JP6674465B2 - 極紫外波長範囲のためのマスクを生成する方法、マスク、及びデバイス - Google Patents
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Description
1124 第2の群の欠陥を優先順位付けする段階
1126 少なくとも1つの高優先順位欠陥を第1の群に追加する段階
1132 第1の群に対して吸収体パターンを最適化する段階
1136 第2の群の欠陥を修復する段階
Claims (20)
- 欠陥(220,320,520,620,920)を有するマスクブランク(250,350,550,950)から進んで極紫外波長範囲のためのマスクを生成する方法であって、
a.前記欠陥(220,320,520,620,920)を第1の群と1つの第2の群とに分類する段階であって、前記第1の群は修復不能な欠陥を含み、前記第2の群は修復可能な欠陥を含む、段階、
b.前記第2の群の前記欠陥に優先順位を割り振る段階であって、前記優先順位は、前記第2の群の欠陥を修復するための費用又は有効欠陥サイズ(370,740)を含み、前記有効欠陥サイズ(370,740)は、欠陥(220,320,520,620,920)のうちで、これらの欠陥の修復又は補償後に露光されるウェーハ上で該欠陥の残っている部分(380)がもはや可視ではない部分を含む、段階、
c.前記マスクブランク(250,350,550,950)上の吸収体パターン(170)の配置を該配置された吸収体パターン(170)を用いて前記第1の群の最大個数の前記欠陥を補償するために最適化する段階、及び
d.前記最適化された吸収体パターン(170)を前記マスクブランク(250,350,550,950)に適用する段階、
を含むことを特徴とする方法。 - 修復方法を用いて前記第2の群の前記欠陥を少なくとも部分的に修復する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記欠陥(220,320,520,620,920)を修復する段階は、前記適用された吸収体パターン(170)の少なくとも1つの要素を修正する段階、及び/又は前記マスクブランク(250,350,550,950)の面(260,360,560)の少なくとも一部を修正する段階を含むことを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記第2の群の1又は複数の欠陥の効果を少なくとも部分的に補償するために前記吸収体パターンの1又は複数の要素を前記マスクブランクに適用する前に更に最適化する段階、
を更に含むことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の方法。 - 段階b.は、集積回路を生成する方法を用いてマスクスタック(940)の吸収体パターンから吸収体パターン(170)を選択する段階を含むことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の方法。
- 段階b.は、前記マスクブランク(250,350,550)の向きを選択する段階、該マスクブランク(250,350,550,950)を変位させる段階、及び/又は該マスクブランク(250,350,550,950)を回転させる段階を含むことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の方法。
- 吸収体パターン(170)を修正することによって欠陥(220,320,520,620,920)を修復することができるか否か、又は該吸収体パターン(170)の前記配置を最適化することによって欠陥(220,320,520,620,920)を補償すべきであるか否かを決定する目的のために、前記マスクブランク(250,350,550,950)の該欠陥(220,320,520,620,920)を特徴付ける段階を更に含むことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の方法。
- 前記欠陥(220,320,520,620,920)を特徴付ける段階は、前記有効欠陥サイズ(370,740)を決定する段階を更に含み、及び/又は
前記有効欠陥サイズは、欠陥(220,320,520,620,920)の前記特徴付けにおける誤差により、及び/又は前記露光に使用される光源の非テレセントリック性に基づいて決定される、
ことを特徴とする請求項7に記載の方法。 - 前記欠陥(220,320,520,620,920)を特徴付ける段階は、前記マスクブランク(250,350,550,950)の多層構造(240,340,540)内の該欠陥(220,320,520,620,920)の伝播(660)を決定する段階を更に含むことを特徴とする請求項7又は請求項8に記載の方法。
- 段階a.は、欠陥(220,320,520,620,920)を該欠陥(220,320,520,620,920)が面感知測定によって検出することができない場合、該欠陥(220,320,520,620,920)が予め定められたサイズを超える場合、及び/又は該欠陥(220,320,520,620,920)の位置(430)を決定するときに異なる測定方法が異なる結果を生成する場合に、前記第1の群に分類する段階を含むことを特徴とする請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の方法。
- 段階a.は、請求項10に言及しなかった前記マスクブランク(250,350,550,950)の前記欠陥(220,320,520,620,920)を前記第2の群に分類する段階を含むことを特徴とする請求項10に記載の方法。
- 段階c.を実施する前に前記第2の群の高い優先順位を有する少なくとも1つの欠陥(220,320,520,620,920)を前記第1の群に割り振る段階を更に含むことを特徴とする請求項1から請求項11のいずれか1項に記載の方法。
- 前記第2の群の高い優先順位を有する少なくとも1つの欠陥(220,320,520,620,920)を前記第1の群に該第1の群の欠陥(220,320,520,620,920)の全ての欠陥を前記吸収体パターン(170)の前記配置を最適化することによって補償することができる限り割り振る工程を繰り返す段階を更に含むことを特徴とする請求項12に記載の方法。
- 前記第2の群を少なくとも部分的に修復する工程を2つの部分段階に分割する段階を更に含み、
第1の部分段階が、前記第1の群の前記欠陥を補償する工程の前に実施される、
ことを特徴とする請求項1から請求項13のいずれか1項に記載の方法。 - 極紫外波長範囲のためのマスクブランク(250,350,550,950)の欠陥(220,320,520,620,920)を処理するためのデバイスであって、
a.前記欠陥(220,320,520,620,920)を第1の群と1つの第2の群とに分類するための手段であって、前記第1の群は修復不能な欠陥を含み、前記第2の群は修復可能な欠陥を含む、手段、
b.前記第2の群の前記欠陥に優先順位を割り振るための手段であって、前記優先順位は、前記第2の群の欠陥を修復するための費用又は有効欠陥サイズ(370,740)を含み、前記有効欠陥サイズ(370,740)は、欠陥(220,320,520,620,920)のうちで、これらの欠陥の修復又は補償後に露光されるウェーハ上で該欠陥の残っている部分(380)がもはや可視ではない部分を含む、手段、
c.前記マスクブランク(250,350,550,950)上の吸収体パターン(170)の配置を該配置された吸収体パターン(170)を用いて前記第1の群の最大個数の前記欠陥を補償するために最適化するための手段、及び
d.前記最適化された吸収体パターン(170)を前記マスクブランク(250,350,550,950)に適用するための手段、
を含むことを特徴とするデバイス。 - 前記欠陥(220,320,520,620,920)を分類するための前記手段及び前記吸収体パターン(170)の配置を最適化するための前記手段は、少なくとも1つのコンピュータユニットを含むことを特徴とする請求項15に記載のデバイス。
- 前記第2の群の前記欠陥を少なくとも部分的に修復するための手段を更に含むことを特徴とする請求項15又は請求項16に記載のデバイス。
- 前記第2の群の前記欠陥を少なくとも部分的に修復するための前記手段は、少なくとも1つの走査粒子顕微鏡と、真空チャンバに前駆体ガスを局所的に提供するための少なくとも1つのガス給送器とを含むことを特徴とする請求項17に記載のデバイス。
- マスクブランク(250,350,550,950)の前記欠陥(220,320,520,620,920)を特徴付けるための手段を更に含み、
前記特徴付けるための手段は、走査粒子顕微鏡、X線ビーム装置、及び/又は走査プローブ顕微鏡を含む、
ことを特徴とする請求項15から請求項18のいずれか1項に記載のデバイス。 - 請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の方法の全ての段階を実施するための命令、
を含むことを特徴とするコンピュータプログラム。
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