JP6626672B2 - Manufacturing method of ceramic substrate - Google Patents

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Description

本発明は、セラミック基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic substrate.

セラミック基板には、複数のセラミックグリーンシート（以下、単に「グリーンシート」とも呼ぶ。）が積層されたグリーンシート積層体によってセラミック層が構成されるものがある。グリーンシート積層体の製造方法としては、第１塗工ヘッドによって第１層を形成し、続けて、その上に、第２塗工ヘッドによって第２層を形成する方法が知られている（例えば、下記特許文献１）。   There is a ceramic substrate in which a ceramic layer is formed by a green sheet laminate in which a plurality of ceramic green sheets (hereinafter, also simply referred to as “green sheets”) are laminated. As a method for manufacturing a green sheet laminate, there is known a method in which a first layer is formed by a first coating head, and then a second layer is formed thereon by a second coating head (for example, a method of manufacturing the green sheet laminate). Patent Document 1).

特許第４４７１５７７号公報Japanese Patent No. 4471577

グリーンシート積層体を用いたセラミック基板の製造工程では、熱負荷に対するグリーンシート間の変形量の差に起因するグリーンシート積層体の歪み変形によって、完成品であるセラミック基板に、製造誤差や、変形・劣化などが生じてしまう場合がある。特許文献１の技術では、グリーンシート積層体の歪み変形を抑制するために、各層のグリーンシートを構成するセラミックスラリーの引っ張り伸度や粘度、厚みを調整している。しかしながら、特許文献１の技術では、各セラミックスラリーにおける構成成分の選択の自由度や、各グリーンシートの厚みの設計自由度が制限されてしまう可能性がある。このように、セラミック基板の製造工程において、グリーンシート積層体の歪み変形を抑制する技術については、依然として改良の余地がある。   In the process of manufacturing a ceramic substrate using a green sheet laminate, a distortion or deformation of the green sheet laminate caused by a difference in the amount of deformation between the green sheets with respect to a heat load causes a manufacturing error or a deformation in the finished ceramic substrate.・ Deterioration may occur. In the technique of Patent Document 1, the tensile elongation, the viscosity, and the thickness of the ceramic slurry constituting the green sheet of each layer are adjusted in order to suppress the distortion deformation of the green sheet laminate. However, in the technique of Patent Document 1, there is a possibility that the degree of freedom in selecting constituent components of each ceramic slurry and the degree of freedom in designing the thickness of each green sheet may be limited. As described above, there is still room for improvement in the technology for suppressing the distortion deformation of the green sheet laminate in the process of manufacturing the ceramic substrate.

本発明は、少なくとも上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態として実現することが可能である。本発明の一形態は、例えば、セラミック基板の製造方法であって、第１セラミックスラリーをシート状に塗布して、第１グリーンシートを成形するグリーンシート成形工程と、未乾燥の前記第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートを成形し、前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体を形成する積層体形成工程と、前記グリーンシート積層体を、前記グリーンシート積層体が乾燥した状態にならない条件で加熱する加熱工程と、を備え、前記グリーンシート成形工程と前記積層体形成工程は、メインローラーの側面に巻きかかった状態で搬送されていく搬送ベルトの表面に前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートを順に形成するグリーンシート成形部を備えるグリーンシート積層体製造装置を用いて実行され、前記グリーンシート成形工程は、前記グリーンシート成形部が備える第１塗工ヘッドによって、前記第１セラミックスラリーを前記搬送ベルトの前記メインローラー上に位置する表面に塗布する工程を含み、前記積層体形成工程は、前記搬送ベルトが搬送されていく方向において前記第１塗工ヘッドよりも下流側に設けられている第２塗工ヘッドによって、前記第２セラミックスラリーを前記メインローラー上に位置する未乾燥の前記第１グリーンシート上に塗布する工程を含む、製造方法として提供される。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least the above problems, and the invention can be implemented as the following embodiments. One embodiment of the present invention relates to, for example, a method for manufacturing a ceramic substrate, wherein a green sheet forming step of forming a first green sheet by applying a first ceramic slurry in a sheet shape; A second ceramic slurry is applied on a sheet to form a sheet, a second green sheet is formed, and a green sheet laminate in which the first green sheet and the second green sheet are stacked is formed. Forming a green sheet laminate, a heating step of heating the green sheet laminate under a condition that the green sheet laminate does not become dry, wherein the green sheet forming step and the laminate forming step include a side surface of a main roller. The first green sheet and the second green sheet are sequentially formed on the surface of a transport belt that is transported while being wound around The green sheet forming step is performed using a green sheet laminate manufacturing apparatus including a green sheet forming unit. A step of applying to a surface located on a main roller, wherein the step of forming a laminate includes a second coating provided downstream of the first coating head in a direction in which the transport belt is transported. The method is provided as a manufacturing method including a step of applying the second ceramic slurry onto the undried first green sheet located on the main roller by a head.

［１］本発明の一形態によれば、セラミック基板の製造方法が提供される。この製造方法は、グリーンシート成形工程と、積層体形成工程と、加熱工程とを備えてよい。前記グリーンシート成形工程は、第１セラミックスラリーをシート状に塗布して、第１グリーンシートを成形する工程であってよい。前記積層体形成工程は、未乾燥の前記第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートを成形し、前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体を形成する工程であってよい。前記加熱工程は、前記グリーンシート積層体を、前記グリーンシート積層体が乾燥した状態にならない条件で加熱する工程であってよい。この形態の製造方法によれば、グリーンシート積層体における熱負荷に対するグリーンシート間の変形量の差に起因する歪み変形が抑制される。従って、セラミック基板における製造誤差や変形・劣化の発生が抑制される。 [1] According to one aspect of the present invention, a method for manufacturing a ceramic substrate is provided. This manufacturing method may include a green sheet forming step, a laminate forming step, and a heating step. The green sheet forming step may be a step of forming a first green sheet by applying the first ceramic slurry in a sheet shape. In the laminate forming step, the second ceramic slurry is applied in a sheet shape on the undried first green sheet to form a second green sheet, and the first green sheet and the second green sheet are formed. May be a step of forming a green sheet laminate in which the green sheets are laminated. The heating step may be a step of heating the green sheet laminate under conditions where the green sheet laminate does not become dry. According to the manufacturing method of this aspect, distortion deformation due to the difference in the amount of deformation between the green sheets with respect to the thermal load in the green sheet laminate is suppressed. Therefore, the occurrence of manufacturing errors and deformation / deterioration in the ceramic substrate is suppressed.

［２］上記形態の製造方法において、前記加熱工程は、第１加熱温度で、所定の時間、加熱する第１加熱工程であり、さらに、前記第１加熱工程の後に、前記第１加熱温度よりも高い第２加熱温度で加熱して、前記グリーンシート積層体を乾燥させる第２加熱工程を備えてよい。この形態の製造方法によれば、第１加熱工程と第２加熱工程とを有することによって、グリーンシート積層体が、後の工程において、熱負荷による歪み変形を生じてしてしまうことが抑制される。 [2] In the manufacturing method of the above aspect, the heating step is a first heating step of heating at a first heating temperature for a predetermined time, and further, after the first heating step, the first heating temperature is lower than the first heating temperature. A second heating step of drying the green sheet laminate by heating at a high second heating temperature. According to the manufacturing method of this aspect, by having the first heating step and the second heating step, the green sheet laminate is prevented from being deformed by a thermal load in a later step. You.

［３］上記形態の製造方法において、前記第１加熱温度は、１００℃以下の温度であり、前記第２加熱温度は、２５０℃以下の温度であってよい。この形態の製造方法によれば、グリーンシート積層体が、後の工程において、熱負荷による歪み変形を生じてしてしまうことが、さらに抑制される。 [3] In the manufacturing method according to the above aspect, the first heating temperature may be a temperature of 100 ° C. or less, and the second heating temperature may be a temperature of 250 ° C. or less. According to the manufacturing method of this aspect, the occurrence of distortion of the green sheet laminate due to heat load in a subsequent step is further suppressed.

［４］上記形態の製造方法において、前記第１セラミックスラリーは、熱溶融したときに接着性を発現する接着剤を含んでよい。この形態の製造方法によれば、熱負荷による歪み変形の発生が抑制されている接着層付きのグリーンシートを得ることができる。 [4] In the manufacturing method according to the above aspect, the first ceramic slurry may include an adhesive that exhibits adhesiveness when thermally melted. According to the manufacturing method of this aspect, it is possible to obtain a green sheet with an adhesive layer in which the occurrence of strain deformation due to heat load is suppressed.

［５］上記形態の製造方法において、前記第１セラミックスラリーの粘度は、前記第２セラミックスラリーの粘度よりも低くてよい。この形態の製造方法によれば、第２グリーンシートの形成前に第１グリーンシートにおける溶剤成分の揮発が促進されるため、第１グリーンシートと第２グリーンシートとの境界において両者の成分が混ざり合ってしまうことが抑制される。従って、グリーンシート積層体に歪み変形が生じてしてしまうことがさらに抑制される。 [5] In the manufacturing method of the above aspect, the viscosity of the first ceramic slurry may be lower than the viscosity of the second ceramic slurry. According to the manufacturing method of this aspect, since the volatilization of the solvent component in the first green sheet is promoted before the formation of the second green sheet, both components are mixed at the boundary between the first green sheet and the second green sheet. It is suppressed that they fit together. Therefore, the occurrence of distortion deformation in the green sheet laminate is further suppressed.

［６］上記形態の製造方法において、さらに、前記グリーンシート積層体に未焼成の導体材料を配置する導体材料配置工程と、前記導体材料が配置された複数の前記グリーンシート積層体を積層して熱圧着し、未焼成のセラミック積層体を形成する未焼成セラミック積層体形成工程と、前記未焼成のセラミック積層体を焼成する焼成工程と、を備えてよい。この製造方法によれば、加熱によるグリーンシート積層体の歪み変形が抑制されるため、セラミック基板における製造誤差や変形・劣化の発生が抑制される。 [6] In the manufacturing method of the above aspect, further, a conductor material arranging step of arranging an unfired conductor material in the green sheet laminate, and laminating a plurality of the green sheet laminates on which the conductor material is arranged The method may include a step of forming an unfired ceramic laminate by thermocompression bonding to form an unfired ceramic laminate, and a firing step of firing the unfired ceramic laminate. According to this manufacturing method, since the deformation of the green sheet laminate due to the heating is suppressed, the occurrence of manufacturing errors and deformation / deterioration in the ceramic substrate is suppressed.

上述した本発明の各形態の有する複数の構成要素はすべてが必須のものではなく、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、適宜、前記複数の構成要素の一部の構成要素について、その変更、削除、新たな他の構成要素との差し替え、限定内容の一部削除を行うことが可能である。また、上述の課題の一部又は全部を解決するため、あるいは、本明細書に記載された効果の一部又は全部を達成するために、上述した本発明の一形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部を上述した本発明の他の形態に含まれる技術的特徴の一部又は全部と組み合わせて、本発明の独立した一形態とすることも可能である。   All of the plurality of components of each of the above-described embodiments of the present invention are not essential, and may solve some or all of the above-described problems, or may partially or wholly provide the effects described in this specification. In order to achieve the above, it is possible to appropriately change or delete some of the plurality of components, replace them with other new components, and partially delete the limited contents. In addition, in order to solve some or all of the above problems or to achieve some or all of the effects described in this specification, technical features included in one embodiment of the present invention described above are described. Some or all of the technical features included in other aspects of the present invention described above may be combined with some or all of the technical features to form an independent aspect of the present invention.

本発明は、セラミック基板の製造方法以外の種々の形態で実現することも可能である。例えば、セラミック基板や、グリーンシート積層体、グリーンシート積層体の製造方法等の形態で実現することができる。   The present invention can be realized in various forms other than the method of manufacturing a ceramic substrate. For example, it can be realized in the form of a ceramic substrate, a green sheet laminate, a method of manufacturing a green sheet laminate, or the like.

セラミック基板の製造工程を示す工程フロー図。FIG. 4 is a process flowchart showing a manufacturing process of the ceramic substrate. グリーンシート積層体製造装置の構成例を示す概略図。The schematic diagram showing the example of composition of the green sheet layered product manufacturing device. セラミック基板の製造工程の内容を模式的に示す概略図。FIG. 3 is a schematic diagram schematically showing the contents of a manufacturing process of a ceramic substrate. 実験例において作製した比較例のサンプルの製造工程を説明するための概略図。FIG. 9 is a schematic diagram for explaining a manufacturing process of a sample of a comparative example manufactured in an experimental example. 実験例において測定されたサンプルの変形量を表すパラメーターを説明するための概略図。FIG. 9 is a schematic diagram for explaining parameters indicating the amount of deformation of a sample measured in an experimental example. 実験例において得られたグラフを示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a graph obtained in an experimental example. 実験例において得られたグラフを示す説明図。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a graph obtained in an experimental example.

A．実施形態：
図１は、本発明の一実施形態としてのセラミック基板の製造工程を示す工程フロー図である。本実施形態では、片面に接着層を有する接着層付きのグリーンシートを作製し、それを用いて多層構造のセラミック基板が作製される。工程１〜４では、接着層付きのグリーンシートとして、接着成分を含むグリーンシートと通常のグリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体が作製される。以下では、工程１〜４の工程の内容の概要を説明した後に、工程１〜４を実行可能なグリーンシート積層体製造装置の一例を説明する。 A. Embodiment:
FIG. 1 is a process flow chart showing a manufacturing process of a ceramic substrate as one embodiment of the present invention. In the present embodiment, a green sheet with an adhesive layer having an adhesive layer on one side is manufactured, and a ceramic substrate having a multilayer structure is manufactured using the green sheet. In steps 1 to 4, a green sheet laminate in which a green sheet containing an adhesive component and a normal green sheet are laminated as a green sheet with an adhesive layer is produced. In the following, after an outline of the contents of the steps 1 to 4 is described, an example of a green sheet laminate manufacturing apparatus capable of executing the steps 1 to 4 will be described.

工程１では、第１セラミックスラリーがシート状に塗布されて、第１グリーンシートが成形される。第１セラミックスラリーは、例えば、主成分としてのアルミナ（Ａｌ２Ｏ３）粉末と、液状の接着剤と、加熱によって溶融する有機化合物と、溶剤と、を混合することによって作製される。液状の接着剤としては、ブラチール系樹脂と可塑剤とを主成分とするものが望ましい。有機化合物としては、高級アルコール（例えば、ステリアルアルコール）を用いることができる。溶剤としては、メチルエチルケトン（ＭＥＫ）やトルエンを用いることができる。第１セラミックスラリーは、以下に説明する第２セラミックスラリーよりも溶剤の含有量を低減させて粘度を低下させてある。この理由については後述する。第１グリーンシートは、以下に説明する第２グリーンシートよりも薄く形成されることが望ましく、例えば、１０μ以上、かつ、５０μｍ以下の厚みで形成される。本実施形態の工程１が、本発明におけるグリーンシート成形工程の下位概念に相当する。 In step 1, the first ceramic slurry is applied in a sheet form to form a first green sheet. The first ceramic slurry is produced, for example, by mixing alumina (Al 2 O 3 ) powder as a main component, a liquid adhesive, an organic compound that is melted by heating, and a solvent. As the liquid adhesive, an adhesive mainly containing a bratyl resin and a plasticizer is desirable. As the organic compound, a higher alcohol (for example, sterial alcohol) can be used. As the solvent, methyl ethyl ketone (MEK) or toluene can be used. The first ceramic slurry has a lower solvent content and lower viscosity than the second ceramic slurry described below. The reason will be described later. The first green sheet is desirably formed to be thinner than the second green sheet described below. For example, the first green sheet is formed to have a thickness of 10 μm or more and 50 μm or less. Step 1 of the present embodiment corresponds to a lower concept of the green sheet forming step in the present invention.

工程２では、未乾燥の第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートが成形され、未乾燥のグリーンシート積層体が形成される。第２セラミックスラリーは、例えば、主成分としてのアルミナ粉末と、ブラチール系樹脂（例えば、ポリビニルブラチール系樹脂）と、第１セラミックスラリーと同様な溶剤と、可塑剤と、を混合することによって作製される。第２グリーンシートは、例えば、１５μｍ以上の厚さで形成される。本実施形態の工程２が、本発明における積層体形成工程の下位概念に相当する。   In step 2, the second ceramic slurry is applied in a sheet shape on the undried first green sheet to form a second green sheet, thereby forming an undried green sheet laminate. The second ceramic slurry is prepared, for example, by mixing alumina powder as a main component, a bratyl-based resin (for example, polyvinyl bratyl-based resin), a solvent similar to the first ceramic slurry, and a plasticizer. Is done. The second green sheet is formed, for example, with a thickness of 15 μm or more. Step 2 of the present embodiment corresponds to a lower concept of the laminate forming step in the present invention.

工程３では、未乾燥のグリーンシート積層体を加熱する第１加熱処理が実行される。第１加熱処理では、グリーンシート積層体が過剰に乾燥した状態になってしまわない程度の温度や時間で加熱されることが望ましい。第１加熱処理では、グリーンシート積層体の乾燥が抑制されるように湿度が調整された環境下で加熱されてもよい。第１加熱処理では、グリーンシート積層体が、例えば、５０℃以上、かつ、１００℃以下の温度で、数分以上、加熱される。以下では、第１加熱処理における加熱温度を「第１加熱温度」とも呼ぶ。本実施形態の工程３が、本発明における加熱工程の下位概念に相当する。   In step 3, a first heat treatment for heating the undried green sheet laminate is performed. In the first heat treatment, it is desirable that the green sheet laminate is heated at a temperature and for a time that does not cause the green sheet laminate to be excessively dried. In the first heat treatment, the green sheet laminate may be heated in an environment where humidity is adjusted so as to suppress drying. In the first heat treatment, the green sheet laminate is heated at a temperature of, for example, 50 ° C. or more and 100 ° C. or less for several minutes or more. Hereinafter, the heating temperature in the first heat treatment is also referred to as “first heating temperature”. Step 3 of the present embodiment corresponds to a lower concept of the heating step in the present invention.

工程４では、グリーンシート積層体に対する加熱をいったん終了させた後、グリーンシート積層体を、再び加熱する第２加熱処理が実行される。第２加熱処理では、グリーンシート積層体が乾燥するように加熱される。工程４では、第１グリーンシートの常温での接着性がほとんどなくなる程度に加熱されることが望ましい。第２加熱処理では、グリーンシート積層体は、例えば、１００℃より高く、２５０℃以下の温度で、数分〜数時間以上、加熱されることが望ましい。以下では、第２加熱処理における加熱温度を「第２加熱温度」とも呼ぶ。工程４を経て、第１グリーンシートが有する接着性能が一時的にほとんど消失した状態になればグリーンシート積層体のその後の取り回しが容易になる。   In step 4, after the heating of the green sheet laminate is temporarily stopped, a second heat treatment for heating the green sheet laminate again is performed. In the second heat treatment, the green sheet laminate is heated so as to be dried. In step 4, it is desirable that the first green sheet is heated to such an extent that the adhesion at room temperature is almost eliminated. In the second heat treatment, for example, the green sheet laminate is desirably heated at a temperature higher than 100 ° C. and 250 ° C. or less for several minutes to several hours or more. Hereinafter, the heating temperature in the second heat treatment is also referred to as “second heating temperature”. If the adhesion performance of the first green sheet temporarily disappears after step 4, the subsequent handling of the green sheet laminate becomes easy.

図２は、上述の工程１〜工程４を実行するグリーンシート積層体製造装置１０の構成例を示す概略図である。グリーンシート積層体製造装置１０では、ロール状に巻き取られた帯状のグリーンシート積層体が作製される。グリーンシート積層体製造装置１０は、搬送部２０と、グリーンシート成形部３０と、第１加熱部４１と、第１巻取部４２と、第２加熱部４３と、第２巻取部４５と、を備える。   FIG. 2 is a schematic diagram illustrating a configuration example of a green sheet laminate manufacturing apparatus 10 that performs the above-described steps 1 to 4. In the green sheet laminate manufacturing apparatus 10, a belt-like green sheet laminate wound in a roll shape is produced. The green sheet laminate manufacturing apparatus 10 includes a transport unit 20, a green sheet forming unit 30, a first heating unit 41, a first winding unit 42, a second heating unit 43, and a second winding unit 45. , Is provided.

搬送部２０は、メインローラー２２と、複数の補助ローラー２３と、搬送ベルト２４と、を備える。搬送部２０は、搬送ベルト２４を、複数の補助ローラー２３によって支持させつつ、メインローラー２２の側面に巻き掛かった状態で、所定の搬送速度で搬送する。搬送ベルト２４は、グリーンシート成形部３０と、第１加熱部４１を経て、第１巻取部４２へと搬送されていく。以下では、搬送ベルト２４が搬送されていく方向を単に「搬送方向」と呼ぶ。   The transport unit 20 includes a main roller 22, a plurality of auxiliary rollers 23, and a transport belt 24. The transport unit 20 transports the transport belt 24 at a predetermined transport speed while being wound around the side surface of the main roller 22 while being supported by the plurality of auxiliary rollers 23. The transport belt 24 is transported to the first winding unit 42 via the green sheet forming unit 30 and the first heating unit 41. Hereinafter, the direction in which the transport belt 24 is transported is simply referred to as “transport direction”.

グリーンシート成形部３０は、第１塗工ヘッド部３１と、第１セラミックスラリー供給部３２と、第２塗工ヘッド部３５と、第２セラミックスラリー供給部３６と、を備える。グリーンシート成形部３０は、メインローラー２２の側面に巻き掛かって搬送されていく搬送ベルト２４の表面に、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２と順に形成し、グリーンシート積層体５３を形成する。   The green sheet forming unit 30 includes a first coating head unit 31, a first ceramic slurry supply unit 32, a second coating head unit 35, and a second ceramic slurry supply unit 36. The green sheet forming unit 30 forms a first green sheet 51 and a second green sheet 52 on the surface of the conveyor belt 24 that is wound around and conveyed on the side surface of the main roller 22 in order to form a green sheet laminate 53. I do.

第１塗工ヘッド部３１は、吐出口がメインローラー２２の側面に向かって開口するように配置されている。第１塗工ヘッド部３１は、第１セラミックスラリー供給部３２から供給される第１セラミックスラリーを、搬送ベルト２４の表面に塗布し、接着層として機能する第１グリーンシート５１を形成する。第１塗工ヘッド部３１としては、スラリーの吐出圧力の制御が容易であり、厚みの小さい第１グリーンシート５１の成形に適しているタイプのものが用いられることが望ましい。   The first coating head section 31 is arranged such that the discharge port opens toward the side surface of the main roller 22. The first coating head unit 31 applies the first ceramic slurry supplied from the first ceramic slurry supply unit 32 to the surface of the conveyor belt 24 to form a first green sheet 51 functioning as an adhesive layer. As the first coating head unit 31, it is desirable to use a type that is easy to control the discharge pressure of the slurry and is suitable for forming the first green sheet 51 having a small thickness.

第２塗工ヘッド部３５は、第１塗工ヘッド部３１よりも搬送方向における下流側に設けられており、第１塗工ヘッド部３１と同様に、吐出口がメインローラー２２の側面に向かって開口するように配置されている。第２塗工ヘッド部３５は、第２セラミックスラリー供給部３２から供給される第２セラミックスラリーを、未乾燥の第１グリーンシート５１の上に塗布し、第２グリーンシート５２を形成する。   The second coating head unit 35 is provided downstream of the first coating head unit 31 in the transport direction, and the discharge port faces the side surface of the main roller 22 similarly to the first coating head unit 31. It is arranged so that it may open. The second coating head unit 35 applies the second ceramic slurry supplied from the second ceramic slurry supply unit 32 onto the undried first green sheet 51 to form a second green sheet 52.

第１加熱部４１は、搬送方向においてグリーンシート成形部３０の下流側に設けられており、搬送ベルト２４によって搬送されていく未乾燥のグリーンシート積層体５３に対して、上述した第１加熱処理を実行する。第１加熱部４１は、第１加熱温度に相当する温度を有する熱源体を備えており、グリーンシート積層体５３は、当該熱源体によって直接的または間接的に加熱される。   The first heating unit 41 is provided on the downstream side of the green sheet forming unit 30 in the transport direction, and performs the above-described first heat treatment on the undried green sheet laminate 53 transported by the transport belt 24. Execute The first heating unit 41 includes a heat source having a temperature corresponding to the first heating temperature, and the green sheet laminate 53 is directly or indirectly heated by the heat source.

第１加熱部４１において加熱されたグリーンシート積層体５３は、第１巻取部４２へと搬送される。第１巻取部４２は、回転リール（図示は省略）を備えている。グリーンシート積層体５３は、未乾燥の状態のまま、第１巻取部４２において回転リールに巻き取られる。第１巻取部４２において巻き取られたグリーンシート積層体５３は、回転リールから再び繰り出されて、再び搬送ベルト（図示は省略）によって第２加熱部４３へと搬送される。   The green sheet laminate 53 heated in the first heating unit 41 is transported to the first winding unit 42. The first winding unit 42 includes a rotating reel (not shown). The green sheet laminated body 53 is wound on a rotating reel in the first winding section 42 in an undried state. The green sheet laminate 53 wound in the first winding unit 42 is fed out again from the rotating reel, and is again conveyed to the second heating unit 43 by a conveying belt (not shown).

第２加熱部４３は、搬送ベルトによって搬送されていく未乾燥のグリーンシート積層体５３に対して、上述した第２加熱処理を実行する。第２加熱部４３は、第２加熱温度に相当する温度を有する熱源体を備えており、グリーンシート積層体５３は、当該熱源体によって直接的または間接的に加熱されて、乾燥される。   The second heating unit 43 performs the above-described second heating process on the undried green sheet laminate 53 being transported by the transport belt. The second heating unit 43 includes a heat source having a temperature corresponding to the second heating temperature, and the green sheet laminate 53 is directly or indirectly heated by the heat source and dried.

第２巻取部４５は、回転リール（図示は省略）を備えている。第２巻取部４５は、第２加熱部４３を通過して、第１グリーンシート５１の接着性能が低下しているグリーンシート積層体５３を、搬送ベルトから剥離させて、当該回転リールに巻き取る。このように、グリーンシート積層体製造装置１０によれば、帯状のグリーンシート積層体５３を流れ工程によって効率的に製造することができる。この後のセラミック基板の製造工程における工程５〜７（図１）では、必要なサイズのグリーンシート積層体５３が切り出されて用いられる。   The second winding unit 45 includes a rotating reel (not shown). The second winding unit 45 passes the second heating unit 43, peels off the green sheet laminate 53 having the reduced adhesion performance of the first green sheet 51 from the transport belt, and winds the green sheet laminate 53 around the rotating reel. take. As described above, according to the green sheet laminate manufacturing apparatus 10, the belt-like green sheet laminate 53 can be efficiently produced by the flow process. In the subsequent steps 5 to 7 (FIG. 1) of the ceramic substrate manufacturing process, a green sheet laminate 53 having a required size is cut out and used.

このように、本実施形態では、グリーンシート積層体５３に対して、第２加熱処理の前に、第１加熱処理が施されている。後述する実験例において示すように、そのような加熱工程を経たグリーンシート積層体５３であれば、後の工程において熱負荷が付与された場合であっても、各層間の変形量の差に起因して歪み変形が生じてしまうことが抑制される。これは、第１加熱処理によって、グリーンシートの成形時や搬送時に各層に生じてしまう内部応力が低減されるためであると推察される。   As described above, in the present embodiment, the first heat treatment is performed on the green sheet laminate 53 before the second heat treatment. As shown in an experimental example described later, if the green sheet laminate 53 has undergone such a heating step, even if a thermal load is applied in a subsequent step, the green sheet laminate 53 may be caused by a difference in the amount of deformation between the respective layers. As a result, the occurrence of distortion deformation is suppressed. It is inferred that this is because the first heat treatment reduces the internal stress that occurs in each layer when the green sheet is formed or conveyed.

また、本実施形態では、上述したように、溶剤の含有量を調整することによって、第１セラミックスラリーの粘度を第２セラミックスラリーより低下させてある。これによって、第１グリーンシート５１の上に第２グリーンシート５２が成形される前に、第１グリーンシート５１の表面における溶剤成分の揮発が促進され、第１グリーンシート５１の成分と第２グリーンシート５２の成分とが混ざり合ってしまうことが抑制される。これによって、後の工程における熱負荷によるグリーンシート積層体５３の歪み変形が、さらに抑制される。   In this embodiment, as described above, the viscosity of the first ceramic slurry is made lower than that of the second ceramic slurry by adjusting the content of the solvent. Thus, before the second green sheet 52 is formed on the first green sheet 51, the evaporation of the solvent component on the surface of the first green sheet 51 is promoted, and the components of the first green sheet 51 and the second green sheet Mixing with the components of the sheet 52 is suppressed. Thereby, the distortion deformation of the green sheet laminate 53 due to a heat load in a later step is further suppressed.

図３は、セラミック基板の製造工程（図１）における工程５〜７の内容を模式的に示す概略図である。工程５では、グリーンシート積層体５３に導体ペーストが配置される（図３の（ａ）欄）。導体ペーストとしては、例えば、タングステン（Ｗ）やモリブデン（Ｍｏ）を主成分とするものを用いることができる。工程５では、まず、グリーンシート積層体５３に貫通孔（ビア）が形成され、当該貫通孔内に導体ペーストが充填されることによって未焼成のビア電極５４が形成される。次に、グリーンシート積層体５３の表面にスクリーン印刷などによって、導体ペーストが塗布され、未焼成の電極パッドや配線パターンなどを含む未焼成の配線層５５が形成される。導体ペーストが配置された後に、グリーンシート積層体５３は、乾燥のために加熱される。本実施形態のグリーンシート積層体５３であれば、このときの熱負荷によって歪み変形が生じてしまうことが抑制される。   FIG. 3 is a schematic diagram schematically showing the contents of steps 5 to 7 in the manufacturing process of the ceramic substrate (FIG. 1). In step 5, the conductive paste is arranged on the green sheet laminate 53 (column (a) of FIG. 3). As the conductor paste, for example, a paste containing tungsten (W) or molybdenum (Mo) as a main component can be used. In step 5, first, a through-hole (via) is formed in the green sheet laminate 53, and an unfired via electrode 54 is formed by filling the through-hole with a conductive paste. Next, a conductor paste is applied to the surface of the green sheet laminate 53 by screen printing or the like, and an unfired wiring layer 55 including unfired electrode pads and wiring patterns is formed. After the conductive paste is placed, the green sheet laminate 53 is heated for drying. With the green sheet laminate 53 of the present embodiment, the occurrence of distortion and deformation due to the thermal load at this time is suppressed.

工程６では、導体ペーストが配置されたグリーンシート積層体５３が複数枚積層されて熱圧着されることにより、未焼成積層体５６が作製される（図３の（ｂ）欄）。工程６の熱圧着工程では、各グリーンシート積層体５３は、ヒーターブロックなどによって、第１グリーンシート５１に含まれる有機化合物の溶融温度よりも高い温度で加熱される。これによって、第１グリーンシート５１に含まれる有機化合物が溶融し、同じく第１グリーンシート５１に含まれる接着剤の接着性が発現するため、未焼成積層体５６を構成している各グリーンシート積層体５３同士が接着される。本実施形態のグリーンシート積層体５３であれば、このときの熱負荷によって歪み変形が生じてしまうことも抑制される。   In step 6, a plurality of green sheet laminates 53 on which the conductive paste is arranged are laminated and thermocompression-bonded to produce an unfired laminate 56 (column (b) in FIG. 3). In the thermocompression bonding step of step 6, each green sheet laminate 53 is heated by a heater block or the like at a temperature higher than the melting temperature of the organic compound contained in the first green sheet 51. As a result, the organic compound contained in the first green sheet 51 is melted, and the adhesiveness of the adhesive contained in the first green sheet 51 is also expressed. The bodies 53 are bonded together. With the green sheet laminate 53 of the present embodiment, the occurrence of distortion and deformation due to the thermal load at this time is also suppressed.

工程７では、未焼成積層体５６を、各グリーンシート５１，５２の主成分材料を焼結させることができる温度（例えば、１８００℃以下）で加熱して焼成することによって、セラミック基板６０が生成される（図３の（ｃ）欄）。この工程では、第２グリーンシート５２中の接着剤が脱脂されて焼失され、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とが一体化し、セラミック層６３が生成される。また、導体ペーストの焼結によって、ビア電極６４および配線層６５が生成される。   In step 7, the ceramic substrate 60 is formed by heating and firing the unfired laminate 56 at a temperature (for example, 1800 ° C. or lower) at which the main component materials of the green sheets 51 and 52 can be sintered. (See column (c) of FIG. 3). In this step, the adhesive in the second green sheet 52 is degreased and burned off, the first green sheet 51 and the second green sheet 52 are integrated, and the ceramic layer 63 is generated. Further, via electrode 64 and wiring layer 65 are generated by sintering the conductive paste.

以上のように、本実施形態の製造工程によれば、グリーンシート積層体５３に第１加熱処理が施されているため、工程中の熱負荷によるグリーンシート積層体５３の変形が抑制され、セラミック基板６０における製造誤差や変形・劣化の発生が抑制される。その他にも、上記実施形態中で説明した種々の作用効果を奏することができる。   As described above, according to the manufacturing process of this embodiment, since the first heat treatment is performed on the green sheet laminate 53, the deformation of the green sheet laminate 53 due to the heat load during the process is suppressed, and the ceramic sheet Production errors and deformation / deterioration of the substrate 60 are suppressed. In addition, the various functions and effects described in the above embodiment can be obtained.

［実験例］
図４〜図７を順に参照して、本実施形態の製造工程によって作製されたグリーンシート積層体における歪み変形の抑制効果を示す実験結果を説明する。本実験例では、実施例および比較例としてのグリーンシート積層体のサンプルＳａ，Ｓｂのそれぞれに熱負荷を与え、加熱時間に対する変形量の変化を検証した。実施例のサンプルＳａは、図２で説明したグリーンシート積層体製造装置１０を用いて作製された帯状のグリーンシート積層体５３から所定のサイズで略四角形状に切り出されたものである。比較例のサンプルＳｂは、以下に説明する製造工程によって作製された帯状のグリーンシート積層体から実施例のサンプルと同一のサイズで切り出されたものである。 [Example of experiment]
With reference to FIGS. 4 to 7 in order, experimental results showing the effect of suppressing distortion deformation in the green sheet laminate manufactured by the manufacturing process of the present embodiment will be described. In this experimental example, a heat load was applied to each of the samples Sa and Sb of the green sheet laminate as the example and the comparative example, and the change in the amount of deformation with respect to the heating time was verified. The sample Sa of the example is cut into a substantially square shape at a predetermined size from a band-shaped green sheet laminate 53 manufactured using the green sheet laminate manufacturing apparatus 10 described in FIG. The sample Sb of the comparative example was cut out from the band-shaped green sheet laminate manufactured by the manufacturing process described below in the same size as the sample of the example.

図４は、比較例のサンプルの製造工程を説明するための概略図である。比較例のサンプルにおける第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２は、ドクターブレード法によって、それぞれ別々の支持フィルム７０ａ，７０ｂ上に形成され、乾燥後に、別々のリール７１，７２に巻き取られたものを用いた。各リール７１，７２に巻き取られている第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とは、以下に説明するラミネート装置８０により貼り合わされた。   FIG. 4 is a schematic diagram for explaining a manufacturing process of a sample of a comparative example. The first green sheet 51 and the second green sheet 52 in the sample of the comparative example were formed on separate support films 70a and 70b by a doctor blade method, and were wound on separate reels 71 and 72 after drying. Was used. The first green sheet 51 and the second green sheet 52 wound on the respective reels 71 and 72 were bonded by a laminating device 80 described below.

ラミネート装置８０は、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とをそれぞれリール７１，７２から繰り出して、搬送ローラー８３によって並列に搬送し、圧着ローラー８５によって両者を圧着し、リール８６に巻き取るように構成されている。ラミネート装置８０は、圧着ローラー８５の上流側に設けられた加熱部８４の加熱により、第１グリーンシート５１の接着性能を発現させた状態で、第１グリーンシート５１と第２グリーンシート５２とを貼り合わせることが可能である。   The laminating apparatus 80 unwinds the first green sheet 51 and the second green sheet 52 from the reels 71 and 72, respectively, conveys the first green sheet 51 and the second green sheet 52 in parallel by the conveying roller 83, crimps the both by the press roller 85, and winds the reel 86. It is configured as follows. The laminating device 80 separates the first green sheet 51 and the second green sheet 52 in a state where the bonding performance of the first green sheet 51 is developed by the heating of the heating unit 84 provided on the upstream side of the pressure roller 85. It is possible to attach.

図５は、本実験例において測定されたサンプルＳａ，Ｓｂの変形量を表すパラメーターを説明するための概略図であり、実施例および比較例のサンプルＳａ，Ｓｂを表す四角形が図示されている。本実験例では、実施例および比較例の各サンプルＳａ，Ｓｂの表面全体に、パンチング加工によって、９つのマークＭＫが、幅方向に３列、長さ方向に３列の格子状に設けられた。   FIG. 5 is a schematic diagram for explaining parameters representing the amounts of deformation of the samples Sa and Sb measured in the present experimental example, in which squares representing the samples Sa and Sb of the example and the comparative example are illustrated. In this experimental example, nine marks MK were provided in a grid pattern of three rows in the width direction and three rows in the length direction by punching on the entire surface of each sample Sa, Sb of the example and the comparative example. .

ここで、サンプルＳａ，Ｓｂにおける幅方向は、図５における紙面上下方向であり、サンプルＳａ，Ｓｂが切り出される前の帯状のグリーンシート積層体の幅方向と一致する。サンプルＳａ，Ｓｂにおける長さ方向は、図５における紙面左右方向であり、サンプルＳａ，Ｓｂが切り出される前の帯状のグリーンシート積層体の長さ方向、つまり、帯状のグリーンシート積層体の搬送方向に一致する。   Here, the width direction of the samples Sa and Sb is the vertical direction of the drawing in FIG. 5 and coincides with the width direction of the strip-shaped green sheet laminate before the samples Sa and Sb are cut out. The length direction of the samples Sa and Sb is the horizontal direction of the paper surface in FIG. 5, and is the length direction of the band-shaped green sheet laminate before the samples Sa and Sb are cut out, that is, the transport direction of the band-shaped green sheet laminate. Matches.

本実験例では、９つのマークＭＫが設けられた実施例および比較例の各サンプルＳａ，Ｓｂに対して、乾燥機によって１００℃以上の加熱温度で加熱する熱負荷を付与した。そして、加熱時間ごとに、幅方向の両端に位置するマークＭＫ間の距離Ｗ１，Ｗ２，Ｗ３と、長さ方向の両端に位置するマークＭＫ間の距離Ｌ１，Ｌ２，Ｌ３とを、サンプルＳａ，Ｓｂの変形量を表すパラメーターとして測定した。   In this experimental example, a heat load was applied to each of the samples Sa and Sb of the example and the comparative example in which nine marks MK were provided by using a dryer at a heating temperature of 100 ° C. or more. For each heating time, the distances W1, W2, W3 between the marks MK located at both ends in the width direction and the distances L1, L2, L3 between the marks MK located at both ends in the length direction are sample Sa, It was measured as a parameter representing the amount of deformation of Sb.

図６の（ａ１）〜（ａ３）欄にはそれぞれ、実施例のサンプルＳａから得られた加熱時間に対する距離Ｗ１〜Ｗ３の変化を示すグラフが図示されている。図６の（ｂ１）〜（ｂ３）欄には、比較例のサンプルＳｂから得られた加熱時間に対する距離Ｗ１〜Ｗ３の変化を示すグラフが図示されている。   The columns (a1) to (a3) of FIG. 6 respectively show graphs showing changes in the distances W1 to W3 with respect to the heating time obtained from the sample Sa of the example. In columns (b1) to (b3) of FIG. 6, graphs showing changes in the distances W1 to W3 with respect to the heating time obtained from the sample Sb of the comparative example are shown.

図６の各グラフに示されているように、実施例のサンプルＳａでは、加熱時間が長くなった場合でも、各距離Ｗ１〜Ｗ３の測定値は、基準値ＷＳから大きく外れることはなかった。これに対して、比較例のサンプルＳｂでは、加熱が開始された後、すぐに、基準値ＷＳよりも著しく小さくなった。   As shown in each graph of FIG. 6, in the sample Sa of the example, the measured values of the distances W1 to W3 did not largely deviate from the reference value WS even when the heating time was long. On the other hand, in the sample Sb of the comparative example, immediately after the heating was started, the value became significantly smaller than the reference value WS.

図７の（ａ１）〜（ａ３）欄には、実施例のサンプルＳａから得られた加熱時間に対する距離Ｌ１〜Ｌ３の変化を示すグラフが図示されている。図７の（ｂ１）〜（ｂ３）欄には、比較例のサンプルＳｂから得られた加熱時間に対する距離Ｌ１〜Ｌ３の変化を示すグラフが図示されている。なお、各グラフには、距離Ｗ１〜Ｗ３の基準値ＷＳまたは距離Ｌ１〜Ｌ３の基準値ＬＳが一点鎖線で図示されている。   In columns (a1) to (a3) of FIG. 7, graphs showing changes in the distances L1 to L3 with respect to the heating time obtained from the sample Sa of the example are shown. In columns (b1) to (b3) of FIG. 7, graphs showing changes in the distances L1 to L3 with respect to the heating time obtained from the sample Sb of the comparative example are shown. In each graph, the reference value WS of the distances W1 to W3 or the reference value LS of the distances L1 to L3 is shown by a dashed line.

図７の各グラフに示されているように、実施例のサンプルＳａでは、加熱時間が長くなった場合でも、各距離Ｌ１〜Ｌ３の測定値は、基準値ＷＳから大きく外れることはなかった。これに対して、比較例のサンプルＳｂでは、加熱が開始された後、すぐに、基準値ＬＳよりも著しく大きくなった。   As shown in each graph of FIG. 7, in the sample Sa of the example, the measured values of the distances L1 to L3 did not largely deviate from the reference value WS even when the heating time was long. On the other hand, in the sample Sb of the comparative example, immediately after the heating was started, the value became significantly larger than the reference value LS.

このように、本実施形態の製造工程によって作製されたグリーンシート積層体５３であれば、セラミック基板６０の製造工程の途中に、熱負荷を与えられた場合であっても、歪み変形を生じることが抑制される。   As described above, in the case of the green sheet laminate 53 manufactured by the manufacturing process of the present embodiment, even if a thermal load is applied during the manufacturing process of the ceramic substrate 60, distortion deformation occurs. Is suppressed.

B．変形例：
B1．変形例１：
上記実施形態では、グリーンシート積層体５３は、第１グリーンシート５１が加熱によって接着性能を発現する接着層付きのグリーンシートである。これに対して、グリーンシート積層体５３の第１グリーンシート５１は、第２グリーンシート５２と同様に、接着性能を有していなくてもよい。第１グリーンシート５１は、第２グリーンシート５２とは異なる材料成分のセラミックスラリーによって構成されていればよい。 B. Modification:
B1. Modification 1
In the above embodiment, the green sheet laminate 53 is a green sheet with an adhesive layer in which the first green sheet 51 exhibits an adhesive property when heated. On the other hand, like the second green sheet 52, the first green sheet 51 of the green sheet laminate 53 does not need to have the adhesive performance. The first green sheet 51 may be formed of a ceramic slurry having a material component different from that of the second green sheet 52.

B2．変形例２：
上記実施形態において、第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２はアルミナを主成分とするセラミックスラリーによって作製されている。これに対して、第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２はアルミナ以外の他の材料を主成分とするセラミックスラリーによって作製されてもよい。第１グリーンシート５１および第２グリーンシート５２は、例えば、ジルコニア（ＺｒＯ２）を主成分とするセラミックスラリーによって作製されてもよい。 B2. Modified example 2:
In the above embodiment, the first green sheet 51 and the second green sheet 52 are made of a ceramic slurry containing alumina as a main component. On the other hand, the first green sheet 51 and the second green sheet 52 may be made of a ceramic slurry containing a material other than alumina as a main component. The first green sheet 51 and the second green sheet 52 may be made of, for example, a ceramic slurry containing zirconia (ZrO 2 ) as a main component.

本発明は、上述の実施形態や実施例、変形例に限られるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲において種々の構成で実現することができる。例えば、発明の概要の欄に記載した各形態中の技術的特徴に対応する実施形態、実施例、変形例中の技術的特徴は、上述の課題の一部又は全部を解決するために、あるいは、上述の効果の一部又は全部を達成するために、適宜、差し替えや、組み合わせを行うことが可能である。また、その技術的特徴が本明細書中に必須なものとして説明されていなければ、適宜、削除することが可能である。   The present invention is not limited to the above-described embodiments, examples, and modifications, and can be implemented with various configurations without departing from the spirit of the invention. For example, the technical features in the embodiments, examples, and modifications corresponding to the technical features in each embodiment described in the Summary of the Invention section are for solving some or all of the above-described problems, or In order to achieve some or all of the above-described effects, replacement and combination can be appropriately performed. If the technical features are not described as essential in this specification, they can be deleted as appropriate.

１０…グリーンシート積層体製造装置
２０…搬送部
２２…メインローラー
２３…補助ローラー
２４…搬送ベルト
３０…グリーンシート成形部
３１…第１塗工ヘッド部
３２…第１セラミックスラリー供給部
３５…第２塗工ヘッド部
３６…第２セラミックスラリー供給部
４１…第１加熱部
４２…第１巻取部
４３…第２加熱部
４５…第２巻取部
５１…第１グリーンシート
５２…第２グリーンシート
５３…グリーンシート積層体
５４…未焼成のビア電極
５５…未焼成の配線層
５６…未焼成積層体
６０…セラミック基板
６３…セラミック層
６４…ビア電極
６５…配線層
７０ａ，７０ｂ…支持フィルム
７１，７２…リール
８０…ラミネート装置
８３…搬送ローラー
８４…加熱部
８５…圧着ローラー
８６…リール DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Green sheet laminated body manufacturing apparatus 20 ... Conveying part 22 ... Main roller 23 ... Auxiliary roller 24 ... Conveying belt 30 ... Green sheet forming part 31 ... First coating head part 32 ... First ceramic slurry supply part 35 ... Second Coating head section 36 second ceramic slurry supply section 41 first heating section 42 first winding section 43 second heating section 45 second winding section 51 first green sheet 52 second green sheet 53 green sheet laminate 54 unfired via electrode 55 unfired wiring layer 56 unfired laminate 60 ceramic substrate 63 ceramic layer 64 via electrode 65 wiring layers 70a and 70b support film 71 72 reel 80 laminating device 83 transport roller 84 heating unit 85 pressure roller 86 reel

Claims (7)

セラミック基板の製造方法であって、
第１セラミックスラリーをシート状に塗布して、第１グリーンシートを成形するグリーンシート成形工程と、
未乾燥の前記第１グリーンシートの上に、第２セラミックスラリーをシート状に塗布して、第２グリーンシートを成形し、前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートとが積層されたグリーンシート積層体を形成する積層体形成工程と、
前記グリーンシート積層体を、前記グリーンシート積層体が乾燥した状態にならない条件で加熱する加熱工程と、
を備え、
前記グリーンシート成形工程と前記積層体形成工程は、メインローラーの側面に巻きかかった状態で搬送されていく搬送ベルトの表面に前記第１グリーンシートと前記第２グリーンシートを順に形成するグリーンシート成形部を備えるグリーンシート積層体製造装置を用いて実行され、
前記グリーンシート成形工程は、前記グリーンシート成形部が備える第１塗工ヘッドによって、前記第１セラミックスラリーを前記搬送ベルトの前記メインローラー上に位置する表面に塗布する工程を含み、
前記積層体形成工程は、前記搬送ベルトが搬送されていく方向において前記第１塗工ヘッドよりも下流側に設けられている第２塗工ヘッドによって、前記第２セラミックスラリーを前記メインローラー上に位置する未乾燥の前記第１グリーンシート上に塗布する工程を含む、製造方法。 A method for manufacturing a ceramic substrate, comprising:
A green sheet forming step of applying the first ceramic slurry in a sheet shape to form a first green sheet;
A second ceramic slurry is applied in a sheet shape on the undried first green sheet to form a second green sheet, and a green sheet in which the first green sheet and the second green sheet are laminated A laminate forming step of forming a laminate,
A heating step of heating the green sheet laminate under a condition that the green sheet laminate does not become dry.
Equipped with a,
The green sheet forming step and the laminate forming step include forming the first green sheet and the second green sheet in order on a surface of a conveyor belt that is conveyed while being wound around a side surface of a main roller. It is performed using a green sheet laminate manufacturing apparatus having a part,
The green sheet forming step includes a step of applying the first ceramic slurry to a surface of the conveyor belt located on the main roller by a first coating head provided in the green sheet forming unit,
In the laminate forming step, the second ceramic slurry is placed on the main roller by a second coating head provided downstream of the first coating head in a direction in which the transport belt is transported. A production method , comprising a step of applying the composition onto the undried first green sheet located . 請求項１記載の製造方法であって、
前記加熱工程は、第１加熱温度で加熱する第１加熱工程であり、さらに、
前記第１加熱工程の後、前記第１加熱温度よりも高い第２加熱温度で、前記グリーンシート積層体を加熱する第２加熱工程を備える、製造方法。 The method according to claim 1, wherein
The heating step is a first heating step of heating at a first heating temperature, and further,
A manufacturing method, comprising: after the first heating step, a second heating step of heating the green sheet laminate at a second heating temperature higher than the first heating temperature. 請求項２記載の製造方法であって、
前記第１加熱温度は、１００℃以下の温度であり、
前記第２加熱温度は、２５０℃以下の温度である、製造方法。 The method according to claim 2, wherein
The first heating temperature is a temperature of 100 ° C. or less,
The manufacturing method, wherein the second heating temperature is a temperature of 250 ° C. or less. 請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の製造方法であって、
前記第１セラミックスラリーは、熱溶融したときに接着性を発現する接着剤を含む、製造方法。 The method according to any one of claims 1 to 3, wherein
The manufacturing method, wherein the first ceramic slurry includes an adhesive that exhibits adhesiveness when melted by heat. 請求項１から請求項４のいずれか一項に記載の製造方法であって、
前記第１セラミックスラリーの粘度は、前記第２セラミックスラリーの粘度よりも低い、製造方法。 The method according to any one of claims 1 to 4, wherein
The method of manufacturing, wherein the viscosity of the first ceramic slurry is lower than the viscosity of the second ceramic slurry. 請求項４記載の製造方法であって、さらに、
前記グリーンシート積層体に未焼成の導体材料を配置する導体材料配置工程と、
前記導体材料が配置された複数の前記グリーンシート積層体を積層して熱圧着し、未焼成のセラミック積層体を形成する未焼成セラミック積層体形成工程と、
前記未焼成のセラミック積層体を焼成する焼成工程と、
を備える、製造方法。 The method according to claim 4, further comprising:
A conductor material arranging step of arranging an unfired conductor material in the green sheet laminate,
An unfired ceramic laminate forming step of laminating and thermally pressing a plurality of the green sheet laminates on which the conductive material is arranged, and forming an unfired ceramic laminate,
A firing step of firing the unfired ceramic laminate,
A manufacturing method comprising: 請求項１から請求項６のいずれか一項に記載の製造方法であって、
前記加熱工程は、前記グリーンシート積層体を、前記乾燥した状態にならない条件で加熱し、前記グリーンシート積層体を乾燥させないまま加熱を終了する工程を含む、製造方法。 The method according to any one of claims 1 to 6, wherein
The heating step, the green sheet laminated body is heated under the condition that the not to dry state, comprising the step of terminating the heating of the green sheet laminate without drying method.
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