JP6615662B2

JP6615662B2 - 気泡含有液体の製造装置及びその使用方法

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Publication number: JP6615662B2
Application number: JP2016055838A
Authority: JP
Inventors: 友佑清水; 照久藤井
Original assignee: Noritake Co Ltd
Current assignee: Noritake Co Ltd
Priority date: 2016-03-18
Filing date: 2016-03-18
Publication date: 2019-12-04
Anticipated expiration: 2036-03-18
Also published as: JP2017170277A

Description

本発明は、液体中に気泡を含ませた気泡含有液体の製造装置及びその製造方法に関する。

近年、マイクロバブル、ナノバブルと呼ばれる微小気泡を用いた技術の有用性が注目されている。例えば、微小気泡を含む液体を用いた洗浄技術、水の除菌及び脱臭、オゾン水の生成、健康・医療機器分野や、湖沼や養殖場の水質浄化、工場・畜産等の各種排水処理、及び、水素水などの機能水の製造などへの利用が検討されている。

このようなマイクロバブル、ナノバブルを発生させ、気泡含有液体を製造する製造装置として、種々の構造を有する装置が提案されている（例えば、特許文献１〜３等参照）。

特開２０１１−２２４４６１号公報特開２０１３−３４９７６号公報特開２００９−１０１２９９号公報

このような気泡含有液体の製造装置として、ハウジング内に多孔質体からなるパイプ状の気泡発生管などの気泡発生素子を保持し、ハウジングと気泡発生素子で気体室と液体室を構成した微小気泡発生装置において、液上流路から液体室に液体を流すと共に、気体室に気体供給路から気体を供給して、気泡発生素子を介して液体内に微小気泡を発生させ、液体室から気泡含有液体を液下流路に流出させるタイプの気泡含有液体の製造装置がある。この形態の気泡含有液体の製造装置では、多孔質パイプ内の液体の液圧に対し、多孔質パイプ外の気体の気圧を大きくして、液体中に気体の微小気泡を生成する。

しかしながら、気泡含有液体の製造装置のうち、微小気泡発生装置内のクリーニングや気泡発生素子を交換するなど、微小気泡発生装置のメンテナンスをしたい場合がある。このような場合には、微小気泡発生装置のハウジングを分解する必要があるが、微小気泡発生装置には、気体供給路のほか、液上流路、液下流路が接続しているため、これらから液体を抜く必要があるなど、微小気泡発生装置のメンテナンスに手間が掛かる。

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、微小気泡発生装置のメンテナンスが容易な気泡含有液体の製造装置、及び、適切な気泡含有液体の製造装置の使用方法を提供するものである。

上記課題を解決するための本発明の一態様は、気体流入口、液流入口、及び液流出口を有するハウジング、及び、上記ハウジング内に保持され、多孔質体からなる気泡発生素子を有し、上記ハウジングと上記気泡発生素子は、上記ハウジングの一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記気体流入口に連通する気体室と、上記ハウジングの他の一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記液流入口及び上記液流出口に連通する液体室とを構成してなり、上記液流入口から上記液体室に液体を流入させると共に、上記気体流入口から上記気体室に気体を供給し、上記気泡発生素子から上記液体中に上記気体の微小気泡を発生させて、気泡含有液体を上記液流出口から流出させる微小気泡発生装置と、上記気体流入口に接続し、上記気体流入口へ上記気体を供給する気体供給路と、上記液流入口に接続し、上記液流入口へ上記液体を流す液上流路と、上記液上流路を介して上記液流入口に、上記液体を圧送するポンプと、上記液流出口に接続し、上記液流出口から上記気泡含有液体を流す液下流路と、を備え、上記気体供給路は、上記気体流入口への上記気体の流通を開閉する気体バルブを有し、上記液上流路は、上記液流入口への上記液体の流通を開閉する上流バルブを有し、上記液下流路は、上記液流出口からの上記気泡含有液体の流通を開閉する下流バルブを有する気泡含有液体の製造装置である。

この気泡含有液体の製造装置（以下単に、製造装置ともいう）では、上流バルブよりも上流側の液体、及び下流バルブよりも下流側の気泡含有液体を排出しなくても、微小気泡発生装置の内部のメンテナンスや気泡発生素子の交換等を行うことができる。

この製造装置のうち、微小気泡発生装置としては、例えば、板状、半球殻状、球殻状とした多孔質体を気泡発生素子に用いて、ハウジングと気泡発生素子とで、気体室と液体室を構成するようにしたものが挙げられる。また、多孔質体をパイプ状とした気泡発生管を用いて、ハウジングと気泡発生管とで気体室と液体室を構成した上で、気泡発生管の内側に気体を、外側に液体を供給するようにしたものや、気泡発生管の内側に液体を、外側に気体を供給するようにしたものも挙げられる。

また、多孔質体としては、例えば、アルミナ、チタニア、シリカ、ムライト、ジルコニアなどの酸化物セラミックスや、窒化ケイ素などの窒化物セラミックス、炭化ケイ素などの炭化物セラミックスなどからなる多孔質セラミックスが挙げられる。また、ステンレス、アルミニウム、銅合金、ニッケル合金、チタン合金等の金属からなる多孔質金属も用いうる。
多孔質体の細孔径Ｄが、Ｄ（１０）≦２μｍの多孔質体を用いると、効率よく、直径１μｍ以下の微小気泡を効率よく生成して、液中にこの微小気泡を吹き込むことができるので特に好ましい。なお、細孔径分布の測定手法としては、例えば、水銀圧入法を用いる。Ｄ（１０）は、得られた累積細孔径分布曲線において、細孔容積全体のうち大径側の上位１０％を占める細孔径である。

また、気体バルブ、上流バルブ、下流バルブとしては、バタフライ弁、ボール弁、ダイヤフラム弁など気体操作や液体操作に使用する各種の弁を使用することができる。また、手動で開閉する手動バルブのほか、電磁バルブ、電動バルブ、空圧バルブ、油圧バルブなどの自動バルブも用いることができる。

また、微小気泡を含ませる液体としては、純水、飲料水、海水、各種の培養液、各種の水溶液、各種の汚水などの水系の液体や、有機溶媒、食用油や鉱物油などの油類、その他各種の液体が挙げられる。また、液体に微小気泡として含ませる気体としては、空気、酸素、オゾン、塩素ガス、水素、窒素、二酸化炭素など各種の気体が挙げられる。

また、気泡含有液体の製造装置であって、前記気体バルブは、自動バルブからなる気体自動バルブであり、前記上流バルブは、自動バルブからなる上流自動バルブであり、前記下流バルブは、自動バルブからなる下流自動バルブであり、前記ポンプの駆動、並びに上記気体自動バルブ、上記上流自動バルブ、及び上記下流自動バルブの開閉を制御する制御部を備える気泡含有液体の製造装置とすると良い。

この製造装置では、各バルブが自動バルブであり、これら及びポンプを制御する制御部を有するので、製造装置の起動や停止、運転などにおいて、制御部により、適切な順序やタイミングで、ポンプの駆動や停止、各バルブの開閉等の動作を行わせることができる。

自動バルブとしては、電磁バルブ、電動バルブを用いることができる。また、空圧や油圧で弁の開閉を行う空圧バルブ、油圧バルブを用いることもできる。なかでも、電気信号で直接制御できる点で、電磁バルブ、電動バルブを用いるのが好ましく、さらに応答速度の点で、電磁バルブを用いるのが好ましい。一方、防爆のために、空圧バルブや油圧バルブを用いることもできる。
制御部としては、ＰＬＣ（プログラマブルロジックコントローラ）やマイクロコンピュータを用いることができる。

さらに、上述の気泡含有液体の製造装置であって、前記制御部は、上記気泡含有液体の製造装置の停止にあたり、前記ポンプを停止させるのに加え、前記気体自動バルブを閉じ、前記上流自動バルブ及び前記下流自動バルブを閉じさせる気泡含有液体の製造装置とすると良い。

この製造装置のポンプを停止させると、ポンプの下流では、液体の液圧がほぼゼロにまで低下する。一方、気体自動バルブを閉じない場合はもちろん、気体自動バルブを閉じた場合でも、気体室内の気圧は、気泡となって気体が減少する分しか低下しないから、高い値に保たれる。このため、微小気泡発生装置では、気体室内の気圧と液体室内の液圧との差である、差圧（＝気圧−液圧）が大きくなり、多量の気体が液体室中の液体に吹き込まれるため、大きな気泡が液体室内のみならず、液上流路や液下流路に拡がる。このため、この製造装置を再起動させるに当たり、この気泡を除去する必要があるなどの面倒が生じていた。

これに対し、この製造装置では、制御部が、ポンプを停止させるのみならず、上流自動バルブ及び下流自動バルブを閉じさせる。このため、製造装置を停止させたことにより、気体が液体室中の液体に吹き込まれても、大きな気泡が上流自動バルブ及び下流自動バルブを越えて、液上流路や液下流路に拡がることが防止される。
なお、気体自動バルブを閉じることで、気体室内の気圧を、気体自動バルブを開いたままとした場合に比して、気泡として気体が消費される分、低下させることができる。
しかも、上流自動バルブ及び下流自動バルブを閉じた後も、気体は、気体室の残圧によって、液体室の液体に気泡を生じさせようとするが、上下流を上流自動バルブ及び下流自動バルブで締め切られた液体室では、気泡が吹き込まれると液体の液圧が上がるので、気圧と液圧がバランスする差圧の大きさまでに、気泡の吹き込みが抑制されることにより、多量の気体が液体に吹き込まれない利点も有る。

なお、上流自動バルブ及び下流自動バルブを閉じるに当たっては、バルブの上流側に水撃が生じ、下流側に水柱分離に伴う液圧低下が生じるのを緩和するべく、急激に閉じることを避け、バルブの閉じる速度を緩やかにするとよい。またポンプを停止させるに当たっては、ポンプの上流側に水撃が生じ、下流側に水柱分離に伴う液圧低下が生じるのを緩和するべく、急激に停止することを避け、停止速度を低下させる制御を行うとよい。

さらに、上述の気泡含有液体の製造装置であって、前記制御部は、上記気泡含有液体の製造装置の停止にあたり、前記ポンプの停止以前に、前記気体自動バルブを閉じる気泡含有液体の製造装置とすると良い。

製造装置の停止後は、液体室への気体の吹き込みを考慮すると、気体室の気圧（残圧）を低くするのが好ましい。
この製造装置では、製造装置の停止に当たり、気体自動バルブを早期に閉じることで、製造装置の停止後の気体室における気体の気圧（残圧）を低くして、停止中に液体室の液体に気泡が吹き込まれる量を抑制できる。

さらに、上述のいずれか一項に記載の気泡含有液体の製造装置であって、前記気泡発生素子は、多孔質体からなるパイプ状の気泡発生管であり、上記気泡発生管内に前記液体を流通させる気泡含有液体の製造装置とすると良い。

気泡発生素子として気泡発生管を用いる微小気泡発生装置を備える製造装置では、液体に接する気泡発生管の面積が大きく、液体中により多くの気泡を吹き込むことができる。

気泡発生管は、この気泡発生管のうち、少なくとも一方端部と他方端部の間の中央部（長手方向の中央部）が、多孔質体、具体的には、互いに三次元網目状に連結した多数の通気路を構成する多孔質体からなる。例えば、気泡発生管全体が多孔質セラミックスなどの多孔質体からなる気泡発生管が挙げられる。
また、中央部（長手方向の中央部）が多孔質体からなる一方、一方端部及び他方端部は緻密質の材質からなる気泡発生管や、全体が多孔質体からなるが、一方端部及び他方端部については、ガラス、樹脂、溶融金属などを含浸させることより、気孔を塞いで通気性を無くした気泡発生管も挙げられる。

気泡発生管の形状としては、円管状、角管状など、軸線方向に亘り横断面の形状が変化しない形態のほか、円錐台状、角錐台状など、軸線方向の一方側ほどテーパ状に窄まる形態や、軸線方向に進むに連れて径が周期的に変化する形状であっても良い。また、軸線が直線状に延びる直管状の形態のほか、軸線がＵ字状や蛇行状やらせん状に曲がった形態であっても良い。さらに、気泡発生管は、内部に貫通穴を１本設けた単管状のほか、多数の貫通孔を設けた多穴管状でも良い。また、気泡発生管は、１本でも複数本でも良い。

さらに、気体流入口、液流入口、及び液流出口を有するハウジング、及び、上記ハウジング内に保持され、多孔質体からなる気泡発生素子を有し、上記ハウジングと上記気泡発生素子は、上記ハウジングの一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記気体流入口に連通する気体室と、上記ハウジングの他の一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記液流入口及び上記液流出口に連通する液体室とを構成してなり、上記液流入口から上記液体室に液体を流入させると共に、上記気体流入口から上記気体室に気体を供給し、上記気泡発生素子から上記液体中に上記気体の微小気泡を発生させて、気泡含有液体を上記液流出口から流出させる微小気泡発生装置と、上記気体流入口に接続し、上記気体流入口へ上記気体を供給する気体供給路と、上記液流入口に接続し、上記液流入口へ上記液体を流す液上流路と、上記液上流路を介して上記液流入口に、上記液体を圧送するポンプと、上記液流出口に接続し、上記液流出口から上記気泡含有液体を流す液下流路と、を備え、上記気体供給路は、上記気体流入口への上記気体の流通を開閉する気体バルブを有し、上記液上流路は、上記液流入口への上記液体の流通を開閉する上流バルブを有し、上記液下流路は、上記液流出口からの上記気泡含有液体の流通を開閉する下流バルブを有する気泡含有液体の製造装置の使用方法であって、上記気泡含有液体の製造装置の停止にあたり、駆動している前記ポンプを停止させるステップと、前記気体バルブを閉じるステップと、上記上流バルブを閉じるステップと、上記下流バルブを閉じるステップと、を備える気泡含有液体の製造装置の使用方法である。

この製造装置では、ポンプを停止させると、ポンプの下流では、液体の液圧がほぼゼロにまで低下する。一方、気体バルブを閉じない場合はもちろん、気体バルブを閉じた場合でも、気体室内の気圧は、気泡となって気体が減少する分しか低下しないから、高い値に保たれる。このため、微小気泡発生装置では、気体室内の気圧と液体室内の液圧との差である、差圧（＝気圧−液圧）が大きくなり、多量の気体が液体室中の液体に吹き込まれるため、大きな気泡が液体室内のみならず、液上流路や液下流路に拡がる。このため、この製造装置を再起動させるに当たり、この気泡を除去する必要があるなどの面倒が生じていた。

これに対し、この気泡含有液体の製造装置の使用方法では、ポンプを停止するのみならず、上流バルブ及び下流バルブを閉じる。このため、製造装置を停止したことにより、気体が液体室中の液体に吹き込まれても、大きな気泡が上流バルブ及び下流バルブを越えて、液上流路や液下流路に拡がることが防止される。
なお、気体バルブを閉じることで、気体室内の気圧を、気体バルブを開いたままとした場合に比して、気泡として気体が消費される分、低下させることができる。
しかも、上流バルブ及び下流バルブを閉じた後も、気体は、気体室の残圧によって、液体室の液体に気泡を生じさせようとするが、上下流を上流バルブ及び下流バルブで締め切られた液体室では、気泡が吹き込まれると液体の液圧が上がるので、気圧と液圧がバランスする差圧の大きさまでに、気泡の吹き込みが抑制されることにより、多量の気体が液体に吹き込まれない利点も有る。

また上述の気泡含有液体の製造装置の使用方法であって、前記気体バルブは、自動バルブからなる気体自動バルブであり、前記上流バルブは、自動バルブからなる上流自動バルブであり、前記下流バルブは、自動バルブからなる下流自動バルブであり、気泡含有液体の製造装置は、前記ポンプ、上記気体自動バルブ、上記上流自動バルブ、及び上記下流自動バルブの駆動を制御する制御部を備える気泡含有液体の製造装置の使用方法とすると良い。

この製造装置の使用方法では、各バルブが自動バルブであり、ポンプ及び各バルブを制御する制御部を備えているので、この制御部を用いて、上述の使用方法を容易に実現できる。

実施形態に係る気泡含有液体の製造装置の概略構成を示す説明図である。実施形態に係る気泡含有液体の製造装置のうち、微小気泡発生装置の縦断面図を含む説明図である。実施形態に係る微小気泡発生装置の横断面図である。気泡含有液体の製造の手順を示すフローチャートである。気泡含有液体の製造のうち、起動処理の手順を示すフローチャートである。気泡含有液体の製造のうち、停止処理の手順を示すフローチャートである。

(実施形態）
第１の実施形態を、図１〜図６を参照して説明する。このうち、図１は、本実施形態に係る気泡含有液体の製造装置（以下、単に製造装置ともいう）１の概略構成を示す説明図である。また、図２は、実施形態に係る製造装置のうち、微小気泡発生装置（以下、単に発生装置ともいう）１０の断面構造を模式的に示す縦断面図を含む説明図であり、図３は発生装置１０の横断面図である。

本実施形態に係る気泡含有液体の製造装置１は、図１にその概略を示すように、タンクＴＫ１に貯留した液体ＬＱ（例えば、水）をポンプＰＵにより圧送し、微小気泡発生装置１０を通過させて、微小気泡ＢＢを含む気泡含有液体ＢＬＱを製造し、別のタンクＴＫ２に貯留する。製造装置１のうち発生装置１０では、ハウジング１０Ｈ内に気泡発生素子１０Ｋが保持されている。ハウジング１０Ｈの一部（図１においては、ハウジング１０Ｈの上部）がなす気体室構成部１０ＨＧと気泡発生素子１０Ｋとは、これらで囲み、気体流入口１０Ｊに連通する気体室ＧＲをなしている。また、ハウジング１０Ｈの他の一部（図１においては、ハウジング１０Ｈの下部）がなす液体室構成部１０ＨＬと気泡発生素子１０Ｋとは、これらで囲み、液流入口１０Ｉ及び液流出口１０Ｄに連通する液体室ＬＲをなしている。

この製造装置１では、ポンプＰＵにより圧送した液体ＬＱを、液配管ＬＳを通じて、これに接続した液流入口１０Ｉから液体室ＬＲに流入させる。これと共に、ガスボンベＧＢから送出され、レギュレータＲＧによりゲージ圧で２気圧に調圧された気体ＧＡ（例えば、空気、水素）を、ガス配管ＧＳを通じて、これに接続した気体流入口１０Ｊから発生装置１０の気体室ＧＲ内に流入させる。すると、この気体ＧＡは、発生装置１０内に保持された気泡発生素子１０Ｋを介して、液体ＬＱ中に、微小気泡ＢＢとして吹き込まれ、気泡含有液体ＢＬＱが製造され、液流出口１０ＤからタンクＴＫ２に向けて流入させる。

この製造装置１では、上述したように、気体供給路をなすガス配管ＧＳが、ハウジング１０Ｈの気体流入口１０Ｊに接続しており、気体ＧＡを気体流入口１０Ｊに、更には気体室ＧＲに供給している。このガス配管ＧＳには、気体流入口１０Ｊへの気体ＧＡの流通を開閉する気体バルブ３１が設けられている。
また、液配管ＬＳのうち、液上流路をなす液上流配管ＬＳＵが、ハウジング１０Ｈの液流入口１０Ｉに接続しており、液体ＬＱを液流入口１０Ｉに、更には液体室ＬＲに供給している。この液上流配管ＬＳＵには、液流入口１０Ｉへの液体ＬＱの流通を開閉する上流バルブ２１が設けられている。
さらに、液配管ＬＳのうち、液下流路をなす液下流配管ＬＳＤが、ハウジング１０Ｈの液流出口１０Ｄに接続しており、液体室ＬＲで製造された気泡含有液体ＢＬＱを液流出口１０ＤからタンクＴＫ２に向けて流している。この液下流配管ＬＳＤには、液流出口１０Ｄへの気泡含有液体ＢＬＱの流通を開閉する下流バルブ２２が設けられている。
加えて、液下流配管ＬＳＤのうち、下流バルブ２２の上流側（図２において左側）には、液下流配管ＬＳＤから分岐して排出配管ＬＨが設けられており、この排出配管ＬＨは排出バルブ２３で開閉可能（通常時は閉）となっている。

本実施形態においては、上述の気体バルブ３１、上流バルブ２１、下流バルブ２２、及び排出バルブ２３は、いずれもバタフライバルブである。しかも、気体バルブ３１、上流バルブ２１、及び下流バルブ２２は、モータによって駆動される電動バルブであり、破線で示す制御線ＣＬを用いて、プログラマブルロジックコントローラ（ＰＬＣ）で構成される制御部ＣＮＴにより、その開閉駆動が制御可能となっている。この制御部ＣＮＴは、制御線ＣＬを用いて、ポンプＰＵの起動、運転、及び停止についても制御を行っている。なお、排出バルブ２３は、手動である。

次いで、気泡含有液体ＢＬＱを製造する発生装置１０について説明する（図２，図３参照）。発生装置１０は、複数（本実施形態では１３本）の気泡発生管１１０（図１における気泡発生素子１０Ｋに対応）と、これを保持し包囲するハウジング１２０（１０Ｈ）とからなる。この発生装置１０は、各々の気泡発生管１１０が水平に保持されるように設置される。
このうち、気泡発生管１１０は、断面円形の直円管形状で、その全体が多孔質アルミナからなる。この気泡発生管１１０のうち、図２において左端部を上流端部１１２とし、右端部を下流端部１１３とし、上流端部１１２と下流端部１１３との間の部位を中央部１１４とする。気泡発生管１１０は、水銀圧入法（ＪＩＳＲ１６５５）を用いて細孔径分布を測定し、この細孔径分布において、大径側の上位１０％となる細孔径をＤ（１０）とすると、Ｄ（１０）＝２μｍ以下の多孔質アルミナからなる。具体的には、本実施形態では、Ｄ（１０）＝１．４μｍである。このため、この気泡発生管１１０を用いて、その管外にゲージ圧で２気圧程度の気体ＧＡを送り込むと、管内の液体ＬＱ中に、１μｍ以下の気泡を含む微小気泡ＢＢを吹き込むことができる。

一方、ハウジング１２０は、複数の気泡発生管１１０の上流端部１１２（図２において左端部）をそれぞれ支持する上流側支持部１３０と、気泡発生管１１０の下流端部１１３（図２において右端部）をそれぞれ支持する下流側支持部１５０と、上流側支持部１３０と下流側支持部１５０との間隔を保って複数の気泡発生管１１０の周囲を包囲する筒状の胴部１７０と、を備える。

このうち上流側支持部１３０は、概略円板状の上流側保持具１３１と、第１パッキン１３９と、上流側保持具１３１を気泡発生管１１０の長手方向ＮＸの一方側ＮＸ１（即ち、上流側）から覆う上流側カバー具１４０とからなる。

ステンレス材からなる上流側保持具１３１のうち、液分配部１３６には、気泡発生管１１０の上流端部１１２を挿通する１３ヶの発生管挿通孔１３２が、軸線ＡＸを中心とした所定の配置にそれぞれ穿孔されている（図３参照）。各々の発生管挿通孔１３２には、環状に拡径するパッキン溝１３３が設けられており、ＥＰＤＭからなる第１パッキン１３９（Ｏリング）が、このパッキン溝１３３内に配置されている。このため、発生管挿通孔１３２に気泡発生管１１０の上流端部１１２を挿通することにより、この気泡発生管１１０の上流端部１１２が、第１パッキン１３９を介して、それぞれ上流側保持具１３１に気密及び液密に保持され、上流側保持具１３１の一方側ＮＸ１（上流側）から、液体ＬＱを各気泡発生管１１０内に送り込むことができる。

また、上流側保持具１３１のうち周囲部分は、段状に切り欠かれており、後述する管包囲部材１７１（胴部１７０）のうち一方側ＮＸ１の第１フランジ部１７３を嵌め込んで係止する係止段部１３４とされている。また、後述するように、上流側カバー具１４０、上流側保持具１３１及び管包囲部材１７１の第１フランジ部１７３を締結するボルト１４６の軸部１４７を挿通するボルト挿通孔１３５が、６箇所穿孔されている。

また液分配部１３６には、各発生管挿通孔１３２が存在する範囲に亘って、凹状の液分配凹部１３７が設けられており、後述する液流入部１４３から流入した液体ＬＱが、図２において黒矢印で示すように、液分配凹部１３７を介して、各々の気泡発生管１１０（上流端部１１２）の管内に分配される。

ステンレス材からなる上流側カバー具１４０は、円板状の上流端部カバー部１４１と、この中央から長手方向一方側ＮＸ１に突出する液流入部１４３とを有する。この液流入部１４３がなす液流入口１４４は、液配管ＬＳのうち液上流配管ＬＳＵ（図１も１参照）が接続され、液体ＬＱが流入する液流入口１０Ｉとなっている。また、上流端部カバー部１４１は、液分配凹部１３７を覆い、上流側保持具１３１の液分配部１３６との間に、流入した液体ＬＱを各気泡発生管１１０に分配する空間を形成する。
また、上流側カバー具１４０のうち周囲部分にも、ボルト１４６の軸部１４７を挿通するボルト挿通孔１４２が、上流側保持具１３１のボルト挿通孔１３５に重なる配置で、６箇所穿孔されている。

一方、下流側支持部１５０は、概略円板状の下流側保持具１５１と、第２パッキン１５９と、下流側保持具１５１を長手方向ＮＸの他方側ＮＸ２（即ち、下流側）から覆う下流側カバー具１６０とからなる。

ステンレス材からなる下流側保持具１５１のうち、集合経路部１５６には、気泡発生管１１０の下流端部１１３を挿通する１３ヶの発生管挿通孔１５２が、軸線ＡＸを中心とした所定の配置にそれぞれ穿孔されている（図３参照）。各々の発生管挿通孔１５２には、環状に拡径するパッキン溝１５３が設けられており、ＥＰＤＭからなる第２パッキン１５９（Ｏリング）が、このパッキン溝１５３内に配置されている。このため、発生管挿通孔１５２に気泡発生管１１０の下流端部１１３を挿通することにより、この気泡発生管１１０の下流端部１１３が、第２パッキン１５９を介して、それぞれ下流側保持具１５１に気密及び液密に保持されている。

また、下流側保持具１５１のうち周囲部分は、段状に切り欠かれており、後述する管包囲部材１７１（胴部１７０）の他方側ＮＸ２の第２フランジ部１７４を嵌め込んで係止する係止段部１５４とされている。また、後述するように、下流側カバー具１６０、下流側保持具１５１及び管包囲部材１７１の第２フランジ部１７４を締結するボルト１６６の軸部１６７を挿通するボルト挿通孔１５５が、６箇所穿孔されている。

また集合経路部１５６には、各発生管挿通孔１５２が存在する範囲に亘って、凹状の集合経路凹部１５７が設けられており、各気泡発生管１１０の下流端部１１３から流出した気泡含有液体ＢＬＱが、図２において縞状黒矢印で示すように、集合経路凹部１５７を介して集められ、次述する液流出部１６３に導かれる。

ステンレス材からなる下流側カバー具１６０は、円板状の下流端部カバー部１６１と、この中央から長手方向他方側ＮＸ２に突出する液流出部１６３を有する。この液流出部１６３がなす液流出口１６４には、液配管ＬＳのうち液下流配管ＬＳＤ（図１も参照）が接続され、気泡含有液体ＢＬＱが流出する液流出口１０Ｄとなっている。また、下流端部カバー部１６１は、集合経路凹部１５７を覆い、下流側保持具１５１の集合経路部１５６との間に、各気泡発生管１１０の下流端部１１３から流出した気泡含有液体ＢＬＱを液流出部１６３に導く空間を形成する。
また、下流側カバー具１６０のうち周囲部分にも、ボルト１６６の軸部１６７を挿通するボルト挿通孔１６２が、下流側保持具１５１のボルト挿通孔１５５に重なる配置で、６箇所穿孔されている。

本実施形態において、胴部１７０は、上流側支持部１３０と下流側支持部１５０との間隔を保つと共に、気泡発生管１１０を包囲する管包囲部材１７１、及びボルト１４６，１６６を含む。ステンレスからなる筒状の管包囲部材１７１は、１３本の気泡発生管１１０の周囲を囲む、概略円筒状の管包囲部１７２のほか、この管包囲部１７２の長手方向一方側ＮＸ１の端部から径方向外側に向けて拡がる第１フランジ部１７３、管包囲部１７２の長手方向他方側ＮＸ２の端部から径方向外側に向けて拡がる第２フランジ部１７４を有する。

さらに、円筒状の管包囲部１７２の長手方向ＮＸ中央部分のうち上方には、気体流入口１７７（１０Ｊ）をなす気体流入部１７６が、外側に突出する形態に設けられている（図１も参照）。

この管包囲部材１７１の第１フランジ部１７３を、上流側保持具１３１の係止段部１３４に嵌め込み、上流側カバー具１４０のボルト挿通孔１４２と上流側保持具１３１のボルト挿通孔１３５とを挿通したボルト１４６の雄ネジ部１４８を、第１フランジ部１７３に設けた雌ネジ孔１７３Ｈにねじ込むことにより、上流側カバー具１４０、上流側保持具１３１及び管包囲部材１７１（第１フランジ部１７３）が互いに締結されている。
また、管包囲部材１７１の第２フランジ部１７４を、下流側保持具１５１の係止段部１５４に嵌め込み、下流側カバー具１６０のボルト挿通孔１６２と下流側保持具１５１のボルト挿通孔１５５とを挿通したボルト１６６の雄ネジ部１６８を、第２フランジ部１７４に設けた雌ネジ孔１７４Ｈにねじ込むことにより、下流側カバー具１６０，下流側保持具１５１及び管包囲部材１７１（第２フランジ部１７４）が互いに締結されている。
また、この管包囲部材１７１により、上流側支持部１３０（上流側保持具１３１）と下流側支持部１５０（下流側保持具１５１）との間の間隔Ｍが、所定の寸法に規制されている。

発生装置１０において、１３本の気泡発生管１１０は、図３に示すように配置されている。この図３は、図２おける発生装置１０のＣ−Ｃ断面のうち、１３本の気泡発生管１１０及び管包囲部材１７１（管包囲部１７２）の端面のみを示したものである。１３本の気泡発生管１１０は、軸線ＡＸの周りに６０度毎の回転対称に配置され、且つ、各々の気泡発生管１１０の中心が、互いに合同な仮想正三角形の頂点に位置する形態に配置されている。
複数の気泡発生管１１０を、このような形態に配置すると、複数の気泡発生管１１０を、中央の気泡発生管１１０を中心として、偏りなく配置することができ、複数の気泡発生管１１０を、上流側支持部１３０（上流側保持具１３１）及び下流側支持部１５０（下流側保持具１５１）で確実に支持した発生装置１０とすることができる。

またこの発生装置１０では、気泡発生素子１０Ｋとして、複数（本実施形態１では１３本）の気泡発生管１１０を用いており、液体ＬＱを各々の気泡発生管１１０に分配しているので、各々の気泡発生管１１０内で微小気泡ＢＢを発生させることができる。つまり、液体ＬＱに接する気泡発生管１１０（多孔質体）の面積を増やすことができ、液体ＬＱ中により多くの微小気泡ＢＢを吹き込むことができる。しかも、一本の長い気泡発生管を用いる場合に比して、各々の気泡発生管１１０の長さを短くできるので、各々の気泡発生管１１０の強度が高く信頼性のある気泡含有液体ＢＬＱの発生装置１０となる。

しかも、本実施形態の発生装置１０では、液体ＬＱに気体ＧＡの微小気泡ＢＢを吹き込むに当たり、液体ＬＱが外気に触れることがないので、清浄な状態で、液体ＬＱを気泡含有液体ＢＬＱにすることができる。

本実施形態では、発生装置１０のうち、上流側保持具１３１の液分配部１３６、下流側保持具１５１の集合経路部１５６、及び管包囲部材１７１の管包囲部１７２と、気泡発生管１１０とで囲まれた空間が、気体室ＧＲである。この気体室ＧＲは、管包囲部材１７１の気体流入部１７６がなす気体流入口１７７（１０Ｊ）に連通している。
また、発生装置１０のうち、上流側保持具１３１の液分配部１３６と上流側カバー具１４０の上流端部カバー部１４１、下流側保持具１５１の集合経路部１５６と下流側カバー具１６０の下流端部カバー部１６１、及び気泡発生管１１０で囲まれた空間が、液体室ＬＲである。この液体室ＬＲは、上流側カバー具１４０の１４３がなす液流入口１４４（１０Ｉ）及び下流側カバー具１６０の液流出部１６３がなす液流出口１６４（１０Ｄ）に連通している。

この製造装置１では、上流バルブ２１及び下流バルブ２２を有しているので、これらを閉じることで、上流バルブ２１よりも上流側の液上流配管ＬＳＵ内の液体ＬＱ、及び下流バルブ２２よりも下流側の液下流配管ＬＳＤ内の気泡含有液体ＢＬＱを排出しなくても、発生装置１０の内部のメンテナンスや気泡発生管１１０（気泡発生素子）の交換等を行うことができる。

なお、本実施形態においては、発生装置１０のメンテナンス等において、発生装置１０のハウジング１２０（１０Ｈ）の分解等を行う前に、上流バルブ２１及び下流バルブ２２を閉じ、さらに、排出バルブ２３を開いて、排出配管ＬＨから発生装置１０の液体ＬＱを排出するとよい。

またこの製造装置１では、各バルブ２１，２２，３１が電動バルブ（自動バルブ）であり、これら及びポンプＰＵを制御する制御部ＣＮＴを有するので、製造装置１の起動や停止、運転などにおいて、制御部ＣＮＴにより、適切な順序で、ポンプＰＵの駆動や各バルブ２１等の開閉の動作を行わせることができる。

次いで、本実施形態の製造装置１における、制御部ＣＮＴによるポンプＰＵ及び各バルブ２１，２２，３１の制御について、図４〜図６を参照して説明する。なお、排出バルブ２３は閉じているとする。
製造装置１による気泡含有液体ＢＬＱの製造では、電源を投入し、制御部ＣＮＴの制御が立ち上がると、図４に示すように、まず、ポンプＰＵの起動や各バルブ２１等の開閉等などの起動処理ステップＳ１を行い、製造装置１を起動し、気泡含有液体ＢＬＱを製造する（製造装置１を運転する）。

その後、ステップＳ２では、作業者から制御部ＣＮＴへの停止指示の有無を確認する。ここで、Ｙｅｓ即ち、停止指示が入力された場合には、次述するステップＳ３をスキップして、停止処理ステップＳ４を行う。一方、Ｎｏ、即ち、停止指示が入力されていない場合には、ステップＳ３に進む。
ステップＳ３では、図示しない各所に設置したセンサあるいはポンプＰＵの図示しない駆動回路などから、異常ありの信号が有るか否かを検知する。ここで、Ｎｏ、即ち、異常ありの信号が入力されていない場合には、ステップＳ２に戻る。一方、Ｙｅｓ即ち、異常ありの信号が入力された場合には、停止処理ステップＳ４を行う。

停止処理ステップＳ４では、製造装置１の運転を停止し、気泡含有液体ＢＬＱの製造を終了する。なお、製造装置１の運転停止中には、前述のように、発生装置１０のメンテナンス等を行うことができる。

これらのステップのうち、起動処理ステップＳ１は、図５に示すように、ステップＳ１１において、作業者から制御部ＣＮＴへの起動指示の有無を確認する。即ち、起動信号が入力されるまで待つ。起動信号が入力されると、まずステップＳ１２において、気体バルブ３１を開く。次いで、ステップＳ１３において、下流バルブ２２を開き、続いて、上流バルブ２１を開き（ステップＳ１４）さらに、ポンプＰＵを起動する（ステップＳ１５）。気体バルブ３１を最初に開くのは、気体室ＧＲの気圧を高くし、気泡発生管１１０を介して、液体室ＬＲ（管内）の液体ＬＱが漏れ出すのを防止するためである。

これにより、ガス配管ＧＳ及び気体流入口１７７（１０Ｊ）を通じて、気体ＧＡが気体室ＧＲに、つまり、管包囲部１７２内に流入し、所定のゲージ圧が気泡発生管（気泡発生素子）１１０に掛かる。また、ポンプから圧送された液体ＬＱが、液上流配管ＬＳＵ及び液流入口１４４（１０Ｉ）を通じて、液体室ＬＲに、つまり気泡発生管１１０内に流入する。これにより、気泡発生管１１０内において、液体ＬＱ中に微小気泡ＢＢが吹き込まれて気泡含有液体ＢＬＱが製造され、液流出口１６４（１０Ｄ）及び液下流配管ＬＳＤを通じて、タンクＴＫ２に貯留される。

また、停止信号の入力（ステップＳ２）あるいは異常信号の入力（ステップＳ３）により行われる、停止処理ステップＳ４は、図６に示すように、ステップＳ４１において、まず気体バルブ３１を閉じ、続いてポンプＰＵを停止する（ステップＳ４２）。その後、上流バルブ２１を閉じ（ステップＳ４３）、さらに、下流バルブ２２を閉じる（ステップＳ４４）。これにより、液体ＬＱ及び気体ＧＡの発生装置１０への供給は停止され、気泡含有液体ＢＬＱの製造も停止される。また、発生装置１０の気体室ＧＲは気体バルブ３１で閉じられ、液体室ＬＲは、上流バルブ２１及び下流バルブ２２で閉じられる。

このようにする理由について、以下に説明する。
本実施形態の製造装置１を運転している途中で、ポンプＰＵを停止させると、ポンプＰＵの下流では、液体ＬＱの液圧がほぼゼロにまで低下する。一方、気体室ＧＲ内の気圧は、気体バルブ３１を閉じない場合は、レギュレータＲＧで調圧された気圧となる。一方、気体バルブ３１を閉じた場合でも、気体バルブ３１を閉じた後、微小気泡ＢＢなどとなって気体ＧＡが減少する分しか、気圧は低下しないから、気体室ＧＲの気圧（残圧）は高い値に保たれる。このため、発生装置１０では、気体室ＧＲ内の気体ＧＡの気圧と液体室ＬＲ内の液体ＬＱの液圧との差である、差圧（＝気圧−液圧）が大きくなり、多量の気体ＧＡが液体室ＬＲ中の液体ＬＱに吹き込まれるため、大きな気泡が液体室ＬＲ内のみならず、液上流路ＬＳＵや液下流路ＬＳＤに拡がる。このため、この製造装置１を再起動させるに当たり、この気泡を除去する必要があるなどの面倒が生じていた。

これに対し、この製造装置１では、制御部ＣＮＴが、ポンプＰＵを停止させるのみならず、上流バルブ２１及び下流バルブ２２を閉じさせる。このため、製造装置１を停止させたことにより、気体が液体室ＬＲ中の液体ＬＱに吹き込まれても、大きな気泡が上流バルブ及び２１や下流バルブ２２を越えて、液上流路ＬＳＵや液下流路ＬＳＤに拡がることが防止される。
なお、気体バルブ３１を閉じることで、気体室ＬＲ内の気圧を、気体バルブ３１を開いたままとした場合に比して、気泡として気体ＧＡが消費される分、低下させることができる。

しかも、上流バルブ２１及び下流バルブ２２を閉じた後も、気体ＧＡは、気体室ＧＲの残圧によって、液体室ＬＲの液体ＬＱに気泡が生じさせようとするが、上下流を上流バルブ２１及び下流バルブ２２で締め切られた液体室ＬＲでは、気泡が吹き込まれると液体ＬＱの液圧が上がるので、気圧と液圧がバランスする差圧の大きさまでに、気泡の吹き込みが抑制されることにより、多量の気体ＧＡが液体ＬＱに吹き込まれない。

また、この製造装置１では、各バルブ２１，２２，３１が自動バルブであり、ポンプＰＵ及び各バルブ２１，２２，３１を制御する制御部ＣＮＴを備えているので、製造装置１の起動や停止、運転などにおいて、制御部ＣＮＴにより、適切な順序やタイミングで、ポンプＰＵの駆動や停止、各バルブ２１等の開閉等の動作を行わせることができる。また、この制御部ＣＮＴを用いて、上述の使用方法を容易に実現できている。

前述したように、本実施形態では、ステップＳ４２〜Ｓ４４を、図６に示す順序とした。
しかし、上流バルブ２１と下流バルブ２２とは、相前後して閉じれば良く、同時あるいは下流バルブ２２を先に閉じても良い。

また、上流バルブ２１及び下流バルブ２２を閉じるに当たっては、流れている液体ＬＱの慣性により、これらのバルブ２１，２２の上流側に水撃が生じ、下流側に液圧低下が生じる。これらを緩和するべく、各バルブ２１，２２を急激に閉じることを避け、バルブ２１，２２の閉じる速度を緩やかにする。具体的には、上流バルブ２１及び下流バルブ２２として、電動のバタフライバルブを用い、バルブを閉じる速度を制御し、全開から全閉までを１〜３秒程度で遷移させるとよい。
さらに、ポンプＰＵを停止させるに当たっては、ポンプＰＵの上流側に水撃が生じ、下流側に液圧低下の圧力波が生じるのを緩和するべく、急激に停止することを避け、インバータ制御による停止速度を低下させる制御を行い、ポンプＰＵの駆動から停止までを１〜５秒で遷移させるとよい。

なお、上流バルブ２１は、液上流配管ＬＳＵのうち液流入口１４４（１０Ｉ）に近い位置に設けると良い。即ち、ポンプＰＵと液流入口１４４（１０Ｉ）との間の液上流配管ＬＳＵの経路のうち、液流入口１４４（１０Ｉ）側に配置すると良い。発生装置１０に近い位置で、液体ＬＱの流れの開閉を行うことができ、上流バルブ２１と下流バルブ２２の間に存在する液体ＬＱの量を少なくでき、発生装置１０のメンテナンスなどの場合に、廃棄する液体ＬＱの量を減少できる。
また同様に、下流バルブ２２は、液下流配管ＬＳＤのうち液流出口１６４（１０Ｄ）に近い位置に設けると良い。即ち、タンクＴＫ２と液流出口１６４（１０Ｄ）との間の液下流配管ＬＳＤの経路のうち、液流出口１６４（１０Ｄ）側に配置すると良い。発生装置１０に近い位置で、液体ＬＱの流れの開閉を行うことができ、上流バルブ２１と下流バルブ２２の間に存在する液体ＬＱの量を少なくでき、発生装置１０のメンテナンスなどの場合に、廃棄する液体ＬＱの量を減少できる。

なお、本実施形態では、前述のように、製造装置１の停止にあたり、ポンプＰＵの停止（ステップＳ４２）以前に、気体バルブ３１を閉じた（ステップＳ４１：図６参照）。
早期に気体バルブ３１を閉じて気体ＧＡの供給を止めると、製造装置１の停止後の気体室ＧＲにおける気体ＧＡの気圧（残圧）を低くして、停止中に液体室ＬＲの液体ＬＱに気泡が吹き込まれる量を抑制できる。

しかも、本実施形態の製造装置１は、気泡発生素子として、多孔質体からなるパイプ状の気泡発生管１１０を用いており、この気泡発生管１１０内に液体ＬＱを流通させている。
このように、気泡発生管１１０を用いる発生装置１０を備える本実施形態の製造装置１では、液体ＬＱに接する気泡発生管１１０の面積が大きく、液体ＬＱ中により多くの微小気泡ＢＢを吹き込むことができる。

以上において、本発明を実施形態に即して説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で、適宜変更して適用できることはいうまでもない。
例えば、実施形態の製造装置１では、発生装置１０に、多孔質体からなる筒状の気泡発生管１１０を気泡発生素子１０Ｋとして用い、その内側に液体ＬＱを流す形態を例示した。
しかし、発生装置としては、板状、半球殻状、球殻状の多孔質体を気泡発生素子に用いて、ハウジングと気泡発生素子とで、気体室と液体室を構成するようにしても良い。気泡発生管を用い、気泡発生管の内側に気体を、外側に液体を供給するようにした発生装置を用いることもできる。

また、実施形態の製造装置１では、タンクＴＫ１の液体ＬＱから、気泡含有液体ＢＬＱを製造して、タンクＴＫ２に貯留する形態とした。しかし、タンクＴＫ２を無くし、製造した気泡含有液体ＢＬＱをタンクＴＫ１に戻し、繰り返し、液体ＬＱ中に微小気泡ＢＢを吹き込むようにしても良い。

１微小気泡含有液体の製造装置
１０微小気泡発生装置
１０Ｉ液流入口
１０Ｄ液流出口
１０Ｊ気体流入口
１０Ｈ（微小気泡発生装置の）ハウジング
１０ＨＧ（ハウジングのうち）気体室構成部
１０ＨＬ（ハウジングのうち）液体室構成部
１０Ｋ気泡発生素子
ＧＲ気体室
ＬＲ液体室
ＰＵポンプ
ＬＳ液配管
ＬＳＵ液上流配管（液上流路）
ＬＳＤ液下流配管（液下流路）
ＬＨ排出配管
２１上流バルブ（上流自動バルブ）
２２下流バルブ（下流自動バルブ）
ＬＱ液体
ＢＬＱ気泡含有液体
ＧＡ気体
ＢＢ微小気泡
ＧＳガス配管（気体供給路）
３１気体バルブ（気体自動バルブ）
ＣＮＴ制御部
ＮＸ（気泡発生管の）長手方向
ＮＸ１（長手方向の）一方側
ＮＸ２（長手方向の）他方側
１１０気泡発生管（気泡発生素子）
１２０ハウジング
１３０上流側支持部
１５０下流側支持部
１７０胴部
１３１（上流側支持部のうち）上流側保持具
１３９（上流側支持部のうち）第１パッキン
１４０（上流側支持部のうち）上流側カバー具
１４３液流入部
１４４液流入口
１５１（下流側支持部のうち）下流側保持具
１５９（下流側支持部のうち）第２パッキン
１６０（下流側支持部のうち）下流側カバー具
１６３液流出部
１６４液流出口
１７１管包囲部材（胴部）
１７２（管包囲部材の）管包囲部
１７６気体流入部
１７７気体流入口
Ｓ４２ポンプを停止させるステップ
Ｓ４１気体バルブを閉じるステップ
Ｓ４３上流バルブを閉じるステップ
Ｓ４４下流バルブを閉じるステップ

Claims

気体流入口、液流入口、及び液流出口を有するハウジング、及び、
上記ハウジング内に保持され、多孔質体からなる気泡発生素子を有し、
上記ハウジングと上記気泡発生素子は、
上記ハウジングの一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記気体流入口に連通する気体室と、
上記ハウジングの他の一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記液流入口及び上記液流出口に連通する液体室とを構成してなり、
上記液流入口から上記液体室に液体を流入させると共に、上記気体流入口から上記気体室に気体を供給し、上記気泡発生素子から上記液体中に上記気体の微小気泡を発生させて、気泡含有液体を上記液流出口から流出させる
微小気泡発生装置と、
上記気体流入口に接続し、上記気体流入口へ上記気体を供給する気体供給路と、
上記液流入口に接続し、上記液流入口へ上記液体を流す液上流路と、
上記液上流路を介して上記液流入口に、上記液体を圧送するポンプと、
上記液流出口に接続し、上記液流出口から上記気泡含有液体を流す液下流路と、を備え、
上記気体供給路は、上記気体流入口への上記気体の流通を開閉する気体バルブを有し、
上記液上流路は、上記液流入口への上記液体の流通を開閉する上流バルブを有し、
上記液下流路は、上記液流出口からの上記気泡含有液体の流通を開閉する下流バルブを有する
気泡含有液体の製造装置。
請求項１に記載の気泡含有液体の製造装置であって、
前記気体バルブは、自動バルブからなる気体自動バルブであり、
前記上流バルブは、自動バルブからなる上流自動バルブであり、
前記下流バルブは、自動バルブからなる下流自動バルブであり、
前記ポンプの駆動、並びに、上記気体自動バルブ、上記上流自動バルブ、及び上記下流自動バルブの駆動を制御する制御部を備える
気泡含有液体の製造装置。
請求項２に記載の気泡含有液体の製造装置であって、
前記制御部は、
上記気泡含有液体の製造装置の停止にあたり、
前記ポンプを停止させるのに加え、
前記気体自動バルブを閉じ、
前記上流自動バルブ及び前記下流自動バルブを閉じさせる
気泡含有液体の製造装置。
請求項３に記載の気泡含有液体の製造装置であって、
前記制御部は、
上記気泡含有液体の製造装置の停止にあたり、
前記ポンプの停止以前に、前記気体自動バルブを閉じる
気泡含有液体の製造装置。
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の気泡含有液体の製造装置であって、
前記気泡発生素子は、
多孔質体からなるパイプ状の気泡発生管であり、
上記気泡発生管内に前記液体を流通させる
気泡含有液体の製造装置。
気体流入口、液流入口、及び液流出口を有するハウジング、及び、
上記ハウジング内に保持され、多孔質体からなる気泡発生素子を有し、
上記ハウジングと上記気泡発生素子は、
上記ハウジングの一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記気体流入口に連通する気体室と、
上記ハウジングの他の一部と上記気泡発生素子とで囲まれ、上記液流入口及び上記液流出口に連通する液体室とを構成してなり、
上記液流入口から上記液体室に液体を流入させると共に、上記気体流入口から上記気体室に気体を供給し、上記気泡発生素子から上記液体中に上記気体の微小気泡を発生させて、気泡含有液体を上記液流出口から流出させる
微小気泡発生装置と、
上記気体流入口に接続し、上記気体流入口へ上記気体を供給する気体供給路と、
上記液流入口に接続し、上記液流入口へ上記液体を流す液上流路と、
上記液上流路を介して上記液流入口に、上記液体を圧送するポンプと、
上記液流出口に接続し、上記液流出口から上記気泡含有液体を流す液下流路と、を備え、
上記気体供給路は、上記気体流入口への上記気体の流通を開閉する気体バルブを有し、
上記液上流路は、上記液流入口への上記液体の流通を開閉する上流バルブを有し、
上記液下流路は、上記液流出口からの上記気泡含有液体の流通を開閉する下流バルブを有する
気泡含有液体の製造装置の使用方法であって、
上記気泡含有液体の製造装置の停止にあたり、
駆動している前記ポンプを停止させるステップと、
前記気体バルブを閉じるステップと、
上記上流バルブを閉じるステップと、
上記下流バルブを閉じるステップと、を備える
気泡含有液体の製造装置の使用方法。
請求項６に記載の気泡含有液体の製造装置の使用方法であって、
前記気体バルブは、自動バルブからなる気体自動バルブであり、
前記上流バルブは、自動バルブからなる上流自動バルブであり、
前記下流バルブは、自動バルブからなる下流自動バルブであり、
気泡含有液体の製造装置は、
前記ポンプ、上記気体自動バルブ、上記上流自動バルブ、及び上記下流自動バルブの駆動を制御する制御部を備える
気泡含有液体の製造装置の使用方法。