軸に沿って極性が切り替わっている。ＳからＮへ極性が切り替わる面は、Ｙ−Ｚ平面に形成されている。この場合、永久磁石はＸ方向の磁化を有する。部分的にポット状の永久磁石２０は、Ｙ軸方向において見ると開放されており、つまり、底部領域１３０に関しても周囲を巡る壁部が、Ｘ−Ｚ平面に沿っては存在しない。

図９ｃの図面には、本発明による第９の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図９ａおよび図９ｂとの相違点だけを説明する。見やすくするため、発信器４０は描かれていない。

永久磁石２０は、Ｘ方向においてＳ極２４に隣接してＮ極２８を有する。Ｓ極２４は、幾何学的視点では、Ｎ極２８とまったく同じように形成されている。Ｓ極２４の角状の脚部１２４およびＮ極２８の角状の脚部１２８は互いに大部分が対向しており、極性の切り替わりが生じている唯一の面Ｙ−Ｚにおいてのみ接触している。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、磁石２０の両方の角状の脚部１２４と１２８との間にほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＸ方向において互いに離間されている。

第１の磁界センサ３４は、Ｓ極２４の角状の脚部１２４に取り囲まれた領域に配置されており、第２の磁界センサ３８は、Ｎ極２８の角状の脚部１２８に取り囲まれた領域に配置されている。これにより、半導体ボディ３０は、Ｓ極２４の角状の脚部１２４およびＮ極２８の角状の脚部１２８のほぼ中央に、かつ、Ｚ方向において重心上方の中央に、好ましくは正確に中央に配置されている。

図１０ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１０の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０のほぼ半分しかない大きさの寸法またはそれよりも小さい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合には第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８からＹ方向において離間されて配置されている。

永久磁石２０は、Ｚ方向に形成された垂直方向の磁化を有し、この場合、Ｓ極２４はＮ極２８の上に配置されている。

図１０ｂの図面には、本発明による第１０の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１０ａとの相違点だけを説明する。

四角形で一部分だけポット状のデザインで形成された永久磁石２０は、Ｘ−Ｙ方向に形成されたＳ極２４のＵ字型の脚部１２４を有し、この場合、各脚部１２４は、Ｙ方向に沿って互いに平行に形成されており、つまり、両方の脚部１２４はＸ方向において離間されている。Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４の各側の間において、底部領域１３０がＳ極２４として形成されており、換言すれば、極性はＺ方向に沿ってしか切り替わらない。つまり、垂直にＺ方向において、磁化が行われている。部分的にポット状にデザインされた永久磁石２０は、Ｙ軸方向において見ると開放されており、つまり、Ｓ極２４として形成された周囲を巡る壁部は、Ｘ−Ｚ平面に沿っては存在しない。

半導体ボディ３０はＹ方向に長手軸線を有し、かつ、Ｕ字型の脚部１２４により形成された領域の間においてほぼ中央に配置されており、かつ、Ｚ方向において見て底部領域１３０の上方に、ただし、Ｚ方向に形成された脚部１２４の高さ以内に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向において、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を不均衡に覆い、あるいは換言するならば、これら両方の磁界センサに対し発信器４０によって非対称に作用が及ぼされる。

図１０ｃの図面には、本発明による第１０の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１０ａおよび図１０ｂとの相違点だけを説明する。この場合、発信器４０は、永久磁石２０を一部分だけしか覆っていない。

Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４は、底部領域１３０を３つの側だけで取り囲んでいる。

両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＹ方向において互いに離間されており、かつ、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｕ字型の脚部１２４の間にほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。

両方の磁界センサ３４および３８は、Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４の領域に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４のほぼ中央に、かつ、Ｚ方向において重心上方の中央に、好ましくは正確に中央に配置されている。

換言すれば、底部領域１３０中央から出発して永久磁石２０の重心の位置でＺ方向に形成された法線が、半導体ボディ３０表面における面重心を貫通し、これによって、半導体ボディ３０表面において両方の磁界センサ３４と３８との間にＹ方向において形成された仮想の間隔直線も二等分している。

図示されていない実施形態によれば、中央の底部領域１３０に孔１４０が四角形に形成されており、これには底部領域１３０の面中心が含まれる。

図１１ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１１の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

両方の磁界センサ３４および３８は、Ｘ方向において互いに離間されている。発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

Ｚ方向においてＳ極２４がＮ極２８の上方に配置されており、つまり、永久磁石２０は垂直方向の磁化を有する。

図１１ｂの図面には、本発明による第１１の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１１ａとの相違点だけを説明する。

永久磁石２０はＳ極２４として、Ｘ方向に離間された２つの脚部１２４を有する。各脚部１２４の間に、底部領域１３０がやはりＳ極２４として形成されている。これによって、永久磁石は、Ｚ方向において磁化されたＵ字型の構成を有する。

半導体ボディ３０は、各脚部１２４間のほぼ中央に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向において、好ましくは永久磁石２０のほぼ半分しかない大きさの寸法またはそれよりも小さい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を不均衡に覆い、換言すれば、発信器４０は両方の磁界センサ３４および３８に非対称に作用を及ぼす。この場合、両方の磁界センサ３４および３８のうちの一方だけを覆っている。

図１１ｃの図面には、本発明による第１１の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１１ａおよび図１１ｂとの相違点だけを説明する。発信器４０はＸ−Ｙ平面において、永久磁石を一部分だけ、好ましくは半分、覆っている。特に、両方の磁界センサ３４および３８のうちの一方だけを覆っている。

永久磁石２０は、Ｚ方向においてＳ極２４に隣接してＮ極２８を有する。Ｓ極２４だけが、２つの脚部１２４とそれらの間に位置する底部領域１３０とを有する。Ｓ極２４の脚部１２４は、Ｙ軸に沿って互いに平行に形成されている。

両方の磁界センサ３４および３８は、Ｓ極２４の両方の脚部１２４間の領域に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｘ方向に沿ってその長手軸線を有し、磁石２０の各脚部１２４間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて配置されている。この長手軸線に沿ってＸ方向において互いに離間された両方の磁界センサ３４および３８は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。

この場合、底部領域１３０中央から出発して永久磁石２０の重心の位置でＺ方向に形成された法線が、半導体ボディ３０表面における面重心を貫通し、これによって、半導体ボディ３０表面における両方の磁界センサ３４と３８との間の仮想の間隔直線も二等分している。

図示されていない実施形態によれば、中央の底部領域１３０に四角形の孔１４０が形成されており、これには底部領域１３０の面中心が含まれる。

図１２ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１２の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは少なくとも永久磁石２０の寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

Ｚ方向において、永久磁石２０のＳ極２４はＮ極２８上に配置されている。永久磁石２０は、垂直方向またはＺ方向に延在する磁化を有する。

第１の磁界センサ３４および第２の磁界センサ３８は、Ｚ方向においてＳ極２４の上縁部の隣りに配置されている。

図１２ｂの図面には、本発明による第１２の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１２ａとの相違点だけを説明する。

両方の磁界センサ３４および３８は、Ｘ方向に形成された半導体ボディ３０の長手軸線に沿って互いに離間されている。

半導体ボディ３０の長手軸線はＸ方向に沿って形成されており、ここでは半導体ボディ３０の頭部側だけしか見えない。発信器４０はＸ方向において、好ましくは永久磁石２０のＳ極２４と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。

図１２ｃの図面には、本発明による第１２の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１２ａおよび図１２ｂとの相違点だけを説明する。

発信器４０は、Ｓ極２４の上面をほぼ半分までしか覆っておらず、かつ、Ｓ極２４の隣りに離間された両方の磁界センサ３４および３８の一方だけしか覆っておらず、あるいは換言するならば、発信器４０は両方の磁界センサ３４および３８に非対称に作用を及ぼす。

半導体ボディ３０とＳ極２４との間隔は、Ｙ方向において平行に延在して等しく保たれるように形成されている。

図１３ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１３の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０のほぼ半分しかない大きさの寸法またはそれよりも小さい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

第１の磁界センサ３４および第２の磁界センサ３８は、Ｚ方向においてＳ極２４の上縁部に配置されている。

図１３ｂの図面には、本発明による第１３の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１３ａとの相違点だけを説明する。

永久磁石２０は、第１の部分２１と第２の部分２２とを有する。永久磁石２０の第１の部分２１および永久磁石２０の第２の部分２２は、それぞれ垂直方向に、すなわち、Ｚ軸方向において形成された同じ向きの磁化を有する。両方の磁界センサ３４および３８は、Ｘ方向において空隙を介して互いに離間されている。

空隙の大きさは、半導体ボディ３０の頭部側でその幅と少なくとも等しい。両方の磁界センサ３４および３８は、Ｙ方向に形成された半導体ボディ３０の長手軸線に沿って互いに離間されている。

半導体ボディ３０の長手軸線はＹ方向に沿って形成されており、ここでは半導体ボディ３０の頭部側だけしか見えない。発信器４０はＸ方向において、好ましくは永久磁石２０の両方の部分２１および２２と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。

図１３ｃの図面には、本発明による第１３の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１３ａおよび図１３ｂとの相違点だけを説明する。発信器４０は、両方のＳ極の上面をほぼ半分までしか覆っておらず、かつ、両方の磁界センサ３４および３８の一方だけしか覆っておらず、あるいは換言するならば、発信器４０は両方の磁界センサ３４および３８に非対称に作用を及ぼす。

第１の部分２１のＳ極２４は、幾何学的視点では、第２の部分２２のＳ極２４とまったく同じように形成されている。それぞれ互いに対向するＳ極２４は、Ｙ方向において平行に延在して形成されており、すなわち、空隙は等しい幅である。

第１の磁界センサ３４は、両方のＳ極２４間の領域に配置されている。半導体ボディ３０は、永久磁石２０の両方の部分２１および２２の両方のＳ極２４間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて配置されている。

図１４ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１４の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。

図１４ｂの図面には、本発明による第１４の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１４ａとの相違点だけを説明する。

空隙の大きさは、半導体ボディ３０の長手軸線方向における半導体ボディ３０の長さとＸ方向において少なくとも等しい。両方の磁界センサ３４および３８は、Ｘ方向に形成された半導体ボディ３０の長手軸線に沿って互いに離間されている。

半導体ボディ３０の長手軸線はＹ方向に沿って形成されており、ここでは半導体ボディ３０の頭部側だけしか見えない。発信器４０はＸ方向において、好ましくは永久磁石２０の両方の部分２１および２２のほぼ半分しかない大きさの寸法またはそれよりも小さい寸法を有する。

図１４ｃの図面には、本発明による第１４の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１４ａおよび図１４ｂとの相違点だけを説明する。

発信器４０は、第２の部分２２のＳ極の上面だけしか覆っておらず、かつ、両方の磁界センサ３４および３８の一方だけしか覆っておらず、あるいは換言するならば、発信器４０は両方の磁界センサ３４および３８に非対称に作用を及ぼす。

半導体ボディ３０は、永久磁石２０の両方の部分２１および２２の両方のＳ極２４間に正確にセンタリングされて、または、ほぼセンタリングされて配置されている。

図１５ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１５の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＺ方向においてＳ極２４の上方に配置されたＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた、図示されていない半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合には、第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８によって遮られて見えない。この場合、永久磁石２０は、垂直方向すなわちＺ方向の磁化を有する。

図１５ｂの図面には、本発明による第１５の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１５ａとの相違点だけを説明する。

丸くポット状に形成された永久磁石２０は、Ｙ−Ｘ平面において周囲を巡る壁状のＳ極２４の脚部１２４を有し、この場合、脚部１２４は、周囲を巡る壁部として円形に形成されている。

周囲を巡る壁部の間に底部領域１３０がＳ極２４として形成されており、換言すれば、極性はＺ方向に沿ってしか切り替わらない。

半導体ボディ３０はＹ方向に長手軸線を有し、脚部１２４から成るリング状の壁部内にあり、かつ、Ｚ方向において見て底部領域１３０上方に、ただし、Ｚ方向に形成された脚部１２４の高さ以内に配置されている。

半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向においても、好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。

底部領域１３０中央に円形の孔１４０が形成されている。

図１５ｃの図面には、本発明による第１５の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１５ａおよび図１５ｂとの相違点だけを説明する。

発信器４０は、永久磁石２０をほぼ半分までしか覆っておらず、つまり、両方の磁界センサ３４および３８も不均衡に覆われ、換言すれば、これら両方の磁界センサに対し発信器４０によって非対称に作用が及ぼされる。

両方の磁界センサ３４および３８は、底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、周囲を巡る壁部の間に正確にセンタリングされ、または、ほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＹ方向において互いに離間されている。

中央の底部領域１３０には円形の孔１４０が形成されているので、孔１４０によって永久磁石２０の重心も包囲される。

図１６ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１６の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＮ極２８およびＳ極２４を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０と同等の寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合には第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８によって遮られて見えない。

Ｓ極２４は、Ｚ方向においてＮ極２８の上方に配置されており、つまり、永久磁石２０は垂直方向の磁化を有する。

図１６ｂの図面には、本発明による第１６の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１６ａとの相違点だけを説明する。

四角形でポット状に形成された永久磁石２０は、周囲を巡る壁部として形成されたＳ極２４の脚部１２４を有する。周囲を巡る壁部内に、Ｓ極２４として形成された底部領域１３０が設けられており、換言すれば、極性はＺ軸に沿ってしか切り替わらない。

半導体ボディ３０はＸ方向に長手軸線を有し、かつ、壁部の間においてほぼ中央に配置されており、かつ、Ｚ方向において見て底部領域１３０上方に、ただし、Ｚ方向に形成された脚部１２４の高さ以内に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向において、好ましくは永久磁石２０のほぼ半分しかない大きさの寸法またはそれよりも小さい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を不均衡に覆い、換言すれば、これら両方の磁界センサに対し発信器４０によって非対称に作用が及ぼされる。

図１６ｃの図面には、本発明による第１６の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１６ａおよび図１６ｂとの相違点だけを説明する。発信器４０は、第１の磁界センサ３４だけしか覆わず、永久磁石２０を半分までしか覆わない。

両方の磁界センサ３４および３８は、底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、周囲を巡る壁部の間に正確にセンタリングされ、または、ほぼセンタリングされ、かつ、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて、配置されている。両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＸ方向において互いに離間されている。

半導体ボディ３０は、Ｓ極２４の壁状の脚部１２４の中央に、かつ、Ｚ方向において重心上方の中央に、好ましくは正確に中央に配置されている。

図１７ａの図面は、本発明による距離測定装置１０の第１７の実施形態をＹ−Ｚ平面の視点で表す平面図を示している。距離測定装置１０には、Ｚ方向とは逆の磁化方向およびその結果として生じたＳ極２４およびＮ極２８を備えた永久磁石２０と、モノリシックに集積された第１の磁界センサ３４およびモノリシックに集積された第２の磁界センサ３８を備えた半導体ボディ３０と、強磁性のプレート状発信器４０とが含まれている。

発信器４０はすべての空間方向においてシフト可能であり、Ｙ方向において好ましくは永久磁石２０とほぼ等しい寸法またはそれよりも大きい寸法を有する。半導体ボディ３０は集積された評価回路を有するが、これはここには描かれていない。この場合、第１の磁界センサ３４は、第２の磁界センサ３８からＸ方向において離間されており、つまり、第２の磁界センサ３８によって第１の磁界センサ３４が遮られて見えなくなっている。

図１７ｂの図面には、本発明による第１７の実施形態をＸ−Ｚ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１７ａとの相違点だけを説明する。

四角形で一部分だけポット状のデザインで形成された永久磁石２０は、Ｘ−Ｙ方向に形成されたＵ字型のＳ極２４の脚部１２４を有する。

Ｓ極２４のＵ字型の脚部１２４の各側の間において、底部領域１３０がＳ極２４として形成されており、換言すれば、極性はＺ方向に沿ってしか切り替わらない。つまり、垂直にＺ方向において、磁化が行われている。脚部１２４によって形成された壁部は、底部領域１３０を３つの側でしか取り囲んでおらず、すなわち、部分的にポット状にデザインされた永久磁石２０は、Ｙ軸方向において見ると開放されており、つまり、Ｓ極２４として形成された周囲を巡る壁部は、Ｘ−Ｚ平面に沿っては存在しない。

半導体ボディ３０はＸ方向に長手軸線を有し、かつ、Ｕ字型の脚部１２４により形成された領域の間においてほぼ中央に配置されており、かつ、Ｚ方向において見て底部領域１３０の上方に、ただし、Ｚ方向に形成された脚部１２４の高さ以内に配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されている。発信器４０はＸ方向において、好ましくは永久磁石２０のほぼ半分しかない大きさの寸法またはそれよりも小さい寸法を有する。これにより、発信器４０は、両方の磁界センサ３４および３８を不均衡に覆い、あるいは換言するならば、これら両方の磁界センサに対し発信器４０によって非対称に作用が及ぼされる。

図１７ｃの図面には、本発明による第１７の実施形態をＸ−Ｙ平面の視点で表す平面図が描かれている。以下、図１７ａおよび図１７ｂとの相違点だけを説明する。この場合、発信器４０は、永久磁石２０および半導体ボディ３０を一部分だけしか覆っていない。

両方の磁界センサ３４および３８は、半導体ボディ３０の長手軸線に沿ってＸ方向において互いに離間されており、かつ、Ｓ極２４の底部領域１３０上方に配置されている。半導体ボディ３０は、偏心させて壁部近くにＸ方向に沿ってずらして配置されている。半導体ボディ３０は、Ｚ方向において底部領域１３０から離間されて配置されている。

Claims

距離測定装置（１０）であって、
磁界強度に応じて第１の測定信号を供給する第１の磁界センサ（３４）と、
第１の磁極面を有する第１の磁極（２４）と第２の磁極面を有する第２の磁極（２８）とを備えた少なくとも１つの永久磁石（２０）と、
モノリシックに集積された評価回路を備えた半導体ボディ（３０）と、
が設けられており、
前記評価回路は、前記第１の磁界センサ（３４）と接続されて電気的動作状態におかれており、前記半導体ボディ（３０）は、Ｘ−Ｙ平面に形成された表面を有する、
距離測定装置（１０）において、
前記第１の磁界センサ（３４）と同じ物理的動作原理に基づく第２の磁界センサ（３８）が設けられており、前記第２の磁界センサ（３８）は、磁界強度に応じて第２の測定信号を供給し、前記第２の磁界センサ（３８）は、前記評価回路と接続されて動作状態におかれており、前記評価回路は、定常磁界を抑制するために差分信号を求め、求めた結果として出力信号を供給し、無磁束領域の消滅に基づく前記出力信号の値は、強磁性の発信器から両方の前記磁界センサまでの距離に依存し、両方の前記磁界センサは、前記半導体ボディの表面に結合されており、かつ、同じ磁界成分を測定するために等しく配置されており、
第１の実施形態によれば、両方の磁界センサ（３４，３８）に等しい強さで作用を及ぼす第１の発信器であれば、磁束変化の大きさを測定するために、前記半導体ボディ（３０）は、Ｘ方向に磁化された磁石のＵ字型に形成された各磁極脚部間に配置されており、前記第１の磁界センサ（３４）は、前記第１の磁極の互いに対向する２つの脚部（１２４，１２８）間に位置する領域に配置されており、前記第２の磁界センサ（３８）は、前記第２の磁極の互いに対向する２つの脚部（１２４，１２８）間に位置する領域に配置されており、前記磁極脚部（１２４，１２８）間に底面（１３０）が形成されており、前記半導体ボディ（３０）は、Ｚ方向において底部領域（１３０）の上方に配置されている、
ことを特徴とする距離測定装置（１０）。
前記永久磁石（２０）は、Ｕ字型に形成されており、互いに対向する２つの、直線状に平行に延在する脚部（１２４，１２８）または環状の脚部（１２４，１２８）を有する、
請求項１記載の距離測定装置（１０）。
前記永久磁石（２０）は、中央領域に切欠き（１４０）を有し、前記切欠き（１４０）は、孔状に形成されている、
請求項１または２記載の距離測定装置（１０）。
前記中央領域は、前記永久磁石（２０）の重心を含む、
請求項３記載の距離測定装置（１０）。
前記永久磁石（２０）の重心の位置に形成された法線が前記半導体ボディ（３０）を貫通するように、前記半導体ボディ（３０）は、前記永久磁石（２０）の重心の上方に配置されている、
請求項１から４までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
前記永久磁石（２０）は、選択的な前記第１の実施形態によれば、互いに逆向きに直近に並置されて垂直方向に磁化された２つの個別磁石から成る、
請求項１から５までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
前記脚部（１２４，１２８）の間に底部領域（１３０）が形成されており、
選択的な前記第１の実施形態によれば、前記底部領域（１３０）における中央線に沿って前記永久磁石（２０）の極性が切り替わり、
選択的な第２の実施形態によれば、前記極性は、前記永久磁石（２０）の前記底部領域（１３０）においては同じまま維持される、
請求項１から６までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
前記脚部（１２４，１２８）は、Ｘ−Ｙ平面において周囲を巡る壁部を形成しており、
選択的な前記第１の実施形態によれば、前記壁部の第１の半部は、第１の磁気極性（２４）を有し、前記壁部の第２の半部は、第２の磁気極性（２８）を有し、
選択的な第２の実施形態によれば、周囲を巡る前記壁部は、１つの画一的な磁気極性を有する、
請求項１から７までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
Ｘ−Ｙ平面に配置された両方の前記磁界センサ（３４，３８）の表面は、Ｚ方向において前記永久磁石（２０）の内部底面（１３０）に対し、前記脚部（１２４，１２８）の端部に形成された前記磁極面が有する間隔と等しい間隔または前記磁極面が有する間隔よりも小さい間隔を有する、
請求項１から８までのいずれか１項記載の距離測定装置。
両方の前記磁界センサ（３４，３８）は、直接隣り合う個々の前記磁極面（１２４，１２８）までに等しい間隔を有する、
請求項１から９までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
選択的な第２の実施形態によれば、両方の前記磁界センサ（３４，３８）は、Ｘ方向において、Ｙ方向に沿って形成された唯一の前記磁極面に対し離間されている、
請求項１から１０までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
選択的な第２の実施形態によれば、両方の前記磁界センサ（３４，３８）は、Ｘ方向に沿って配置されており、かつ、Ｘ方向において互いに離間された２つの前記永久磁石（２０）の間に配置されている、
請求項１から１１までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
両方の前記磁界センサ（３４，３８）は、ホールセンサとして形成されており、前記ホールセンサは、前記半導体ボディにモノリシックに集積されている、
請求項１から１２までのいずれか１項記載の距離測定装置（１０）。
前記ホールセンサは、Ｘ−Ｙ平面に形成されたホールプレートとして構成されている、
請求項１３記載の距離測定装置（１０）。