JP6615698B2 - 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム - Google Patents
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Description
<検査システムの構成>
図1は、本発明の一実施形態に係る検査システムの概略構成を示す平面図である。検査システム100は、被検査体である半導体ウエハ(以下、単にウエハと記す)Wの電気的検査を行うものであり、検査ユニット10と、搬入出ユニット20と、搬送装置30と、制御部40とを有している。
次に、以上のように構成される検査システムの動作について、搬送装置の制御を中心に説明する。
最初に、搬送装置30のローダー31を搬入出ユニット20の搬入出ステージ部21に載置されたフープに対応する位置までX方向に移動させ、搬送アーム35によりフープF内から検査前のウエハWを取り出す。次に、ローダー31をプリアライメント部22に対する受け渡し位置までX方向に移動させ、搬送アーム35上のウエハWをプリアライメント部22に搬入する。プリアライメント後、搬送アーム35によりプリアライメント部22からウエハWを取り出し、ローダー31をいずれかの検査装置11に対する受け渡し位置までX方向に移動させ、搬送アーム35上のウエハWを検査装置11に搬入する。
以上の処理を複数のウエハWについて連続して行う。
図10はその際のフローを示すフローチャート、図11は受け渡し位置の位置補正を説明するための説明図である。
なお、本発明は上記実施形態に限定されることなく、本発明の思想の範囲内において種々変形可能である。例えば、上記実施形態では、ローダー側に位置センサーを設けた例を示したが、ベース側の各受け渡し位置に位置センサーをもうけてもよい。
20;搬入出ユニット
22;プリアライメント部
30;搬送装置
31;ローダー
32;駆動機構
33;LMガイド
34;搬送ベース
35;搬送アーム
40;制御部
41;主制御部
50;搬送路
51;タイミングベルト
52;連結部材
53;歯車プーリー
54;モーター
55;支持部材
60;ベース
71;センサー部
71a,71b;位置センサー
72;フラグ部
72a,72b;フラグ
75;ケーブルダクト
77;ローラユニット
81;搬送制御部
90;位置決め機構
91;Vブロック
92;くさび部材
93;ローラ
100;検査システム
W;半導体ウエハ(被搬送体)
Claims (14)
- 被搬送体の受け渡しを行うための受け渡し部と、
前記受け渡し部を一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部による被搬送体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、
前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、
前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサーと、
前記受け渡し部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、前記受け渡し部の位置に関する座標を有しており、前記位置センサーからの前記信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部における前記座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする搬送装置。 - 前記受け渡し部が前記受け渡し位置の近傍に達した際に、前記受け渡し部を前記受け渡し位置に機械的に位置決めする位置決め機構をさらに有することを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。
- 前記位置センサーは前記受け渡し部に設けられ、前記搬送路には、前記受け渡し位置に対応する所定の位置に設けられたフラグが設けられ、前記位置センサーが前記フラグに達した際に前記位置センサーから前記信号が発せられることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の搬送装置。
- 前記位置センサーは前記一方向に直交する方向に複数個配置されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記受け渡し部は、接続部材を介して前記タイミングベルトに接続されており、前記接続部材は、前記タイミングベルトの上段側に接続されていることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 前記受け渡し部に接続されるケーブルを収納するケーブルダクトと、前記ケーブルダクトの上段側を支持するローラ部とをさらに有することを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載の搬送装置。
- 被搬送体の受け渡しを行うための受け渡し部と、前記受け渡し部を一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部による被搬送体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、前記受け渡し部を制御する制御部とを有する搬送装置を用いた搬送方法であって、
前記制御部が、前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部の前記受け渡し部の位置に関する座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする搬送方法。 - 前記受け渡し部が前記受け渡し位置の近傍に達した際に、前記受け渡し部を前記受け渡し位置に機械的に位置決めすることを特徴とする請求項7に記載の搬送方法。
- 一方向に配列され、被検査体の電気的検査を行う複数の検査装置を有する検査ユニットと、
前記複数の検査装置に対して被検査体を搬送する搬送装置と
を有する検査システムであって、
前記搬送装置は、
前記複数の検査装置に対して被検査体の受け渡しを行うための受け渡し部と、
前記受け渡し部を前記一方向に沿って移動させ、前記受け渡し部と前記検査装置のそれぞれとの間で被検査体の受け渡しを行う複数の受け渡し位置を有する搬送路と、
前記一方向に配されたタイミングベルトにより前記受け渡し部を前記搬送路に沿って移動させるベルト駆動方式の駆動機構と、
前記受け渡し部が前記受け渡し位置に対応する所定の位置に達した際に信号を発する位置センサーと、
前記受け渡し部を制御する制御部と
を有し、
前記制御部は、前記受け渡し部の位置に関する座標を有しており、前記位置センサーからの前記信号を受け取った際に、その都度その信号に基づいて、前記制御部における前記座標上の前記受け渡し部の位置データを補正することを特徴とする検査システム。 - 前記受け渡し部が前記受け渡し位置の近傍に達した際に、前記受け渡し部を前記受け渡し位置に機械的に位置決めする位置決め機構をさらに有することを特徴とする請求項9に記載の検査システム。
- 前記位置センサーは前記受け渡し部に設けられ、前記搬送路には、前記受け渡し位置に対応する所定の位置に設けられたフラグが設けられ、前記位置センサーが前記フラグに達した際に前記位置センサーから前記信号が発せられることを特徴とする請求項9または請求項10に記載の検査システム。
- 前記位置センサーは前記一方向に直交する方向に複数個配置されていることを特徴とする請求項9から請求項11のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記受け渡し部は、接続部材を介して前記タイミングベルトに接続されており、前記接続部材は、前記タイミングベルトの上段側に接続されていることを特徴とする請求項9から請求項12のいずれか1項に記載の検査システム。
- 前記受け渡し部に接続されるケーブルを収納するケーブルダクトと、前記ケーブルダクトの上段側を支持するローラ部とをさらに有することを特徴とする請求項9から請求項13のいずれか1項に記載の検査システム。
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016121585A JP6615698B2 (ja) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム |
KR1020187036661A KR102157949B1 (ko) | 2016-06-20 | 2017-05-11 | 반송 장치 및 반송 방법, 그리고 검사 시스템 |
US16/311,499 US20190189482A1 (en) | 2016-06-20 | 2017-05-11 | Transfer device, transfer method, and inspection system |
PCT/JP2017/017857 WO2017221576A1 (ja) | 2016-06-20 | 2017-05-11 | 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム |
TW106119663A TW201804550A (zh) | 2016-06-20 | 2017-06-13 | 搬送裝置及搬送方法和檢查系統 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016121585A JP6615698B2 (ja) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019201296A Division JP6884191B2 (ja) | 2019-11-06 | 2019-11-06 | 搬送装置および検査システム |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017228557A JP2017228557A (ja) | 2017-12-28 |
JP6615698B2 true JP6615698B2 (ja) | 2019-12-04 |
Family
ID=60784053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016121585A Active JP6615698B2 (ja) | 2016-06-20 | 2016-06-20 | 搬送装置および搬送方法、ならびに検査システム |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20190189482A1 (ja) |
JP (1) | JP6615698B2 (ja) |
KR (1) | KR102157949B1 (ja) |
TW (1) | TW201804550A (ja) |
WO (1) | WO2017221576A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7453823B2 (ja) * | 2020-03-23 | 2024-03-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
CN116984167B (zh) * | 2023-09-26 | 2023-11-28 | 四川富士电机有限公司 | 一种雨刮支架表面喷涂设备 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE634783T1 (de) * | 1993-07-16 | 1996-02-15 | Semiconductor Systems Inc | Thermische Behandlungsmodul für Beschichtungs/Entwicklungseinrichtung für Substrat. |
JP2001088067A (ja) * | 1999-09-27 | 2001-04-03 | Ando Electric Co Ltd | オートハンドラ、その制御方法、及び記憶媒体 |
JP2002308420A (ja) * | 2001-04-10 | 2002-10-23 | Canon Inc | ガラス基板の位置決め装置 |
JP4757288B2 (ja) * | 2008-08-28 | 2011-08-24 | 株式会社椿本チエイン | ケーブル保護案内装置用ガイドレール |
JP5045705B2 (ja) * | 2009-04-16 | 2012-10-10 | 村田機械株式会社 | 搬送車システム |
JP5952645B2 (ja) | 2012-06-06 | 2016-07-13 | 東京エレクトロン株式会社 | ウエハ検査用インターフェース及びウエハ検査装置 |
JP6400412B2 (ja) * | 2014-09-29 | 2018-10-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送方法及び検査システム |
KR102587203B1 (ko) * | 2015-07-13 | 2023-10-10 | 브룩스 오토메이션 인코퍼레이티드 | 온 더 플라이 자동 웨이퍼 센터링 방법 및 장치 |
-
2016
- 2016-06-20 JP JP2016121585A patent/JP6615698B2/ja active Active
-
2017
- 2017-05-11 KR KR1020187036661A patent/KR102157949B1/ko active IP Right Grant
- 2017-05-11 US US16/311,499 patent/US20190189482A1/en not_active Abandoned
- 2017-05-11 WO PCT/JP2017/017857 patent/WO2017221576A1/ja active Application Filing
- 2017-06-13 TW TW106119663A patent/TW201804550A/zh unknown
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201804550A (zh) | 2018-02-01 |
KR20190008358A (ko) | 2019-01-23 |
JP2017228557A (ja) | 2017-12-28 |
US20190189482A1 (en) | 2019-06-20 |
WO2017221576A1 (ja) | 2017-12-28 |
KR102157949B1 (ko) | 2020-09-18 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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