JP6615698B2 - 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム - Google Patents

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Description

本発明は、被搬送体を搬送する搬送装置および搬送方法、ならびに検査システムに関する。
半導体デバイスの製造プロセスでは、半導体ウエハに形成されたＩＣチップの電気的検査が行われる。このような電気的検査を行う検査装置として、一般的に、半導体ウエハに形成された半導体素子の電極にプローブを接触させて電気的検査を行うプローブ装置が用いられる。
このような電気的検査を多数の半導体ウエハに対して効率的に行うため、プローブ装置（検査装置）を複数台並べ、フープ（ＦＯＵＰ）等の収納容器に収納された半導体ウエハを搬送装置により各プローブ装置に搬送する検査システムが提案されている（例えば、特許文献１）。
近時、半導体ウエハの電気的検査のさらなる効率化の観点から、プローブ装置（検査装置）を横方向に１０〜１５台も並べた検査システムも要求されている。
特開２０１３−２５４８１２号公報
このように検査装置の数が増加すると、半導体ウエハを搬送する搬送装置は、ウエハの受け渡しを行うローダーの横方向の移動距離（ストローク）が最長で十数メートルにも及ぶため、駆動方式として一般的に用いられるボールネジ駆動やリニアモータ駆動の適用は技術的に困難である。
これに対して、タイミングベルトを用いるベルト駆動方式は、このような長い移動距離の搬送に適している。
しかし、タイミングベルトは、十数メートルと長くなると、たるみや伸長の影響があり、ローダーの位置を制御する際に、ソフトウエア上の座標に基づくローダーの位置と、実際のローダーの位置とにズレが生じてしまい、被搬送体である半導体ウエハを正確に搬送できない場合が生じる。
したがって、本発明は、タイミングベルトを用いるベルト駆動方式を採用しても、被搬送体を正確な位置で受け渡すことができる搬送装置および搬送方法、ならびにこのような搬送装置を用いた検査システムを提供することを課題とする。
上記課題を解決するため、本発明の第１の観点は、被搬送体の受け渡しを行うための受け渡し部と、前記受け渡し部を一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部による被搬送体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサーと、前記受け渡し部を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記受け渡し部の位置に関する座標を有しており、前記位置センサーからの前記信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部における前記座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする搬送装置を提供する。
前記受け渡し部が前記受け渡し位置の近傍に達した際に、前記受け渡し部を前記受け渡し位置に機械的に位置決めする位置決め機構をさらに有することが好ましい。
前記位置センサーは前記受け渡し部に設けられ、前記搬送路には、前記受け渡し位置に対応する所定の位置に設けられたフラグが設けられ、前記位置センサーが前記フラグに達した際に前記位置センサーから前記信号が発せられる構成とすることができる。
前記位置センサーは前記一方向に直交する方向に複数個配置することができる。
前記受け渡し部は、接続部材を介して前記タイミングベルトに接続されており、前記接続部材は、前記タイミングベルトの上段側に接続されている構成をとることができる。また、前記受け渡し部に接続されるケーブルを収納するケーブルダクトと、前記ケーブルダクトの上段側を支持するローラ部とをさらに有する構成をとることができる。
本発明の第２の観点は、被搬送体の受け渡しを行うための受け渡し部と、前記受け渡し部を一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部による被搬送体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、前記受け渡し部を制御する制御部とを有する搬送装置を用いた搬送方法であって、前記制御部が、前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部の前記受け渡し部の位置に関する座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする搬送方法を提供する。
本発明の第３の観点は、一方向に配列され、被検査体の電気的検査を行う複数の検査装置を有する検査ユニットと、前記複数の検査装置に対して被検査体を搬送する搬送装置とを有する検査システムであって、前記搬送装置は、前記複数の検査装置に対して被検査体の受け渡しを行うための受け渡し部と、前記受け渡し部を前記一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部と前記検査装置のそれぞれとの間で被検査体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサーと、前記受け渡し部を制御する制御部とを有し、前記制御部は、前記受け渡し部の位置に関する座標を有しており、前記位置センサーからの前記信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部における前記座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする検査システムを提供する。
本発明によれば、受け渡し部を一方向に沿って移動させ、受け渡し部による被搬送体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路に沿って、タイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構により受け渡し部を移動させ、受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際にセンサーから発せられた信号を制御部が受け取った際に、その都度その信号に基づいて、制御部における座標上の受け渡し部の位置データを補正する。このため、受け渡し部の移動方向の位置ずれを適宜修正して、受け渡し位置を精度良く設定することができ、被搬送体の正確な搬送を行うことができる。また、複数の受け渡し位置において、位置センサーの検出信号に基づいて、制御部の座標上の位置が補正されるので、受け渡し部の移動方向のストロークが細分化され、たとえ搬送誤差が生じたとしても誤差が大きくならない。
本発明の一実施形態に係る検査システムの概略構成を示す平面図である。 図１の検査システムの搬送装置における駆動機構を示す斜視図である。 図２の駆動機構におけるタイミングベルトと連結部材の接続状態を示す図である。 センサー部とフラグ部の配置状態を説明するための側面図である。 位置センサーとフラグの位置関係を説明するための断面図である。 搬送装置に用いられるケーブルダクトを示す側面図である。 図１の検査システムに用いられる制御部を示すブロック図である。 制御部の主要部を示すブロック図である。 受け渡し位置のズレを説明するための図である。 搬送制御部による位置制御のフローを示すフローチャートである。 受け渡し位置の位置補正を説明するための説明図である。 位置決め機構を示す概略図である。 図１２の位置決め機構による位置決め動作を説明するための図である。 タイミングベルトのたるみを説明するための図である。 タイミングベルトの下段側に連結部材を接続した状態を示す図である。 ローダーのＸ方向の移動ストロークが長くなった場合のケーブルダクトの状態を説明するための図である。
以下、添付図面を参照して本発明の実施の形態について詳細に説明する。
＜検査システムの構成＞
図１は、本発明の一実施形態に係る検査システムの概略構成を示す平面図である。検査システム１００は、被検査体である半導体ウエハ（以下、単にウエハと記す）Ｗの電気的検査を行うものであり、検査ユニット１０と、搬入出ユニット２０と、搬送装置３０と、制御部４０とを有している。
検査ユニット１０は、複数、例えば１０〜１５台程度の検査装置１１を有し、これらが図中Ｘ方向に配列されている。検査装置１１は、プローブ装置として構成され、筐体と、その中に設けられたウエハ載置台とを有し、複数のプローブ針（接触子）を有するプローブカードが取り付けられるようになっている。ウエハ載置台は、その上に載置されるウエハをＸ、Ｙ、Ｚ、θ方向に移動可能となっており、ウエハ載置台を移動させることにより、ウエハに形成された半導体デバイスの電極に対してプローブカードのプローブ針を接触させ、テストヘッドを介してテスターによりウエハＷの電気的検査を行うようになっている。
搬入出ユニット２０は、ウエハＷやプローブカード等の搬入出を行う複数の搬入出ステージを有する搬入出ステージ部２１と、ウエハＷのプリアライメントを行うプリアライメント部２２とを有している。搬入出ステージには、例えばウエハ収納容器であるフープ（ＦＯＵＰ）Ｆが載置されるようになっている。なお、搬入出ユニット２０は、他に、検査後のウエハに対して針跡検査を行う針跡検査装置等を有していてもよい。
搬送装置３０は、検査ユニット１０の複数の検査装置１１およびプリアライメント部２２に対してウエハＷの受け渡しを行うローダー（受け渡し部）３１と、ローダー３１を複数の検査装置１１の配列方向であるＸ方向の搬送路５０に沿って移動させる駆動機構３２と、ローダー３１をＸ方向にガイドするＬＭガイド３３とを有する。
ローダー３１は、ＬＭガイド３３上をＸ方向に移動可能な搬送ベース３４と、ウエハＷを支持し、搬送ベース３４に対しＹ方向、Ｚ方向（上下方向）、θ方向（回転方向）に移動可能な搬送アーム３５と、搬送アーム３５を駆動するアーム駆動機構（図視せず）と、搬送アーム３５が退避状態で搬送アーム３５上のウエハＷをカバーするカバー部材３６とを有している。カバー部材３６の内部には乾燥気体が導入されるようになっている。カバー部材３６は、搬送アーム３５とともにθ方向に回転するようになっている。
搬送装置３０においては、駆動機構３２によりローダー３１全体をＸ方向に移動させ、搬送アーム３５により、検査前のウエハＷを搬入出ステージ上のフープから取り出してプリアライメント部２２に受け渡し、プリアライメント後のウエハＷを所定の検査装置１１に受け渡すとともに、検査後のウエハＷを所定の検査装置１１から受け取ってフープ内に収納する。搬送アーム３５は一つであっても、２またはそれ以上であってもよい。ローダー３１は、複数の検査装置１１およびプリアライメント部２２のそれぞれに対応する受け渡し位置に停止され、受け渡し位置において搬送アーム３５による受け渡し動作が行われる。
駆動機構３２は、図２に示すように、ベルト駆動方式であり、搬送ベース３４が連結部材５２を介して取り付けられるタイミングベルト５１と、タイミングベルト５１が巻き掛けられた一対の歯車プーリー５３（駆動側のみ図示）と、一方の歯車プーリー５３を介してタイミングベルト５１を駆動するモーター５４とを有している。歯車プーリー５３およびモーター５４は、支持部材５５を介して検査システム１００のベース６０に固定されている。歯車プーリー５３の上下には、タイミングベルト５１を押さえるように歯飛び防止ブロック５７が設けられている。
連結部材５２は、タイミングベルト５１の上段側に連結されている。図３に示すように、連結部材５２の上面にはタイミングベルト５１内側の歯に対応する歯が形成されており、その上面にタイミングベルト５１の内側部分が嵌め込まれ、タイミングベルト５１の上方から押さえ部材５６がネジ５８によりねじ止めされることにより、タイミングベルト５１と連結部材５２とが固定される。
検査ユニット１０は検査装置１１がＸ方向に１０〜１５台程度配列されて構成されているため、搬送路５０の長さは十数メートルの長さとなり、歯車プーリー５３と図示しない他方の歯車プーリーの間のタイミングベルト５１の長さが長くなってタイミングベルト５１の上段側と下段側が接触する危険性があるが、本実施形態では、連結部材５２をタイミングベルト５１の上段側に連結することにより、タイミングベルト５１の上段側と搬送ベース３４またはタイミングベルト５１の下段側とが接触することを抑制している。
図４に示すように、ローダー３１の搬送ベース３４にはセンサー部７１が設けられている。一方、ベース６０の複数の検査装置１１に対応する位置およびプリアライメント部２２に対応する位置（一部の検査装置１１に対応する部分のみ図示）には、センサー部７１に対応するようにフラグ部７２が設けられている。
図５に示すように、センサー部７１は、Ｘ方向の同じ位置に、Ｘ方向と直交するＹ方向に並んで設けられた２つの位置センサー７１ａ，７１ｂを有し、各フラグ部７２は、２つの位置センサー７１ａ，７１ｂに対応するように、Ｘ方向の同じ位置に、Ｘ方向と直交するＹ方向に並んで設けられた２つのフラグ７２ａ，７２ｂを有している。位置センサー７１ａ，７１ｂは、例えば、発光素子と受光素子からなる光センサーにより構成されており、ローダー３１がＸ方向に移動した際に、センサー部７１の位置センサー７１ａ，７１ｂが各フラグ部７２のフラグ７２ａ，７２ｂを通過するようになっており、位置センサー７１ａ，７１ｂがフラグ７２ａ，７２ｂを通過した際に、位置センサー７１ａ，７１ｂから信号が発せられるようになっている。この信号に基づき、後述するように、タイミングベルト５１を駆動した際に発生するロストモーションによるローダー３１の受け渡し位置のズレを補正し、各検査装置１１およびプリアライメント部２２に対して高精度でウエハＷを受け渡しすることができるようになっている。位置センサーおよびフラグが２個ずつ設けられているのは、一つの位置センサーが故障しても確実に位置検出を行えるようにするためである。この場合に、位置センサーの個数は２個に限らず、２個以上の適当な数であればよい。なお、位置センサーは、１個であってもよい。
ローダー３１には、搬送アーム３５を駆動するアーム駆動機構等に給電するための給電ケーブルやその他のケーブルが接続されるが、これらのケーブルは、図６に示すように、ケーブルダクト７５に収納された状態で電源等に接続される。ケーブルダクト７５は、多関節構造を有しており、ローダー３１のＸ方向位置に対応して任意の位置で折れ曲がり可能となっている。ケーブルダクト７５の一端は取り付け部材７６を介して搬送ベース３４に固定され、他端は所定の位置に固定されている。ローダー３１の搬送路５０は１０〜１５ｍと長いため、ローダー３１の移動ストロークが大きくなった際にケーブルダクト７５の「たれ」によりその上段側がベース６０に接触しないように、ケーブルダクト７５を支えるためのローラユニット７７が２個、所定間隔をおいてベース６０に取り付けられている。ローラユニット７７は２個に限らず、２個以上の適当な個数であればよい。
制御部４０は、検査システム１００を構成する各構成部、例えば、各検査装置１１や搬送装置３０等を制御するものであり、図７に示すように、主制御部４１と、キーボード等の入力装置４２と、プリンター等の出力装置４３と、表示装置４４と、記憶装置４５と、外部インターフェース４６と、これらを互いに接続するバス４７とを有している。主制御部４１は、ＣＰＵ、ＲＡＭおよびＲＯＭを有している。記憶装置４５は、情報を記憶するためのものであり、コンピュータ読み取り可能な記憶媒体に記憶された情報を読み取るようになっている。記憶媒体は特に限定されず、ハードディスク、光ディスク、フラッシュメモリ等が用いられる。主制御部４１では、ＣＰＵが、ＲＯＭまたは記憶装置４５に格納されたプログラムを実行することにより検査システム１００の制御が行われる。主制御部４１は、各制御部の制御を行う複数の制御部を有しており、その一つとして搬送装置３０を制御する搬送制御部８１を有している。
搬送制御部８１は、ソフトウエア上でのローダー３１の搬送方向であるＸ方向の座標を有しており、複数の検査装置１１およびプリアライメント部２２のそれぞれに対応する受け渡し位置の座標上での位置データを有している。図８に示すように、搬送制御部８１には、駆動機構３２のモーター５４が備えるエンコーダ８２の信号が送られ、また、位置センサー７１ａ、７１ｂの信号が送られるようになっている。搬送制御部８１は、エンコーダ８２からの信号によりローダー３１の座標上の位置を確認するようになっている。また、搬送制御部８１は、ローダー３１をＸ方向に移動させて、位置センサー７１ａ、７１ｂが複数の検査装置１１およびプリアライメント部２２に対応する位置に設けられたフラグ７２ａ，７２ｂを検出した際に、その信号を受信し、その都度、その信号に基づいて搬送制御部８１内の座標におけるローダー３１の位置を補正するようになっている。なお、搬送制御部８１は、搬送アーム３５の駆動機構も制御するようになっているが、その詳細は省略する。
＜検査システムの動作＞
次に、以上のように構成される検査システムの動作について、搬送装置の制御を中心に説明する。
最初に、搬送装置３０のローダー３１を搬入出ユニット２０の搬入出ステージ部２１に載置されたフープに対応する位置までＸ方向に移動させ、搬送アーム３５によりフープＦ内から検査前のウエハＷを取り出す。次に、ローダー３１をプリアライメント部２２に対する受け渡し位置までＸ方向に移動させ、搬送アーム３５上のウエハＷをプリアライメント部２２に搬入する。プリアライメント後、搬送アーム３５によりプリアライメント部２２からウエハＷを取り出し、ローダー３１をいずれかの検査装置１１に対する受け渡し位置までＸ方向に移動させ、搬送アーム３５上のウエハＷを検査装置１１に搬入する。
検査装置１１において、ウエハＷは載置台に載置され、ウエハＷに形成された半導体デバイスの電極にプローブカードのプローブ針を接触させることにより、テストヘッドを介してテスターにより電気的検査が行われる。
ウエハの検査後、ローダー３１をその検査装置１１に対する受け渡し位置までＸ方向に移動させ、搬送アーム３５によりその検査装置１１から検査後のウエハＷを取り出し、そのウエハＷを搬入出ステージ３１上のフープＦに戻す。
以上の処理を複数のウエハＷについて連続して行う。
このときのローダー３１のＸ方向の移動は駆動機構３２により行われる。このときのローダー３１の位置制御は、制御部４０の搬送制御部８１により行われる。搬送制御部８１は、ローダー３１の位置に対応した座標を有しており、複数の検査装置１１およびプリアライメント部２２のそれぞれに対するローダー３１によるウエハＷの受け渡し位置の座標上の位置データを有している。そして、その位置データを用いてローダー３１のＸ方向の位置制御を行う。
複数の検査装置を有する検査システムは、検査装置が４、５台程度であれば、Ｘ方向の駆動方式としてボールネジ駆動やリニアモータ駆動を用いることが一般的であるが、本実施形態のように検査装置１１がＸ方向に１０〜１５台程度配列され、搬送路５０の長さは十数メートルとなるためボールネジ駆動やリニアモータ駆動の適用は技術的に困難である。このため、本実施形態では、ローダー３１をＸ方向に駆動する駆動機構３２としてベルト駆動方式を採用している。
しかし、ベルト駆動方式により十数メートルに及ぶ長い距離に亘ってローダー３１を搬送する場合、タイミングベルト５１のたるみや伸長等によるロストモーションの影響があり、搬送制御部８１の座標上での位置データとローダー３１の実際の位置とがずれてしまう。このため、ローダー３１の座標上の検査装置１１またはプリアライメント部２２に対する受け渡し位置が、本来の受け渡し位置からずれてしまい、図９に示すように、搬送アーム３５のズレにより、ウエハＷの受け渡しに支障をきたすおそれがある。
そこで、本実施形態では、ローダー３１の搬送ベース３４に位置センサー７１ａ，７１ｂを設け、搬送制御部８１の座標を位置センサー７１ａ，７１ｂにより検出された実際の位置に基づいて補正するようにした。
すなわち、複数の検査装置１１およびプリアライメント部２２に対応する所定の位置にそれぞれフラグ７２ａ，７２ｂを設け、ローダー３１をＸ方向に移動させて、位置センサー７１ａ，７１ｂがフラグ７２ａ，７２ｂを通過した際に、その信号を搬送制御部８１が受信し、その都度、その信号に基づいて搬送制御部８１内の座標上のローダー３１の位置データを補正し、受け渡し位置のずれを修正する。
このときの搬送制御部８１による位置制御について具体的に説明する。
図１０はその際のフローを示すフローチャート、図１１は受け渡し位置の位置補正を説明するための説明図である。
最初に、位置センサー７１ａ，７１ｂのサーチ開始位置とサーチ終了位置を設定する（ステップ１）。このときのサーチ開始位置およびサーチ終了位置は、例えば、図１１に示すように、フラグ７２ａ，７２ｂの前後５ｍｍの位置とする。
次に、ローダー３１をＸ方向に移動させて、サーチ開始位置からサーチ終了位置まで位置センサー７１ａ，７１ｂによるサーチを実行する（ステップ２）。
そして、位置センサー７１ａ，７１ｂがフラグ７２ａ，７２ｂを検出した際に、割り込み信号を受信し、その位置をティーチング位置として記憶する（ステップ３）。
次に、ティーチング位置を基準として受け渡し位置までの距離をパラメータとして記憶する（ステップ４）。
このとき、タイミングベルトの撓みや伸長の影響により、搬送制御部８１が有する座標上のローダー位置と実際のローダー位置とにズレが生じているが、位置センサー７１ａ，７１ｂの実際の検出信号に基づくティーチング位置を基準として、座標上の位置を修正することにより、そのズレが修正される。つまり、図１１に示すように、実際に位置センサー７１ａ，７１ｂで検出した検出位置（ティーチング位置）を基準とすることにより、ソフトウエア上の座標での位置である設計位置のズレが補正される（補正量１、補正量２）。そして、ティーチング位置から受け渡し位置までの距離がパラメータとして記憶される。このとき、設計上の受け渡し位置が補正値１および補正値２に対応する差分修正され、その修正された受け渡し位置が記憶され登録される（登録受け渡し位置）。位置センサー７１ａに対応するパラメータは（設計値＋補正値１−差分）であり、位置センサー７１ｂに対応するパラメータは（設計値＋補正値２−差分）である。
位置センサー７１ａ，７１ｂのうち一方の割り込み信号が検出されなかった場合は、他方の位置センサーの割り込み信号を使い、検出されなかった位置センサー故障のメッセージを出す。また、両方の位置センサーの信号検出位置がずれていた場合もメッセージを出す。
このようにして、位置センサー７１ａ，７１ｂが実際にフラグ７２ａ，７２ｂを検出した位置に基づいて、搬送制御部８１における座標上のローダー位置を補正するので、Ｘ方向の搬送誤差（位置のズレ）を適宜修正して、ローダー３１の受け渡し位置を精度良く設定することができ、被搬送体であるウエハＷの正確な搬送を行うことができる。また、複数の検査装置１１およびプリアライメント部２２のそれぞれの受け渡し位置おいて、位置センサー７１ａ，７１ｂがフラグ７２ａ，７２ｂを検出する都度、搬送制御部８１の座標上の位置が補正されるので、Ｘ方向のストロークが細分化され、たとえ搬送誤差が生じたとしても誤差が大きくならない。
また、２個の位置センサー７１ａ，７１ｂを設けることにより、一つの位置センサーが破損したとしても検査システムを停止する必要がなくなり、装置稼働率を低下させることがない。
受け渡し位置をより正確に設定する観点から、図１２に示すような位置決め機構を設けることが好ましい。
この位置決め機構９０は、ベース６０の上面に固定されたＶブロック９１と、Ｖブロック９１のＶ字溝に適合可能かつ回転可能なローラ９３を先端に有し、ローダー３１の搬送ベース３４に昇降可能に取り付けられたくさび部材９２と、くさび部材９２を昇降させる駆動部９４とを有する。この位置決め機構９０は、ローダー３１の受け渡し位置を高精度で設定するためのものであり、くさび部材９２のローラ９３がＶブロック９１のＶ字溝に適合することにより、ローダー３１を正確な受け渡し位置に機械的に位置決めするものである。このときＶ字溝にローラ９３が適合した位置が予め物理的に高精度な受け渡し位置に対応する位置である。
位置決め機構９０の動作は、例えば、図１３に示すようになる。図１３（ａ）では、ローダー３１が受け渡し位置に達する前の状態であり、くさび部材９２がＶブロック９１の上方に退避している。ローダー３１がＸ方向に搬送され、図１３（ｂ）に示すように、くさび部材９２がＶブロック９１に達するタイミングでくさび部材９２を降下させる。搬送制御部８１からの指令によりローダー３１は上述の登録受け渡し位置に停止されるが、この登録受け渡し位置が、実際の受け渡し位置からわずかにずれている可能性がある。
これに対し、位置決め機構９０を設けることにより、ローダー３１が実際の受け渡し位置からわずかにずれている位置に停止されても、図１３（ｃ）に示すように、ローラ９３がＶ字溝に沿って移動し、ローダー３１を実際の受け渡し位置に正確に位置決めすることができ、高精度の位置決めを実現することができる。
また、搬送装置３０においては、ローダー３１をＸ方向の搬送路５０に沿って移動させる駆動機構３２の駆動方式としてベルト駆動方式を採用しているため、本実施形態のように搬送路５０の長さが十数メートルと長くなると、タイミングベルトも長くなり、図１４に示すように、タイミングベルト５１のたるみが大きくなる。従来は、搬送ベース３４をタイミングベルト５１に連結する連結部材５２はタイミングベルト５１の下段側に接続されることが多かったが、このように搬送ストロークが長い場合に、連結部材５２をタイミングベルト５１の下段側に接続すると、図１５に示すように、ローダー３１をＸ方向に移動させる際にタイミングベルト５１の下段側が上がり、タイミングベルト５１の上段側と下段側が接触するおそれがある。本実施形態では連結部材５２をタイミングベルト５１の上段側に連結しているので、タイミングベルト５１の上段側と下段側が接触することを抑制することができる。また、長ストローク化によるタイミングベルト５１の撓みにより、タイミングベルト５１の下段側がベース６０に接触するおそれがあるが、これは、歯車プーリー５３の位置をタイミングベルト５１の撓みを考慮した位置に上昇させることにより解消することができる。このようにタイミングベルト５１の他所への接触や、タイミングベルト５１の上段側と下段側の接触を防止することにより、発塵を防止することができ、また、ローダー３１を安定的に走行させることができる。さらに、タイミングベルト５１に不所望のテンションがかかることを抑制して、より高精度の位置制御を実現することができる。
さらに、ローダー３１のＸ方向の搬送路５０が１０〜１５ｍと長いことにより、ローダー３１のＸ方向の移動ストロークが長くなると、図１６に示すように、ケーブルダクト７５の上段側の「たれ量」が大きくなり、例えば、ローダー３１のＸ方向の移動ストロークが９ｍ程度になるとケーブルダクト７５がベース６０に接触してしまう。これに対し、本実施形態では、ベース６０にケーブルダクト７５を支えるための２個のローラユニット７７を取り付けたので、ローダー３１の移動ストロークが大きい場合でも、ケーブルダクト７５がベース６０に接触することを防止することができる。これにより、ケーブルダクト７５がベース６０に接触することによる発塵を防止することができ、また、ローダー３１を安定的に走行させることができる。
＜他の適用＞
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の思想の範囲内において種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、ローダー側に位置センサーを設けた例を示したが、ベース側の各受け渡し位置に位置センサーをもうけてもよい。
また、上記実施形態では、位置センサーとして発光素子と受光素子からなる光センサーを例示したが、これに限らず、近接センサ、接触式センサ等他の位置センサーを用いてもよい。
さらに、上記実施形態では、搬送装置を検査システムに適用した場合について示したが、タイミングベルトを用いたベルト駆動方式により受け渡し部を移動させるものであれば、検査システムに限るものではなく、種々のシステムに適用可能である。
さらにまた、上記実施形態では、検査装置としてプローブ装置を例にとって説明したが、プローブ装置に限るものではない。
さらにまた、上記実施形態では、被搬送体として半導体ウエハを用いた例を示したが、被搬送体は半導体ウエハに限るものではない。
１０；検査ユニット
２０；搬入出ユニット
２２；プリアライメント部
３０；搬送装置
３１；ローダー
３２；駆動機構
３３；ＬＭガイド
３４；搬送ベース
３５；搬送アーム
４０；制御部
４１；主制御部
５０；搬送路
５１；タイミングベルト
５２；連結部材
５３；歯車プーリー
５４；モーター
５５；支持部材
６０；ベース
７１；センサー部
７１ａ，７１ｂ；位置センサー
７２；フラグ部
７２ａ，７２ｂ；フラグ
７５；ケーブルダクト
７７；ローラユニット
８１；搬送制御部
９０；位置決め機構
９１；Ｖブロック
９２；くさび部材
９３；ローラ
１００；検査システム
Ｗ；半導体ウエハ（被搬送体）

Claims (14)

  1. 被搬送体の受け渡しを行うための受け渡し部と、
    前記受け渡し部を一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部による被搬送体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、
    前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、
    前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサーと、
    前記受け渡し部を制御する制御部と
    を有し、
    前記制御部は、前記受け渡し部の位置に関する座標を有しており、前記位置センサーからの前記信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部における前記座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする搬送装置。
  2. 前記受け渡し部が前記受け渡し位置の近傍に達した際に、前記受け渡し部を前記受け渡し位置に機械的に位置決めする位置決め機構をさらに有することを特徴とする請求項１に記載の搬送装置。
  3. 前記位置センサーは前記受け渡し部に設けられ、前記搬送路には、前記受け渡し位置に対応する所定の位置に設けられたフラグが設けられ、前記位置センサーが前記フラグに達した際に前記位置センサーから前記信号が発せられることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の搬送装置。
  4. 前記位置センサーは前記一方向に直交する方向に複数個配置されていることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の搬送装置。
  5. 前記受け渡し部は、接続部材を介して前記タイミングベルトに接続されており、前記接続部材は、前記タイミングベルトの上段側に接続されていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の搬送装置。
  6. 前記受け渡し部に接続されるケーブルを収納するケーブルダクトと、前記ケーブルダクトの上段側を支持するローラ部とをさらに有することを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の搬送装置。
  7. 被搬送体の受け渡しを行うための受け渡し部と、前記受け渡し部を一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部による被搬送体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、前記受け渡し部を制御する制御部とを有する搬送装置を用いた搬送方法であって、
    前記制御部が、前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部の前記受け渡し部の位置に関する座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする搬送方法。
  8. 前記受け渡し部が前記受け渡し位置の近傍に達した際に、前記受け渡し部を前記受け渡し位置に機械的に位置決めすることを特徴とする請求項７に記載の搬送方法。
  9. 一方向に配列され、被検査体の電気的検査を行う複数の検査装置を有する検査ユニットと、
    前記複数の検査装置に対して被検査体を搬送する搬送装置と
    を有する検査システムであって、
    前記搬送装置は、
    前記複数の検査装置に対して被検査体の受け渡しを行うための受け渡し部と、
    前記受け渡し部を前記一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部と前記検査装置のそれぞれとの間で被検査体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、
    前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、
    前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサーと、
    前記受け渡し部を制御する制御部と
    を有し、
    前記制御部は、前記受け渡し部の位置に関する座標を有しており、前記位置センサーからの前記信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部における前記座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする検査システム。
  10. 前記受け渡し部が前記受け渡し位置の近傍に達した際に、前記受け渡し部を前記受け渡し位置に機械的に位置決めする位置決め機構をさらに有することを特徴とする請求項９に記載の検査システム。
  11. 前記位置センサーは前記受け渡し部に設けられ、前記搬送路には、前記受け渡し位置に対応する所定の位置に設けられたフラグが設けられ、前記位置センサーが前記フラグに達した際に前記位置センサーから前記信号が発せられることを特徴とする請求項９または請求項１０に記載の検査システム。
  12. 前記位置センサーは前記一方向に直交する方向に複数個配置されていることを特徴とする請求項９から請求項１１のいずれか１項に記載の検査システム。
  13. 前記受け渡し部は、接続部材を介して前記タイミングベルトに接続されており、前記接続部材は、前記タイミングベルトの上段側に接続されていることを特徴とする請求項９から請求項１２のいずれか１項に記載の検査システム。
  14. 前記受け渡し部に接続されるケーブルを収納するケーブルダクトと、前記ケーブルダクトの上段側を支持するローラ部とをさらに有することを特徴とする請求項９から請求項１３のいずれか１項に記載の検査システム。
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