JP6609488B2

JP6609488B2 - Bellows pump

Info

Publication number: JP6609488B2
Application number: JP2016033817A
Authority: JP
Inventors: 敏男武石
Original assignee: Koganei Corp
Current assignee: Koganei Corp
Priority date: 2016-02-25
Filing date: 2016-02-25
Publication date: 2019-11-20
Anticipated expiration: 2036-02-25
Also published as: JP2017150401A

Description

本発明は、ベローズの伸縮によりポンプ室の容積を増減して液体を吸入吐出するベローズポンプに関する。 The present invention relates to a bellows pump that sucks and discharges liquid by increasing and decreasing the volume of a pump chamber by expansion and contraction of the bellows.

ベローズポンプは、ポンプハウジング内に組み込まれてポンプ室を形成する伸縮自在のベローズと、ベローズを軸方向に駆動する往復動ロッドとを有する。ベローズが往復動ロッドにより駆動されてポンプ室の容積が大きくなると、ポンプ室内に液体が吸入される。一方、ベローズが往復動ロッドにより駆動されてポンプ室の容積が小さくなると、ポンプ室内から液体が吐出される。ベローズは、ゴムや樹脂等の可撓性部材により成形される。 The bellows pump has a telescopic bellows that is incorporated in a pump housing to form a pump chamber, and a reciprocating rod that drives the bellows in the axial direction. When the bellows is driven by the reciprocating rod to increase the volume of the pump chamber, liquid is sucked into the pump chamber. On the other hand, when the bellows is driven by the reciprocating rod to reduce the volume of the pump chamber, the liquid is discharged from the pump chamber. The bellows is formed of a flexible member such as rubber or resin.

特許文献１には、ベローズの外側とベローズを収容するハウジングとによりポンプ室が区画される液体吐出装置が記載されている。この液体吐出装置はフォトレジスト液などの常温の液体を吸入吐出するために使用され、ベローズはフッ素樹脂製である。特許文献２には、ベローズの内部とポンプケースとによりポンプ室が区画されるベローズポンプが記載されている。このベローズポンプはガスを吐出するために使用され、ベローズはゴムまたは軟質性の合成樹脂により製作される。特許文献１においては、往復動ロッドは、モータにより回転駆動されるボールねじによって軸方向に往復動される。一方、特許文献２においては、駆動ロッドは、モータにより回転駆動される偏心軸によって軸方向に往復動される。 Patent Document 1 describes a liquid discharge device in which a pump chamber is defined by an outer side of a bellows and a housing that houses the bellows. This liquid discharging apparatus is used for sucking and discharging a room temperature liquid such as a photoresist liquid, and the bellows is made of a fluororesin. Patent Document 2 describes a bellows pump in which a pump chamber is defined by the inside of a bellows and a pump case. This bellows pump is used for discharging gas, and the bellows is made of rubber or a soft synthetic resin. In Patent Document 1, the reciprocating rod is reciprocated in the axial direction by a ball screw that is rotationally driven by a motor. On the other hand, in Patent Document 2, the drive rod is reciprocated in the axial direction by an eccentric shaft that is rotationally driven by a motor.

特開平７−３１０８３８号公報JP-A-7-310838 特開２００５−２３７８９号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2005-23789

特許文献１に記載される液体吐出装置においては、往復動ロッドの先端部がベローズの先端にねじ結合される。特許文献２に記載されるベローズポンプにおいては、往復動ロッドの先端部に設けられた大径のフランジ部であるリテーナと、ベローズ内に設けられる容積制限部材との間で、ベローズの往復動端と可撓性隔膜とが締結される。 In the liquid ejection device described in Patent Document 1, the tip of the reciprocating rod is screwed to the tip of the bellows. In the bellows pump described in Patent Document 2, the reciprocating end of the bellows is provided between a retainer, which is a large-diameter flange provided at the tip of the reciprocating rod, and a volume limiting member provided in the bellows. And the flexible diaphragm are fastened.

特許文献２に記載されるように、ベローズの往復動端を締結する容積制限部材が、ベローズ内部に配置されると、ポンプ室の容積が小さくなる。これに対し、特許文献１に記載されるように、ベローズの外側とポンプハウジングとによりポンプ室を区画形成すると、ポンプ室の容積を大きくすることができる。しかしながら、特許文献１に記載されるように、往復動ロッドの先端に設けられた雄ねじを、往復動ロッドの先端に設けられた雄ねじがベローズの往復動端つまりベローズ頭部に設けられた雌ねじにねじ結合される形態、つまり往復動ロッドがベローズの往復動端に連結される形態においては、高温の液体を吸入吐出する場合には、ベローズと往復動ロッドとの連結部の強度が低下するという問題がある。 As described in Patent Document 2, when the volume limiting member that fastens the reciprocating end of the bellows is disposed inside the bellows, the volume of the pump chamber is reduced. On the other hand, as described in Patent Document 1, when the pump chamber is partitioned by the outside of the bellows and the pump housing, the volume of the pump chamber can be increased. However, as described in Patent Document 1, a male screw provided at the tip of the reciprocating rod is replaced with a female screw provided at the reciprocating end of the bellows, that is, the bellows head. In the screw-coupled form, that is, the form in which the reciprocating rod is connected to the reciprocating end of the bellows, the strength of the connecting portion between the bellows and the reciprocating rod is reduced when high temperature liquid is sucked and discharged. There's a problem.

なぜならば、フッ素樹脂等の合成樹脂からなるベローズは、常温の液体、例えばレジスト液を吸入吐出する場合には、連結部の強度は十分であるのに対し、ベローズが高温の液体にさらされると、連結部であるベローズ頭部が軟化するためである。軟化したベローズ頭部の雌ねじ部に対して、吸入吐出時に往復動ロッドの全負荷が加わり、ベローズ頭部の雌ねじ部に応力が集中し、雌ねじ部の劣化が進む。ベローズ頭部の雌ねじ部のねじ山が劣化すると、ねじ部にガタが生じるので、往復動ロッドの往復動ストロークとベロ−スの往復動ストロークが一致しなくなる。さらに雌ねじ部の劣化が進むと、往復動ロッドの先端の雄ねじとベローズ頭部の雌ねじ部とのねじ結合が外れてしまう。このため、ベローズの耐久性を高めることができないという問題点がある。 This is because, when a bellows made of a synthetic resin such as a fluororesin is used to suck and discharge a liquid at room temperature, for example, a resist solution, the strength of the connecting portion is sufficient, whereas the bellows is exposed to a high-temperature liquid. This is because the bellows head that is the connecting portion is softened. The full load of the reciprocating rod is applied to the softened female screw portion of the bellows head during suction and discharge, stress concentrates on the female screw portion of the bellows head, and deterioration of the female screw portion proceeds. When the thread of the female thread portion of the bellows head deteriorates, the thread portion becomes loose, and the reciprocating stroke of the reciprocating rod and the reciprocating stroke of the bellows do not match. When the internal thread portion further deteriorates, the screw connection between the external thread at the tip of the reciprocating rod and the internal thread portion of the bellows head is released. For this reason, there exists a problem that durability of a bellows cannot be improved.

本発明の目的は、ベローズポンプの耐久性を向上することにある。 An object of the present invention is to improve the durability of a bellows pump.

本発明の他の目的は、高温の液体に対応しながら、ベローズポンプの高い吸入吐出圧力を実現し、ベローズの強度を高めて、耐久性と吸入吐出精度を高めることにある。 Another object of the present invention is to realize a high suction / discharge pressure of the bellows pump while supporting a high-temperature liquid, to increase the strength of the bellows, and to improve durability and suction / discharge accuracy.

本発明のベローズポンプは、合成樹脂からなるベローズの伸縮によりポンプ室の容積を増減して液体を吸入吐出するベローズポンプであって、液体吸入口と液体吐出口とが設けられたハウジングと、前記ベローズの往復動端に設けられ、前記ポンプ室に臨むベローズ頭部と、前記ベローズの内部の駆動室に往復動自在に設けられ、前記ベローズを伸縮駆動する往復動ロッドと、前記ベローズ頭部の先端部に形成された凹部の内周面に嵌合し前記ポンプ室に臨む接液部材と、前記駆動室側の締結フランジ部とからなり、前記ベローズ頭部を挟持して前記往復動ロッドとともに往復動する挟持部材と、前記接液部材と前記凹部の内周面との間をシールするシール部材と、を有する。 The bellows pump of the present invention is a bellows pump that sucks and discharges liquid by increasing / decreasing the volume of a pump chamber by expansion and contraction of a bellows made of a synthetic resin , the housing provided with a liquid suction port and a liquid discharge port, A bellows head provided at a reciprocating end of the bellows and facing the pump chamber; a reciprocating rod provided in a drive chamber inside the bellows so as to freely reciprocate and driving the bellows to extend and contract; and a bellows head It consists of a liquid contact member that fits into the inner peripheral surface of the recess formed at the tip and faces the pump chamber, and a fastening flange portion on the drive chamber side, and holds the bellows head together with the reciprocating rod A sandwiching member that reciprocates ; and a seal member that seals between the liquid contact member and the inner peripheral surface of the recess .

往復動ロッドによりベローズが伸縮されてポンプ室に液体が吸入され、ポンプ室から液体が吐出される。挟持部材はベローズ頭部を挟持して、ベローズを伸縮駆動する往復動ロッドとともに往復動する。往復動ロッドからベローズ頭部に加えられる力は、挟持部材を介してベローズ頭部の広い範囲に加えられるので、応力の集中が回避される。これにより、高温の液体を吸入吐出する場合においては、液体に曝されるベローズ頭部の劣化が抑制され、ベローズポンプの耐久性を向上させることができる。 The bellows is expanded and contracted by the reciprocating rod, the liquid is sucked into the pump chamber, and the liquid is discharged from the pump chamber. The sandwiching member sandwiches the bellows head and reciprocates together with a reciprocating rod that drives the bellows to extend and contract. Since the force applied from the reciprocating rod to the bellows head is applied to a wide range of the bellows head via the clamping member, stress concentration is avoided. Thereby, when sucking and discharging a high-temperature liquid, deterioration of the bellows head exposed to the liquid is suppressed, and the durability of the bellows pump can be improved.

一実施の形態であるベローズポンプを示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the bellows pump which is one Embodiment. 図１の要部を示す拡大断面図である。It is an expanded sectional view which shows the principal part of FIG. （Ａ）は他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図であり、（Ｂ）は（Ａ）の一部を示す分解断面図である。(A) is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other Embodiment, (B) is an exploded sectional view which shows a part of (A). 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 他の実施の形態であるベローズポンプの要部を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the principal part of the bellows pump which is other embodiment. 比較例として示す従来のベローズポンプの要部を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the principal part of the conventional bellows pump shown as a comparative example.

以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。図１および図２に示すベローズポンプ１０ａはフッ素樹脂製の円筒形状のハウジング１１を有し、閉塞端部１２がハウジング１１の先端に設けられている。フッ素樹脂製のベローズ１３がハウジング１１の内部に配置される。ベローズ１３は、環状の固定基部１３ａと、環状の往復動端であるベローズ頭部１３ｂとを有し、蛇腹部１３ｃが固定基部１３ａとベローズ頭部１３ｂとの間に一体に設けられている。ベローズ１３の外側とハウジング１１とによりポンプ室１４が区画され、ベローズ１３の内部に駆動室１４ａが区画される。ベローズ頭部１３ｂはハウジング１１の閉塞端部１２に対向してポンプ室１４に臨み、蛇腹部１３ｃはハウジング１１の円筒形状の内周面に対向してポンプ室１４に臨んでいる。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. A bellows pump 10 a shown in FIGS. 1 and 2 has a cylindrical housing 11 made of fluororesin, and a closed end 12 is provided at the tip of the housing 11. A fluororesin bellows 13 is disposed inside the housing 11. The bellows 13 has an annular fixed base portion 13a and a bellows head portion 13b that is an annular reciprocating end, and a bellows portion 13c is integrally provided between the fixed base portion 13a and the bellows head portion 13b. A pump chamber 14 is defined by the outside of the bellows 13 and the housing 11, and a drive chamber 14 a is defined inside the bellows 13. The bellows head portion 13 b faces the pump chamber 14 facing the closed end portion 12 of the housing 11, and the bellows portion 13 c faces the pump chamber 14 facing the cylindrical inner peripheral surface of the housing 11.

環状の基部１５がハウジング１１の基端面に取り付けられ、基部１５はハウジング１１の一部を構成する。ベローズ１３の固定基部１３ａは、ハウジング１１の基端部に設けられた段部１６と基部１５との間で挟持される。ハウジング１１と固定基部１３ａとの間は、シール部材１７によりシールされる。 An annular base portion 15 is attached to the proximal end surface of the housing 11, and the base portion 15 constitutes a part of the housing 11. The fixed base portion 13 a of the bellows 13 is sandwiched between a step portion 16 and a base portion 15 provided at the base end portion of the housing 11. A seal member 17 seals between the housing 11 and the fixed base portion 13a.

シリンダ２１が基部１５に取り付けられ、ピストン２２がシリンダ２１内に軸方向に往復動自在に装着される。往復動ロッド２３は駆動室１４ａに配置され、往復動ロッド２３の基端部はピストン２２に取り付けられ、先端部はベローズ頭部１３ｂに取り付けられる。ピストン２２により往復動ロッド２３は軸方向に駆動され、往復動ロッド２３がベローズ１３を伸長する方向、つまり図１において左方向の前進方向に駆動されると、ポンプ室１４は収縮する。一方、往復動ロッド２３がベローズ１３を収縮する方向、つまり図１において右方向の後退方向に駆動されると、ポンプ室１４は膨張する。このように、往復動ロッドがベローズ１３を伸縮駆動することによって、ポンプ室１４の容積は増減する。 A cylinder 21 is attached to the base 15, and a piston 22 is mounted in the cylinder 21 so as to be capable of reciprocating in the axial direction. The reciprocating rod 23 is disposed in the drive chamber 14a, the proximal end of the reciprocating rod 23 is attached to the piston 22, and the distal end is attached to the bellows head 13b. When the reciprocating rod 23 is driven in the axial direction by the piston 22 and the reciprocating rod 23 is driven in the direction in which the bellows 13 is extended, that is, in the forward direction in the left direction in FIG. 1, the pump chamber 14 contracts. On the other hand, when the reciprocating rod 23 is driven in the direction in which the bellows 13 contracts, that is, in the backward direction in the right direction in FIG. 1, the pump chamber 14 expands. Thus, the volume of the pump chamber 14 increases or decreases as the reciprocating rod drives the bellows 13 to expand and contract.

仕切り部材２４がシリンダ２１の先端部に取り付けられ、カバー２５がシリンダ２１の基端部に取り付けられる。第１の圧力室２６ａが仕切り部材２４とピストン２２との間で区画され、第２の圧力室２６ｂがピストン２２とカバー２５との間で区画される。第１の圧力室２６ａに連通する第１の給排ポート２７ａがシリンダ２１に設けられ、第２の圧力室２６ｂに連通する第２の給排ポート２７ｂがシリンダ２１に設けられる。第１の給排ポート２７ａから圧縮空気等の流体圧を供給すると、往復動ロッド２３はベローズ１３を収縮する方向、つまりハウジング１１から突出する後退方向に駆動される。一方、第２の給排ポート２７ｂから流体圧を供給すると、往復動ロッド２３はベローズ１３を伸長する方向、つまり閉塞端部１２に向けてハウジング１１内に入り込む前進方向に駆動される。往復動ロッド２３は、ベローズ頭部１３ｂが取り付けられる端部を先端とし、ベローズを伸長する方向を往復動ロッド２３前進方向とし、逆方向を後退方向とする。 The partition member 24 is attached to the distal end portion of the cylinder 21, and the cover 25 is attached to the proximal end portion of the cylinder 21. The first pressure chamber 26 a is partitioned between the partition member 24 and the piston 22, and the second pressure chamber 26 b is partitioned between the piston 22 and the cover 25. A first supply / exhaust port 27a communicating with the first pressure chamber 26a is provided in the cylinder 21, and a second supply / exhaust port 27b communicating with the second pressure chamber 26b is provided in the cylinder 21. When fluid pressure such as compressed air is supplied from the first supply / exhaust port 27 a, the reciprocating rod 23 is driven in a direction in which the bellows 13 is contracted, that is, in a backward direction protruding from the housing 11. On the other hand, when fluid pressure is supplied from the second supply / discharge port 27 b, the reciprocating rod 23 is driven in a direction in which the bellows 13 extends, that is, in a forward direction that enters the housing 11 toward the closed end 12. The reciprocating rod 23 has an end portion to which the bellows head 13b is attached as a tip, a direction in which the bellows is extended is a forward direction of the reciprocating rod 23, and a reverse direction is a backward direction.

往復動ロッド２３の後退方向のストローク端の位置つまり後退限位置を規制するために、ガイドチューブ３１がシリンダ２１の基端に取り付けられ、ガイドチューブ３１内を移動自在のガイドロッド３２が往復動ロッド２３に取り付けられる。ガイドロッド３２は往復動ロッド２３と同軸である。ストッパ３３がガイドチューブ３１に取り付けられる。ストッパ３３はガイドチューブ３１にねじ結合される円筒部３３ａと、円筒部３３ａに一体となった閉塞端３３ｂとを有する。ガイドロッド３２が閉塞端３３ｂに当接すると、往復動ロッド２３の後退移動方向のストローク端の位置が規制される。図１においては、ガイドロッド３２が閉塞端３３ｂに当接し、往復動ロッド２３が後退限位置となった状態を示す。ストローク端の位置は、ストッパ３３を回転することにより調整される。締結ナット３４がガイドチューブ３１にねじ結合され、軸方向の位置が調整されたストッパ３３は、締結ナット３４によりガイドチューブ３１に固定される。 In order to regulate the position of the stroke end of the reciprocating rod 23 in the retreat direction, that is, the retreat limit position, the guide tube 31 is attached to the base end of the cylinder 21, and the guide rod 32 movable in the guide tube 31 is a reciprocating rod. 23. The guide rod 32 is coaxial with the reciprocating rod 23. A stopper 33 is attached to the guide tube 31. The stopper 33 has a cylindrical portion 33a that is screwed to the guide tube 31 and a closed end 33b that is integrated with the cylindrical portion 33a. When the guide rod 32 comes into contact with the closed end 33b, the position of the stroke end of the reciprocating rod 23 in the backward movement direction is regulated. FIG. 1 shows a state where the guide rod 32 is in contact with the closed end 33b and the reciprocating rod 23 is in the retreat limit position. The position of the stroke end is adjusted by rotating the stopper 33. The fastening nut 34 is screwed to the guide tube 31 and the stopper 33 whose axial position is adjusted is fixed to the guide tube 31 by the fastening nut 34.

ポンプ室１４に連通する液体吸入口３５がハウジング１１の閉塞端部１２に設けられ、ポンプ室１４に連通する液体吐出口３６が閉塞端部１２に設けられる。吸入ブロック３７が閉塞端部１２に取り付けられ、吐出ブロック３８が閉塞端部１２に取り付けられる。吸入用のチューブ４１が吸入ブロック３７に取り付けられ、チューブ４１と液体吸入口３５とを連通させる連通孔４２が吸入ブロック３７に設けられている。吐出用のチューブ４３が吐出ブロック３８に取り付けられ、チューブ４３と液体吐出口３６とを連通させる連通孔４４が吐出ブロック３８に設けられている。吸入用のチューブ４１の先端は図示しない液体供給源に接続され、図示しない吐出具が吐出用のチューブ４３の先端に設けられる。 A liquid suction port 35 communicating with the pump chamber 14 is provided at the closed end portion 12 of the housing 11, and a liquid discharge port 36 communicating with the pump chamber 14 is provided at the closed end portion 12. A suction block 37 is attached to the closed end 12, and a discharge block 38 is attached to the closed end 12. A suction tube 41 is attached to the suction block 37, and a communication hole 42 that connects the tube 41 and the liquid suction port 35 is provided in the suction block 37. A discharge tube 43 is attached to the discharge block 38, and a communication hole 44 for connecting the tube 43 and the liquid discharge port 36 is provided in the discharge block 38. The tip of the suction tube 41 is connected to a liquid supply source (not shown), and a discharge tool (not shown) is provided at the tip of the discharge tube 43.

逆止弁４５が連通孔４２に設けられ、逆止弁４５は吸入ブロック３７により閉塞端部１２に固定される。逆止弁４５は、吸入用のチューブ４１からポンプ室１４内への液体の流れを許容し、逆方向の流れを阻止する。逆止弁４６が連通孔４４に設けられ、逆止弁４６は吐出ブロック３８により閉塞端部１２に固定される。逆止弁４６はポンプ室１４から吐出用のチューブ４３への流れを許容し、逆方向の流れを阻止する。 A check valve 45 is provided in the communication hole 42, and the check valve 45 is fixed to the closed end portion 12 by the suction block 37. The check valve 45 allows the flow of liquid from the suction tube 41 into the pump chamber 14 and blocks the flow in the reverse direction. A check valve 46 is provided in the communication hole 44, and the check valve 46 is fixed to the closed end portion 12 by a discharge block 38. The check valve 46 allows a flow from the pump chamber 14 to the discharge tube 43 and prevents a reverse flow.

往復動ロッド２３が閉塞端部１２に最接近して前進限位置となった状態のもとで、往復動ロッド２３が図１に示すように後退方向に駆動されると、ベローズ１３は収縮し、吸入用のチューブ４１内の液体は、逆止弁４５を介して液体吸入口３５からポンプ室１４内に吸入される。往復動ロッド２３が図１に示すように後退限位置となった状態のもとで、前進方向に駆動されると、ベローズ１３は伸長し、ポンプ室１４内の液体は、液体吐出口３６から逆止弁４６を介して吐出用のチューブ４３に吐出される。このように、ベローズポンプ１０ａは、ベローズ１３の伸長によりポンプ室１４内の容積を増減して液体を吸入吐出する。 If the reciprocating rod 23 is driven in the backward direction as shown in FIG. 1 with the reciprocating rod 23 closest to the closed end 12 and in the forward limit position, the bellows 13 contracts. The liquid in the suction tube 41 is sucked into the pump chamber 14 from the liquid suction port 35 via the check valve 45. When the reciprocating rod 23 is driven in the forward direction under the state where the reciprocating rod 23 is in the retreat limit position as shown in FIG. 1, the bellows 13 is extended, and the liquid in the pump chamber 14 flows from the liquid discharge port 36. The gas is discharged to the discharge tube 43 through the check valve 46. Thus, the bellows pump 10a increases and decreases the volume in the pump chamber 14 by the extension of the bellows 13, and sucks and discharges the liquid.

図２に示されるように、凹部５０がベローズ頭部１３ｂの先端部に形成され、凹部５０を連通する貫通孔５１がベローズ頭部１３ｂの径方向中心部に設けられている。貫通孔５１の径方向外方の周縁部５２は、外側の平坦な面５３ａと、内側の平坦な面５３ｂとにより形成されている。ステンレス製の接液部材５４が貫通孔５１に装着される。接液部材５４は、貫通孔５１に嵌合される軸部５４ａと、軸部５４ａと一体となったフランジ部５４ｂとを有し、フランジ部５４ｂは凹部５０の内周面に嵌合する。フランジ部５４ｂと凹部５０の内周面との間はシール部材１７ａによりシールされる。往復動ロッド２３の先端に設けられた雄ねじ２３ａが、軸部５４ａに設けられた雌ねじ５５にねじ結合されて、往復動ロッド２３は接液部材５４に締結される。 As shown in FIG. 2, a recess 50 is formed at the tip of the bellows head 13b, and a through hole 51 that communicates with the recess 50 is provided at the center in the radial direction of the bellows head 13b. A radially outer peripheral edge 52 of the through hole 51 is formed by an outer flat surface 53a and an inner flat surface 53b. A stainless steel wetted member 54 is mounted in the through hole 51. The liquid contact member 54 has a shaft portion 54 a fitted into the through hole 51 and a flange portion 54 b integrated with the shaft portion 54 a, and the flange portion 54 b is fitted to the inner peripheral surface of the recess 50. The space between the flange portion 54b and the inner peripheral surface of the recess 50 is sealed by the seal member 17a. A male screw 23 a provided at the tip of the reciprocating rod 23 is screwed to a female screw 55 provided on the shaft portion 54 a, and the reciprocating rod 23 is fastened to the liquid contact member 54.

フランジ部５４ｂは外側の平坦な面５３ａに接触する。複数の底付きのねじ孔５６がフランジ部５４ｂに設けられ、ねじ孔５６は、接液部材５４の中心軸から同一半径の位置に、円周方向に間隔を隔てて６つ設けられている。それぞれのねじ孔５６に対応させて、取付孔５７がベローズ頭部１３ｂの周縁部５２を貫通して設けられている。ねじ部材であるボルト５８が、それぞれ取付孔５７に取り付けられ、ねじ孔５６にねじ結合される。６本のボルト５８が接液部材５４に締結される。ボルト５８の頭部は駆動室１４ａに突出している。締結フランジ部としての環状のリテーナ６１がボルト５８の頭部と内側の平坦な面５３ｂの間に装着され、締結部材としてのボルト５８により接液部材５４はベローズ頭部１３ｂに締結される。環状のリテーナ６１は、面５３ｂに当接する環状の接触面を有し、ボルト５８の数に対応する数の貫通孔がリテーナ６１に設けられている。ばね部材としてのばね座金６２がそれぞれのボルト５８の頭部とリテーナ６１との間に装着される。ボルト５８は、接液部材５４とリテーナ６１に対してベローズ頭部１３ｂを挟み込む挟持力を与えている。つまり、接液部材５４とリテーナ６１がベローズ頭部１３ｂの周縁部５２を挟みこんでおり、ボルト５８がその挟む力を与えている。ばね座金６２はボルト５８の緩みを防止している。このようにして、接液部材５４はベローズ頭部１３ｂに対して堅固に締結されている。これにより、往復動ロッド２３が前進限位置から後退移動を開始するとき、および後退限位置から前進移動を開始するときには、ベローズ頭部１３ｂは往復動ロッド２３の移動に対してずれることなく、往復動ロッド２３と一体に駆動される。 The flange portion 54b contacts the outer flat surface 53a. A plurality of screw holes 56 with bottoms are provided in the flange portion 54b, and six screw holes 56 are provided at positions of the same radius from the central axis of the liquid contact member 54 at intervals in the circumferential direction. Corresponding to each screw hole 56, an attachment hole 57 is provided through the peripheral edge 52 of the bellows head 13b. Bolts 58 that are screw members are respectively attached to the attachment holes 57 and screwed to the screw holes 56. Six bolts 58 are fastened to the liquid contact member 54. The head of the bolt 58 protrudes into the drive chamber 14a. An annular retainer 61 as a fastening flange portion is mounted between the head of the bolt 58 and the inner flat surface 53b, and the liquid contact member 54 is fastened to the bellows head 13b by the bolt 58 as a fastening member. The annular retainer 61 has an annular contact surface that comes into contact with the surface 53 b, and the retainer 61 has a number of through holes corresponding to the number of bolts 58. A spring washer 62 as a spring member is mounted between the head of each bolt 58 and the retainer 61. The bolt 58 gives a clamping force for clamping the bellows head portion 13 b to the liquid contact member 54 and the retainer 61. In other words, the liquid contact member 54 and the retainer 61 sandwich the peripheral edge 52 of the bellows head 13b, and the bolt 58 gives the clamping force. The spring washer 62 prevents the bolt 58 from loosening. In this way, the liquid contact member 54 is firmly fastened to the bellows head 13b. As a result, when the reciprocating rod 23 starts to move backward from the forward limit position and when it starts to move forward from the backward limit position, the bellows head 13b does not deviate from the movement of the reciprocating rod 23, and reciprocates. It is driven integrally with the moving rod 23.

接液部材５４は、貫通孔５１の周縁部５２の一方の面５３ａに接触し、ポンプ室１４の内部の液に接する。また、リテーナ６１は、周縁部５２の他方の面５３ｂに接触する締結フランジ部を構成する。リテーナ６１は６つのボルト５８により接液部材５４を介して往復動ロッド２３に締結される。貫通孔５１を閉塞し往復動ロッド２３が締結される閉鎖部材が、接液部材５４とリテーナ６１により構成される。閉鎖部材を構成する接液部材５４のフランジ部５４ｂは、ベローズ頭部１３ｂの面５３ａに接触する。接液部材５４とリテーナ６１は、ベローズ頭部１３ｂを挟持する挟持部材を構成する。ベローズ頭部１３ｂは、挟持部材とともに往復動ロッド２３により往復動される。 The liquid contact member 54 contacts one surface 53 a of the peripheral edge 52 of the through hole 51 and contacts the liquid inside the pump chamber 14. Further, the retainer 61 constitutes a fastening flange portion that contacts the other surface 53 b of the peripheral edge portion 52. The retainer 61 is fastened to the reciprocating rod 23 via the liquid contact member 54 by six bolts 58. A closing member that closes the through hole 51 and fastens the reciprocating rod 23 includes a liquid contact member 54 and a retainer 61. The flange portion 54b of the liquid contact member 54 constituting the closing member contacts the surface 53a of the bellows head portion 13b. The liquid contact member 54 and the retainer 61 constitute a clamping member that clamps the bellows head 13b. The bellows head 13b is reciprocated by the reciprocating rod 23 together with the clamping member.

ベローズ頭部１３ｂの周縁部５２は、接液部材５４とリテーナ６１により挟まれ、接液部材５４とリテーナ６１は６本のボルト５８により締結される。このように、接液部材５４とリテーナ６１とによりベローズ頭部１３ｂの周縁部５２が挟持され、ベローズ頭部１３ｂが往復動ロッド２３の先端部に締結される。したがって、ベローズ頭部１３ｂは、貫通孔５１の径方向外方の面積が大きい周縁部５２を介して、往復動ロッド２３の先端部に締結される。ポンプ室１４内に高温の液体が注入されて、ベローズ１３の外面と、接液部材５４の外面が高温の液体に曝されると、合成樹脂からなるベローズ１３のベローズ頭部１３ｂが軟化する。しかし、周縁部５２の全体的が接液部材５４とリテーナ６１との間に挟持されているので、往復動ロッド２３が往復動する際に、ベローズ頭部１３ｂの一部だけに力がかかることがない。つまり、往復動ロッド２３の力は、ベローズ頭部１３ｂの広い面積に分散される。これにより、軟化したベローズ頭部１３ｂに往復動ロッド２３から吸入吐出時に負荷が加わっても、挟持部の劣化を防ぐことができ、ベローズの耐久性を高めることができる。 The peripheral edge 52 of the bellows head 13b is sandwiched between the liquid contact member 54 and the retainer 61, and the liquid contact member 54 and the retainer 61 are fastened by six bolts 58. In this way, the peripheral portion 52 of the bellows head 13 b is sandwiched between the liquid contact member 54 and the retainer 61, and the bellows head 13 b is fastened to the tip of the reciprocating rod 23. Therefore, the bellows head portion 13 b is fastened to the distal end portion of the reciprocating rod 23 via the peripheral edge portion 52 having a large radial outer area of the through hole 51. When a high-temperature liquid is injected into the pump chamber 14 and the outer surface of the bellows 13 and the outer surface of the liquid contact member 54 are exposed to the high-temperature liquid, the bellows head 13b of the bellows 13 made of synthetic resin is softened. However, since the entire peripheral edge portion 52 is sandwiched between the liquid contact member 54 and the retainer 61, a force is applied to only a part of the bellows head 13b when the reciprocating rod 23 reciprocates. There is no. That is, the force of the reciprocating rod 23 is distributed over a wide area of the bellows head 13b. As a result, even if a load is applied to the softened bellows head 13b from the reciprocating rod 23 during suction and discharge, deterioration of the clamping portion can be prevented and durability of the bellows can be improved.

図３〜図９は、それぞれ他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｂ〜１０ｈを示す。これらの図においては、図１および図２に示されたベローズポンプ１０ａと共通する部材には同一の符号が付されており、重複した説明を省略する。 3 to 9 show bellows pumps 10b to 10h, which are other embodiments, respectively. In these drawings, members common to the bellows pump 10a shown in FIGS. 1 and 2 are denoted by the same reference numerals, and redundant description is omitted.

図３（Ａ）と図３（Ｂ）に示すベローズポンプ１０ｂにおいては、締結フランジ部６３が往復動ロッド２３の先端部に一体に設けられており、締結フランジ部６３は駆動室側に位置して周縁部５２の面５３ｂに当接する。したがって、図３に示すベローズポンプ１０ｂにおいては、締結フランジ部６３が周縁部５２の駆動室側の面５３ｂに当接し、締結フランジ部６３と接液部材５４との間で周縁部５２が挟持される。ポケット６４が接液部材５４の内面に設けられ、ばね材からなるウエーブワッシャ６５がポケット６４に装着される。このウエーブワッシャ６５により、ベローズ頭部１３ｂの周縁部５２に対して往復動ロッド２３に向けて軸方向に圧縮する方向のばね力が付勢される。周縁部５２が締結フランジ部６３と接液部材５４との間に挟持されているが、ウエーブワッシャ６５は挟持の緩みを防止する。 In the bellows pump 10b shown in FIGS. 3 (A) and 3 (B), a fastening flange portion 63 is integrally provided at the tip of the reciprocating rod 23, and the fastening flange portion 63 is located on the drive chamber side. In contact with the surface 53b of the peripheral edge 52. Therefore, in the bellows pump 10 b shown in FIG. 3, the fastening flange portion 63 abuts on the driving chamber side surface 53 b of the peripheral portion 52, and the peripheral portion 52 is sandwiched between the fastening flange portion 63 and the liquid contact member 54. The A pocket 64 is provided on the inner surface of the liquid contact member 54, and a wave washer 65 made of a spring material is attached to the pocket 64. The wave washer 65 biases the spring force in the axial compression direction toward the reciprocating rod 23 against the peripheral edge 52 of the bellows head 13b. Although the peripheral edge portion 52 is sandwiched between the fastening flange portion 63 and the liquid contact member 54, the wave washer 65 prevents loosening of the sandwiching.

図４は、他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｃの要部を示す断面図である。このベローズポンプ１０ｃにおいては、金属製の締結フランジ部材６３ａにより接液部材５４と往復動ロッド２３とが連結される。締結フランジ部材６３ａは、往復動ロッド２３の雄ねじ２３ａにねじ結合される連結継手部６６と、連結継手部６６と一体となった締結フランジ部６３と、接液部材５４の雌ねじ５５にねじ結合される雄ねじ６７とを有している。したがって、図４に示すベローズポンプ１０ｃにおいては、連結継手部６６により往復動ロッド２３が接液部材５４に締結され、ベローズ頭部１３ｂの周縁部５２は接液部材５４と締結フランジ部６３とにより挟持される。図３に示したベローズポンプ１０ｂと同様に、ウエーブワッシャ６５が装着されるポケット６４が接液部材５４に設けられている。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10c according to another embodiment. In the bellows pump 10c, the liquid contact member 54 and the reciprocating rod 23 are connected by a metal fastening flange member 63a. The fastening flange member 63a is screwed to a coupling joint portion 66 screwed to the male screw 23a of the reciprocating rod 23, a fastening flange portion 63 integrated with the coupling joint portion 66, and a female screw 55 of the liquid contact member 54. And a male screw 67. Therefore, in the bellows pump 10 c shown in FIG. 4, the reciprocating rod 23 is fastened to the liquid contact member 54 by the coupling joint portion 66, and the peripheral portion 52 of the bellows head 13 b is formed by the liquid contact member 54 and the fastening flange portion 63. It is pinched. Similar to the bellows pump 10 b shown in FIG. 3, a pocket 64 in which the wave washer 65 is mounted is provided in the liquid contact member 54.

図５は、さらに他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｄの要部を示す断面図である。このベローズポンプ１０ｄにおいては、図４に示したベローズポンプ１０ｃと同様に、締結フランジ部材６３ａにより接液部材５４と往復動ロッド２３とが連結される。図５に示される締結フランジ部材６３ａにおいては、貫通孔５１に嵌合される閉塞突起６９が締結フランジ部６３の一端部に設けられている。図２に示したベローズポンプ１０ａと同様に、ねじ孔５６が接液部材５４に設けられ、取付孔５７がベローズ頭部１３ｂの周縁部５２に設けられている。取付孔５７ａが締結フランジ部６３に設けられ、ボルト５８とばね部材であるばね座金６２により、締結フランジ部６３と接液部材５４とが締結される。 FIG. 5 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10d which is still another embodiment. In the bellows pump 10d, as in the bellows pump 10c shown in FIG. 4, the liquid contact member 54 and the reciprocating rod 23 are connected by a fastening flange member 63a. In the fastening flange member 63 a shown in FIG. 5, a closing projection 69 that fits into the through hole 51 is provided at one end of the fastening flange portion 63. Similar to the bellows pump 10a shown in FIG. 2, a screw hole 56 is provided in the liquid contact member 54, and an attachment hole 57 is provided in the peripheral edge 52 of the bellows head 13b. An attachment hole 57a is provided in the fastening flange portion 63, and the fastening flange portion 63 and the liquid contact member 54 are fastened by a bolt 58 and a spring washer 62 that is a spring member.

図６はさらに他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｅの要部を示す断面図である。このベローズポンプ１０ｅにおいては、上述した貫通孔５１はベローズ頭部１３ｂに設けられていない。接液部材５４の内面全体がベローズ頭部１３ｂの平坦な面５３ａに突き当てられる。締結フランジ部６３と連結継手部６６とを有する締結フランジ部材６３ａが往復動ロッド２３の先端部に取り付けられる。連結継手部６６は往復動ロッド２３の先端部にねじ結合され、締結フランジ部６３の先端面全体がベローズ頭部１３ｂの平坦な面５３ｂに突き当てられる。図５に示した締結フランジ部材６３ａは、閉塞突起６９を有しているのに対し、図６に示す締結フランジ部材６３ａには閉塞突起６９が設けられていない。複数の底付きのねじ孔５６が接液部材５４に設けられている。ねじ孔５６に対応させて、取付孔５７がベローズ頭部１３ｂに設けられ、取付孔５７ｂが締結フランジ部６３に設けられている。締結フランジ部６３と接液部材５４は、ボルト５８とばね座金６２により締結される。ベローズ頭部１３ｂは、締結フランジ部６３と接液部材５４とにより挟持される。つまり、締結フランジ部６３と接液部材５４は挟持部材を構成する。 FIG. 6 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10e which is still another embodiment. In the bellows pump 10e, the through hole 51 described above is not provided in the bellows head 13b. The entire inner surface of the liquid contact member 54 is abutted against the flat surface 53a of the bellows head 13b. A fastening flange member 63 a having a fastening flange portion 63 and a coupling joint portion 66 is attached to the distal end portion of the reciprocating rod 23. The coupling joint portion 66 is screwed to the distal end portion of the reciprocating rod 23, and the entire distal end surface of the fastening flange portion 63 is abutted against the flat surface 53b of the bellows head portion 13b. The fastening flange member 63a shown in FIG. 5 has a closing projection 69, whereas the fastening flange member 63a shown in FIG. A plurality of bottomed screw holes 56 are provided in the liquid contact member 54. Corresponding to the screw hole 56, an attachment hole 57 is provided in the bellows head 13 b and an attachment hole 57 b is provided in the fastening flange portion 63. The fastening flange portion 63 and the liquid contact member 54 are fastened by a bolt 58 and a spring washer 62. The bellows head portion 13 b is sandwiched between the fastening flange portion 63 and the liquid contact member 54. That is, the fastening flange portion 63 and the liquid contact member 54 constitute a clamping member.

図７はさらに他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｆの要部を示す断面図である。このベローズポンプ１０ｆにおいては、締結フランジ部６３が往復動ロッド２３の先端部に一体に設けられており、締結フランジ部６３はベローズ頭部１３ｂの平坦な面５３ｂに突き当てられる。ボルト５８とばね座金６２により締結フランジ部６３と接液部材５４とが締結される。 FIG. 7 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10f which is still another embodiment. In the bellows pump 10f, the fastening flange portion 63 is integrally provided at the tip portion of the reciprocating rod 23, and the fastening flange portion 63 is abutted against the flat surface 53b of the bellows head portion 13b. The fastening flange portion 63 and the liquid contact member 54 are fastened by the bolt 58 and the spring washer 62.

図８はさらに他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｇの要部を示す断面図である。このベローズポンプ１０ｇは、図６に示したベローズポンプ１０ｅの変形例であり、ウエーブワッシャ６５がばね部材として接液部材５４とベローズ頭部１３ｂの面５３ａの間に設けられている。 FIG. 8 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10g which is still another embodiment. This bellows pump 10g is a modification of the bellows pump 10e shown in FIG. 6, and a wave washer 65 is provided as a spring member between the liquid contact member 54 and the surface 53a of the bellows head 13b.

図９はさらに他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｈの要部を示す断面図である。このベローズポンプ１０ｈは、図７に示したベローズポンプ１０ｆの変形例であり、ウエーブワッシャ６５が接液部材５４とベローズ頭部１３ｂの面５３ａの間に設けられている。 FIG. 9 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10h according to still another embodiment. This bellows pump 10h is a modification of the bellows pump 10f shown in FIG. 7, and a wave washer 65 is provided between the liquid contact member 54 and the surface 53a of the bellows head 13b.

図１０はさらに他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｉの要部を示す断面図である。
このベローズポンプ１０ｉは、図３に示したベローズポンプ１０ｂの変形例である。図３に示したベローズポンプ１０ｂにおいては、往復動ロッド２３と締結フランジ部６３は一体に形成されているのに対して、図１０に示したベローズポンプ１０ｉにおいては、往復動ロッド２３と締結フランジ部６３は別体に形成され、往復動ロッド２３の先端の雄ねじ２３ａと接液部材５４がねじ結合することにより、周縁部５２と締結フランジ部６３が往復動ロッド２３の段差部６０と接液部材５４の間に挟みこまれる。往復動ロッド２３の先端の雄ねじ２３ａは小径に形成され、大径部と小径部との間の段差部６０が締結フランジ部６３に当接して挟持力を生じている。図１０に示すように、周縁部５２は接液部材５４と締結フランジ部６３の広い面積で挟持される。 FIG. 10 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10i which is still another embodiment.
This bellows pump 10i is a modification of the bellows pump 10b shown in FIG. In the bellows pump 10b shown in FIG. 3, the reciprocating rod 23 and the fastening flange 63 are integrally formed, whereas in the bellows pump 10i shown in FIG. 10, the reciprocating rod 23 and the fastening flange are formed. The part 63 is formed as a separate body, and the male screw 23 a at the tip of the reciprocating rod 23 and the wetted member 54 are screwed together, so that the peripheral edge 52 and the fastening flange 63 are wetted with the stepped part 60 of the reciprocating rod 23. It is sandwiched between the members 54. The male screw 23a at the tip of the reciprocating rod 23 is formed with a small diameter, and a stepped portion 60 between the large diameter portion and the small diameter portion abuts against the fastening flange portion 63 to generate a clamping force. As shown in FIG. 10, the peripheral edge portion 52 is sandwiched by a wide area of the liquid contact member 54 and the fastening flange portion 63.

図１１はさらに他の実施の形態であるベローズポンプ１０ｊの要部を示す断面図である。
このベローズポンプ１０ｊは、図７に示したベローズポンプ１０ｆの変形例である。図７に示したベローズポンプ１０ｆにおいては、往復動ロッド２３と締結フランジ部６３は一体に形成されているのに対して、図１１に示したベローズポンプ１０ｊにおいては、往復動ロッド２３と締結フランジ部６３は別体に形成され、往復動ロッド２３の先端の雄ねじ２３ａと締結フランジ部６３の雌ねじがねじ結合する。 FIG. 11 is a cross-sectional view showing a main part of a bellows pump 10j which is still another embodiment.
This bellows pump 10j is a modification of the bellows pump 10f shown in FIG. In the bellows pump 10f shown in FIG. 7, the reciprocating rod 23 and the fastening flange 63 are integrally formed, whereas in the bellows pump 10j shown in FIG. 11, the reciprocating rod 23 and the fastening flange are formed. The portion 63 is formed as a separate body, and the male screw 23a at the tip of the reciprocating rod 23 and the female screw of the fastening flange portion 63 are screwed together.

図６〜図９に示されるベローズポンプ１０ｅ〜１０ｈにおいて、接液部材５４と締結フランジ部６３は、ベローズ頭部１３ｂを挟持する挟持部材を構成する。挟持部材はベローズ頭部を挟持して、往復動ロッドとともに往復動する。 In the bellows pumps 10e to 10h shown in FIGS. 6 to 9, the liquid contact member 54 and the fastening flange portion 63 constitute a sandwiching member that sandwiches the bellows head portion 13b. The sandwiching member sandwiches the bellows head and reciprocates together with the reciprocating rod.

上述のように、図６および図８に示されるベローズポンプ１０ｅ、１０ｇにおいては、締結フランジ部材６３ａが往復動ロッド２３の先端部にねじ結合され、接液部材５４は複数本のボルトにより締結フランジ部６３にねじ結合される。図７および図９に示されるベローズポンプ１０ｆ、１０ｈにおいては、締結フランジ部６３は往復動ロッド２３の先端部に一体に設けられている。 As described above, in the bellows pumps 10e and 10g shown in FIGS. 6 and 8, the fastening flange member 63a is screwed to the tip of the reciprocating rod 23, and the liquid contact member 54 is fastened by a plurality of bolts. Screwed to the part 63. In the bellows pumps 10 f and 10 h shown in FIGS. 7 and 9, the fastening flange portion 63 is integrally provided at the tip portion of the reciprocating rod 23.

図６、図７および図１１に示されるベローズポンプ１０ｅ、１０ｆ、１０ｊにおいては、ボルト５８の頭部と締結フランジ部６３との間にばね座金６２が装着される。一方、図８および図９に示されるベローズポンプ１０ｇ、１０ｈにおいては、接液部材５４とベローズ頭部１３ｂとの間にウエーブワッシャ６５が装着される。ばね座金６２やウエーブワッシャ６５は、ベローズ頭部１３ｂに対して、往復動ロッド２３に向けて軸方向に圧縮する方向のばね力を付勢する。したがって、ばね座金６２，ウエーブワッシャ６５は、接液部材５４と締結フランジ部６３に対してベローズ頭部１３ｂを挟み込む力を与えるので、接液部材５４はベローズ頭部１３ｂに対して堅固に締結される。これにより、往復動ロッド２３が前進限位置から後退移動を開始するとき、および後退限位置から前進移動を開始するときには、ベローズ頭部１３ｂは往復動ロッド２３の移動に対してずれることなく、往復動ロッド２３と一体に駆動される。 In the bellows pumps 10e, 10f, and 10j shown in FIGS. 6, 7, and 11, a spring washer 62 is mounted between the head of the bolt 58 and the fastening flange portion 63. On the other hand, in the bellows pumps 10g and 10h shown in FIGS. 8 and 9, a wave washer 65 is mounted between the liquid contact member 54 and the bellows head 13b. The spring washer 62 and the wave washer 65 urge the bellows head portion 13b with a spring force in the axial compression direction toward the reciprocating rod 23. Therefore, the spring washer 62 and the wave washer 65 give a force for sandwiching the bellows head portion 13b to the liquid contact member 54 and the fastening flange portion 63, so that the liquid contact member 54 is firmly fastened to the bellows head portion 13b. The As a result, when the reciprocating rod 23 starts to move backward from the forward limit position and when it starts to move forward from the backward limit position, the bellows head 13b does not deviate from the movement of the reciprocating rod 23, and reciprocates. It is driven integrally with the moving rod 23.

図１２は、比較例として示す従来のベローズポンプ１０の要部を示す縦断面図である。従来のベローズポンプにおいては、ベローズ頭部１３ｂに設けられたヘリサート７０の雌ねじ５５に、往復動ロッド２３の雄ねじ２３ａをねじ結合することにより、往復動ロッド２３はベローズ頭部１３ｂに直接締結されている。往復動ロッド２３の径方向の突き当て面７１がベローズ頭部１３ｂの内面に突き当てられており、ベローズ１３を伸長させるときには、小さい面積の突き当て面７１がベローズ頭部１３ｂに押圧される。一方、ベローズ１３を収縮するときには、雌ねじ５５の歯面に往復動ロッド２３の全負荷が加わる。このため、雌ねじ５５の内周部分に局部的に集中的に負荷が加えられる。高温の液体を吸入吐出する場合には、雌ねじ５５の内周部分の劣化が進み、ベローズ頭部１３ｂと往復動ロッド２３との連結強度を保つことができない。 FIG. 12 is a longitudinal sectional view showing a main part of a conventional bellows pump 10 shown as a comparative example. In the conventional bellows pump, the male screw 23a of the reciprocating rod 23 is screwed to the female screw 55 of the helicate 70 provided on the bellows head 13b, whereby the reciprocating rod 23 is directly fastened to the bellows head 13b. Yes. The abutting surface 71 in the radial direction of the reciprocating rod 23 is abutted against the inner surface of the bellows head 13b. When the bellows 13 is extended, the abutting surface 71 having a small area is pressed against the bellows head 13b. On the other hand, when the bellows 13 is contracted, the full load of the reciprocating rod 23 is applied to the tooth surface of the female screw 55. For this reason, a load is locally concentrated on the inner peripheral portion of the female screw 55. When sucking and discharging a high-temperature liquid, the inner peripheral portion of the female screw 55 is deteriorated, and the connection strength between the bellows head 13b and the reciprocating rod 23 cannot be maintained.

これに対して、上述したそれぞれのベローズポンプ１０ａ〜１０ｊにおいては、ベローズ頭部１３ｂは、接液部材５４と、リテーナ６１や締結フランジ部６３等からなる締結部材とにより広い面積で挟持される。つまり、ベローズ頭部１３ｂの周縁部５２には全体的に圧縮力が加えられる。つまり、往復動ロッド２３の前進後退する力は、ベローズ頭部１３ｂの広い面積部分にかかるので、局所的に力が集中することはない。換言すれば、往復動ロッドからベローズ頭部に加えられる力は、直接ではなく、挟持部材を介してベローズ頭部の広い範囲に加えられる。これにより、ベローズ１３が高温の液体に曝された状態で、往復動ロッド２３からベローズ頭部１３ｂに負荷が加えられても、ベローズ１３の劣化が防止され、ベローズポンプ１０ａ〜１０ｊの耐久性を向上させることができる。 On the other hand, in each of the bellows pumps 10a to 10j described above, the bellows head portion 13b is sandwiched between the liquid contact member 54 and the fastening member including the retainer 61, the fastening flange portion 63, and the like over a wide area. That is, a compressive force is applied to the peripheral edge 52 of the bellows head 13b as a whole. That is, the force of the reciprocating rod 23 moving forward and backward is applied to a wide area portion of the bellows head 13b, so that the force does not concentrate locally. In other words, the force applied to the bellows head from the reciprocating rod is not directly applied but to a wide range of the bellows head via the holding member. Thereby, even if a load is applied from the reciprocating rod 23 to the bellows head 13b in a state where the bellows 13 is exposed to a high-temperature liquid, the bellows 13 is prevented from being deteriorated, and the durability of the bellows pumps 10a to 10j Can be improved.

上述したベローズポンプ１０ａ〜１０ｊにおいては、往復動ロッド２３をシリンダ２１に供給される圧縮空気により駆動しているが、往復動ロッド２３の駆動手段としては、空気圧シリンダに限らず、電動モータの回転運動を偏心カムや歯車により往復動ロッド２３の軸方向運動に変換するようにした形態とすることもできる。カムや歯車を駆動手段とする形態においては、ばね座金６２、ウエーブワッシャ６５によりベローズ頭部１３ｂの周縁部５２に圧縮力を付勢すると、往復動ロッド２３の前進限位置から後退移動に切り換えるとき、および後退限位置から前進移動に切り換えるときにおけるバックラッシュの発生を防止することができる。 In the bellows pumps 10a to 10j described above, the reciprocating rod 23 is driven by the compressed air supplied to the cylinder 21, but the driving means for the reciprocating rod 23 is not limited to the pneumatic cylinder, but the rotation of the electric motor. The movement may be converted to the axial movement of the reciprocating rod 23 by an eccentric cam or a gear. In the embodiment using cams or gears as driving means, when the compression force is applied to the peripheral edge 52 of the bellows head 13b by the spring washer 62 and the wave washer 65, the reciprocating rod 23 is switched from the forward limit position to the backward movement. , And the occurrence of backlash when switching from the backward limit position to the forward movement can be prevented.

本発明は前記実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。例えば、本発明のベローズポンプは、高温の液体を吸入吐出する際や、高い吸引吐出圧が要求される際に好適であるが、常温の液体を吸入吐出するためにも適用することができる。 The present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. For example, the bellows pump of the present invention is suitable when sucking and discharging a high-temperature liquid or when a high suction / discharge pressure is required, but can also be applied for sucking and discharging a liquid at room temperature.

１０ａ〜１０ｊベローズポンプ
１１ハウジング
１２閉塞端部
１３ベローズ
１３ｂベローズ頭部
１４ポンプ室
２１シリンダ
２２ピストン
２３往復動ロッド
３５液体吸入口
３６液体吐出口
４５，４６逆止弁
５０凹部
５１貫通孔
５２周縁部
５４接液部材
５５雌ねじ
５８ボルト
６１リテーナ
６２ばね座金
６３締結フランジ部
６３ａ締結フランジ部材
６５ウエーブワッシャ
６６連結継手部 10a to 10j Bellows pump 11 Housing 12 Closed end 13 Bellows 13b Bellows head 14 Pump chamber 21 Cylinder 22 Piston 23 Reciprocating rod 35 Liquid suction port 36 Liquid discharge port 45, 46 Check valve 50 Recessed portion 51 Through hole 52 Peripheral portion 54 Liquid contact member 55 Female thread 58 Bolt 61 Retainer 62 Spring washer 63 Fastening flange portion 63a Fastening flange member 65 Wave washer 66 Joint joint portion

Claims

合成樹脂からなるベローズの伸縮によりポンプ室の容積を増減して液体を吸入吐出するベローズポンプであって、
液体吸入口と液体吐出口とが設けられたハウジングと、
前記ベローズの往復動端に設けられ、前記ポンプ室に臨むベローズ頭部と、
前記ベローズの内部の駆動室に往復動自在に設けられ、前記ベローズを伸縮駆動する往復動ロッドと、
前記ベローズ頭部の先端部に形成された凹部の内周面に嵌合し前記ポンプ室に臨む接液部材と、前記駆動室側の締結フランジ部とからなり、前記ベローズ頭部を挟持して前記往復動ロッドとともに往復動する挟持部材と、
前記接液部材と前記凹部の内周面との間をシールするシール部材と、
を有するベローズポンプ。 A bellows pump that sucks and discharges liquid by increasing and decreasing the volume of the pump chamber by expansion and contraction of a bellows made of synthetic resin,
A housing provided with a liquid inlet and a liquid outlet;
A bellows head provided at a reciprocating end of the bellows and facing the pump chamber;
A reciprocating rod provided in a drive chamber inside the bellows so as to freely reciprocate, and extending and retracting the bellows;
It consists of a liquid contact member that fits into the inner peripheral surface of a recess formed at the tip of the bellows head and faces the pump chamber, and a fastening flange portion on the drive chamber side, sandwiching the bellows head A clamping member that reciprocates with the reciprocating rod;
A seal member that seals between the liquid contact member and the inner peripheral surface of the recess;
With bellows pump.

請求項１記載のベローズポンプにおいて、
前記締結フランジ部は、前記往復動ロッドの先端部にねじ結合される連結継手部を有する締結フランジ部材に設けられ、前記ベローズ頭部に当接する、ベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 1,
The said fastening flange part is a bellows pump provided in the fastening flange member which has a connection coupling part screw-coupled to the front-end | tip part of the said reciprocating rod, and contact | abuts the said bellows head.

請求項１記載のベローズポンプにおいて、
前記締結フランジ部は、前記往復動ロッドの先端部に設けられ前記ベローズ頭部に当接する、ベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 1,
The said fastening flange part is a bellows pump provided in the front-end | tip part of the said reciprocating rod, and contact | abuts to the said bellows head.

請求項１記載のベローズポンプにおいて、
前記接液部材に前記往復動ロッドが締結される、ベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 1,
A bellows pump in which the reciprocating rod is fastened to the liquid contact member.

請求項４記載のベローズポンプにおいて、
前記接液部材は、前記ベローズ頭部に設けられた貫通孔を貫通する、ベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 4, wherein
The liquid contact member is a bellows pump that penetrates a through hole provided in the bellows head.

請求項２記載のベローズポンプにおいて、
前記接液部材は、前記ベローズ頭部に設けられた貫通孔を貫通する、ベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 2, wherein
The liquid contact member is a bellows pump that penetrates a through hole provided in the bellows head.

請求項２記載のベローズポンプにおいて、
前記締結フランジ部材は、前記ベローズ頭部に設けられた貫通孔を貫通する、ベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 2, wherein
The said fastening flange member is a bellows pump which penetrates the through-hole provided in the said bellows head.

請求項１記載のベローズポンプにおいて、
前記締結フランジ部は、前記ベローズ頭部に設けられた貫通孔を貫通する、ベローズポンプ。 The bellows pump according to claim 1,
The said fastening flange part is a bellows pump which penetrates the through-hole provided in the said bellows head.

請求項１〜８のいずれか１項に記載のベローズポンプにおいて、
前記接液部材と前記締結フランジ部に対して、前記ベローズ頭部を挟み込む力を与えるばね部材を有する、ベローズポンプ。 In the bellows pump according to any one of claims 1 to 8,
Wherein with respect to the fastening flange and the wetted member has a spring member to provide a force for sandwiching the bellows head, bellows pump.