JP6635034B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
また、二次凝集粒子の平均粒子径が絶縁樹脂層の膜厚に比して大きすぎる場合には、絶縁樹脂層内にボイドが存在する可能性も高まる。
一方、二次凝集粒子の平均粒子径が絶縁樹脂層の膜厚に比して小さすぎる場合、絶縁樹脂層の熱抵抗が悪化(熱伝導率が悪化)する。
前記金属板の第1面側に設けられた半導体チップと、
前記金属板の前記第1面とは反対側の第2面に接合された絶縁樹脂層と、
前記半導体チップおよび前記金属板を封止しているモールド樹脂と、
を備え、
前記絶縁樹脂層は、鱗片状窒化ホウ素の一次粒子が等方的に凝集してなる二次凝集粒子を含み、
前記二次凝集粒子の含有量が、前記絶縁樹脂層全体に対して65質量%以上90質量%以下であり、
前記絶縁樹脂層の厚みをD、前記二次凝集粒子の平均粒子径をdとすると、
d/Dが、0.05以上0.8以下である半導体装置を提供する。
図1は第1の実施形態に係る半導体装置100の模式的な断面図である。図2は第1の実施形態に係る半導体装置100の絶縁樹脂層140の模式的な断面図である。
以下、詳細に説明する。
ただし、電極端子部135はヒートシンク130とは別体に形成されていても良い。この場合、電極端子部135の一端部は、図示しない導電層を介して、例えばヒートシンク130の第1面131に対して電気的に接続されている。
本実施形態において、熱硬化性樹脂としてシアネート樹脂(特にノボラック型シアネート樹脂)を用いる場合、エポキシ樹脂を併用してもよい。
硬化剤としては、硬化触媒およびフェノール系硬化剤から選択される1種以上を用いることができる。
硬化触媒としては、たとえばナフテン酸亜鉛、ナフテン酸コバルト、オクチル酸スズ、オクチル酸コバルト、ビスアセチルアセトナートコバルト(II)、トリスアセチルアセトナートコバルト(III)等の有機金属塩;トリエチルアミン、トリブチルアミン、1,4−ジアザビシクロ[2.2.2]オクタン等の3級アミン類;2−フェニル−4−メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2,4−ジエチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチル−5−ヒドロキシイミダゾール、2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール等のイミダゾール類;トリフェニルホスフィン、トリ−p−トリルホスフィン、テトラフェニルホスホニウム・テトラフェニルボレート、トリフェニルホスフィン・トリフェニルボラン、1,2−ビス−(ジフェニルホスフィノ)エタン等の有機リン化合物;フェノール、ビスフェノールA、ノニルフェノール等のフェノール化合物;酢酸、安息香酸、サリチル酸、p−トルエンスルホン酸等の有機酸;等、またはこの混合物が挙げられる。硬化触媒(C−1)として、これらの中の誘導体も含めて1種類を単独で用いることもできるし、これらの誘導体も含めて2種類以上を併用したりすることもできる。
絶縁樹脂層140中に含まれる硬化触媒の含有量は、特に限定されないが、絶縁樹脂層100質量%に対し、0.001質量%以上1質量%以下が好ましい。
これらの中でも、ガラス転移温度の向上及び線膨張係数の低減の観点から、フェノール系硬化剤がノボラック型フェノール樹脂またはレゾール型フェノール樹脂が好ましい。
フェノール系硬化剤の含有量は、特に限定されないが、絶縁樹脂層100質量%に対し、1質量%以上30質量%以下が好ましく、5質量%以上15質量%以下がより好ましい。
絶縁樹脂層140は、充填材として、二次凝集粒子144の他に、等方的に(すなわちランダムな向きに)配置された一次粒子143を熱硬化性樹脂145中に含んでいても良いし、含んでいなくても良い。
また、充填材としては、たとえばシリカ、アルミナ、窒化アルミニウム、炭化ケイ素等のうちの1種以上を含んでいても良い。
このように、鱗片状窒化ホウ素を焼結させて得られる二次凝集粒子144を用いる場合には、熱硬化性樹脂中における充填材の分散性を向上させる観点から、熱硬化性樹脂としてジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂またはノボラック型エポキシ樹脂を用いることがとくに好ましい。
d/Dが0.05以上であるので、絶縁樹脂層140を、熱伝導率が良好な構造のものとすることができる。さらに、d/Dが0.8以下であるので、絶縁樹脂層140を、膜厚が良好に均一化されて良好な絶縁性を有するとともにボイドの発生が抑制された構造のものとすることができる。また、絶縁樹脂層140の膜厚が良好に均一化されることにより、絶縁樹脂層140の熱抵抗が局所的に増大してしまうことを抑制することができる。
これに対し、本実施形態に係る半導体装置100は、例えば、その実装床面積が10×10mm以上100×100mm以下の大型のパッケージであったとしても、上記の構造の絶縁樹脂層140を備えることにより、十分な絶縁耐圧を得ることが期待できる。
これに対し、平面視において、金属層150の上面151の外形線と、絶縁樹脂層140の下面142の外形線と、が重なっている構造とすることにより、絶縁樹脂層140におけるクラックの発生および金属層150の剥離を抑制することができる。
図3は第2の実施形態に係る半導体装置100の模式的な断面図である。本実施形態に係る半導体装置100は、以下に説明する点で、上記の第1の実施形態に係る半導体装置100と相違し、その他の点では、上記の第1の実施形態に係る半導体装置100と同様に構成されている。
また、平面視において、第2金属層250の下面252の外形線と、第2絶縁樹脂層240の上面241の外形線と、が重なっていることが好ましい。
よって、半導体チップ110の両面にヒートシンク(ヒートシンク130および第2ヒートシンク230)が設けられているので、半導体チップ110の両面から放熱を行うことができ、半導体装置100を優れた放熱性のものとすることができる。
これに対し、平面視において、第2金属層250の下面252の外形線と、第2絶縁樹脂層240の上面241の外形線と、が重なっている構造とすることにより、第2絶縁樹脂層240におけるクラックの発生および第2金属層250の剥離を抑制することができる。
図4は第3の実施形態に係る半導体装置100の模式的な断面図である。本実施形態に係る半導体装置100は、以下に説明する点で、上記の第1の実施形態に係る半導体装置100と相違し、その他の点では、上記の第1の実施形態に係る半導体装置100と同様に構成されている。
図5は第4の実施形態に係る半導体装置100の模式的な断面図である。本実施形態に係る半導体装置100は、以下に説明する点で、上記の第2の実施形態に係る半導体装置100と相違し、その他の点では、上記の第2の実施形態に係る半導体装置100と同様に構成されている。
同様に、第2金属層250の一方の面(下面252)とは反対側の面(上面251)に形成された第2放熱グリース層410と、第2放熱グリース層410を介して第2金属層250の反対側の面(上面251)に固定された第2冷却フィン420と、を更に備えている。よって、第2冷却フィン420によって高い放熱効率で放熱を行うことができるので、半導体装置100の放熱性が向上する。
図6は第5の実施形態に係る半導体装置100の模式的な断面図である。本実施形態に係る半導体装置100は、以下に説明する点で、上記の第2の実施形態に係る半導体装置100と相違し、その他の点では、上記の第2の実施形態に係る半導体装置100と同様に構成されている。
図7は第6の実施形態に係る半導体装置100の模式的な断面図である。本実施形態に係る半導体装置100は、以下に説明する点で、上記の第1の実施形態に係る半導体装置100と相違し、その他の点では、上記の第1の実施形態に係る半導体装置100と同様に構成されている。
また、上記の第2、第4および第5の実施形態では、筐体の上面181が第2ヒートシンク230の上面231と同一平面上に配置されている例を説明したが、筐体の上面181は、第2金属層250の上面251と同一平面上に配置されていても良い。
以下、参考形態の例を付記する。
1. 金属板と、
前記金属板の第1面側に設けられた半導体チップと、
前記金属板の前記第1面とは反対側の第2面に接合された絶縁樹脂層と、
前記半導体チップおよび前記金属板を封止しているモールド樹脂と、
を備え、
前記絶縁樹脂層は、鱗片状窒化ホウ素の一次粒子が等方的に凝集してなる二次凝集粒子を含み、
前記絶縁樹脂層の厚みをD、前記二次凝集粒子の平均粒子径をdとすると、
d/Dが、0.05以上0.8以下である半導体装置。
2. d/Dが、0.5未満である1.に記載の半導体装置。
3. 当該半導体装置の実装床面積が10×10mm以上100×100mm以下である1.又は2.に記載の半導体装置。
4. 一の前記金属板の前記第1面側に3個以上の半導体チップが設けられ、
前記モールド樹脂は前記3個以上の半導体チップを一括して封止している1.乃至3.の何れか一つに記載の半導体装置。
5. 前記絶縁樹脂層における前記金属板側とは反対側の面に対して、一方の面が接合された金属層を更に備える1.乃至4.の何れか一つに記載の半導体装置。
6. 平面視において、前記金属層の前記一方の面の外形線と、前記絶縁樹脂層における前記金属板側とは反対側の面の外形線と、が重なっている5.に記載の半導体装置。
7. 前記金属層の前記一方の面に対する反対側の面の全面が前記モールド樹脂から露出している5.または6.に記載の半導体装置。
8. 前記金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された放熱グリース層と、
前記放熱グリース層を介して前記金属層の前記反対側の面に固定された冷却フィンと、
を更に備える5.または6.に記載の半導体装置。
9. 前記半導体チップを間に挟んで前記金属板と対向して配置された第2金属板と、
第2絶縁樹脂層と、
を更に備え、
前記半導体チップが前記第2金属板の一方の面側に設けられて、前記金属板と前記第2金属板とにより前記半導体チップが挟持されており、
前記第2絶縁樹脂層は、前記第2金属板における前記半導体チップ側とは反対側の面に接合されており、
前記モールド樹脂は、前記第2金属板を封止している、1.乃至8.の何れか一つに記載の半導体装置。
10. 前記第2絶縁樹脂層における前記第2金属板側とは反対側の面に対して一方の面が接合された第2金属層を更に備える9.に記載の半導体装置。
11. 前記第2金属層の前記一方の面に対する反対側の面の全面が前記モールド樹脂から露出している10.に記載の半導体装置。
12. 前記第2金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された第2放熱グリース層と、
前記第2放熱グリース層を介して前記第2金属層の前記反対側の面に固定された第2冷却フィンと、
を更に備える10.または11.に記載の半導体装置。
13. 前記半導体チップを間に挟んで前記金属板と対向して配置された第2金属板と、
第2絶縁樹脂層と、
を更に備え、
前記半導体チップが前記第2金属板の一方の面側に設けられて、前記金属板と前記第2金属板とにより前記半導体チップが挟持されており、
前記第2絶縁樹脂層は、前記第2金属板における前記半導体チップ側とは反対側の面に接合されており、
前記モールド樹脂は、前記第2金属板を封止しており、
当該半導体装置は、
前記第2絶縁樹脂層における前記第2金属板側とは反対側の面に対して、一方の面が接合された第2金属層と、
前記第2金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された第2放熱グリース層と、
前記第2放熱グリース層を介して前記第2金属層の前記反対側の面に固定された第2冷却フィンと、
を更に備え、
前記金属層、前記第2金属層、前記冷却フィンおよび前記第2冷却フィンが同種の金属により構成されている8.に記載の半導体装置。
14. 前記半導体チップを間に挟んで前記金属板と対向して配置された第2金属板と、
第2絶縁樹脂層と、
を更に備え、
前記半導体チップが前記第2金属板の一方の面側に設けられて、前記金属板と前記第2金属板とにより前記半導体チップが挟持されており、
前記第2絶縁樹脂層は、前記第2金属板における前記半導体チップ側とは反対側の面に接合されており、
前記モールド樹脂は、前記第2金属板を封止しており、
当該半導体装置は、
前記第2絶縁樹脂層における前記第2金属板側とは反対側の面に対して、一方の面が接合された第2金属層と、
前記第2金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された第2放熱グリース層と、
前記第2放熱グリース層を介して前記第2金属層の前記反対側の面に固定された第2冷却フィンと、
を更に備え、
前記金属層、前記第2金属層、前記冷却フィンおよび前記第2冷却フィンがアルミニウムにより構成されている8.に記載の半導体装置。
(鱗片状窒化ホウ素の一次粒子により構成された二次凝集粒子の作製)
ホウ酸メラミン(ホウ酸:メラミン=2:1(モル比))と鱗片状窒化ホウ素粉末(平均長径:8μm)を混合して得られた混合物(ホウ酸メラミン:鱗片状窒化ホウ素粉末=10:1(質量比))を、3.0質量%のポリアクリル酸アンモニウム水溶液へ添加し、2時間混合して噴霧用スラリーを調製した(ポリアクリル酸アンモニウム水溶液:混合物=100:30(質量比))。次いで、このスラリーを噴霧造粒機に供給し、アトマイザーの回転数15000rpm、温度200℃、スラリー供給量5ml/minの条件で噴霧することにより、複合粒子を作製した。次いで、得られた複合粒子を、窒素雰囲気下、2000℃、10時間の条件で焼成することにより、平均粒径dが70μmの凝集窒化ホウ素(充填材1)を得た。
ここで、凝集窒化ホウ素の平均粒径は、レーザー回折式粒度分布測定装置(HORIBA社製、LA−500)により、粒子の粒度分布を体積基準で測定し、そのメディアン径(D50)とした。
まず、表1に示す配合に従い、熱硬化性樹脂と、硬化剤とを溶媒であるメチルエチルケトンに添加し、これを撹拌して熱硬化性樹脂組成物の溶液を得た。次いで、この溶液に無機充填材を入れて予備混合した後、三本ロールにて混練し、無機充填材を均一に分散させた樹脂組成物を得た。次いで、得られた樹脂組成物に対し、60℃、15時間の条件によりエージングを行った。次いで、樹脂組成物を、銅箔上にドクターブレード法を用いて塗布した後、これを100℃、30分間の熱処理により乾燥して、樹脂シートを作製した。次いで、上記樹脂シートを二本のロール間に通して圧縮することにより、樹脂シート内の気泡を除去し、膜厚Dが175μmであるBステージ状の絶縁樹脂層を得た。
得られた絶縁樹脂層を用いて図1に示す半導体装置を作製した。なお、半導体装置の実装床面積は30×40mmとした。
ポリアクリル酸アンモニウム水溶液の濃度を2.0質量%、アトマイザーの回転数10000rpmに変更した以外は実施例1と同様の方法により作製された平均粒径dが20μmの凝集窒化ホウ素(充填材2)を用いた点、膜厚Dが500μmとなるようにBステージ状の絶縁樹脂層を作製した点以外は、実施例1と同様の方法で半導体装置を作製した。
膜厚Dが80μmとなるようにBステージ状の絶縁樹脂層を作製した点以外は、実施例1と同様の方法で半導体装置を作製した。
エポキシ樹脂1:ビフェニル型エポキシ樹脂(YL6121、三菱化学(株)製)
エポキシ樹脂2:ビスフェノールA型エポキシ樹脂(JER828、三菱化学(株)製)
硬化剤:トリスフェノールメタン型ノボラック樹脂(MEH−7500、明和化成(株)製)
硬化触媒:2−フェニル−4,5−ジヒドロキシメチルイミダゾール(2PHZ−PW、四国化成社製)
上記作製例により作製された凝集窒化ホウ素
実施例1および比較例1〜2のそれぞれについて、半導体装置とは別に絶縁樹脂層の硬化体を作製し、その熱伝導率を次のように測定した。まず、得られた絶縁樹脂層を180℃、1時間の条件により硬化することにより、絶縁樹脂層の硬化体を得た。この絶縁樹脂層の硬化体について、密度を水中置換法により測定し、比熱をDSC(示差走査熱量測定)により測定し、さらに、レーザーフラッシュ法により熱拡散率を測定した。
そして、実施例1および比較例1〜2で得られた絶縁樹脂層の各々について、厚み方向における熱伝導率を以下の式から算出した。
熱伝導率(W/m・K)=密度(kg/m3)×比熱(kJ/kg・K)×熱拡散率(m2/S)×1000
実施例1および比較例1〜2で得られた絶縁樹脂層の各々について、当該絶縁樹脂層内にボイドが存在しているか否かについては、走査型電子顕微鏡により観察した。具体的には、以下の手順で測定した。まず、絶縁樹脂層をミクロトームで切断し、断面を作製した。次いで、走査型電子顕微鏡により、数千倍に拡大した絶縁樹脂層の断面写真を撮影して、ボイドの有無を評価した。
○:ボイドなし
×:ボイドあり
実施例1および比較例1〜2で得られた各絶縁樹脂層について、膜厚を走査型電子顕微鏡により観察した。具体的には、以下の手順で測定した。まず、絶縁樹脂層をミクロトームで切断し、断面を作製した。次いで、走査型電子顕微鏡により、数千倍に拡大した絶縁樹脂層の断面写真を撮影して、絶縁樹脂層の膜厚が均一であるか否かを評価した。
○:膜厚が良好に均一化されている。
×:膜厚にバラつきが生じている。
Claims (14)
- 金属板と、
前記金属板の第1面側に設けられた半導体チップと、
前記金属板の前記第1面とは反対側の第2面に接合された絶縁樹脂層と、
前記半導体チップおよび前記金属板を封止しているモールド樹脂と、
を備え、
前記絶縁樹脂層は、鱗片状窒化ホウ素の一次粒子が等方的に凝集してなる二次凝集粒子を含み、
前記二次凝集粒子の含有量が、前記絶縁樹脂層全体に対して65質量%以上90質量%以下であり、
前記絶縁樹脂層の厚みをD、前記二次凝集粒子の平均粒子径をdとすると、
d/Dが、0.05以上0.8以下である半導体装置。 - d/Dが、0.5未満である請求項1に記載の半導体装置。
- 当該半導体装置の実装床面積が10×10mm以上100×100mm以下である請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 一の前記金属板の前記第1面側に3個以上の半導体チップが設けられ、
前記モールド樹脂は前記3個以上の半導体チップを一括して封止している請求項1乃至3の何れか一項に記載の半導体装置。 - 前記絶縁樹脂層における前記金属板側とは反対側の面に対して、一方の面が接合された金属層を更に備える請求項1乃至4の何れか一項に記載の半導体装置。
- 平面視において、前記金属層の前記一方の面の外形線と、前記絶縁樹脂層における前記金属板側とは反対側の面の外形線と、が重なっている請求項5に記載の半導体装置。
- 前記金属層の前記一方の面に対する反対側の面の全面が前記モールド樹脂から露出している請求項5または6に記載の半導体装置。
- 前記金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された放熱グリース層と、
前記放熱グリース層を介して前記金属層の前記反対側の面に固定された冷却フィンと、
を更に備える請求項5または6に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップを間に挟んで前記金属板と対向して配置された第2金属板と、
第2絶縁樹脂層と、
を更に備え、
前記半導体チップが前記第2金属板の一方の面側に設けられて、前記金属板と前記第2金属板とにより前記半導体チップが挟持されており、
前記第2絶縁樹脂層は、前記第2金属板における前記半導体チップ側とは反対側の面に接合されており、
前記モールド樹脂は、前記第2金属板を封止している、請求項1乃至8の何れか一項に記載の半導体装置。 - 前記第2絶縁樹脂層における前記第2金属板側とは反対側の面に対して一方の面が接合された第2金属層を更に備える請求項9に記載の半導体装置。
- 前記第2金属層の前記一方の面に対する反対側の面の全面が前記モールド樹脂から露出している請求項10に記載の半導体装置。
- 前記第2金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された第2放熱グリース層と、
前記第2放熱グリース層を介して前記第2金属層の前記反対側の面に固定された第2冷却フィンと、
を更に備える請求項10または11に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップを間に挟んで前記金属板と対向して配置された第2金属板と、
第2絶縁樹脂層と、
を更に備え、
前記半導体チップが前記第2金属板の一方の面側に設けられて、前記金属板と前記第2金属板とにより前記半導体チップが挟持されており、
前記第2絶縁樹脂層は、前記第2金属板における前記半導体チップ側とは反対側の面に接合されており、
前記モールド樹脂は、前記第2金属板を封止しており、
当該半導体装置は、
前記第2絶縁樹脂層における前記第2金属板側とは反対側の面に対して、一方の面が接合された第2金属層と、
前記第2金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された第2放熱グリース層と、
前記第2放熱グリース層を介して前記第2金属層の前記反対側の面に固定された第2冷却フィンと、
を更に備え、
前記金属層、前記第2金属層、前記冷却フィンおよび前記第2冷却フィンが同種の金属により構成されている請求項8に記載の半導体装置。 - 前記半導体チップを間に挟んで前記金属板と対向して配置された第2金属板と、
第2絶縁樹脂層と、
を更に備え、
前記半導体チップが前記第2金属板の一方の面側に設けられて、前記金属板と前記第2金属板とにより前記半導体チップが挟持されており、
前記第2絶縁樹脂層は、前記第2金属板における前記半導体チップ側とは反対側の面に接合されており、
前記モールド樹脂は、前記第2金属板を封止しており、
当該半導体装置は、
前記第2絶縁樹脂層における前記第2金属板側とは反対側の面に対して、一方の面が接合された第2金属層と、
前記第2金属層の前記一方の面とは反対側の面に形成された第2放熱グリース層と、
前記第2放熱グリース層を介して前記第2金属層の前記反対側の面に固定された第2冷却フィンと、
を更に備え、
前記金属層、前記第2金属層、前記冷却フィンおよび前記第2冷却フィンがアルミニウムにより構成されている請求項8に記載の半導体装置。
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