JP6681673B2 - 集塵装置 - Google Patents

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Description

本発明は、フィルタにて雰囲気中の粉塵を除去する集塵装置に関する。
集塵装置は、空気がフィルタを通過する際に、当該空気中の粉塵をフィルタによって捕捉(以下、「フィルタリング」という。)するものである。このため、空気中から除去された粉塵は、フィルタの表面に付着した状態で堆積していく。
そして、特許文献1に記載の集塵装置では、気流の向きをフィルタリング時と逆向きにすることにより、フィルタの表面に付着した粉塵を除去(以下、「除塵」という。)している。
実公平1−23540
本発明は、特許文献1に記載の除塵方法と異なる除塵方法を採用した集塵装置を提供することを目的とする。
本発明は、上記目的を達成するために、雰囲気中の粉塵を除去する集塵装置において、フィルタ室(5A)内に取り込まれた雰囲気中から粉塵を除去するフィルタ(3)と、雰囲気をフィルタ室(5A)に取り込むとともに、フィルタ(3)を通過する気流を発生させる送風機(11)と、フィルタ(3)に付着した粉塵を除去する除塵装置(7)と、除塵装置(7)の作動時に作動する圧力導入装置(9)であって、フィルタ(3)より下流側の空気通路(15B)に当該空気通路(15B)内の気圧より高い気圧を導入する圧力導入装置(9)とを備える。
これにより、本発明では、除塵装置(7)を作動させて除塵が実行される際において、フィルタ(3)を挟んで下流側と上流側との気圧差が小さくなる。これにより、フィルタ(3)の表面に付着堆積した粉塵を容易に除塵することが可能となる。
すなわち、フィルタ(3)に捕捉された粉塵の多くは、上流側のフィルタ表面に付着堆積していく。送風機(11)が稼働して空気がフィルタ(3)を通過している状態においては、フィルタ(3)の上流側は、下流側に比べて気圧が高い。
そして、送風機(11)が稼働している状態では、フィルタ(3)の表面に付着堆積した粉塵は、気圧差によりフィルタ(3)の表面に貼り付いた状態となる。このため、送風機(11)が稼働している状態で除塵装置(7)を作動させても効率よく除塵することが難しい、という問題がある。
この問題に対しては、例えば「除塵装置(7)を作動する際に送風機(11)を停止させて気圧差を小さくする」といった解決手法が考えられる。しかし、この手法では、送風機(11)が停止して気圧差が小さくなるまで除塵装置(7)を作動させることができない。
これに対して本発明では、除塵装置(7)の作動時に高い気圧を下流側の空気通路(15B)に導入するので、送風機(11)を停止させることなく、気圧差を小さくできる。したがって、フィルタ(3)の表面に付着堆積した粉塵を容易に除塵することが可能となる。
なお、本発明は、除塵装置(7)の作動時に高い気圧を下流側の空気通路(15B)に導入することを特徴とするので、除塵装置(7)の作動時に送風機(11)を停止させる場合、及び稼働させる場合のいずれでもよい。
因みに、上記各手段等の括弧内の符号は、後述する実施形態に記載の具体的構成等との対応関係を示す一例であり、本発明は上記各手段等の括弧内の符号に示された具体的構成等に限定されるものではない。
本発明の第1実施形態に係る集塵装置1の概略構造を示す断面図である。 本発明の第1実施形態に係る集塵装置1に用いられるフィルタ3の構造を示す図である。 本発明の第1実施形態に係る集塵装置1のフィルタリング時の状態を示す断面図である。 本発明の第1実施形態に係る除塵装置7の概略構造を示す断面図である。 (a)は本発明の実施形態に係る集塵装置1に用いられる加速装置73の概略構造を示す断面図である。(b)は図5(a)のA−A断面図である。 本発明の第1実施形態に係る集塵装置1に用いられる加速装置73の作動説明図である。 本発明の第1実施形態に係る集塵装置1に用いられる加速装置73の作動説明図である。 本発明の第1実施形態に係る集塵装置1に用いられる加速装置73の作動説明図である。 本発明の第1実施形態に係る集塵装置1の除塵時の状態を示す断面図である。 (a)及び(b)は、本発明の第2実施形態に係る集塵装置1の概略構造を示す断面図である。
以下に説明する「発明の実施形態」は実施形態の一例を示すものである。つまり、特許請求の範囲に記載された発明特定事項等は、下記の実施形態に示された具体的構成や構造等に限定されるものではない。
各図に付された方向を示す矢印等は、各図相互の関係を理解し易くするために記載したものである。本発明は、各図に付された方向に限定されるものではない。少なくとも符号を付して説明した部材又は部位は、「複数」や「2つ以上」等の断りをした場合を除き、少なくとも1つ設けられている。以下、本発明の実施形態を図面と共に説明する。
(第1実施形態)
1.集塵装置の概要
集塵装置1は、図1に示すように、フィルタ3、集塵ケーシング5、除塵装置7、圧力導入装置9、及び送風機11等を備えている。なお、本実施形態に係る集塵装置1は、レーザ加工や溶接作業時に発生する金属蒸気が凝集した微細な粒子(以下、粉塵という。)を捕捉する装置である。
フィルタ3は、集塵ケーシング5内に取り込まれた空気(雰囲気)中の粉塵を濾過して当該空気中の粉塵を除去する。当該フィルタ3は、パンチメタルで構成された円筒状の芯材3A、及び蛇腹状に折り畳まれた濾紙材3B(図2参照)等を有し、略円筒状に構成されている。
粉塵を含んだ空気は、フィルタ3の外周面から芯材3Aに向けて流れる。そして、当該空気が濾紙材3Bを通過する際に粉塵が濾紙材3Bに捕捉される。このため、本実施形態に係るフィルタ3では、捕捉された粉塵はフィルタ3の外周面側に蓄積されていく。
図1に示すように、集塵ケーシング5はフィルタ室5Aを構成する。フィルタ室5Aはフィルタ3を収納する。送風機11は、図3に示すように、フィルタ室5A外から粉塵を含む空気をフィルタ室5Aに取り込むとともに、フィルタ3を通過する気流を発生させる。
フィルタ3(濾紙材3B)にて濾過された空気は、芯材3A内を流通して送風機11に吸引された後、集塵装置1外に排出される。
なお、フィルタ3(芯材3A)の軸線方向一端側(本実施形態では下端側)は、閉塞体3Cにより閉塞されている。このため、濾過された空気は、フィルタ3(芯材3A)内を軸線方向一端側から他端側、つまり下端側から上端側に向けて流通する。
送風機11は、図1に示すように、遠心ファン11A、スクロールケーシング11B及び電動モータ11C等を有して構成されている。遠心ファン11Aは、空気が当該ファンの径方向に通り抜けるファンである(JIS B0132 番号1003、1004参照)。
スクロールケーシング11Bは、遠心ファン11Aを収納する渦巻き状のケーシングである。スクロールケーシング11Bの渦巻き中心には吸気口11Dが設けられている。当該吸気口11Dは、遠心ファン11Aの回転軸線と平行な方向に向けて開口している。
スクロールケーシング11Bの外周には、接線方向に向けて開口した吹出口11Eが設けられている。送風機11は、仕切壁13の開口部13Aが吸気口11Dと一致した状態で仕切壁13に組み付けられている。
仕切壁13は、フィルタ室5Aと送風機11が収納された空間(以下、排気側空間15Aという。)とを仕切る。つまり、送風機11の吐出側と送風機11の吸入側とは仕切壁13によって仕切られる。したがって、フィルタ3より下流側の空気通路、つまり芯材3A内から送風機11の吸気口11Dに至る吸気側空間15Bは、仕切壁13により排気側空間15Aと仕切られている。
排気側空間15Aを構成する排気部17には、外部と連通した排気口17Aが設けられている。排気口17Aは、フィルタ3を通過した除塵後の空気を集塵装置1の外に排気するための開口である。
そして、排気口17Aは、送風機11の吐出側(排気側空間15A)と常に連通している。つまり、排気口17Aは、除塵装置7の作動時及び非作動時を問わず、排気側空間15Aと連通している。
2.除塵装置
2.1 除塵装置の概要
除塵装置7は、フィルタ3(濾紙材3B)の表面に付着した粉塵を除去する。すなわち、除塵装置7は、後述する畜圧部71から供給された気流を加速し、当該加速された気流をフィルタ3に向けて噴射することにより、フィルタ3に付着した粉塵をフィルタ3から除去する。
なお、除塵装置7に除去された粉塵は、フィルタ室5Aの下部に設けられた集塵部19(図1参照)に集められる。
2.2 除塵装置の構成
除塵装置7は、図4に示すように、少なくとも畜圧部71及び加速装置73を有している。畜圧部71は加圧された気体が充填される。本実施形態では、ポンプP1にて略0.5MPaまで加圧された空気が畜圧部71に充填される。
加速装置73は、畜圧部71に充填されている気体を加速してフィルタ3に向けて吹き付ける。具体的には、加速装置73は、図5(a)に示すように、噴射口73A、絞り部73B、膨張部73D及び弁部73E等を有している。
噴射口73Aは加速された気体をフィルタ3に向けて吹き出す。本実施形態に係る噴射口73Aは、フィルタ3の軸線方向他端側(本実施形態では上端側)に向けて開口した開口部である。
絞り部73Bは畜圧部71から放出された気流を絞って当該気流を加速する。本実施形態に係る絞り部73Bは、円筒部73Fの外周側に構成された空気の通路であって、常に畜圧部71と連通している。そして、絞り部73Bは、畜圧部71からスロート部73Cに空気を導くとともに、スロート部73Cに近づくほど、その通路断面積が縮小する。
円筒部73Fは、円筒状の部位であって、その軸線方向一端(図5(a)では下端)に噴射口73Aが設けられ、軸線方向他端(図5(a)では上端)にスロート部73Cが設けられている。
スロート部73Cは、絞り部73Bのうち最も流路断面積が縮小した部位である。本実施形態に係るスロート部73Cは、複数の小孔73G(図5(b)参照)により構成されている。膨張部73Dは、スロート部73Cから噴出された気流を膨張させることにより当該気流を更に加速する。
弁部73Eはスロート部73Cを開閉する。当該弁部73Eは、皿バネのように弾性変形する円板状のダイヤフラムにより構成されている。弁部73Eは、円筒部73Fの内径寸法より大きな半径を有している。
そして、当該弁部73Eは、弁部73Eの一方の面(図5(a)では上面)に作用する圧力と他方の面(図5(a)では下面)に作用する圧力との差に応じてスロート部73Cを開閉する。
2.2 弁部の開閉作動
弁部73Eの上面側は、図4に示すように、三方弁V1を介してポンプP1と吐出側と連通可能である。三方弁V1は、(a)弁部73Eの上面側空間C1とポンプP1と吐出側とを連通させる場合、(b)上面側空間C1を大気開放とする場合、及び(c)上面側空間C1を密閉状態とする場合のうちいずれかの場合を選択するための切替バルブである。
<畜圧部に空気を充填する場合>
畜圧部71の圧力がポンプP1の吐出圧より低下した状態で、上面側空間C1とポンプP1と吐出側とを連通させるように三方弁V1を作動させると、弁部73Eの上面側に作用する圧力による力が、弁部73Eの下面側に作用する圧力による力を上回る。このため、図6に示すように、ポンプP1から供給された空気は、弁部73Eの外周縁とハウジング73Hとの隙間を流通して畜圧部71に流入する。
なお、弁部73Eの上面側に作用する圧力による力は、「圧力×弁部73Eの上面側面積」である。弁部73Eの下面側に作用する圧力による力は、「大気圧×スロート部73Cの断面積+畜圧部71内の圧力×(弁部73Eの下面側面積−スロート部73Cの断面積)」である。
<畜圧状態>
畜圧部71内の圧力がポンプP1の吐出圧と同一圧力になったときに、上面側空間C1を密閉状態とするように三方弁V1を作動させる(図7参照)。これにより、畜圧部71及び絞り部73Bに加圧された空気が充填された状態になるとともに、当該充填状態が保持される。
なお、本実施形態では、畜圧部71内の圧力がポンプP1の吐出圧と同一圧力になった否か検出する圧力センサ等は設けていない。上面側空間C1とポンプP1と吐出側とを連通させるように三方弁V1を作動させた時から所定時間(例えば、2〜3秒)が経過したときに、畜圧部71内の圧力がポンプP1の吐出圧と同一圧力になったとみなして、三方弁V1を作動させている。
<噴射口から空気を吹き出す場合>
上面側空間C1を大気開放とするように三方弁V1を作動させる。これにより、弁部73Eの上面側に作用する圧力による力が、弁部73Eの下面側に作用する圧力による力を下回るので、図8に示すように、弁部73Eがスロート部73Cから離間してスロート部73Cが開くとともに、弁部73EがポンプP1側に繋がる空気通路を閉塞する。
そして、畜圧部71から噴出した気流は、円筒部73Fの外周に沿って弁部73E側に流通した後、スロート部73Cから膨張部73Dに流入する。膨張部73Dに流入した気流は、噴射口73Aからフィルタ3に向けて吹き出す。
3.圧力導入装置
3.1 圧力導入装置の概要
圧力導入装置9は、除塵装置7の作動時に、吸気側空間15Bに当該吸気側空間15Bの気圧より高い気圧を導入する装置である。つまり、圧力導入装置9は、噴射口73Aから空気を吹き出す際に、吸気側空間15Bの圧力を上昇させる装置である。具体的には、図9に示すように、圧力導入装置9は、送風機11が稼働しているときであって、除塵装置7の作動時に送風機11の吐出側圧力を吸気側空間15Bに導入する。
3.2 圧力導入装置の構成
圧力導入装置9は、図9に示すように、連通路9Aを開閉する開閉弁9B、及び開閉弁9Bを開閉作動させるアクチュエータ9C等を有している。連通路9Aは、送風機11の吐出側と送風機11の吸入側と連通させる。
本実施形態に係る連通路9Aは、仕切壁13に設けられた開口部であって、排気側空間15Aと吸気側空間15Bとを連通させる開口部である。アクチュエータ9Cは、除塵装置7の作動と連動させて開閉弁9Bを開閉作動させる。つまり、アクチュエータ9Cは、フィルタ3を除塵する際に連通路9Aを開き、かつ、非除塵時には、連通路9Aを閉じる。
開閉弁9Bは、連通路9Aに対して送風機11の吐出側(排気側空間15A)に配設されて変位する。すなわち、図1に示すように、開閉弁9Bは、仕切壁13に揺動可能に組み付けられたドア状の部材である。
そして、開閉弁9Bは、送風機11から吹き出す気流に対して、上流側に設けられたヒンジ9Dを介して仕切壁13に組み付けられている。このため、図9に示すように、連通路9Aを開く位置に開閉弁9Bがあるとき、開閉弁9Bは、送風機11から連通路9Aを閉じる向きの動圧(風圧)を受ける。
なお、除塵装置7、圧力導入装置9及び送風機11は、図示しない制御部(コントローラ)により作動制御されている。本実施形態に係る制御部は、送風機11が稼働し始めた時から所定時間毎に、送風機11を停止させることなく、除塵装置7と圧力導入装置9と連動して作動させる。
4.本実施形態に係る集塵装置の特徴
本実施形態では、除塵装置7を作動させる際に、吸気側空間15Bより高い気圧を吸気側空間15Bに導くので、フィルタ3を挟んで下流側と上流側との気圧差を小さくできる。これにより、フィルタ3の表面に付着堆積した粉塵を容易に除塵することが可能となる。
すなわち、フィルタ3に捕捉された粉塵の多くは、上流側のフィルタ表面に付着堆積していく。送風機11が稼働して空気がフィルタ3を通過している状態においては、フィルタ3の上流側は、下流側に比べて気圧が高い。
そして、送風機11が稼働している状態では、フィルタ3の表面に付着堆積した粉塵は、気圧差によりフィルタ3の表面に貼り付いた状態となる。このため、送風機11が稼働している状態で除塵装置7を作動させても効率よく除塵することが難しい、という問題がある。
これに対して、本実施形態では、除塵装置7の作動時に高い気圧を下流側の吸気側空間15Bに導入するので、送風機11を停止させることなく、気圧差を小さくできる。したがって、フィルタ3の表面に付着堆積した粉塵を容易に除塵することが可能となる。
圧力導入装置9は、送風機11の吐出側圧力を吸気側空間15Bに導く構成であるので、非常に短時間で吸気側空間15Bの気圧を上昇させることができる。したがって、送風機11(集塵装置1)を停止させることなく、フィルタ3を短時間で除塵することができる。
開閉弁9Bは、連通路9Aに対して吐出側(排気側空間15A)に配設されているので、送風機11の吐出圧を利用して連通路9Aを確実に閉塞できる。したがって、フィルタリング時に送風量が低下する等の送風ロスを低減でき得る。
つまり、フィルタリング時には、吐出側(排気側空間15A)の気圧が吸入側(吸気側空間15B)の気圧より高くなる。このため仮に、開閉弁9Bが連通路9Aに対して吸入側(吸気側空間15B)に配設されていると、排気側空間15Aと吸気側空間15Bとの気圧差により開閉弁9Bが僅かに開く可能性がある。開閉弁9Bが僅かに開くと、フィルタ室5Aに取り込まれる風量、つまりフィルタ3を通過する風量が低下するおそれがある。
これに対して、本実施形態では、開閉弁9Bは、連通路9Aに対して吐出側(排気側空間15A)に配設されているので、排気側空間15Aと吸気側空間15Bとの気圧差は、連通路9Aを閉じる向きの力を開閉弁9Bに作用させる。したがって、本実施形態では、フィルタリング時に送風量が低下することを抑制できる。
本実施形態に係る開閉弁9Bは、図9に示すように、連通路9Aを開く位置に開閉弁9Bがあるとき、送風機11から連通路9Aを閉じる向きの動圧を受ける構成となっている。これにより、動圧を利用して開閉弁9Bを確実に閉塞状態とすることができるので、送風ロスを確実に低減でき得る。
また、本実施形態に係る加速装置73では、畜圧部71から流出した気流は、絞り部73Bにて絞られて流速を上昇しながらスロート部73Cに至る。スロート部73Cから膨張部73Dに噴出された気流は、膨張部73Dにて膨張するため、当該気流は、1秒にも満たない非常に短い時間で一気にフィルタ3に向けて噴出され、音速以上又は亜音速まで加速され得る。
このため、噴射口73Aから噴射される空気は、畜圧部71に蓄えられていた空気の質量と同一の質量を有する「固まり」のごとく振る舞う。つまり、恰も噴射口73Aからフィルタ3には、衝撃波又は衝撃波に近いエネルギを有する気流(以下、当該気流も含めて「衝撃波」という。)が放射された状態となる。
したがって、フィルタ3は、上記の衝撃波(空気の固まり)によって叩き弾かれた状態となるので、その衝撃によりフィルタ3に付着した粉塵がフィルタ3から落下して除去される。なお、噴射口73Aから噴射される空気の流速を音速以上又は亜音速まで加速すれば、より確実に除塵することが可能である。
(第2実施形態)
第1実施形態に係る圧力導入装置9は、送風機11の吐出側と送風機11の吸入側と連通させることにより、送風機11の吐出側圧力を吸気側空間に導く構成であった。
これに対して、本実施形態に係る圧力導入装置9は、図10(b)に示すように、送風機11の吐出側を開閉弁9Bにより閉塞することにより、送風機11の吐出側圧力を吸気側空間に導く構成である。
すなわち、本実施形態では、図10(a)に示すように、除塵装置7の非作動時には送風機11の吐出側は開放状態となる。除塵装置7の作動時には、図10(b)に示すように、板状の開閉弁9Bがスライド変位して送風機11の吐出側が閉塞状態となる。
送風機11が稼働した状態で吐出側が閉塞されると、送風機11から吐出される空気が開閉弁9Bに衝突して圧力波が発生する。当該圧力波は、スクロールケーシング11B内を吐出側から吸入側に向かって伝播する。
したがって、本実施形態においても、送風機11の吐出側圧力が吸気側空間15Bに導かれるので、非常に短時間で吸気側空間15Bの気圧を上昇させることができる。延いては、送風機11(集塵装置1)を停止させることなく、フィルタ3を短時間で除塵することができる。
(その他の実施形態)
上述の実施形態では、送風機11の吐出側、つまり排気側空間15Aの気圧を吸気側空間15Bに導いたが、本発明はこれに限定されるものではない。すなわち、吸気側空間15Bの高い気圧をフィルタ3の下流側に導入すれば十分であるので、例えば、大気圧をフィルタ3の下流側に導入してもよい。
上述の実施形態では、開閉弁9Bが連通路9Aに対して吐出側(排気側空間15A)に配設されていたが、本発明はこれに限定されるものではなく、開閉弁9Bが連通路9Aに対して吸入側(吸気側空間15B)に配設されていてもよい。
上述の実施形態に係る開閉弁9Bは、連通路9Aを開く位置に開閉弁9Bがあるとき、送風機11から連通路9Aを閉じる向きの動圧を受ける構成となっていたが、本発明はこれに限定されるものではない。
上述の実施形態に係る送風機11は、排気側空間15Aに配設されて吸気側空間15Bから空気を吸引してフィルタ3を通過する気流を発生させていたが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、集塵装置1の外から粉塵を含む空気を吸引してフィルタ室5Aに吹き出すことにより、フィルタ3を通過する気流を発生させてもよい。
上述の実施形態に係る送風機11は、遠心ファンを用いた送風機であったが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、軸流ファンを用いた送風機であってもよい。
上述の実施形態に係る除塵装置7は、「高速で吹き出す空気の固まり」をフィルタ3に衝突させる方式であったが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば特開2010−89027号公報に記載の除塵装置であってもよい。
上述の実施形態では、「金属蒸気が凝集した微細な粒子」を粉塵として集塵する集塵装置を例に本発明に係る集塵装置1を説明したが、本発明の適用はこれに限定されるもので
はない。
すなわち、例えば、機械構造物や建築物等の表面に付着した付着物を除去するための除塵装置、又は機械加工時に発生する金属粉若しくは研磨加工粉塵の粉塵を集塵する集塵装置にも適用できる。
また、本発明は、特許請求の範囲に記載された発明の趣旨に合致するものであればよく、上述の実施形態に限定されるものではない。
1… 集塵装置
3… フィルタ
3A… 芯材
3B… 濾紙材
3C… 閉塞体
5… 集塵ケーシング
5A… フィルタ室
7… 除塵装置
9… 圧力導入装置
9A… 連通路
9B… 開閉弁
9C… アクチュエータ
9D… ヒンジ
11… 送風機
11A… 遠心ファン
11B… スクロールケーシング
11D… 吸気口
11E… 吹出口
13… 仕切壁
13A… 開口部
15A… 排気側空間
15B… 吸気側空間
17… 排気部
17A… 排気口
19… 集塵部
71… 畜圧部
73… 加速装置
73A… 噴射口
73B… 絞り部
73D… 膨張部
73F… 円筒部
73C… スロート部
73G… 小孔
73E… 弁部
73H… ハウジング

Claims (5)

  1. 雰囲気中の粉塵を除去する集塵装置において、
    フィルタ室内に取り込まれた雰囲気中の粉塵を捕捉するフィルタと、
    雰囲気を前記フィルタ室に取り込むとともに、前記フィルタを通過する気流を発生させる送風機と、
    前記フィルタに付着した粉塵を除去する除塵装置と、
    前記フィルタ挟んで「捕捉された粉塵が蓄積する側」と反対側を「前記フィルタより下流側」としたとき、前記除塵装置の作動時に作動する圧力導入装置であって、前記フィルタより下流側の空気通路に当該空気通路内の気圧より高い気圧を導入することにより、前記フィルタを挟んで下流側と前記「捕捉された粉塵が蓄積する側」との気圧差を小さくするための圧力導入装置とを備え、
    前記圧力導入装置は、
    前記送風機の吐出側を開閉する開閉弁、及び
    前記開閉弁を開閉作動させるアクチュエータであって、前記除塵装置の非作動時には前記開閉弁を開いて前記送風機の吐出側を開放状態とし、かつ、前記除塵装置の作動時には、前記開閉弁を閉じて前記送風機の吐出側を閉塞状態とするアクチュエータを有し、
    前記送風機の稼働時に前記吐出側が閉塞されると、前記送風機から吐出される空気が前記開閉弁に衝突して圧力波が発生し、当該圧力波が前記送風機内を経由して当該送風機の吐出側から吸入側に向かって前記フィルタより下流側の空気通路に伝播することにより、当該下流側の空気通路内に当該空気通路内の気圧より高い気圧が導入され
    さらに、前記フィルタは、略円筒状であって、軸線方向一端側が閉塞されており、
    前記除塵装置は、気流を音速以上又は亜音速まで加速し、当該加速された気流を前記フィルタの軸線方向他端側から前記フィルタ内に向けて噴射して当該気流により衝撃波を発生させ、その衝撃波を利用して当該フィルタに付着した付着物を除去することを特徴とすることを特徴とする集塵装置。
  2. 前記開閉弁は、板状の部材がスライド変位することにより前記送風機の吐出側を開閉することを特徴とする請求項1に記載の集塵装置。
  3. 前記除塵装置は、
    加圧された気体が充填される畜圧部と、
    前記フィルタに向けて前記気体を吹き出す噴射口を有する加速装置であって、前記畜圧部から放出された気流を絞る絞り部、当該絞り部のうち最も流路断面積が縮小したスロート部から噴出された気流を膨張させる膨張部、及び前記スロート部を開閉する弁部を有し、気流を音速以上又は亜音速まで加速する加速装置と
    を有して構成されていることを特徴とする請求項1又は2に記載の集塵装置。
  4. 前記送風機は、遠心ファン、スクロールケーシング及び電動モータを有して構成されていることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1項に記載の集塵装置。
  5. 前記フィルタは、金属蒸気が凝集した微細な粒子を捕捉可能であることを特徴とする請求項1ないしのいずれか1項に記載の集塵装置。
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