JP6658952B2 - プローブピン - Google Patents
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Description
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の一端から前記長手方向に沿って延在しかつ互いに離れる方向に撓み可能な一対の脚部を有し、前記一対の脚部の先端に配置されかつ前記一対の脚部を介して前記弾性部により前記長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凸接点に接触可能な一対の接点部を有する第1接触部と、
前記弾性部の他端に配置されかつ前記弾性部により前記第1接触部の付勢方向とは反対方向に付勢されかつ前記第1接触部と電気的に接続された第2接触部と、
を備え、
前記一対の脚部の間に、前記検査対象物の前記凸接点を挿入可能な隙間を有しており、
前記隙間に前記凸接点を挿入するときに、前記第1接触部の前記一対の脚部の前記一対の接点部と前記凸接点とが接触可能である。
本発明の第1実施形態のプローブピン10は、例えば、図1に示すように、検査装置の基板90に取り付けられたソケット1に収納された状態で使用され、ソケット1と共に検査ユニットを構成している。このソケット1では、図2に示すように、複数対の収納部2が中心線CL0に対して対称に設けられており、この収納部2にプローブピン10が収納されている。
図8に示すように、第2実施形態のプローブピン110は、一対の脚部32,33の対向する面(接点表面)の各々にストッパ50が設けられている点で、第1実施形態のプローブピン10とは異なっている。
図11に示すように、第3実施形態のプローブピン210は、一対の脚部32,33を連結するストッパ60が設けられている点で、第1実施形態のプローブピン10とは異なっている。
図13に示すように、第4実施形態のプローブピン310は、第1接触部30が、長さの異なる一対の脚部132,133と、この一対の脚部132,133を連結する連結部70とを有するとともに、一対の脚部132,133の中心線に対して非対称に一対の接点が配置されている点で、第1実施形態のプローブピン10とは異なっている。
長手方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の一端から前記長手方向に沿って延在しかつ互いに離れる方向に撓み可能な一対の脚部を有し、前記一対の脚部の先端に配置されかつ前記一対の脚部を介して前記弾性部により前記長手方向に沿った方向に付勢されかつ検査対象物の凸接点に接触可能な一対の接点部を有する第1接触部と、
前記弾性部の他端に配置されかつ前記弾性部により前記第1接触部の付勢方向とは反対方向に付勢されかつ前記第1接触部と電気的に接続された第2接触部と、
を備え、
前記一対の脚部の間に、前記検査対象物の前記凸接点を挿入可能な隙間を有しており、
前記隙間に前記凸接点を挿入するときに、前記第1接触部の前記一対の脚部の前記一対の接点部と前記凸接点とが接触可能である。
前記一対の脚部の相互に向かい合う面の少なくとも一方に、前記凸接点の挿入を規制するストッパを有している。
前記一対の脚部の少なくとも一方の脚部が、前記一対の脚部の他方の脚部から離れる方向に撓み可能である。
前記一対の脚部の前記長手方向沿いの中心線と、前記弾性部の前記長手方向沿いの中心線とがずれている。
前記第1接触部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の相互に向かい合う面の各々に、前記弾性部の付勢方向に向かうに従って互いに離れる傾斜面を有している。
前記第1接点部の前記一対の脚部の前記一対の接点部の各々が、湾曲面を有している。
2 収納部
3 溝部
4 貫通孔
10,110,210,310 プローブピン
20 弾性部
120 コイルばね
21 直線部
22 湾曲部
23 貫通孔
221 第1湾曲部
222 第2湾曲部
30,130 第1接触部
31 支持部
32,33、132,133 脚部
321,331 接点部
34 隙間
35 湾曲面
36 傾斜面
37 挿入部
38 貫通孔
40,140 第2接触部
41 基部
42 突出部
43 貫通孔
44,45 弾性片
46,47 突起
50,60 ストッパ
51,61 突起部
70 連結部
80 検査対象物
81 凸接点
90 基板
91 端子
CL0 中心線(ソケット)
CL1 中心線(弾性部)
CL2 中心線(一対の脚部)
L1 (第1湾曲部の頂点を結ぶ)直線
L2 (第2湾曲部の頂点を結ぶ)直線
W1 弾性部の幅
W2 支持部の幅
W3 支持部から湾曲面の頂点までの距離
P1 (隣接プローブピンの突出部間の)ピッチ
P2 (隣接するプローブピンの脚部間の)ピッチ
Claims (4)
- 第1方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の前記第1方向の一端に配置され、前記第1方向に沿ってそれぞれ延びると共に前記第1方向の前記弾性部から遠い方の端部に検査対象物の凸接点に接触可能な第1接点部がそれぞれ設けられた第1脚部および第2脚部を有する第1接触部と、
前記弾性部の前記第1方向の他端に配置され、前記第1接触部に対して電気的に接続された第2接触部と
を備え、
少なくとも前記第2脚部の前記第1接点部が、接触した前記凸接点を滑りながら移動させる傾斜面を有し、
前記第2脚部が、前記傾斜面および前記第1脚部の前記第1方向の先端に前記凸接点が同時に接触可能な前記第1方向の長さを有している、プローブピン。 - 第1方向に沿って伸縮する弾性部と、
前記弾性部の前記第1方向の一端に配置され、前記第1方向に沿ってそれぞれ延びると共に前記第1方向の前記弾性部から遠い方の端部に検査対象物の凸接点に接触可能な第1接点部がそれぞれ設けられた第1脚部および第2脚部を有する第1接触部と、
前記弾性部の前記第1方向の他端に配置され、前記第1接触部に対して電気的に接続された第2接触部と
を備え、
少なくとも前記第1脚部の前記第1接点部が、接触した前記凸接点を滑りながら移動させる傾斜面を有し、
前記第1脚部および前記第2脚部の各々が、前記第1方向において前記凸接点に接触可能な第2接点部を有している、プローブピン。 - 前記弾性部が、
前記第1方向に交差する第2方向に沿って延びる複数の延在部と、
隣接する前記延在部に接続された少なくとも1つの湾曲部と
を有し、
前記第1接触部の前記第2方向の一方端よりも、前記第2方向において前記第1接触部の前記第2方向の他方端側に配置されている、請求項1または2のプローブピン。 - 前記延在部および前記湾曲部の各々が、
前記プローブピンの板厚方向に貫通しかつ前記弾性部の形状に沿って延びる貫通孔を有する、請求項3のプローブピン。
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JP2019133983A JP6658952B2 (ja) | 2019-07-19 | 2019-07-19 | プローブピン |
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JP2019133983A JP6658952B2 (ja) | 2019-07-19 | 2019-07-19 | プローブピン |
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JP2004138405A (ja) * | 2002-10-15 | 2004-05-13 | Renesas Technology Corp | 半導体装置測定用プローブ |
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-
2019
- 2019-07-19 JP JP2019133983A patent/JP6658952B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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