JP6636061B2 - Tem内での特徴のない薄膜の位置合わせ - Google Patents
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Description
電子ビームを生成する電子源、
試料面上で(略)平行な電子ビームを生成する収束系、
回折面上で前記(略)平行な電子ビームを集束させる対物レンズ、
前記回折面内若しくは該回折面に対する共役面内又はその付近に位置する薄膜、
前記試料面又は前記回折面の拡大像を結像面上に生成する結像系、
前記結像面上に生成された像を記録する検出器、
を有する。
前記回折面の第1位置に係る第1励起で前記収束系の焦点合わせを行う段階、
前記の集束された電子ビームを前記薄膜へ照射する段階、及び、
像を記録する段階と、
前記の記録された像から、前記照射が面一致照射であるのか面外し照射であるのかを得る段階であって、前記面一致照射は、前記薄膜が前記回折面内又は該回折面に対して共役な面内に位置するときに起こり、かつ、前記面外し照射は、前記薄膜が前記回折面又は該回折面に対して共役な面と一致しないときに起こる、段階と、
前記収束系の励起を変化させることで前記回折面の位置を変化させる段階、又は、光軸に沿って前記薄膜の位置を変化させる段階を、前記照射が面一致照射となるまで繰り返す段階、
を有する。
[第1実施例]
この実施例では、前記試料面が結像され(たとえ試料が挿入されていなくても)、かつ、ロンチグラムが前記薄膜から生成される。その結果、前記の集束ビームと前記薄膜との相互作用によってコントラスト変調が可視化される。本発明は、たとえ特徴のない薄膜でも、結像されるときにはある程度のコントラストを示すという知見に基づいている。このことはたとえば非特許文献5で示されている。
[第2実施例]
この実施例では、前記回折面が結像され、かつ、前記ゼロビームが前記薄膜を通過した後に前記ゼロビームを取り囲む弱いハローが観測されるように、当該顕微鏡の投影系は調節される。試料は存在しないため、前記ゼロビームは、試料に法線方向に照射されるすべての電子を含む。前記ハローは、前記薄膜によって散乱される電子によって引き起こされる。前記薄膜が面一致条件で照射される場合、前記回折面で生成される前記ゼロビームの焦点と前記薄膜によって散乱される電子の原点とが一致する。よっていずれも前記結像面上の同一位置で結像される。よって集束スポットの生成と併用されるハロー消滅は、高精度で前記面一致条件を設定するのに利用することができる。
http://www.emc.missouri.edu/pdf/F30%20Lab%20Manual%20v1.pdf
前記関心領域がユーセントリック高さではない場合、燐光スクリーン上の明るいスポットの周りにハローが存在する。しかしこれまでの前記回折面の結像では存在しなかった。
[記]
いずれの実施例も、前記ビームを散乱させ得る試料又は試料面積が存在しない状態で最善に実行され得る。当業者は、内部に孔を備える試料の一部−たとえば孔開カーボン(holey carbon)又はクアンティホイル(Quantifoil)(登録商標)−が、前記ビームが妨害されずに通過する領域を有することを理解する。
102 光軸
104 粒子源
106 収束系
108 試料
110 試料ホルダ
112 対物レンズ
114 後焦点面
116 拡大系
118 孔なし位相板
120 マニピュレータ
122 投影系
124 検出器
126 ガラス窓
128−1 偏向器
128−2 偏向器
128−3 偏向器
128−4 偏向器
128−5 偏向器
128−6 偏向器
128−7 偏向器
130 制御装置/データ処理装置
132 モニタ
400 ハロー
402 遮断針
404 遮断された集束中央ビーム
406 遮断針
Claims (11)
- 透過型電子顕微鏡において薄膜を位置合わせする方法であって、前記透過型電子顕微鏡は、
電子ビームを生成する電子源と、
試料面上で平行又は略平行な電子ビームを生成する収束系と、
回折面上に前記平行又は略平行な電子ビームを集束させる対物レンズと、
前記回折面又は前記回折面の共役面の中又は付近に配置された、少なくとも孔なしの薄膜と、
前記試料面又は前記回折面の拡大像を結像面上に生成する結像系と、
前記結像面上に生成された像を記録する検出器と、
を有し、
前記方法は、
前記回折面の第1位置に係る第1励起で前記収束系を焦点合わせする段階と、
焦点合わせされた電子ビームを前記薄膜へ照射する段階と、
前記照射が面一致照射となるまで、
前記試料面の像を記録する段階であって、前記像は前記薄膜のロンチグラムである段階と、
前記の記録された像から、前記照射が面一致照射であるのか面外し照射であるのかを得る段階であって、前記面一致照射は、前記薄膜が前記回折面内又は該回折面に対して共役な面内に位置するときに起こり、かつ、前記面外し照射は、前記薄膜が前記回折面又は該回折面に対して共役な面と一致しないときに起こる、前記面一致照射は、前記ロンチグラムの中央での無限大の倍率の発生に基づく段階と、
前記収束系の励起を変化させることで前記回折面の位置を変化させる段階、又は、光軸に沿って前記薄膜の位置を変化させる段階と
を繰り返す段階と、
を有することを特徴とする、方法。 - 前記倍率の非対称性が、ビームの非点収差を検出するのに用いられる、請求項1に記載の方法。
- 前記薄膜が汚染を防止するように加熱される、請求項1または2に記載の方法。
- 前記薄膜へ照射する前に、前記ビームを散乱させ得る試料又は試料領域を前記試料面から除去する段階をさらに有する、請求項1乃至3のうちのいずれか一項に記載の方法。
- 前記薄膜が、アモルファス又はナノ結晶の薄膜である、請求項1乃至4のうちのいずれか一項に記載の方法。
- 前記薄膜が、炭素、金、及び/又はパラジウムを含む薄膜である、請求項1乃至5のうちのいずれか一項に記載の方法。
- 位相板を生成するように前記薄膜の条件設定を行う段階をさらに有し、前記条件設定は前記薄膜を電子ビームで照射して真空ポテンシャルを局所的に生じさせ、前記薄膜の電子構造を変化させる、請求項1乃至6のうちのいずれか一項に記載の方法。
- 少なくとも1つのレンズの励起を変更する段階が、前記収束系の励起を変更する段階を含む、請求項1乃至7のうちのいずれか一項に記載の方法。
- 前記薄膜が、前記回折面に対して共役な面内又は該面付近に設けられ、かつ、
少なくとも1つのレンズの励起を変更する段階が、前記回折面と前記薄膜との間のレンズの励起を変更する段階を含む、
請求項1乃至8のうちのいずれか一項に記載の方法。 - 透過型電子顕微鏡において薄膜を位置合わせする方法であって、前記透過型電子顕微鏡は、
電子ビームを生成する電子源と、
試料面上で平行又は略平行な電子ビームを生成する収束系と、
回折面上に前記平行又は略平行な電子ビームを集束させる対物レンズと、
前記回折面又は前記回折面の共役面の中又は付近に配置された、少なくとも孔なしの薄膜と、
前記試料面又は前記回折面の拡大像を結像面上に生成する結像系と、
前記結像面上に生成された像を記録する検出器と、
を有し、
前記方法は、
前記回折面の第1位置に係る第1励起で前記収束系を焦点合わせする段階と、
焦点合わせされた電子ビームを前記薄膜へ照射する段階と、
前記照射が面一致照射となるまで、
前記回折面の像を記録する段階と、
前記の記録された像から、前記照射が面一致照射であるのか面外し照射であるのかを得る段階であって、前記面一致照射は、前記薄膜が前記回折面内又は該回折面に対して共役な面内に位置するときに起こり、かつ、前記面外し照射は、前記薄膜が前記回折面又は該回折面に対して共役な面と一致しないときに起こる、非回折ビームを取り囲むハローの存在は面外し照射を示し、非回折ビームを取り囲むハローの不存在は面一致照射を示す段階と、
前記収束系の励起を変化させることで前記回折面の位置を変化させる段階、又は、光軸に沿って前記薄膜の位置を変化させる段階と
を繰り返す段階、
を有することを特徴とする、方法。 - 前記ハローの対称性を用いて非点収差を検出する、請求項10に記載の方法。
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