JP6653881B2 - インライン型濃度計測装置 - Google Patents
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Description
3 光入射部
4 窓材
5 ガス流路
5a 光路用ガス流路部
5B 第一連通路
5B1 ガス流入口
5C 第二連通路
5C1 ガス流出口
6 窓材
7 フォトダイオード
8 受光部
15 測定セル本体
15d 嵌合凹部
15e 段部
15f 嵌合凹部
15g 段部
25 保持体
25a 嵌合凸部
25b 段部
30 保持体
30a 嵌合凸部
30b 段部
P1 ガス流入路
Claims (11)
- ガス流路が形成された測定セル本体と、該測定セル本体に接続されて窓材を備える光入射部と、前記測定セル本体に接続されて窓材を備える受光部と、を備え、
前記ガス流路は、第1の端部と第2の端部とを有し前記第1の端部に配置された前記光入射部の窓材と前記第2の端部に配置された前記受光部の窓材との間に直線状に形成されて光路となる光路用ガス流路部と、前記測定セル本体に形成されたガス流入口から前記光路用ガス流路部に連通する第一連通部と、前記測定セル本体に形成されたガス流出口から前記光路用ガス流路部に連通する第二連通部と、を備え、
前記測定セル本体は、前記光入射部の窓材を嵌合凹部の底面において支持するブロック体であって前記嵌合凹部に対応する嵌合凸部を有する前記光入射部の保持体との間で前記光入射部の窓材を挟持するブロック体を含み、前記第一連通部は、前記ブロック体において前記ガス流入口から前記光路用ガス流路部の前記第1の端部に延びる直線状の穴として形成されており、
前記第一連通部は、前記第1の端部よりも前記ガス流入口が前記光路用ガス流路部の中心直交面に対してより近く位置するようにして、前記ガス流入口から前記第1の端部に配置された前記光入射部の窓材の露出面周縁部に向けて前記ブロック体の内部を斜めに直線状に延び、
前記第1の端部において鋭角に折れ曲がる流路に沿って流れるガスによって前記光入射部の窓材の露出面全体にガスの流れを発生させ、前記ガスが滞留するガス滞留部が形成されないように構成されていることを特徴とするインライン型濃度計測装置。 - 前記第二連通部が前記ガス流出口から前記受光部の窓材に向けて斜めに延びていることを特徴とする請求項1に記載のインライン型濃度計測装置。
- ガス流路が形成された測定セル本体と、該測定セル本体に接続されて窓材を備える光入射部と、前記測定セル本体に接続されて窓材を備える受光部と、を備え、
前記ガス流路は、第1の端部と第2の端部とを有し前記第1の端部に配置された前記光入射部の窓材と前記第2の端部に配置された前記受光部の窓材との間に直線状に形成されて光路となる光路用ガス流路部と、前記測定セル本体に形成されたガス流入口から前記光路用ガス流路部に連通する第一連通部と、前記測定セル本体に形成されたガス流出口から前記光路用ガス流路部に連通する第二連通部と、を備え、
前記測定セル本体は、前記受光部の窓材を嵌合凹部の底面において支持するブロック体であって前記嵌合凹部に対応する嵌合凸部を有する前記受光部の保持体との間で前記受光部の窓材を挟持するブロック体を含み、前記第二連通部は、前記ブロック体において前記ガス流出口から前記光路用ガス流路部の前記第2の端部に延びる直線状の穴として形成されており、
前記第二連通部は、前記第2の端部よりも前記ガス流出口が前記光路用ガス流路部の中心直交面に対してより近く位置するようにして、前記ガス流出口から前記第2の端部に配置された前記受光部の窓材の露出面周縁部に向けて前記ブロック体の内部を斜めに直線状に延び、
前記第2の端部において鋭角に折れ曲がる流路に沿って流れるガスによって前記受光部の窓材の露出面全体にガスの流れを発生させ、前記ガスが滞留するガス滞留部が形成されないように構成されていることを特徴とするインライン型濃度計測装置。 - 前記第一連通部の流路断面積が、前記光路用ガス流路部の流路断面積より小さいことを特徴とする請求項1又は3に記載のインライン型濃度計測装置。
- 前記光入射部の保持体が、光ファイバーを保持するとともに前記窓材を前記測定セル本体との間で挟持し、
前記窓材は、前記嵌合凹部の凹底と前記嵌合凸部の突端面との間で挟持されていることを特徴とする請求項1に記載のインライン型濃度計測装置。 - 前記嵌合凹部が段付凹部に形成されるとともに、前記嵌合凸部が前記段付凹部に嵌合する段付凸部に形成され、前記嵌合凹部の段部と前記嵌合凸部の段部とが互いに当接することによりシール面を形成していることを特徴とする請求項5に記載のインライン型濃度計測装置。
- 前記受光部の保持体が、フォトダイオードを保持するとともに前記窓材を前記測定セル本体との間で挟持し、
前記窓材は、前記嵌合凹部の凹底と前記嵌合凸部の突端面との間で挟持されていることを特徴とする請求項3に記載のインライン型濃度計測装置。 - 前記嵌合凹部が段付凹部に形成されるとともに、前記嵌合凸部が前記段付凹部に嵌合する段付凸部に形成され、前記嵌合凹部の段部と前記嵌合凸部の段部とが互いに当接することによりシール面を形成していることを特徴とする請求項7に記載のインライン型濃度計測装置。
- 前記光入射部が、光路用ガス流路部に入射する入射光を平行光にするためのコリメートレンズを備えることを特徴とする請求項1又は3に記載のインライン型濃度計測装置。
- 前記光入射部の窓材および前記受光部の窓材のうちの少なくとも一方が、前記光路用ガス流路部の光路と斜めに交差するように構成されていることを特徴とする請求項1又は3に記載のインライン型濃度計測装置。
- 前記第一連通部にガスを送るガス流入路が連通して設けられ、該ガス流入路の流路断面積が前記第一連通部の流路断面積より大きいことを特徴とする請求項1又は3に記載のインライン型濃度計測装置。
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