JP6618380B2 - 自動化されたs/tem取得および測定のための既知の形状の薄片を使用したパターン・マッチング - Google Patents
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Description
104 薄片窓
106 関心領域
108 薄片窓の頂部に対応する線
110 薄片窓の左縁に対応する線
111 薄片窓の右縁に対応する線
112a 線108に対して垂直な線
112b 線108に対して垂直な線
114 下境界線
120 基板の領域
Claims (26)
- 薄片窓上の関心領域内の特徴部分を、画像化する前記特徴部分についての知識を必要とせずに、透過電子顕微鏡(TEM)内で自動的に画像化する方法であって、
既知の形状を有する薄片をTEM内のTEMグリッド上に置くことと、
前記薄片窓を含む画像を形成するために前記TEMグリッドに向かって電子ビームを導くことと、
前記画像内の前記薄片窓の外辺部を決定することと、
前記関心領域の向きを決定することであって、前記関心領域の前記向きが移動方向を規定することと、
前記関心領域の一部分を識別するために、前記関心領域の一部分の第1の画像を得ることと、
前記関心領域の一部分の複数の画像を得るために、前記第1の画像の1つの位置から前記移動方向に沿って進めて、複数の画像を得ることであって、前記複数の画像が、前記関心領域内の検査対象の個々の前記特徴部分の画像認識を使用することなしに得られることと
を含む方法。 - 前記薄片窓の前記外辺部を決定することが、
前記薄片窓の頂部に対応する線を決定するために、前記画像を処理することと、
前記薄片窓の頂部に対応する前記線に対して垂直な2本の線を計算することであって、前記2本の線が、前記窓の縁に隣接し、前記窓の前記頂部から延びて、前記関心領域の側部境界を画定することと、
前記関心領域の下境界線を決定することと
を含む、請求項1に記載の方法。 - 前記複数の画像の合成画像を形成することをさらに含む、請求項1または2に記載の方法。
- 前記薄片の向きを決定することが、前記薄片に前記電子ビームを導くことと、前記窓を透過した電子のパターンを観察することとをさらに含む、請求項1から3のいずれか一項に記載の方法。
- 前記薄片に前記電子ビームを導くことが、前記薄片窓の下方の基板に向かって前記電子ビームを導くことを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記窓を透過した電子のパターンを観察することが、前記基板の高分解能画像に対してフーリエ変換を実行することを含む、請求項5に記載の方法。
- 前記窓を透過した電子のパターンを観察することが、回折パターンの向きを決定することを含む、請求項5または6に記載の方法。
- 前記薄片に前記電子ビームを導くことが、画像を取得するために、前記薄片に向かって前記電子ビームを導くことと、前記画像を処理することによって前記薄片の向きを決定することとを含む、請求項4に記載の方法。
- 前記画像を処理することが、エッジ検出を使用することを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記画像を処理することが、パターン・マッチングを使用することを含む、請求項8または9に記載の方法。
- 決定された前記移動方向に従って前記複数の画像の向きを再設定することをさらに含む、請求項4から10のいずれか一項に記載の方法。
- 関心領域の下境界線を決定することが、エッジ検出を使用することを含む、請求項2から11のいずれか一項に記載の方法。
- 関心領域の下境界線を決定することが、前記薄片窓の頂部の下方の所定の距離のところに下境界を置くことを含む、請求項2から11のいずれか一項に記載の方法。
- 薄片窓上の関心領域内の特徴部分を、画像化する前記特徴部分についての知識を必要とせずに、自動的に画像化するようにプログラムされた透過電子顕微鏡(TEM)であって、
電子源と、
前記電子源からの電子を集束させてビームにする集束カラムと、
電子または2次粒子を検出する検出器と、
上に配置された試料を支持し移動させる試料ステージと、
コンピュータ実行可能命令がプログラムされたコントローラと
を備え、前記コンピュータ実行可能命令が、前記コントローラによって実行されたときに、
前記薄片窓を含む画像を形成するために、既知の形状を有する薄片を含むTEMグリッドに向かって前記電子ビームを導くことと、
前記画像内の前記薄片窓の外辺部を決定するために、前記画像を処理することと、
前記関心領域の向きを決定することであって、前記関心領域の前記向きが移動方向を規定することと、
前記関心領域の一部分を識別するために、前記関心領域の一部分の第1の画像を得ることと、
前記関心領域の部分の複数の画像を得るために、前記第1の画像の1つの位置から前記移動方向に沿って進めて、複数の画像を得ることであって、前記複数の画像が、前記関心領域内の検査対象の個々の前記特徴部分の画像認識を使用することなしに得られることと
を前記顕微鏡に実行させる透過電子顕微鏡(TEM)。 - 前記薄片窓の前記外辺部を決定するために、前記画像を処理することが、
前記画像を処理して、前記薄片窓の頂部に対応する線を決定することと、
前記画像を処理して、前記薄片窓の頂部に対応する前記線に対して垂直な2本の線を計算することであって、前記2本の線が、前記窓の縁に隣接し、前記窓の前記頂部から延びて、前記関心領域の側部境界を画定することと、
前記画像を処理して、前記関心領域の下境界線を決定することと
を含む、請求項14に記載の透過電子顕微鏡。 - 前記複数の画像の合成画像を形成する命令をさらに含む、請求項14または15に記載の透過電子顕微鏡。
- 前記薄片の向きを決定する前記命令が、前記薄片に前記電子ビームを導く命令と、前記窓を透過した電子のパターンを観察する命令とをさらに含む、請求項14から16のいずれか一項に記載の透過電子顕微鏡。
- 前記薄片に前記電子ビームを導くことが、前記薄片窓の下方の基板に向かって前記電子ビームを導くことを含む、請求項17に記載の透過電子顕微鏡。
- 前記窓を透過した前記電子のパターンを観察することが、前記基板の高分解能画像に対してフーリエ変換を実行することを含む、請求項18に記載の透過電子顕微鏡。
- 前記窓を透過した前記電子のパターンを観察することが、回折パターンの向きを決定することを含む、請求項18または19に記載の透過電子顕微鏡。
- 前記薄片に前記電子ビームを導くことが、画像を取得するために、前記薄片に向かって前記電子ビームを導くことと、前記画像を処理することによって前記薄片の向きを決定することとを含む、請求項17に記載の透過電子顕微鏡。
- 前記画像を処理することが、エッジ検出を使用することを含む、請求項21に記載の透過電子顕微鏡。
- 前記画像を処理することが、パターン・マッチングを使用することを含む、請求項21または22に記載の透過電子顕微鏡。
- 決定された前記移動方向に従って前記複数の画像の向きを再設定する命令をさらに含む、請求項15から23のいずれか一項に記載の透過電子顕微鏡。
- 関心領域の下境界線を決定する前記命令が、エッジ検出に対する命令をさらに含む、請求項15から24のいずれか一項に記載の透過電子顕微鏡。
- 関心領域の下境界線を決定する前記命令が、前記薄片窓の頂部の下方の所定の距離のところに下境界を置く命令をさらに含む、請求項15から24のいずれか一項に記載の透過電子顕微鏡。
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