JP6607228B2 - Calibration piece, calibration method, shape measurement system, and shape measurement method - Google Patents
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Description
本発明は、校正片、校正方法、形状測定装置および形状測定方法に関し、特に、油井管ねじ継手などのテーパ形状を有する被測定対象物の形状を3次元的に精密測定する技術に関するものである。 The present invention relates to a calibration piece, a calibration method, a shape measuring apparatus, and a shape measuring method, and more particularly, to a technique for three-dimensionally measuring the shape of an object to be measured having a tapered shape such as an oil well threaded joint. .
従来の油井管等のねじの形状測定としては、2次元座標データから演算して行う測定方法がある。例えば、特許文献1には、光源ランプから光をねじ溝に平行に照射してねじ面を通過する光を検出してねじ形状を測定する光学式センサを用いてねじ要素を測定する方法であって、前記光学式センサで測定されたねじ形状の線図に接触式センサのゲージに用いられるコンタクトチップのイメージを仮想的に内接するように重ね合わせてその接点の2次元座標データを所定の間隔ごとに求め、それらの2次元座標データからねじ要素を演算することを特徴とするねじ要素の測定方法が開示されている。
As a conventional measurement of the shape of a screw such as an oil well pipe, there is a measurement method performed by calculating from two-dimensional coordinate data. For example,
このような従来技術に対し、近年、3次元でねじ等のテーパ状被測定対象物の形状を測定する技術開発も行われるようになっている。この3次元の形状測定技術の確立のためには、形状測定に用いるレーザ距離計に対する高精度な校正が求められる。 In contrast to such conventional techniques, in recent years, technical development has been carried out to measure the shape of a tapered object to be measured such as a screw in three dimensions. In order to establish this three-dimensional shape measurement technique, high-precision calibration is required for the laser distance meter used for shape measurement.
そこで、本発明は上記の問題点を鑑みてなされたものであり、ねじ等のテーパ状被測定対象物の高精度な形状の測定を可能にする校正片、校正方法、この校正片を有する形状測定システムおよび形状測定方法を提供することを目的とする。 Therefore, the present invention has been made in view of the above problems, and a calibration piece, a calibration method, and a shape having this calibration piece that enable measurement of a highly accurate shape of a tapered object to be measured such as a screw. An object is to provide a measurement system and a shape measurement method.
本発明の要旨は以下の通りである。
[1]レーザ光を用いて表面に凹凸部が形成されたテーパ状被測定側面部および軸方向の先端に形成された被測定先端部を備えるテーパ状被測定対象物の3次元形状を光学的に測定する形状測定装置が有する、
レーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第1のレーザ距離計と、
該第1のレーザ距離計とは異なる前記軸方向に対するレーザ照射角度でレーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第2のレーザ距離計と、
レーザ照射することで前記被測定先端部の位置を計測する走査型の第3のレーザ距離計と、
の夫々のレーザ照射方向を校正するための円錐台形状を有する校正片であって、
前記第1のレーザ距離計および前記第2のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用テーパ状側面部と、
該校正用テーパ状側面部の先端部に形成され、前記第3のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用先端平面部と、
を備え、
前記校正用テーパ状側面部には、校正用切欠部および/または校正用突出部が形成されており、
前記校正用先端平面部は、軸方向に陥没形成された校正用凹部および/または軸方向に突出形成された校正用凸部を有する、校正片。
[2]レーザ光を用いて表面に凹凸部が形成されたテーパ状被測定側面部および軸方向の先端に形成された被測定先端部を備えるテーパ状被測定対象物の3次元形状を光学的に測定する形状測定装置が有する、
レーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第1のレーザ距離計と、
該第1のレーザ距離計とは異なる前記軸方向に対するレーザ照射角度でレーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第2のレーザ距離計と、
レーザ照射することで前記被測定先端部の位置を計測する走査型の第3のレーザ距離計と、
の夫々のレーザ照射方向を校正する方法であり、
円錐台形状を有し、
前記第1のレーザ距離計および前記第2のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用テーパ状側面部と、
該校正用テーパ状側面部の先端部に形成され、前記第3のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用先端平面部と、
を備え、
前記校正用テーパ状側面部には、校正用切欠部および/または校正用突出部が形成されており、
前記校正用先端平面部は、軸方向に陥没形成された校正用凹部および/または軸方向に突出形成された校正用凸部を有する、校正片を前記形状測定装置の前記テーパ状被測定対象物の設置位置に配置して、
前記第1のレーザ距離計、前記第2のレーザ距離計および前記第3のレーザ距離計の夫々のレーザ照射方向を校正する、校正方法。
[3]レーザ照射することで、表面に凹凸部が形成されたテーパ状被測定側面部および軸方向の先端に形成された被測定先端部を備えるテーパ状被測定対象物の前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第1のレーザ距離計、
該第1のレーザ距離計とは異なる前記軸方向に対するレーザ照射角度でレーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第2のレーザ距離計、
およびレーザ照射することで前記被測定先端部の位置を計測する走査型の第3のレーザ距離計、
を有し、レーザ光を用いて前記テーパ状被測定対象物の3次元形状を光学的に測定する形状測定装置と、
円錐台形状を有し、
前記第1のレーザ距離計および前記第2のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用テーパ状側面部、
および該校正用テーパ状側面部の先端部に形成され、前記第3のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用先端平面部、
を有し、
前記校正用テーパ状側面部には、校正用切欠部および/または校正用突出部が形成されており、
前記校正用先端平面部は、軸方向に陥没形成された校正用凹部および/または軸方向に突出形成された校正用凸部を有し、前記テーパ状被測定対象物の設置位置に配置可能な校正片と、
を備える、形状測定システム。
[4]前記[2]に記載の校正方法で校正した形状測定装置を用いてテーパ状被測定対象物の形状を測定する形状測定方法。
The gist of the present invention is as follows.
[1] Optically forming a three-dimensional shape of a tape-shaped object to be measured having a tapered surface-to-be-measured portion having a concavo-convex portion formed on the surface and a tip end to be measured formed at an axial tip. The shape measuring device to measure
A scanning-type first laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation;
A scanning type second laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation at a laser irradiation angle with respect to the axial direction different from the first laser distance meter;
A scanning type third laser distance meter that measures the position of the measured tip by laser irradiation;
A calibration piece having a truncated cone shape for calibrating each laser irradiation direction of
A calibration tapered side surface irradiated with laser from the first laser distance meter and the second laser distance meter;
A tip end flat portion for calibration formed at the tip end portion of the tapered side surface portion for calibration and irradiated with the laser from the third laser distance meter;
With
A calibration notch and / or a calibration protrusion is formed on the calibration tapered side surface,
The calibration tip plane portion is a calibration piece having a calibration concave portion that is recessed in the axial direction and / or a calibration convex portion that protrudes in the axial direction.
[2] A three-dimensional shape of a tape-shaped object to be measured having a tapered side surface part having a concavo-convex part formed on the surface and a measured tip part formed at an axial tip using a laser beam is optically determined. The shape measuring device to measure
A scanning-type first laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation;
A scanning type second laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation at a laser irradiation angle with respect to the axial direction different from the first laser distance meter;
A scanning type third laser distance meter that measures the position of the measured tip by laser irradiation;
It is a method of calibrating each laser irradiation direction of
Having a truncated cone shape,
A calibration tapered side surface irradiated with laser from the first laser distance meter and the second laser distance meter;
A tip end flat portion for calibration formed at the tip end portion of the tapered side surface portion for calibration and irradiated with the laser from the third laser distance meter;
With
A calibration notch and / or a calibration protrusion is formed on the calibration tapered side surface,
The calibration front end flat portion has a calibration concave portion formed in a recess in the axial direction and / or a calibration convex portion formed in a projection in the axial direction. Placed at the installation position of
A calibration method for calibrating the respective laser irradiation directions of the first laser distance meter, the second laser distance meter, and the third laser distance meter.
[3] The tapered measurement object of the tapered object to be measured provided with the tapered measurement side surface part having the uneven part formed on the surface and the measurement tip part formed at the axial tip by laser irradiation. A scanning type first laser distance meter for measuring the shape of the side surface,
A scanning-type second laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation at a laser irradiation angle with respect to the axial direction different from the first laser distance meter;
And a scanning-type third laser distance meter that measures the position of the measured tip by laser irradiation,
A shape measuring device that optically measures the three-dimensional shape of the tapered object to be measured using a laser beam;
Having a truncated cone shape,
A calibration tapered side surface irradiated with laser from the first laser distance meter and the second laser distance meter;
And a calibration front end flat part formed at the front end of the calibration tapered side part and irradiated with the laser from the third laser distance meter,
Have
A calibration notch and / or a calibration protrusion is formed on the calibration tapered side surface,
The calibration front end flat portion has a calibration concave portion formed in a recess in the axial direction and / or a calibration convex portion formed in a projection in the axial direction, and can be disposed at an installation position of the tapered object to be measured. A calibration piece,
A shape measurement system comprising:
[4] A shape measuring method for measuring the shape of the tapered object to be measured using the shape measuring apparatus calibrated by the calibration method according to [2].
本発明によれば、ねじ等のテーパ状被測定対象物の高精度な形状の測定を可能にする校正片、校正方法、この校正片を有する形状測定システムおよび形状測定方法が提供される。より具体的には、本発明によれば、形状測定装置の各レーザ距離計の基準点を調整し、かつ軸(ねじ軸、スキャン軸)と校正片中心軸の取付誤差による傾斜角を補正し、機構変動により発生する誤差を補正することを同時に行うことができる。 According to the present invention, there are provided a calibration piece, a calibration method, a shape measurement system having the calibration piece, and a shape measurement method that enable measurement of a highly accurate shape of a tapered object to be measured such as a screw. More specifically, according to the present invention, the reference point of each laser distance meter of the shape measuring apparatus is adjusted, and the inclination angle due to the mounting error between the axis (screw axis, scan axis) and the calibration piece center axis is corrected. Thus, it is possible to simultaneously correct the error caused by the mechanism fluctuation.
以下、添付図面を参照し、本発明の実施形態について説明する。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings.
[形状測定装置]
まず、本発明の校正片1で校正を行う形状測定装置100について、図1を参照しながら説明する。図1は、ねじ形状および形状測定装置100の構成を説明するための図である。図1(A)では測定対象となるねじの形状の一例を示し、図1(B)では、形状測定装置100を構成する第1のレーザ距離計101、第2のレーザ距離計102、第3のレーザ距離計103を上面から見た図を示す。
[Shape measuring device]
First, a
以下、形状の測定対象とするテーパ状被測定対象物の例として、ねじ110を挙げて説明するが、本発明では、表面に凹凸部が形成されたテーパ状被測定側面部および軸方向の先端に形成された被測定先端部を有していれば、テーパ状被測定対象物は、ねじ110には限定されない。以下の説明において、ねじテーパ状側面部はテーパ状被測定対象物のテーパ状被測定側面部の一例であり、ねじ先端部は被測定先端部の一例である。
Hereinafter, the
形状測定装置100は、油井管ねじ等のねじ110の形状を測定するために用いられ、ねじ形状が複雑な形状であるために、レーザ距離計(スポットタイプ、ラインタイプ)を用いて形状測定を行う。その形状が、例えば、台形ねじではなく、フックねじの形状である場合(図1(A)参照)、1つのスポットタイプの走査型のレーザ距離計(以下、第1のレーザ距離計101とする)だけでは、ねじ110のねじテーパ状側面部のフック部分とその他の部分の形状を把握するための制御が煩雑になる。そのため、本発明で対象とする形状測定装置100では、図1(B)に示すように、第1のレーザ距離計101の他に、スポットタイプの走査型のレーザ距離計(以下、第2のレーザ距離計102とする)をもう一つ配置させる。そして、軸方向(ねじ軸方向、管軸方向のことである。)、ねじテーパ状側面部の略錐台形状の母線方向、または上記のねじ軸と母線との間に形成される任意の方向に第1のレーザ距離計101および第2のレーザ距離計102を移動させながらレーザ照射することで、ねじ形状情報を取得するセンサ配置設計とする。
The
第1のレーザ距離計101、第2のレーザ距離計102は、ねじ110の多様な凹凸形状の測定に最適な角度に調整される。スキャン軸方向(ねじ軸方向、校正片中心軸方向)の移動距離の計測にはリニアスケール104を用いる。
The first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 are adjusted to an optimum angle for measuring various uneven shapes of the
第1のレーザ距離計101、第2のレーザ距離計102を上述したように移動させることで、第1のレーザ距離計101、第2のレーザ距離計102の測定精度を調整することができる。本発明で対象とするレーザ距離計では、レーザの照射面からの反射光を受光素子に投影し、その受光分布を算出することによって距離を演算している。レーザの照射面の面積が大きいほど、位置演算の測定誤差は大きくなることから、基準位置(測定基準位置)においてレーザ照射面積が最小となるために、基準位置(測定基準位置)を変化させないようにねじテーパ状側面部の母線方向に沿った走査(テーパ倣いスキャン)を行うことが好ましい。測定精度が比較的低くても良い場合には、ねじ軸方向に走査(スキャン)していく構成を取ってもよい。 By moving the first laser rangefinder 101 and the second laser rangefinder 102 as described above, the measurement accuracy of the first laser rangefinder 101 and the second laser rangefinder 102 can be adjusted. In the laser rangefinder targeted by the present invention, the distance is calculated by projecting the reflected light from the laser irradiation surface onto the light receiving element and calculating the received light distribution. Since the measurement error of position calculation increases as the area of the laser irradiation surface increases, the laser irradiation area is minimized at the reference position (measurement reference position), so that the reference position (measurement reference position) is not changed. It is preferable to perform scanning (taper scanning scan) along the generatrix direction of the screw taper side surface portion. When the measurement accuracy may be relatively low, it may be configured to scan in the screw axis direction.
ここで、基準位置は、レーザ照射スポット径が最小となる位置のことを指す。レーザ光は1点に集光させることが望ましいが、集光限界があるため、ある一定の径(スポット径)となる。その集光位置のことを基準位置とし、集光位置からずれるとスポット径も大きくなる。レーザ距離計は反射光が受光素子のどこに当たるかによりその位置情報を得ているため、スポット径が大きくなると測定範囲が大きくなり(測定範囲の平均値が測定位置として検出され)、測定点を絞った位置測定ができない。そのため、被測定対象物の位置をこの基準位置、または大きく外れない範囲(市販の距離計は測定可能範囲が基準距離±〜mmというように定められている)にすることが好ましい。 Here, the reference position refers to a position where the laser irradiation spot diameter is minimum. Although it is desirable to condense the laser light at one point, there is a condensing limit, so that the laser light has a certain diameter (spot diameter). The light collection position is used as a reference position, and the spot diameter increases as the position deviates from the light collection position. Since the laser distance meter obtains its position information based on where the reflected light hits the light receiving element, the measurement range increases as the spot diameter increases (the average value of the measurement range is detected as the measurement position), and the measurement point is Cannot measure the position of the aperture. Therefore, it is preferable to set the position of the object to be measured to this reference position or a range that does not greatly deviate (a commercially available distance meter has a measurable range defined as a reference distance ± to mm).
なお、上記のスポットタイプのレーザ距離計とは、三角測距法に基づいたレーザ光の照射、受光、位置情報の算出を行うレーザ距離計のことを指し、ラインタイプのレーザ距離計とは、スポットタイプの三角測距法をライン上に配置した光学系に適用することによって、ライン上に照射されたレーザの反射光により位置情報を取得するレーザ距離計のことを指す。 The above-mentioned spot type laser rangefinder refers to a laser rangefinder that performs laser light irradiation, light reception, and position information calculation based on the triangulation method. By applying a spot type triangulation method to an optical system arranged on a line, it refers to a laser rangefinder that acquires position information from reflected light of a laser irradiated on the line.
また、本発明で対象とする形状測定装置100では、ねじ先端部位置(管端位置)を正確に計測するために、ねじ先端部にレーザを照射可能なラインタイプの走査型のレーザ距離計(以下、第3のレーザ距離計103とする)を配置する。
Further, in the
これらの第1のレーザ距離計101、第2のレーザ距離計102、第3のレーザ距離計103は、ねじ110の3次元形状を取得するために、ねじ軸を中心軸として回転しながら、ねじ110にレーザ照射することができる。
The first laser distance meter 101, the second laser distance meter 102, and the third laser distance meter 103 rotate while using the screw shaft as a central axis in order to obtain the three-dimensional shape of the
上述したような本発明で対象とする形状測定装置100で、ねじ110の3次元形状の測定を行うには、第1、第2、第3のレーザ距離計101、102、103夫々から得られる距離情報を3次元座標上に投影する必要がある。そして、各レーザ距離計101、102、103の距離情報を複合させ、統一した座標上にプロフィールを投影するためには、各距離計の基準点(共通座標位置)を設定しておく必要がある。
In order to measure the three-dimensional shape of the
[校正片]
図2は、本発明の校正片1の構成を説明するための図であり、校正片1を上面から見た図を示す。校正片1は、図2に示す例では、上面図を軸(校正片中心軸)を中心に回転した円錐台形状を有する。本発明の校正片1は、上述したような、形状測定装置100の校正のために用いられ、ねじ110(テーパ状被測定対象物)の設置位置に配置可能であり、高精度なねじ形状の測定を可能にする。より具体的には、本発明の校正片1は、以下の(1)〜(3)の3点の機能を有することで、高精度なねじ形状の測定が可能になる。
(1)基準点調整機能:各レーザ距離計のレーザ照射方向の影響を受けずに、各レーザ距離計の基準点を高精度に調整すること。なお、基準点とは、各レーザ距離計の統一した座標上に、各レーザ距離計の測定結果情報を投影するために必要となる各レーザ距離計の基準点(共通座標位置)である。
(2)傾斜角補正機能:スキャン軸(ねじ軸)と校正片中心軸の取付誤差による傾斜角を補正すること。
(3)機構変動補正機能:形状測定装置のレーザ距離計のスキャンによる剛性撓み等に基づく機構変動により発生する誤差を補正すること。
[Proofreading piece]
FIG. 2 is a view for explaining the configuration of the
(1) Reference point adjustment function: The reference point of each laser distance meter is adjusted with high accuracy without being affected by the laser irradiation direction of each laser distance meter. The reference point is a reference point (common coordinate position) of each laser distance meter required to project the measurement result information of each laser distance meter on the unified coordinates of each laser distance meter.
(2) Inclination angle correction function: Correction of the inclination angle due to the mounting error between the scan axis (screw axis) and the calibration piece center axis.
(3) Mechanism fluctuation correction function: Correction of errors caused by mechanism fluctuations based on rigid deflection caused by scanning of a laser distance meter of the shape measuring apparatus.
すなわち、本発明の校正片1は、レーザ光を用いて表面に凹凸部が形成されたテーパ状被測定側面部(ねじテーパ状側面部)および軸方向の先端に形成された被測定先端部(ねじ先端部)を備えるテーパ状被測定対象物(ねじ110)の3次元形状を光学的に測定する形状測定装置100が有する、レーザ照射することでテーパ状被測定側面部(ねじテーパ状側面部)の形状を計測する走査型の第1のレーザ距離計101と、該第1のレーザ距離計101とは異なる軸方向(ねじ軸方向)に対するレーザ照射角度でレーザ照射することでテーパ状被測定側面部(ねじテーパ状側面部)の形状を計測する走査型の第2のレーザ距離計102と、レーザ照射することで被測定先端部(ねじ先端部)の位置を計測する走査型の第3のレーザ距離計103と、の夫々のレーザ照射方向を校正するための円錐台形状を有する校正片であって、第1のレーザ距離計101および第2のレーザ距離計102からのレーザが照射される校正用テーパ状側面部2と、該校正用テーパ状側面部2の先端部に形成され、第3のレーザ距離計103からのレーザが照射される校正用先端平面部3と、を備え、校正用テーパ状側面部2には、校正用切欠部21および/または校正用突出部が形成されており、校正用先端平面部3は、軸方向に陥没形成された校正用凹部21および/または軸方向に突出形成された校正用凸部を有する。なお、図2中、C1〜C10の寸法に関しては適宜調整できる。
That is, the
また、以下では、校正用切欠部21、校正用突出部のうち、校正用切欠部21を例に挙げて説明する。また、校正用凹部21、校正用凸部のうち、校正用凹部21を例に挙げて説明する。
In the following, the
本発明の校正片1では、特に、錐台形状を有しつつ、切欠部21、凹部31を有し、上記の(1)〜(3)の機能を備えることを特徴とする。以下、本発明の校正片1による基準点調整機能、傾斜角補正機能および機構変動補正機能を説明する。
In particular, the
<基準点調整機能>
まず、図3、図4A、図4B、図5A、図5Bを主に参照しながら、本発明の校正片1による基準点調整機能を説明する。図3は、関連技術の校正片11の構成を説明するための図である。図4Aは、第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102との基準点調整を説明するための図である。図4Bは、本発明の校正片1の校正用テーパ状側面部2に形成された切欠部21を説明するための図である。図5Aは、第1のレーザ距離計101と第3のレーザ距離計103との基準点調整を説明するための図である。図5Bは、本発明の校正片1の校正用先端平面部3に形成された凹部31を説明するための図である。
<Reference point adjustment function>
First, the reference point adjustment function by the
図3に示すように、ねじ110のテーパ形状に対応させた円錐から円錐頂部をカットした形状、すなわち先端部に平面部が形成された円錐台形状を有する関連技術の校正片11によれば、後述する機構変動により発生する誤差を検出することができる。
なお、対向する距離計間の補正は対向する一対の第1のレーザ距離計101同士の基準点位置を用いればよい。具体的には、対向する第1のレーザ距離計101の基準点調整を寸法既知の校正片11の先端部(角部)の平面部の直径と比較して行うことにより対向する距離計間の補正を行う。
As shown in FIG. 3, according to the related
In addition, what is necessary is just to use the reference point position of a pair of 1st laser rangefinder 101 which opposes for the correction between the distance meters which oppose. Specifically, by adjusting the reference point of the first laser rangefinder 101 that is opposed to the diameter of the flat portion of the tip (corner) of the
この関連技術の校正片11を用いた場合の基準点調整における問題点2つを以下で説明する。
Two problems in the reference point adjustment when the
(問題点1:第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102との基準点調整)
図4Aに示すように、ねじ110の多様な凹凸形状(例えば、フック形状(図1再参照))を精度良く計測できるように、第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計とは傾斜して配置され、夫々のレーザ距離計101、102はねじ110に対して異なる向きに(第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102とのねじ軸方向に対するレーザ照射角度が異なるように)レーザ照射する。すなわち、ねじテーパ状側面部の凹凸に対して、一方のレーザ距離計(図4Aでは第1のレーザ距離計101)がねじ先端部側からねじテーパ状側面部に対してレーザ照射し、他方のレーザ距離計(図4Aでは第2のレーザ距離計102)がねじ後端部側からねじテーパ状側面部に対してレーザ照射できるように、夫々のレーザ距離計101、102は傾斜して配置される。
(Problem 1: Reference point adjustment between the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102)
As shown in FIG. 4A, the first laser rangefinder 101 and the second laser rangefinder are capable of accurately measuring various uneven shapes of the screw 110 (for example, hook shape (see FIG. 1 again)). The laser distance meters 101 and 102 are inclined and have different directions with respect to the screw 110 (the laser irradiation angles of the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 with respect to the screw axis direction are different). ) Laser irradiation. That is, one laser distance meter (first laser distance meter 101 in FIG. 4A) irradiates the screw tapered side surface with laser from the screw tip side to the unevenness of the screw tapered side surface portion. The laser distance meters 101 and 102 are inclined so that the laser distance meter (the second laser distance meter 102 in FIG. 4A) can irradiate the screw tapered side surface from the screw rear end side. The
このように配置された第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102とを校正片11により校正するとき、校正片11の校正用テーパ状側面部2から校正用先端平面部3、後端平面部(先端平面部および後端平面部は校正片の軸直交断面である。)に移行する先端側エッジ部4、後端側エッジ部5の測定値が安定しない。
When the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 arranged in this way are calibrated by the
この点について、より詳細に説明すると、まず、図4Aに示すように、各レーザ距離計101、102の基準点としては、校正片11の上記の先端側エッジ部4、または後端側エッジ部5にレーザ距離計101、102がレーザ照射しているときの位置とする。このエッジ部4、5を基準点とするのは、スキャン位置を変化させながら、距離を測定していくと、エッジ部4、5で距離の測定値は大きく変化し、基準点としての検出を精度良く行えるためである。
This point will be described in more detail. First, as shown in FIG. 4A, as the reference point of each laser distance meter 101, 102, the above-described front end
しかしながら、図4A(a)に示すように、先端側エッジ部4では、第1のレーザ距離計101の基準点としては用いることができるものの、第2のレーザ距離計102の基準点としては、レーザ照射方向の影響で、校正用先端平面部3にレーザ照射できないことから、エッジ部4での安定した測定値を得られない。また、図4A(b)に示すように、後端側エッジ部5では、第2のレーザ距離計102の基準点としては用いることができるものの、第1のレーザ距離計101の基準点としては、レーザ照射方向の影響で、後端平面部にレーザ照射できないことから、エッジ部5での安定した測定値を得られない。
However, as shown in FIG. 4A (a), the tip
すなわち、関連技術の校正片11を用いると、前述したように、傾斜して配置した第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102との校正のうち、第1のレーザ距離計101の校正については、校正片11の校正用テーパ状側面部2の先端側エッジ部4を基準点とする。一方、第2のレーザ距離計102の校正については、校正片11の校正用テーパ状側面部2の後端側エッジ部5を基準点とする。
That is, when the
しかしながら、この場合、夫々の基準点の間隔が広くなり、リニアスケール104に起因する誤差影響が大きくなるため、高精度な基準点調整を行うという観点から、夫々の基準点を近くすることが求められる。 However, in this case, the interval between the respective reference points is widened, and the influence of errors due to the linear scale 104 is increased. Therefore, from the viewpoint of performing high-precision reference point adjustment, it is required to make the respective reference points close to each other. It is done.
(問題点1の解決策:校正用切欠部を設ける)
本発明では、上記問題点1を解決するために、図4Bに示すように、校正片1の校正用テーパ状側面部2に校正用切欠部21を設ける(図2も再参照)。好ましくは、校正片1の校正用テーパ状側面部2の周方向に校正用切欠部21を設ける。
(Solution for Problem 1: Provide a calibration notch)
In the present invention, in order to solve the
これにより、
(ア)校正用切欠部21のみを用いての第1のレーザ距離計101および第2のレーザ距離計102の基準点調整、
(イ)校正用切欠部21による第1のレーザ距離計101の基準点調整、かつ校正片1の校正用テーパ状側面部2の後端側エッジ部5により第2のレーザ距離計102の基準点調整、
(ウ)校正用切欠部21による第2のレーザ距離計102の基準点調整、かつ校正片1の校正用テーパ状側面部2の先端側エッジ部4により第1のレーザ距離計101の基準点調整、
のいずれかによって、第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102との基準点調整を高精度に行うことができる。
This
(A) Adjustment of reference points of the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 using only the
(A) Adjustment of the reference point of the first laser rangefinder 101 by the
(C) Adjustment of the reference point of the second laser distance meter 102 by the
By either of these, the reference point adjustment of the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 can be performed with high accuracy.
ここで、上記の(イ)の場合について、図4Bを参照すると、第1のレーザ距離計101の基準点調整は校正用切欠部21(特にその端部)を用いて行い、第2のレーザ距離計102の基準点調整は校正片1の校正用テーパ状側面部2の後端側エッジ部5を用いて行う。そして、校正用切欠部21の端部および校正用テーパ状側面部2の後端側エッジ部5周辺の既知の寸法に基づいて、高精度な第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102との基準点調整を行うことができる。
Here, referring to FIG. 4B in the case of (A) above, the reference point adjustment of the first laser rangefinder 101 is performed using the calibration notch 21 (particularly the end thereof), and the second laser The reference point adjustment of the distance meter 102 is performed using the rear end
上記の(イ)の場合においては、この校正用切欠部21は、より高精度な基準点調整を行うという観点から、校正片1の後端側エッジ部5付近に設けることが好ましい。このとき、より好ましくは、この校正用切欠部21は、校正片1の校正用テーパ状側面部2の母線の長さに対し、後端側エッジ部5から5〜30%の位置に設ける。
In the case of the above (A), it is preferable that the
また、上記の(ウ)の場合においては、この校正用切欠部21は、より高精度な基準点調整を行うという観点から、校正片1の先端側エッジ部4付近に設けることが好ましい。
このとき、より好ましくは、この校正用切欠部21は、校正片1の校正用テーパ状側面部2の母線の長さに対し、先端側エッジ部4から5〜30%の位置に設ける。
In the case of the above (c), the
At this time, more preferably, the
なお、第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102は、連結して移動させ、図4B中、エッジ部4(または5)と、校正用切欠部21の端部に到達するタイミングは同時でなくてもよい。
The first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 are connected and moved to reach the edge 4 (or 5) and the end of the
(問題点2:第1のレーザ距離計101と第3のレーザ距離計103との基準点調整)
図5Aに示すように、第1のレーザ距離計101は、ねじテーパ状側面部に対してレーザ照射し、第3のレーザ距離計103は、ねじ先端部に対してレーザ照射することを目的としていることから、夫々のレーザ距離計101、103は傾斜して配置される。
(Problem 2: Reference point adjustment between the first laser distance meter 101 and the third laser distance meter 103)
As shown in FIG. 5A, the first laser rangefinder 101 is used to irradiate the screw taper side surface portion with laser, and the third laser rangefinder 103 is used to irradiate the screw tip portion with laser. Therefore, the respective laser distance meters 101 and 103 are arranged at an inclination.
このように配置された第1のレーザ距離計101と第3のレーザ距離計103とを校正片11により校正するとき、校正片11の校正用テーパ状側面部2から校正用先端平面部3に移行する先端側エッジ部4の測定値は安定しない。
When the first laser distance meter 101 and the third laser distance meter 103 arranged in this way are calibrated by the
この点について、より詳細に説明すると、まず、図5Aに示すように、各レーザ距離計101、103の基準点としては、校正片11の上記のエッジ部4にレーザ距離計がレーザ照射しているときの位置とする。このエッジ部4を基準点とするのは、スキャン位置を変化させながら、距離を測定していくと、エッジ部4で距離の測定値は大きく変化し、基準点としての検出を精度良く行えるためである。
This point will be described in more detail. First, as shown in FIG. 5A, as a reference point of each of the laser distance meters 101 and 103, the laser distance meter irradiates the
しかしながら、図5Aに示すように、先端側エッジ部4では、第1のレーザ距離計101の基準点としては用いることができるものの、第3のレーザ距離計103は、レーザ照射方向の影響で、校正用先端平面部3以外の領域にはレーザ照射による距離測定ができないことから、第3のレーザ距離計103では、エッジ部4での安定した測定値を得られない。そのため、第3のレーザ距離計103の基準点を精度良く調整する方法の確立が求められる。
However, as shown in FIG. 5A, the
(問題点2の解決策:校正用凹部を設ける)
本発明では、上記問題点2を解決するために、図5Bに示すように、校正片1の校正用先端平面部3(先端エッジ部管軸直交面)に校正用凹部31を設ける。(図2も再参照)。これにより、第1のレーザ距離計101と第3のレーザ距離計103との基準点調整を高精度に行うことができる。
(Solution for Problem 2: Provide a calibration recess)
In the present invention, in order to solve the above-described problem 2, as shown in FIG. 5B, a
図5Bを参照しながら、より具体的に説明すると、まず、第1のレーザ距離計101の基準点調整は、校正片1の校正用テーパ状側面部2の先端側エッジ部4を用いて行う。また、第3のレーザ距離計103の基準点調整は、校正用凹部31(特にその端部)を用いて行う。そして、校正用凹部31の端部および校正用テーパ状側面部2の先端側エッジ部4周辺の既知の寸法に基づいて、高精度な第1のレーザ距離計101と第3のレーザ距離計103との基準点調整を行うことができる。
More specifically, referring to FIG. 5B, first, the reference point adjustment of the first laser distance meter 101 is performed using the tip
また、好ましくは、この校正用凹部31は、より高精度な基準点調整を行うという観点から、校正用先端平面部3中、端部がライン型レーザ距離計の視野範囲に入り、半径が校正用先端平面部3の半径の90〜98%であり、校正用先端平面部3と同心円の円形状であり、かつ、陥没した深さはライン型レーザ距離計の視野範囲に入る。
Preferably, the
なお、本実施形態では、第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102との基準点調整、第1のレーザ距離計101と第3のレーザ距離計103との基準点調整により、第1、第2、第3のレーザ距離計101、102、103の全ての基準点調整を行う例を説明したが、第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102との基準点調整、第2のレーザ距離計102と第3のレーザ距離計103との基準点調整により、第1、第2、第3のレーザ距離計101、102、103の全ての基準点調整を同様に行ってもよい。 In the present embodiment, the reference point adjustment between the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102, and the reference point adjustment between the first laser distance meter 101 and the third laser distance meter 103, Although an example in which all the reference points of the first, second, and third laser distance meters 101, 102, and 103 are adjusted has been described, the reference points of the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 By adjusting and adjusting the reference points of the second laser distance meter 102 and the third laser distance meter 103, all the reference point adjustments of the first, second and third laser distance meters 101, 102, 103 are similarly performed. You may go.
<傾斜角補正機能>
次に、図6A、図6Bを主に参照しながら、本発明の校正片1による傾斜角補正機能を説明する。図6A、図6Bは、本発明の校正片1による傾斜角補正機能を説明するための図である。
<Inclination correction function>
Next, an inclination angle correction function by the
校正片1を形状測定装置100のねじ設置位置に配置するときに、スキャン軸と校正片中心軸の取付誤差が発生する場合がある。その場合、その取付誤差による傾斜角θ(図6A参照)を補正する必要がある。
When the
校正片中心軸と測定装置回転中心軸は一致していることが望ましい。すなわち、校正片1の校正用テーパ状側面部2の母線に対して、第1のレーザ距離計101と第2のレーザ距離計102とのスキャン方向は平行であることが望ましい。しかし、ユーザが校正片1を形状測定装置100に取付けて、その後機械的な移動等により、正確な芯出しを行わない場合等において、校正片中心軸と測定装置回転中心軸との間にわずかばかりの角度(傾斜角θ(図6A参照))が発生する。
It is desirable that the calibration piece center axis and the measurement apparatus rotation center axis coincide. That is, it is desirable that the scanning directions of the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 are parallel to the bus of the calibration tapered side surface portion 2 of the
この点、本発明の校正片1によれば、図6Bに示すように、校正片1の傾斜角度θが容易に分かるため、プロフィールをθ回転させることで傾斜角補正を容易に行うことができる。なお、ここでいうプロフィールとは、ねじ形状の測定点をつなぎ合わせた点群(座標点群)のことを指す。
In this regard, according to the
θの検出方法は、校正片1の校正用テーパ状側面部2のプロフィールの直線回帰(テーパ部分をレーザ距離計で測定した点群(座標点群)を抽出し、その点群を最小二乗法を用いて回帰した直線)から求めた角度θ1、θ2(図6B参照)を用いて、さらに以下の式(1)〜(3)を用いて求める。θ1、θ2は対向する第1のレーザ距離計101、第2のレーザ距離計102(もしくは180度回転させた距離計の情報でも可)から求めた角度である。また、回転の中心点は、2つの直線回帰式の交点である。
θ1=テーパ角度+θ ・・・(1)
θ2=テーパ角度−θ ・・・(2)
θ=(θ1−θ2)/2 ・・・(3)
<機構変動補正機能>
図7は、本発明の校正片1による機構変動補正機能を説明するための図である。
The method of detecting θ is linear regression of the profile of the calibration tapered side surface 2 of the calibration piece 1 (the point group (coordinate point group) obtained by measuring the taper portion with a laser distance meter is extracted, and the point group is obtained by the least square method. Using the angles θ1 and θ2 (see FIG. 6B) obtained from the straight line regressed by using the following equations (1) to (3). θ1 and θ2 are angles obtained from the first laser distance meter 101 and the second laser distance meter 102 (or information of a distance meter rotated by 180 degrees) facing each other. The center point of rotation is the intersection of two linear regression equations.
θ1 = taper angle + θ (1)
θ2 = taper angle−θ (2)
θ = (θ1-θ2) / 2 (3)
<Mechanism fluctuation correction function>
FIG. 7 is a diagram for explaining a mechanism variation correction function by the
高精度な校正を行うためには、装置100のスキャンによる剛性撓みなどの機構変動により発生する誤差を補正する必要がある。基準点調整、校正片1の傾斜角補正を行った後、機構変動補正を行う。校正片検定値と距離計の実測定値の差分を補正値として格納し、測定時に補正値加算する。
In order to perform high-precision calibration, it is necessary to correct errors generated due to mechanism fluctuations such as rigid deflection due to scanning of the
以上説明したように、本発明では、ねじ等のテーパ形状を有する被測定対象物である形状測定装置の各レーザ距離計の基準点を調整し、かつねじ軸(スキャン軸)と校正片中心軸の取付誤差による傾斜角を補正し、機構変動により発生する誤差を補正することを同時に行うことができる。このような校正技術により、ねじ等のテーパ状被測定対象物の高精度な形状の測定が可能になる。 As described above, in the present invention, the reference point of each laser distance meter of the shape measuring apparatus, which is an object to be measured having a taper shape such as a screw, is adjusted, and the screw axis (scan axis) and the calibration piece central axis It is possible to simultaneously correct the tilt angle caused by the mounting error and the error caused by the mechanism fluctuation. Such a calibration technique makes it possible to measure a highly accurate shape of a tapered object to be measured such as a screw.
また、本発明では、前述した校正片を用いて形状測定装置を校正する校正方法も提供する。また、本発明では、前述した校正片と、前述した形状測定装置とを有する形状測定システムを提供する。また、本発明では、前述した校正片を用いた校正方法で校正した形状測定装置を用いてテーパ状被測定対象物の形状を測定するねじ形状測定方法も提供する。 The present invention also provides a calibration method for calibrating the shape measuring apparatus using the calibration piece described above. The present invention also provides a shape measurement system having the calibration piece described above and the shape measurement apparatus described above. The present invention also provides a screw shape measuring method for measuring the shape of the tapered object to be measured using the shape measuring apparatus calibrated by the calibration method using the calibration piece described above.
また、本発明は、ねじ等のテーパ形状を有する被測定対象物の3次元測定技術への利用可能性を持つ。 Further, the present invention has applicability to a three-dimensional measurement technique for an object to be measured having a tapered shape such as a screw.
1、11 校正片
2 校正用テーパ状側面部
21 校正用切欠部
3 校正用先端平面部
31 校正用凹部
4 先端側エッジ部
5 後端側エッジ部
100 形状測定装置
101 第1のレーザ距離計
102 第2のレーザ距離計
103 第3のレーザ距離計
104 リニアスケール
110 ねじ(テーパ状被測定対象物)
DESCRIPTION OF
Claims (4)
レーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第1のレーザ距離計と、
該第1のレーザ距離計とは異なる前記軸方向に対するレーザ照射角度でレーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第2のレーザ距離計と、
レーザ照射することで前記被測定先端部の位置を計測する走査型の第3のレーザ距離計と、
の夫々のレーザ照射方向を校正するための円錐台形状を有する校正片であって、
前記第1のレーザ距離計および前記第2のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用テーパ状側面部と、
該校正用テーパ状側面部の先端部に形成され、前記第3のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用先端平面部と、
を備え、
前記校正用テーパ状側面部には、校正用切欠部および/または校正用突出部が形成されており、
前記校正用先端平面部は、軸方向に陥没形成された校正用凹部および/または軸方向に突出形成された校正用凸部を有する、校正片。 A laser beam is used to optically measure a three-dimensional shape of a tapered object to be measured, which includes a tapered side surface part having a concavo-convex part formed on the surface and a measured tip part formed at the tip in the axial direction. The shape measuring device has,
A scanning-type first laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation;
A scanning type second laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation at a laser irradiation angle with respect to the axial direction different from the first laser distance meter;
A scanning type third laser distance meter that measures the position of the measured tip by laser irradiation;
A calibration piece having a truncated cone shape for calibrating each laser irradiation direction of
A calibration tapered side surface irradiated with laser from the first laser distance meter and the second laser distance meter;
A tip end flat portion for calibration formed at the tip end portion of the tapered side surface portion for calibration and irradiated with the laser from the third laser distance meter;
With
A calibration notch and / or a calibration protrusion is formed on the calibration tapered side surface,
The calibration tip plane portion is a calibration piece having a calibration concave portion that is recessed in the axial direction and / or a calibration convex portion that protrudes in the axial direction.
レーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第1のレーザ距離計と、
該第1のレーザ距離計とは異なる前記軸方向に対するレーザ照射角度でレーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第2のレーザ距離計と、
レーザ照射することで前記被測定先端部の位置を計測する走査型の第3のレーザ距離計と、
の夫々のレーザ照射方向を校正する方法であり、
円錐台形状を有し、
前記第1のレーザ距離計および前記第2のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用テーパ状側面部と、
該校正用テーパ状側面部の先端部に形成され、前記第3のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用先端平面部と、
を備え、
前記校正用テーパ状側面部には、校正用切欠部および/または校正用突出部が形成されており、
前記校正用先端平面部は、軸方向に陥没形成された校正用凹部および/または軸方向に突出形成された校正用凸部を有する、校正片を前記形状測定装置の前記テーパ状被測定対象物の設置位置に配置して、
前記第1のレーザ距離計、前記第2のレーザ距離計および前記第3のレーザ距離計の夫々のレーザ照射方向を校正する、校正方法。 A laser beam is used to optically measure a three-dimensional shape of a tapered object to be measured, which includes a tapered side surface part having a concavo-convex part formed on the surface and a measured tip part formed at the tip in the axial direction. The shape measuring device has,
A scanning-type first laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation;
A scanning type second laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation at a laser irradiation angle with respect to the axial direction different from the first laser distance meter;
A scanning type third laser distance meter that measures the position of the measured tip by laser irradiation;
It is a method of calibrating each laser irradiation direction of
Having a truncated cone shape,
A calibration tapered side surface irradiated with laser from the first laser distance meter and the second laser distance meter;
A tip end flat portion for calibration formed at the tip end portion of the tapered side surface portion for calibration and irradiated with the laser from the third laser distance meter;
With
A calibration notch and / or a calibration protrusion is formed on the calibration tapered side surface,
The calibration front end flat portion has a calibration concave portion formed in a recess in the axial direction and / or a calibration convex portion formed in a projection in the axial direction. Placed at the installation position of
A calibration method for calibrating the respective laser irradiation directions of the first laser distance meter, the second laser distance meter, and the third laser distance meter.
該第1のレーザ距離計とは異なる前記軸方向に対するレーザ照射角度でレーザ照射することで前記テーパ状被測定側面部の形状を計測する走査型の第2のレーザ距離計、
およびレーザ照射することで前記被測定先端部の位置を計測する走査型の第3のレーザ距離計、
を有し、レーザ光を用いて前記テーパ状被測定対象物の3次元形状を光学的に測定する形状測定装置と、
円錐台形状を有し、
前記第1のレーザ距離計および前記第2のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用テーパ状側面部、
および該校正用テーパ状側面部の先端部に形成され、前記第3のレーザ距離計からのレーザが照射される校正用先端平面部、
を有し、
前記校正用テーパ状側面部には、校正用切欠部および/または校正用突出部が形成されており、
前記校正用先端平面部は、軸方向に陥没形成された校正用凹部および/または軸方向に突出形成された校正用凸部を有し、前記テーパ状被測定対象物の設置位置に配置可能な校正片と、
を備える、形状測定システム。 By irradiating the laser, the tapered measurement side surface portion of the tapered measurement target object including the tapered measurement side surface portion having a concavo-convex portion formed on the surface and the measurement distal end portion formed at the axial tip is provided. A scanning type first laser distance meter for measuring a shape;
A scanning-type second laser distance meter that measures the shape of the tapered side surface to be measured by laser irradiation at a laser irradiation angle with respect to the axial direction different from the first laser distance meter;
And a scanning-type third laser distance meter that measures the position of the measured tip by laser irradiation,
A shape measuring device that optically measures the three-dimensional shape of the tapered object to be measured using a laser beam;
Having a truncated cone shape,
A calibration tapered side surface irradiated with laser from the first laser distance meter and the second laser distance meter;
And a calibration front end flat part formed at the front end of the calibration tapered side part and irradiated with the laser from the third laser distance meter,
Have
A calibration notch and / or a calibration protrusion is formed on the calibration tapered side surface,
The calibration front end flat portion has a calibration concave portion formed in a recess in the axial direction and / or a calibration convex portion formed in a projection in the axial direction, and can be disposed at an installation position of the tapered object to be measured. A calibration piece,
A shape measurement system comprising:
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