JP6662438B2 - 軟磁性合金および磁性部品 - Google Patents
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Description
Feを主成分とし、Pを含有する軟磁性合金であって、
Fe−rich相およびFe−poor相を含み、
前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が前記軟磁性合金におけるPの平均濃度に対して原子数比で1.5倍以上であることを特徴とする。
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.030
0≦b≦0.150
0.001≦c≦0.150
0≦d≦0.200
0≦e≦0.200
0≦α≦0.500
であってもよい。
組成式(Fe1−αXα)(1−(a+b+c+d+e))CuaM1bPcM2dSieで表され、
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.030
0≦b≦0.150
0.001≦c≦0.150
0≦d≦0.200
0≦e≦0.200
0≦α≦0.500
である。
組成式(Fe1−αXα)(1−(a+b+c+d+e))CuaM1bPcM2dSieで表され、
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.030
0.020≦b≦0.150
0.001≦c≦0.150
0.025≦d≦0.200
0≦e≦0.070
0≦α≦0.500
である。
組成式(Fe1−αXα)(1−(a+b+c+d+e))CuaM1bPcM2dSieで表される軟磁性合金であって、
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.030
0.010≦b≦0.100
0.001≦c≦0.070
0.020≦d≦0.140
0.070≦e≦0.175
0≦α≦0.500
である。
組成式(Fe1−αXα)(1−(a+b+c+d+e))CuaM1bPcM2dSieで表される軟磁性合金であって、
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.010
0≦b<0.010
0.010≦c≦0.150
0.090≦d≦0.130
0≦e≦0.080
0≦α≦0.500
である。
Fe:81.0at%、Nb:7.0at%、P:3.0at%、B:9.0at%の組成の母合金が得られるように各種原料金属等をそれぞれ秤量した。そして、チャンバー内で真空引きした後、高周波加熱にて溶解し母合金を作製した。
実験例2では、母合金の組成を表2に記載の組成(上記組成(2)または上記組成(2)に近い組成)に変化させた。そして、表1の試料番号16と同条件で熱処理を行った。具体的には、セッターの材質をカーボンとし、1回目の熱処理温度を450℃、1回目の
熱処理時間を1時間、2回目の熱処理温度を650℃、2回目の熱処理時間を1時間とした。
実験例3では、母合金の組成を表4に記載の組成(上記組成(3)または上記組成(3)に近い組成)に変化させた。そして、表1の試料番号16と同条件で熱処理を行った。具体的には、セッターの材質をカーボンとし、1回目の熱処理温度を450℃、1回目の
熱処理時間を1時間、2回目の熱処理温度を650℃、2回目の熱処理時間を1時間とした。
実験例4では、母合金の組成を表6に記載の組成(上記組成(4)または上記組成(4)に近い組成)に変化させた。そして、表1の試料番号16と同条件で熱処理を行った。具体的には、セッターの材質をカーボンとし、1回目の熱処理温度を450℃、1回目の
熱処理時間を1時間、2回目の熱処理温度を650℃、2回目の熱処理時間を1時間とした。
実験例5では、試料番号16のFeの一部をX1に置換した点以外は実験例2と同条件で実施し、評価した。X線回折測定の結果、全ての実施例は非晶質であった。そして、全ての実施例でFe−poor相およびFe−rich相が存在した。結果を表8に示す。
実験例6では、試料番号50のMの種類を変化させた点以外は実験例2と同条件で試料番号123〜135の軟磁性合金を作製した。試料番号52のMの種類を変化させ、bを0.080から0.060に変化させた点以外は実験例2と同条件で試料番号136〜148の軟磁性合金を作製した。試料番号54のMの種類を変化させた点以外は実験例2と同条件で試料番号149〜161の軟磁性合金を作製した。そして、実験例2と同様に評価した。X線回折測定の結果、結晶が存在した比較例では、軟磁性合金全体としてはFe濃度が一定でありFe−poor相およびFe−rich相が存在しなかった。また、各比較例については比抵抗ρの測定を行わなかった。
薄帯作製時における溶融金属の温度、および熱処理条件を変化させた点以外は実施例16と同条件で実施した。試験条件を表10に示す。また、実験例7では熱処理前の初期微結晶の平均粒径および熱処理後のFe基ナノ結晶の平均粒径を記載した。なお、全ての実施例において熱処理前の薄帯は非晶質であった。また、表11には実験例2と同様にして評価した結果を示す。
実験例8では、ロール温度およびチャンバー内蒸気圧を変化させた点以外は実施例16と同条件で実施し、実験例1と同様にして評価した。結果を表12に示す。なお、表12で「アルゴン充填」と記載している試料は、露点調整したアルゴンをチャンバー内に充填してチャンバー内の蒸気圧を1hPa以下にした試料である。また、「真空」と記載している試料は、チャンバー内を真空に近い状態として蒸気圧を1hPa以下にした試料である。
13… Fe−poor相
31… ノズル
32… 溶融金属
33… ロール
34… 薄帯
35… チャンバー
Claims (8)
- Feを主成分とし、Pを含有する軟磁性合金であって、
組成式(Fe1−αXα)(1−(a+b+c+d+e))CuaM1bPcM2dSieで表され、
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.030
0.020≦b≦0.150
0.001≦c≦0.150
0.025≦d≦0.200
0≦e≦0.070
0≦α≦0.500
であり、
Feの含有量は89.9at%以下であり、
Fe−rich相およびFe−poor相を含み、
前記Fe−rich相はFe基ナノ結晶からなる構造を有し、前記Fe−poor相は非晶質からなる構造を有し、
前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が前記軟磁性合金におけるPの平均濃度に対して原子数比で1.5倍以上であり、
前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が1.0at%以上50at%以下であることを特徴とする軟磁性合金。 - Feを主成分とし、Pを含有する軟磁性合金であって、
組成式(Fe1−αXα)(1−(a+b+c+d+e))CuaM1bPcM2dSieで表される軟磁性合金であって、
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.030
0.010≦b≦0.100
0.001≦c≦0.070
0.020≦d≦0.140
0.070≦e≦0.175
0≦α≦0.500
であり、
Feの含有量は89.9at%以下であり、
Fe−rich相およびFe−poor相を含み、
前記Fe−rich相はFe基ナノ結晶からなる構造を有し、前記Fe−poor相は非晶質からなる構造を有し、
前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が前記軟磁性合金におけるPの平均濃度に対して原子数比で1.5倍以上であり、
前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が1.0at%以上50at%以下であることを特徴とする軟磁性合金。 - Feを主成分とし、Pを含有する軟磁性合金であって、
組成式(Fe1−αXα)(1−(a+b+c+d+e))CuaM1bPcM2dSieで表される軟磁性合金であって、
XはCoおよびNiから選択される1種以上であり、
M1はTi,Zr,Hf,Nb,Ta,Mo,V,W,Cr,Al,Mn,Zn,La,Y,Sから選択される1種以上であり、
M2はBおよびCから選択される1種以上であり、
0≦a≦0.010
0≦b<0.010
0.010≦c≦0.150
0.090≦d≦0.130
0≦e≦0.080
0≦α≦0.500
であり、
Feの含有量は89.9at%以下であり、
Fe−rich相およびFe−poor相を含み、
前記Fe−rich相はFe基ナノ結晶からなる構造を有し、前記Fe−poor相は非晶質からなる構造を有し、
前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が前記軟磁性合金におけるPの平均濃度に対して原子数比で1.5倍以上であり、
前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が1.0at%以上50at%以下であることを特徴とする軟磁性合金。 - 前記Fe−poor相におけるPの平均濃度が前記Fe−rich相におけるPの平均濃度の3.0倍以上である請求項1〜3のいずれかに記載の軟磁性合金。
- 前記Fe基ナノ結晶の平均粒径が5nm以上30nm以下である請求項1〜4のいずれかに記載の軟磁性合金。
- 薄帯形状である請求項1〜5のいずれかに記載の軟磁性合金。
- 粉末形状である請求項1〜5のいずれかに記載の軟磁性合金。
- 請求項1〜7のいずれかに記載の軟磁性合金からなる磁性部品。
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JP2018225968A JP6662438B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 軟磁性合金および磁性部品 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Publication Number | Publication Date |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2018225968A Active JP6662438B2 (ja) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 軟磁性合金および磁性部品 |
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