JP6628647B2 - シート剥離装置 - Google Patents
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- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 91
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 91
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 4
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 4
- 230000005291 magnetic effect Effects 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 3
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 239000002365 multiple layer Substances 0.000 description 2
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 235000013305 food Nutrition 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 1
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- -1 optical discs Substances 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002023 wood Substances 0.000 description 1
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- Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
また、本発明のシート剥離装置では、前記接着シートの剥離角度を調整する剥離角度調整手段を備えていることが好ましい。
また、剥離角度調整手段を備えれば、接着シートの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて最適な剥離角度で当該接着シートを被着体から剥離することができる。
なお、本実施形態におけるX軸、Y軸、Z軸は、それぞれが直交する関係にあり、X軸およびY軸は、所定平面内の軸とし、Z軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Y軸と平行な図2中手前方向から観た場合を基準とし、方向を示した場合、「上」がZ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がX軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がY軸と平行な図2中手前方向で「後」がその逆方向とする。
第1支持手段21は、上面視(一体物支持手段20をZ軸方向上方から見た状態)で右側に突出部のある凸状のベースフレーム21Aと、ベースフレーム21Aの突出部右端側に設けられた支柱21Bと、ベースフレーム21Aに支持された駆動機器としてのリニアモータ21Cと、リニアモータ21Cのスライダ21Dに支持された駆動機器としての直動モータ21Eと、直動モータ21Eの出力軸21Fに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない第1減圧手段によって吸着保持が可能な支持面21Gを有する支持テーブル21Hとを備えている。
第2支持手段22は、上面視で左側に凹み部のある凹状のベースフレーム22Aと、ベースフレーム22Aに支持され、上面視で左側に凹み部のある凹状の立設フレーム22Bと、立設フレーム22Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない第2減圧手段によって吸着保持が可能な支持面22Cを有する支持テーブル22Dとを備えている。なお、支持テーブル22Dの上面には、リングフレームRFの内縁に嵌まり込んで当該リングフレームRFの位置決めが可能な位置決め凸部22Eが形成されている。
剥離用テープ支持部31は、支柱21Bに取り付けられたフレーム31Aに支持された駆動機器としての回動モータ31Bと、回動モータ31Bによって回動可能に設けられ、剥離用テープPTを支持する支持ローラ31Cと、支柱21Bに取り付けられたフレーム31Dの下方に支持されたガイドローラ31Eと、フレーム31Dの上方に支持されたガイドローラ31Fとを備えている。
貼付部32は、フレーム31Dの上方に支持された駆動機器としての回動モータ32Aによって回動可能に設けられた揺動アーム32Bと、揺動アーム32Bに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって吸着保持が可能な剥離用テープ保持部材32Cと、揺動アーム32Bに支持された駆動機器としての直動モータ32Dの出力軸32Eに支持され、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段によって接着シートASと剥離用テープPTとの接着力を向上させる図示しない接着補助手段が設けられた押圧部材32Fと、ウエハWFに貼付された接着シートASの右端部を検知可能なカメラ等の撮像手段や光学センサ等の図示しない検知手段とを備えている。
切断部33は、駆動機器としての直動モータ33Aの出力軸33Bに支持されたカッター刃33Cを備えている。
先ず、各部材が初期位置で待機する図1中実線(図2中二点鎖線)で示すシート剥離装置10に対し、図示しない操作パネルやパーソナルコンピュータ等の入力手段を介して自動運転開始の信号を入力すると、シート保持手段30が図示しない減圧手段を駆動し、剥離用テープ保持部材32Cで剥離用テープPTを吸着保持する。そして、人手または多関節ロボットやベルトコンベア等の図示しない移送手段によって、リングフレームRFの内縁に位置決め凸部22Eが嵌まり込むように一体物WKが一体物支持手段20上に載置されると、一体物支持手段20が図示しない第1、第2減圧手段を駆動し、支持面21Gと支持面22Cとでそれぞれ接着シートASとリングフレームRFとの吸着保持を開始する。その後、剥離手段40がリニアモータ41を駆動し、図2(A)に示すように、調整プレート52の右端がカッター刃33Cの刃先直下に位置するように、第1、第2支持手段21、22を同じ速度で移動させる。
第1支持手段21は、一体物WKを支持した第2支持手段22を上方から観たときに、当該第2支持手段22と一体物WKとで占有するスペースの中に納まる大きさとするとよく、この場合、シート剥離装置10の大型化をより効率的に抑制することができる。
第1支持手段21および第2支持手段22の少なくとも一方は、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートASやリングフレームRF等の被保持物を保持する構成でもよいし、それらのような保持する構成がなくてもよい。
第2支持手段22は、位置決め凸部22Eが形成されていなくてもよい。
剥離用テープ保持部材32Cは、メカチャックやチャックシリンダ等のチャック手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で剥離用テープPTを保持してもよい。
切断部33は、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等の切断部材で構成してもよく、多関節ロボットや適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしてもよいし、なくてもよい。
接着補助手段は、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、X線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、接着シートASや剥離用テープPTの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該接着シートASと剥離用テープPTとの接着力を向上させることができれば何でもよいし、なくてもよい。
シート剥離装置10は、天地反転して配置したり横置きに配置したりして、ウエハWFの下面や側面等に貼付された接着シートASを剥離するように構成してもよいし、一体物WKから接着シートASを剥離する前段で、接着シートASの接着力を低下させる接着力低下手段を設けてもよく、このような接着力低下手段は、コイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段、ペルチェ素子やヒートパイプの冷却側等の冷却手段、紫外線、赤外線、X線、マイクロ波等の電磁波照射手段、超音波振動装置、偏芯モータ、バイブレータ等の振動手段、レーザ照射手段、乾燥機、送風機、プラズマ照射機等、接着シートASの特性、特質、性質、材質、組成および構成等に応じて当該接着シートASの接着力を低下させることができれば何でもよい。このような接着力低下手段は、接着シートASの接着力を一括で低下するように構成してもよいし、接着シートASの接着力が部分的に低下するように構成し、ウエハWFとの相対移動で当該接着シートAS全体の接着力が低下するように構成してもよい。
リングフレームRFは、円形、楕円形、三角形や四角形以上の多角形、環状でない(閉ループ状でない)フレーム部材等何でもよい。
20…一体物支持手段
21…第1支持手段
22…第2支持手段
30…シート保持手段
40…剥離手段
50…剥離角度調整手段
AS…接着シート
WF…ウエハ(被着体)
WK…一体物
θ…剥離角度
Claims (1)
- 被着体の一方の面に接着シートが貼付された一体物から当該接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記一体物を支持する一体物支持手段と、
前記被着体に貼付された接着シートを保持するシート保持手段と、
前記被着体とシート保持手段とを相対移動させて当該被着体から前記接着シートを剥離する剥離手段とを備え、
前記一体物支持手段は、前記シート保持手段を備えた第1支持手段と、前記被着体を支持する第2支持手段とを含み、それら第1支持手段と第2支持手段とで前記一体物を支持し、前記剥離手段は、前記第1支持手段と第2支持手段とを相対移動させて前記被着体から前記接着シートを剥離することを特徴とするシート剥離装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016048613A JP6628647B2 (ja) | 2016-03-11 | 2016-03-11 | シート剥離装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016048613A JP6628647B2 (ja) | 2016-03-11 | 2016-03-11 | シート剥離装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017163089A JP2017163089A (ja) | 2017-09-14 |
JP6628647B2 true JP6628647B2 (ja) | 2020-01-15 |
Family
ID=59857405
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016048613A Active JP6628647B2 (ja) | 2016-03-11 | 2016-03-11 | シート剥離装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6628647B2 (ja) |
-
2016
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017163089A (ja) | 2017-09-14 |
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