JP6659765B2 - ウェハの装着用受け取り手段 - Google Patents
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Description
‐ 第1のウェハの第1接触面に沿った歪値の第1の歪マップ、及び/又は
‐ 第2のウェハの第2接触面に沿った歪値の第2の歪マップ、並びに
‐ 局所的な位置合わせ誤差を決定することが出来る、第1及び/又は第2の歪マップを評価するための評価手段
を有する装置に関する。
1. ‐装着面(1o)と、
‐前記装着面(1o)上へのウェハの装着のための装着手段と、
‐前記ウェハの全体的なねじれの少なくとも部分的な補償のために、能動的にかつ局所的に制御可能な補償手段(3、4、5、6)と、
を備えることを特徴とする、前記ウェハの受け取り及び装着のための受け取り手段。
2. 前記装着面(1o)の温度に、前記補償手段(3、4、5、6)によって局所的に影響を与えることができることを特徴とする項目1に記載の受け取り手段。
3. 前記装着面(1o)の歪に、前記補償手段(3、4、5、6)によって影響を与えることができることを特徴とする項目1又は2に記載の受け取り手段。
4. 前記補償手段(3、4、5、6)は、マトリクス状に配置されたピエゾ要素(4)であり、前記ピエゾ要素(4)は、前記装着面(1o)の背面(1r)において作動することができることを特徴とする項目3に記載の受け取り手段。
5. 前記ピエゾ要素(4)は、個々に作動することができることを特徴とする項目4に記載の受け取り手段。
6. 前記装着面(1o)の形状に、前記補償手段(3、4、5、6)によって、前記ウェハに垂直な方向において影響を与えることができることを特徴とする項目1乃至5のいずれか一項に記載の受け取り手段。
7. 前記装着面(1o)の形状に、前記補償手段(3、4、5、6)による機械的作用によって、前記ウェハに垂直な方向において影響を与えることができることを特徴とする項目6に記載の受け取り手段。
8. 前記装着面(1o)を、前記装着面(1o)の背面(1r)から、前記補償手段(3、4、5、6)によって圧力に曝すことができることを特徴とする項目1乃至7のいずれか一項に記載の受け取り手段。
9. 複数の能動的制御要素(3、4、5、6)としての前記補償手段(3、4、5、6)は、前記装着面(1o)に一体化されていることを特徴とする項目1乃至8のいずれか一項に記載の受け取り手段。
10. 複数の能動的制御要素(3、4、5、6)としての前記補償手段(3、4、5、6)は、前記装着面(1o)に埋め込まれていることを特徴とする項目9に記載の受け取り手段。
11. 前記能動的制御要素(3、4、5、6)のそれぞれ又は前記能動的制御要素(3、4、5、6)のグループを、別々に作動することができることを特徴とする項目9又は10に記載の受け取り手段。
12. −装着面(1o)と、
−前記装着面(1o)上へのウェハの装着のための装着手段と、
−前記ウェハの局所的なねじれ及び全体的なねじれの一方又は両方の少なくとも部分的な能動的な補償のために、温度によって制御可能な補償手段(3,4,5,6)と、
を備えることを特徴とする、前記ウェハの受け取り及び装着のための受け取り手段。
13. 前記装着面(1o)の温度に、前記補償手段(3、4、5、6)によって局所的に影響を与えることができることを特徴とする項目12に記載の受け取り手段。
14. 能動的制御要素として、前記装着面(1o)の背面(1r)に、複数の加熱要素及び複数の冷却要素の一方又は両方が設けられていることを特徴とする項目12又は13に記載の受け取り手段。
15. 前記加熱要素は、ペルチェ要素であることを特徴とする項目14に記載の受け取り手段。
16. ‐第1のウェハが第2のウェハに接合されるときに、前記第1のウェハの前記第2のウェハに対する歪及びねじれの一方又は両方によって生じた局所的な位置合わせエラーを、前記第1のウェハの第1の歪マップ及び前記第2のウェハの第2の歪マップの一方又は両方と、前記第1及び第2の歪マップの一方又は両方の評価のための評価手段による評価とによって決定する手段と、
‐前記ウェハの少なくとも1つを受け取るための、項目1乃至15のいずれか一項に記載の、少なくとも1つの受け取り手段と、
‐ポジションマップ及び前記歪マップの一方又は両方と、前記補償手段による同時の補償とを考慮しながら、前記第1のウェハの前記第2のウェハに対する歪及びねじれの一方又は両方を前記位置合わせエラーの評価に基づいて補償して前記ウェハの位置合わせをするための位置合わせ手段と、
を特徴とする、第1のウェハの第2のウェハとの位置合わせのための装置。
17. ‐第1のウェハの第1の歪マップ及び第2のウェハの第2の歪マップの一方又は両方を検出し、評価手段によって前記第1及び第2の歪マップの一方又は両方の評価を行い、局所的な位置合わせエラーを決定するステップと、
‐項目1乃至15のいずれか一項に記載の受け取り手段上に前記ウェハのうちの少なくとも1つを受け取るステップと、
‐ポジションマップ及び前記歪マップの一方又は両方と、前記補償手段による同時の補償とを考慮しながら、前記第1のウェハの前記第2のウェハに対する歪及びねじれの一方又は両方を前記位置合わせエラーの評価に基づいて補償して前記ウェハの位置合わせをするステップと、
をこの順に有する、前記第1のウェハの前記第2のウェハとの位置合わせのための方法。
18. 前記位置合わせの後に、前記第1及び第2のウェハの一方又は両方のポジションマップ及び歪マップの一方又は両方の検出が行われることを特徴とする項目17に記載の方法。
19. 前記検出は、前記位置合わせの後に、繰り返されることを特徴とする項目18に記載の方法。
1a・・・リング形状肩部
1i・・・内部空間
1o・・・装着面
1w・・・周壁
2・・・開口部
3・・・加熱/冷却要素
4・・・ピエゾ要素
5・・・ピン
5e・・・ピン端部
6・・・圧力室
6a・・・頂壁
7・・・ガイド開口部
Claims (7)
- ‐第1のウェハの第2のウェハに対する歪及びねじれの一方又は両方によって生じた局所的な位置合わせエラーを、前記第1のウェハの第1の歪マップ及び前記第2のウェハの第2の歪マップの一方又は両方と、前記第1及び第2の歪マップの一方又は両方の位置それぞれに対する評価のための評価手段によるベクトル評価とによって決定する手段と、
‐前記ウェハのうちの少なくとも1つを受け取って装着するための少なくとも1つの受け取り手段であって、装着面(1o)と、前記装着面(1o)上へのウェハの装着のための装着手段と、前記ウェハの局所的なねじれ及び全体的なねじれの一方又は両方の少なくとも部分的な能動的な補償のために、液圧式及び/又は空圧式に局所的に制御可能な補償手段(3,4,5,6)とを有する、少なくとも1つの受け取り手段と、
‐前記第1及び第2のウェハの一方又は両方のポジションマップ及び前記歪マップの一方又は両方に基づいて、前記補償手段による補償を補うように、前記第1のウェハの前記第2のウェハに対する歪及びねじれの一方又は両方を前記位置合わせエラーの前記ベクトル評価に基づいて補償して前記ウェハの位置合わせをするための位置合わせ手段と、
を備えることを特徴とする、第1のウェハの第2のウェハとの位置合わせのための装置。 - 前記補償手段は、複数の能動的制御要素として設けられており、前記複数の能動的制御要素の制御要素それぞれ又は制御要素のグループは、別々に作動可能であることを特徴とする請求項1に記載の装置。
- 前記補償手段の制御を行う制御手段が、前記受け取り手段中にモジュールとして設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の装置。
- ‐第1のウェハの第1の歪マップ及び第2のウェハの第2の歪マップの一方又は両方を検出し、評価手段によって前記第1及び第2の歪マップの一方又は両方の位置それぞれに対するベクトル評価を行い、局所的な位置合わせエラーを決定するステップと、
‐前記ウェハのうちの少なくとも1つを受け取って装着するための少なくとも1つの受け取り手段であって、装着面(1o)と、前記装着面(1o)上へのウェハの装着のための装着手段と、前記ウェハの局所的なねじれ及び全体的なねじれの一方又は両方の少なくとも部分的な能動的な補償のために、液圧式及び/又は空圧式に局所的に制御可能な補償手段(3,4,5,6)とを有する、少なくとも1つの受け取り手段上に前記ウェハのうちの少なくとも1つを受け取るステップと、
‐前記第1及び第2のウェハの一方又は両方のポジションマップ及び前記歪マップの一方又は両方に基づいて、前記補償手段による補償を補うように、前記第1のウェハの前記第2のウェハに対する歪及びねじれの一方又は両方を前記位置合わせエラーの前記ベクトル評価に基づいて補償して前記ウェハの位置合わせをするステップと、
をこの順に有する、前記第1のウェハの前記第2のウェハとの位置合わせのための方法。 - 前記補償手段は、複数の能動的制御要素として設けられており、前記複数の能動的制御要素の制御要素それぞれ又は制御要素のグループを、別々に作動させることが可能であることを特徴とする請求項4に記載の方法。
- 前記位置合わせの後に、前記第1及び第2のウェハの一方又は両方の前記ポジションマップ及び前記歪マップの一方又は両方の取得が行われることを特徴とする請求項4又は5に記載の方法。
- 前記取得は、前記位置合わせの後に、繰り返されることを特徴とする請求項6に記載の方法。
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