JP6607006B2 - Solder powder and method for preparing solder paste using the powder - Google Patents
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Description
本発明は、電子部品等の実装に用いられる、中心核が銀からなり、被覆層が錫からなるハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペーストの調製方法に関する。 The present invention relates to a solder powder used for mounting an electronic component or the like, in which a central core is made of silver and a coating layer is made of tin, and a method for preparing a solder paste using the powder.
従来、中心核が銀からなり、被覆層が錫からなる、平均粒径が５μｍ以下のハンダ粉末が開示されている（例えば、特許文献１参照。）。このハンダ粉末は、環境の面から鉛フリーであって、微細であるため、印刷性に優れる。また中心核を構成する金属元素を銀とすることにより、リフロー時に被覆層のみならず中心核が溶融してＡｇ−Ｓｎ合金を形成するため、形成されるＡｇ−Ｓｎ合金により、ハンダの機械的強度が向上する。 Conventionally, a solder powder having an average particle size of 5 μm or less and having a central core made of silver and a coating layer made of tin has been disclosed (for example, see Patent Document 1). This solder powder is excellent in printability because it is lead-free and fine from the environmental point of view. In addition, when the metal element constituting the central core is silver, not only the coating layer but also the central core melts to form an Ag—Sn alloy at the time of reflow. Strength is improved.
しかしながら、特許文献１に記載された中心核が銀からなり、被覆層が錫からなるハンダ粉末は、ハンダ粉末を製造後、長期間保管すると、銀の錫への拡散係数が大きいため、中心核の銀が被覆層の錫に拡散し、中心核と被覆層の間にＡｇ３Ｓｎ及び／又はＡｇ４Ｓｎの融点の高い金属間化合物層を形成するか、又は中心核のすべての銀が被覆層の錫中に拡散し被覆層全体又は被覆層の一部が銀と錫との金属間化合物となるおそれがあった。被覆層全体又は被覆層の一部がこの種の金属間化合物層を形成したハンダ粉末は、上記金属間化合物を有しないハンダ粉末と比較して凝固開始温度が上昇する。このため、長期間保管したハンダ粉末と、保管前又は保管期間の短いハンダ粉末とは、上記金属間化合物の有無の違い又は上記金属間化合物の形成量の違いにより、凝固開始温度に差異を生じ、長期間保管したハンダ粉末を、保管前又は保管期間の短いハンダ粉末が溶融する温度で、リフローさせた場合、リフロー時の溶融ムラや溶融性不良による接合不良を生じることがあった。 However, the solder powder in which the central core described in Patent Document 1 is made of silver and the coating layer is made of tin has a large diffusion coefficient of silver into tin when it is stored for a long time after the solder powder is manufactured. Of silver diffuses into the tin of the coating layer and forms an intermetallic compound layer with a high melting point of Ag 3 Sn and / or Ag 4 Sn between the central core and the coating layer, or all the silver of the central core covers There was a possibility that the entire coating layer or a part of the coating layer would be an intermetallic compound of silver and tin by diffusing into the tin of the layer. The solder powder in which the entire coating layer or a part of the coating layer forms this type of intermetallic compound layer has a higher solidification start temperature than the solder powder that does not have the intermetallic compound. For this reason, there is a difference in the solidification start temperature between the solder powder stored for a long time and the solder powder before storage or for a short storage period due to the presence or absence of the intermetallic compound or the difference in the amount of the intermetallic compound formed. When solder powder stored for a long period of time is reflowed at a temperature at which the solder powder with short storage period or before storage is melted, poor bonding may occur due to uneven melting or poor meltability during reflow.
本発明の第１の目的は、粉末保管時に中心核の銀の被覆層への拡散やこの被覆層の錫の中心核への拡散が抑制されたハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペーストを提供することにある。また本発明の第２の目的は、長期間保管したハンダ粉末を、保管前又は保管期間の短いハンダ粉末が溶融する温度で、リフローさせても、ハンダが十分に溶融しないことに起因した接合不良を生じないハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペーストを提供することにある。また本発明の第３の目的は、リフロー後、再溶融及び接合強度の低下が起こりにくく、特に高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に好適なハンダ粉末及びこの粉末を用いたハンダ用ペーストの調製方法を提供することにある。 A first object of the present invention is to provide a solder powder in which diffusion of the central core into the silver coating layer and diffusion of tin into the central core of the coating layer is suppressed during powder storage, and a solder paste using this powder. It is to provide. In addition, the second object of the present invention is a poor bonding caused by the fact that the solder does not melt sufficiently even if the solder powder stored for a long period of time is reflowed at a temperature at which the solder powder with a short storage period is melted. It is an object of the present invention to provide a solder powder that does not cause soldering and a solder paste using this powder. A third object of the present invention is that solder powder suitable for mounting electronic parts exposed to a high temperature atmosphere and solder paste using this powder are unlikely to be remelted and reduced in bonding strength after reflow. It is to provide a preparation method.
本発明者が鋭意研究を重ねた結果、ニッケル中での銀及び錫の拡散係数は非常に小さいことから、ニッケルを銀の中心核と錫の被覆層の間に拡散防止層として介装させれば、銀の錫への拡散は勿論、錫の銀への拡散も防止できることを見い出し、本発明に到達した。 As a result of extensive research by the present inventors, the diffusion coefficient of silver and tin in nickel is very small, so that nickel can be interposed between the silver core and the tin coating layer as a diffusion prevention layer. For example, it was found that diffusion of silver into tin as well as diffusion of tin into silver could be prevented, and the present invention was achieved.
本発明の第１の観点は、図１に示すように、銀からなる中心核１１と中心核１１を被覆する錫からなる被覆層１２で構成され、中心核１１と被覆層１２の間にはニッケルからなる拡散防止層１３が形成されたハンダ粉末１０であることを特徴とする。ハンダ粉末１０の平均粒径は１μｍ以上３０μｍ以下であり、ハンダ粉末１０の全体量１００質量％に対し、銀の含有割合が１０質量％以上８１質量％以下である。
As shown in FIG. 1, the first aspect of the present invention is composed of a
本発明の第２の観点は、第１の観点に基づく発明であって、ニッケルからなる拡散防止層の厚さが前記中心核の半径を１とするときに０．０４以上０．５０以下の比率であることを特徴とする。 A second aspect of the present invention is the invention based on the first aspect, wherein the thickness of the diffusion prevention layer made of nickel is 0.04 or more and 0.50 or less when the radius of the central core is 1. It is a ratio.
本発明の第３の観点は、第１又は第２の観点のハンダ粉末とハンダ用フラックスを混合してペースト化することによりハンダ用ペーストを調製する方法である。 A third aspect of the present invention is a method for preparing a solder paste by mixing the solder powder of the first or second aspect and a solder flux into a paste.
本発明の第４の観点は、第３の観点の方法により調製されたハンダ用ペーストを用いて電子部品を実装する方法である。 A fourth aspect of the present invention is a method for mounting an electronic component using the solder paste prepared by the method of the third aspect.
本発明の第１の観点のハンダ粉末は、中心核と中心核を被覆する被覆層で構成され、中心核が銀からなり、被覆層が錫からなるハンダ粉末において、中心核と被覆層の間にニッケルからなる拡散防止層が形成され、ハンダ粉末の平均粒径が１μｍ以上３０μｍ以下であり、ハンダ粉末の全体量１００質量％に対し、銀の含有割合が１０質量％以上８１質量％以下である。このように、本発明のハンダ粉末では、銀の中心核と錫の被覆層の間にニッケルからなる拡散防止層が介装されるので、中心核の銀が被覆層の錫に拡散することは勿論、被覆層の錫が中心核の銀に拡散することを防止できる。この結果、長期間保管したハンダ粉末を、保管前又は保管期間の短いハンダ粉末が溶融する温度で、リフローさせても、ハンダが十分に溶融しないことに起因した接合不良を生じることがない優れた効果を奏する。また、リフロー後は、Ａｇ３Ｓｎ、Ａｇ４Ｓｎ、Ｎｉ３Ｓｎ４、Ｎｉ３Ｓｎ２、Ｎｉ３Ｓｎ、ＮｉＳｎ３等の融点の高い金属間化合物及び銀からなる接合層が形成されるため、リフロー後、再溶融及び接合強度の低下が起こりにくく、特に高温雰囲気に晒される電子部品等に好適に実装される。 The solder powder according to the first aspect of the present invention is composed of a central core and a coating layer covering the central core, wherein the central core is made of silver and the coating layer is made of tin. A diffusion preventing layer made of nickel is formed, the average particle size of the solder powder is 1 μm or more and 30 μm or less, and the silver content is 10% by mass or more and 81% by mass or less with respect to 100% by mass of the total amount of the solder powder. is there. Thus, in the solder powder of the present invention, since the diffusion prevention layer made of nickel is interposed between the silver central core and the tin coating layer, the central core silver is not diffused into the tin of the coating layer. Of course, it is possible to prevent the tin of the coating layer from diffusing into the central core silver. As a result, even if the solder powder stored for a long time is reflowed at a temperature at which the solder powder having a short storage period or before storage is melted, it does not cause poor bonding due to insufficient solder melting. There is an effect. Further, after reflow, a bonding layer made of silver and a high melting point intermetallic compound such as Ag 3 Sn, Ag 4 Sn, Ni 3 Sn 4 , Ni 3 Sn 2 , Ni 3 Sn, NiSn 3 is formed. After reflow, remelting and reduction in bonding strength are unlikely to occur, and particularly suitable for electronic parts exposed to a high temperature atmosphere.
本発明の第２の観点のハンダ粉末は、ニッケルからなる拡散防止層の厚さが前記中心核の半径を１とするときに０．０４以上０．５０以下の比率であるため、中心核が銀からなり、被覆層が錫を含むハンダ粉末のハンダ特性を大幅に変えることなく、粉末保管時に中心核の銀の被覆層の錫への拡散及び被覆層の錫の中心核の銀への拡散を防止することができる。 In the solder powder according to the second aspect of the present invention, the thickness of the diffusion prevention layer made of nickel is a ratio of 0.04 or more and 0.50 or less when the radius of the central core is 1, so that the central core has Diffusion of the core core silver into the tin coating core and diffusion of the tin core core into silver during powder storage without significantly changing the solder properties of the solder powder comprising silver and the coating layer containing tin Can be prevented.
本発明の第３の観点の方法により調製されたハンダ用ペーストは、上記本発明のハンダ粉末を用いて得られる。そのため、このハンダ用ペーストは、リフロー時の溶融が速く、溶融性に優れる。 The solder paste prepared by the method of the third aspect of the present invention is obtained using the solder powder of the present invention. Therefore, this solder paste is rapidly melted during reflow and has excellent meltability.
本発明の第４の観点の電子部品を実装する方法では、上記本発明のハンダ用ペーストを用いるため、リフロー時にはハンダ用ペーストの溶融の速さ、優れた溶融性により、簡便に、かつ高い精度で電子部品を実装することができる。この電子部品を実装した接合体は、リフロー時に被覆層のみならず中心核が溶融してＡｇ−Ｓｎ合金又はＳｎ−Ｎｉ−Ａｇ合金を形成するため、形成されるＡｇ−Ｓｎ合金又はＳｎ−Ｎｉ−Ａｇ合金により、ハンダ接合後に高温雰囲気に晒されても、再溶融及び接合強度の低下が起こりにくい。 In the method of mounting the electronic component according to the fourth aspect of the present invention, the solder paste of the present invention is used. Therefore, during reflow, the melting speed of the solder paste and the excellent meltability make it easy and highly accurate. It is possible to mount electronic components. In the joined body on which the electronic component is mounted, not only the coating layer but also the central core melts to form an Ag—Sn alloy or Sn—Ni—Ag alloy at the time of reflow, so that the formed Ag—Sn alloy or Sn—Ni is formed. -Ag alloy prevents remelting and reduction in bonding strength even when exposed to a high temperature atmosphere after soldering.
次に本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。 Next, an embodiment for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
〔ハンダ粉末〕
本実施形態のハンダ粉末は、図１に示すように、中心核１１と中心核１１を被覆する被覆層１２で構成され、中心核１１が銀からなり、被覆層１２が錫からなり、かつ中心核と被覆層の間にニッケルからなる拡散防止層１３を有する。本実施形態のハンダ粉末は、このように、銀からなる中心核が、融点の低い錫からなる被覆層で被覆された構造になっているため、リフロー時の溶融性に優れる。また、粉末を構成する一つの金属粒子内において、銀と錫が含まれるため、リフロー時の溶融ムラや組成ズレが起こりにくく、高い接合強度が得られる。更に、ハンダ粉末が中心核と被覆層の間にニッケルからなる拡散防止層を有するため、銀の錫への拡散及び錫の銀への拡散を防止することができる。更に、リフロー後は、Ａｇ３Ｓｎ、Ａｇ４Ｓｎ、Ｎｉ３Ｓｎ４、Ｎｉ３Ｓｎ２、Ｎｉ３Ｓｎ、ＮｉＳｎ３等の融点の高い金属間化合物及び銀からなる接合層が形成されるため、リフロー後、再溶融及び接合強度の低下が起こりにくく、特に高温雰囲気に晒される電子部品等に好適に実装される。
[Solder powder]
As shown in FIG. 1, the solder powder of this embodiment is composed of a
ニッケルからなる拡散防止層１３は、その厚さが中心核の半径を１とするときに０．０４以上０．５０以下の比率であることが好ましく、０．０５以上０．２０以下の比率であることが更に好ましい。０．０４未満では銀又は錫の拡散を防止することが困難であり、０．５０を超えるとハンダ粉末の溶融性が低下し易い。
The thickness of the
本実施形態のハンダ粉末１０は、平均粒径が１μｍ以上３０μｍ以下である。ハンダ粉末の平均粒径を１μｍ以上３０μｍ以下に限定したのは、３０μｍを越えるとバンプを形成する場合においてバンプのコプラナリティが低下するという不具合を生じ、また、パターン表面をハンダでコートする場合に塗布ムラが生じ、パターン全面を均一にコートできないという不具合を生じるからである。なお、１μｍ未満になると、比表面積が高くなり、粉末の表面酸化層の影響によりハンダの溶融性が低下する。ハンダ粉末の平均粒径は２〜２０μｍの範囲とするのが好ましい。なお、本明細書において、粉末の平均粒径とは、レーザー回折散乱法を用いた粒度分布測定装置（堀場製作所社製、レーザー回折／散乱式粒子径分布測定装置ＬＡ−９５０）にて測定した体積累積中位径(Ｍｅｄｉａｎ径、Ｄ５０)をいう。
The
また、本実施形態のハンダ粉末１０は、粉末の全体量１００質量％に対し、銀の含有割合が１０質量％以上８１質量％以下である。従来のハンダ粉末では、Ｓｎ−Ｐｂ系共晶ハンダ（組成比 Ｓｎ：Ｐｂ＝６３：３７質量％）の代替として使用されるため、融点が近く、共晶組成が求められるという理由から、銀の割合を１．０〜３．５質量％程度と、比較的少なめに含有させている。一方、本実施形態のハンダ粉末では、これより多めの上記範囲で含ませることにより、リフロー後に、８８０〜６００℃程度の高い凝固開始温度を有するＳｎ−Ａｇ合金又は８００〜４５０℃程度の高い凝固開始温度を有するＳｎ−Ｎｉ−Ａｇ合金を形成する。なお、銀の含有割合が少なくても、リフロー後は、錫よりも凝固開始温度の高いＳｎ−Ａｇ合金又はＳｎ−Ｎｉ−Ａｇ合金を形成するが、銀をより多く含有させることで、凝固開始温度が更に上昇するのは、合金中に高い融点を有する金属間化合物の比率がより一層高くなるという理由からである。これにより、このハンダ粉末を含むハンダ用ペーストのリフローによって形成されるハンダバンプでは、耐熱性が大幅に向上し、再溶融及び接合強度の低下を防止することができる。このため、特に高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に用いられる高温ハンダとして好適に用いることができる。銀の含有割合が１０質量％未満では、凝固開始温度が低くなることから、リフロー後に形成されるハンダバンプにおいて十分な耐熱性が得られず、高温雰囲気での使用の際に再溶融が起こり、高温ハンダとして用いることができない。一方、８１質量％を越えると凝固開始温度が高くなりすぎて、ハンダが十分に溶融しないため、接合不良が発生するという不具合が生じる。このうち、粉末の全体量１００質量％に占める銀の含有割合は、１０質量％以上５１質量％以下とするのが好ましい。
Further, in the
また、ハンダ粉末中のニッケルの含有割合は、ハンダ粉末の全体量１００質量％に対して１質量％以上１５質量％未満、好ましくは２質量％以上１０質量％以下である。この含有割合に応じて、前述したニッケルからなる拡散防止層の厚さが決められる。ニッケルの含有割合が１質量％未満では銀又は錫の拡散を防止することが困難であり、１５質量％以上では、ハンダ粉末の溶融性が低下するという不具合を生じる。 Further, the content ratio of nickel in the solder powder is 1% by mass or more and less than 15% by mass, preferably 2% by mass or more and 10% by mass or less with respect to 100% by mass of the total amount of the solder powder. According to this content ratio, the thickness of the diffusion preventing layer made of nickel is determined. If the nickel content is less than 1% by mass, it is difficult to prevent silver or tin from being diffused, and if it is 15% by mass or more, the meltability of the solder powder decreases.
更に、ハンダ粉末中の錫の含有割合は、粉末中の上記銀及びニッケル以外の残部、即ちハンダ粉末の全体量１００質量％に対して１０質量％以上８０質量％未満、好ましくは１５質量％以上７０質量％以下である。錫の含有割合が１０質量％未満では、リフロー時においてハンダ粉末に必要とされる低融点を示さないからである。また、８０質量％以上では、結果的に銀の含有割合が少なくなり、リフロー後に形成されるハンダバンプの耐熱性が低下する。即ち、高温雰囲気に実装後のハンダが晒されると実装後のハンダが再溶融するか、又はハンダの一部において液相が生じて、基板等との接合強度が低下するおそれがある。 Furthermore, the content ratio of tin in the solder powder is 10% by mass or more and less than 80% by mass, preferably 15% by mass or more with respect to the balance other than the silver and nickel in the powder, that is, 100% by mass of the total amount of the solder powder. 70% by mass or less. This is because if the tin content is less than 10% by mass, the low melting point required for the solder powder is not exhibited during reflow. On the other hand, when the content is 80% by mass or more, the silver content decreases as a result, and the heat resistance of the solder bump formed after reflowing is lowered. That is, when the solder after mounting is exposed to a high temperature atmosphere, the solder after mounting may be remelted or a liquid phase may be generated in a part of the solder, which may reduce the bonding strength with the substrate or the like.
〔ハンダ粉末の製造方法〕
続いて、ハンダ粉末中の銀の含有割合に応じた本実施形態のハンダ粉末の製造方法について説明する。
[Method for producing solder powder]
Then, the manufacturing method of the solder powder of this embodiment according to the content rate of silver in solder powder is demonstrated.
先ず、銀粉末と分散剤を溶媒に添加混合して銀粉末の分散液を調製し、これに上記ニッケルを含む化合物を添加混合しこの化合物が溶解した溶解液を調製する。溶解液中における銀粉末及びニッケル化合物の割合は、ハンダ粉末製造後に、各金属元素の含有割合が上記範囲になるように調整する。 First, silver powder and a dispersant are added and mixed in a solvent to prepare a silver powder dispersion, and a compound containing nickel is added and mixed to prepare a solution in which the compound is dissolved. The ratio of the silver powder and the nickel compound in the solution is adjusted so that the content ratio of each metal element is within the above range after the solder powder is manufactured.
溶媒としては、水、アルコール、エーテル、ケトン、エステル等が挙げられる。また、分散剤としては、セルロース系、ビニル系、多価アルコール等が挙げられ、その他にゼラチン、カゼイン等を用いることができる。なお、溶媒に上記金属化合物をそれぞれ添加して溶解させた後、錯化剤を加えて、各金属元素を錯体化した後に、分散剤を添加してもよい。錯化剤を加えることでｐＨが酸性からアルカリ側の広い範囲にわたり、金属イオンが沈殿せず、広いｐＨの範囲での合成が可能となる。錯化剤としては、コハク酸、酒石酸、グリコール酸、乳酸、フタル酸、リンゴ酸、クエン酸、シュウ酸、エチレンジアミン四酢酸、イミノ二酢酸、ニトリロ三酢酸又はその塩等が挙げられる。 Examples of the solvent include water, alcohol, ether, ketone, ester and the like. Examples of the dispersant include cellulose-based, vinyl-based, and polyhydric alcohols. In addition, gelatin, casein, and the like can be used. In addition, after adding each said metal compound to a solvent and making it melt | dissolve, after adding a complexing agent and complexing each metal element, you may add a dispersing agent. By adding the complexing agent, the metal ion does not precipitate over a wide range of pH from acidic to alkaline, and synthesis in a wide pH range is possible. Examples of the complexing agent include succinic acid, tartaric acid, glycolic acid, lactic acid, phthalic acid, malic acid, citric acid, oxalic acid, ethylenediaminetetraacetic acid, iminodiacetic acid, nitrilotriacetic acid, and salts thereof.
次いで、還元剤を溶解した水溶液を調製し、この水溶液のｐＨを、上記調製した溶解液と同程度に調整する。還元剤としては、ホスフィン酸ナトリウム等のリン酸系化合物、テトラヒドロホウ酸ナトリウム、ジメチルアミンボラン等のホウ素水素化物、ヒドラジン等の窒素化合物、三価のチタンイオンや２価のクロムイオン等の金属イオン等が挙げられる。 Next, an aqueous solution in which the reducing agent is dissolved is prepared, and the pH of the aqueous solution is adjusted to the same level as that of the prepared solution. Reducing agents include phosphoric acid compounds such as sodium phosphinate, boron hydrides such as sodium tetrahydroborate and dimethylamine borane, nitrogen compounds such as hydrazine, metal ions such as trivalent titanium ions and divalent chromium ions. Etc.
次に、上記溶解液に還元剤水溶液を添加して混合することにより、溶解液中の銀イオン、ニッケルイオンが還元され、液中に金属粉末が分散した分散液が得られる。この還元反応では、上記銀を含む化合物、ニッケルを含む化合物が溶解する溶解液を用いているので、先ず、ニッケルよりも貴な銀が還元され、続いてニッケルが還元される。溶解液と還元剤水溶液を混合する方法としては、容器内の溶解液に所定の添加速度で還元剤水溶液を滴下し、スターラ等で攪拌する方法や、所定の径を有する反応チューブを用い、この反応チューブ内に両液を所定の流量で注ぎ込み、混合させる方法等が挙げられる。 Next, a reducing agent aqueous solution is added to the solution and mixed, whereby silver ions and nickel ions in the solution are reduced, and a dispersion in which metal powder is dispersed in the solution is obtained. In this reduction reaction, since a solution in which the compound containing silver and the compound containing nickel are dissolved is used, first, silver nobler than nickel is reduced, and then nickel is reduced. As a method of mixing the dissolving solution and the reducing agent aqueous solution, the reducing agent aqueous solution is dropped into the dissolving solution in the container at a predetermined addition rate and stirred with a stirrer or a reaction tube having a predetermined diameter. Examples include a method of pouring both solutions into a reaction tube at a predetermined flow rate and mixing them.
次に、この分散液を、デカンテーション等によって固液分離し、回収した固形分を水又はｐＨを調整した水溶液、或いはメタノール、エタノール、アセトン等で洗浄する。洗浄後は、再度固液分離して固形分を回収する。洗浄から固液分離までの工程を、好ましくは２〜５回繰り返す。回収した固形分を真空乾燥させることにより、銀からなる中心核と、この中心核を被覆するニッケル層で構成されたＡｇ核Ｎｉ層付きの金属粉末を形成する。 Next, this dispersion is subjected to solid-liquid separation by decantation or the like, and the collected solid content is washed with water or an aqueous solution adjusted in pH, or methanol, ethanol, acetone or the like. After washing, the solid content is recovered by solid-liquid separation again. The steps from washing to solid-liquid separation are preferably repeated 2 to 5 times. The collected solid content is vacuum-dried to form a metal powder with an Ag nucleus Ni layer composed of a central core made of silver and a nickel layer covering the central core.
出発原料の銀粉末は、０．１μｍ以上２７μｍ以下の平均粒径を有することが好ましい。この下限値未満では、ハンダ粉末の平均粒径が１μｍ未満になり易く、上述した不具合を生じ、またハンダ粉末を構成する銀の含有量１０質量％以上にすることが困難になる。また上限値を超えると、ハンダ粉末の平均粒径が３０μｍを超え易くなり、上述した不具合を生じる。銀粉末の平均粒径は２〜２０μｍであることが更に好ましい。この銀粉末は、還元反応による化学的手法で得られる他、アトマイズ法のような物理的手法によって得られる。
The silver powder as a starting material preferably has an average particle size of 0.1 μm or more and 27 μm or less. Below this lower limit, the average particle size of the solder powder tends to be less than 1 μm, causing the above-mentioned problems, and it becomes difficult to make the content of silver constituting the
次に、上記溶解液に上述した還元剤水溶液と同じ還元剤水溶液を添加して混合することにより、溶解液中のニッケルイオンが還元され、液中に金属粉末が分散した分散液が得られる。この分散液を、上述した方法と同じ方法で固液分離し、回収した固形分を上述した方法と同じ方法で洗浄し真空乾燥させることにより、銀からなる中心核と、この中心核を被覆するニッケル層で構成されたＡｇ核Ｎｉ層付きの金属粉末を形成する。 Next, the same reducing agent aqueous solution as the above-described reducing agent aqueous solution is added to and mixed with the dissolving solution, whereby nickel ions in the dissolving solution are reduced and a dispersion in which metal powder is dispersed in the solution is obtained. This dispersion is subjected to solid-liquid separation by the same method as described above, and the collected solid content is washed by the same method as described above and vacuum dried to coat the central core made of silver and the central core. A metal powder with an Ag core Ni layer composed of a nickel layer is formed.
続いて、上述した方法で得られたＡｇ核Ｎｉ層付きの金属粉末と分散剤を溶媒に添加混合してＡｇ核Ｎｉ層付きの金属粉末の分散液を調製し、これに錫を含む化合物を添加混合してＡｇ核Ｎｉ層付きの金属粉末が分解した錫イオンを含む溶解液を得る。錫化合物としては、塩化錫(II)、硫酸錫(II)、酢酸錫(II)、シュウ酸錫(II)等が挙げられる。錫を含む化合物の添加割合は、ハンダ粉末製造後に、各金属元素の含有割合が上記範囲になるように調整する。分散媒及び溶媒には、上述した分散媒及び溶媒が用いられる。 Subsequently, a metal powder with an Ag nucleus Ni layer obtained by the above-described method and a dispersant are added to a solvent to prepare a dispersion of the metal powder with an Ag nucleus Ni layer, and a compound containing tin is added thereto. Addition and mixing are performed to obtain a solution containing tin ions in which the metal powder with the Ag core Ni layer is decomposed. Examples of tin compounds include tin (II) chloride, tin (II) sulfate, tin (II) acetate, and tin (II) oxalate. The addition ratio of the compound containing tin is adjusted so that the content ratio of each metal element is within the above range after the solder powder is manufactured. As the dispersion medium and the solvent, the above-described dispersion medium and solvent are used.
更に続いて、上記錫イオンを含む溶解液に上述した還元剤と同じ還元剤を溶解した還元剤水溶液を上述した方法と同じ方法で添加混合することにより、溶解液中の錫イオンが還元され、液中にＡｇ核Ｎｉ層付きの金属粉末の表面に錫層が形成された粉末が分散した分散液を得る。この分散液を、上述した方法と同じ方法で洗浄する。洗浄後は、再度固液分離して固形分を回収する。洗浄から固液分離までの工程を、好ましくは２〜５回繰り返す。回収した固形分を真空乾燥させることにより、Ａｇ核Ｎｉ層付きの金属粉末を錫が被覆したハンダ粉末が得られる。 Furthermore, by adding and mixing the reducing agent aqueous solution in which the same reducing agent as the above-described reducing agent is dissolved in the solution containing tin ions in the same manner as described above, the tin ions in the solution are reduced, A dispersion is obtained in which a powder having a tin layer formed on the surface of a metal powder with an Ag core Ni layer is dispersed in the liquid. This dispersion is washed in the same manner as described above. After washing, the solid content is recovered by solid-liquid separation again. The steps from washing to solid-liquid separation are preferably repeated 2 to 5 times. The collected solid is vacuum dried to obtain a solder powder in which a metal powder with an Ag core Ni layer is coated with tin.
〔ハンダ用ペースト及びその調製方法〕
以上の工程により、得られた本実施形態のハンダ粉末は、ハンダ用フラックスと混合してペースト化して得られるハンダ用ペーストの材料として好適に用いられる。ハンダ用ペーストの調製は、ハンダ粉末とハンダ用フラックスとを所定の割合で混合してペースト化することにより行われる。ハンダ用ペーストの調製に用いられるハンダ用フラックスは、特に限定されないが、溶剤、ロジン、チキソ剤及び活性剤等の各成分を混合して調製されたフラックスを用いることができる。
[Solder paste and its preparation method]
The solder powder of the present embodiment obtained by the above steps is suitably used as a material for a solder paste obtained by mixing with a solder flux to form a paste. The solder paste is prepared by mixing solder powder and solder flux at a predetermined ratio to form a paste. The solder flux used for the preparation of the solder paste is not particularly limited, but a flux prepared by mixing components such as a solvent, rosin, thixotropic agent and activator can be used.
上記ハンダ用フラックスの調製に好適な溶剤としては、ジエチレングリコールモノヘキシルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、テトラエチレングリコール、２−エチル−１，３−ヘキサンジオール、α−テルピネオール等の沸点が１８０℃以上である有機溶剤が挙げられる。また、ロジンとしては、ガムロジン、水添ロジン、重合ロジン、エステルロジン等が挙げられる。 Suitable solvents for preparing the solder flux include diethylene glycol monohexyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, diethylene glycol monobutyl ether acetate, tetraethylene glycol, 2-ethyl-1,3-hexanediol, α-terpineol and the like having a boiling point of 180. An organic solvent having a temperature of not lower than ° C. can be mentioned. Examples of the rosin include gum rosin, hydrogenated rosin, polymerized rosin, and ester rosin.
また、チキソ剤としては、硬化ひまし油、脂肪酸アマイド、天然油脂、合成油脂、Ｎ，Ｎ’−エチレンビス−１２−ヒドロキシステアリルアミド、１２−ヒドロキシステアリン酸、１，２，３，４−ジベンジリデン−Ｄ−ソルビトール及びその誘導体等が挙げられる。 Further, as the thixotropic agent, hardened castor oil, fatty acid amide, natural fats and oils, synthetic fats and oils, N, N′-ethylenebis-12-hydroxystearylamide, 12-hydroxystearic acid, 1,2,3,4-dibenzylidene- Examples include D-sorbitol and its derivatives.
また、活性剤としては、ハロゲン化水素酸アミン塩が好ましく、具体的には、トリエタノールアミン、ジフェニルグアニジン、エタノールアミン、ブチルアミン、アミノプロパノール、ポリオキシエチレンオレイルアミン、ポリオキシエチレンラウレルアミン、ポリオキシエチレンステアリルアミン、ジエチルアミン、トリエチルアミン、メトキシプロピルアミン、ジメチルアミノプロピルアミン、ジブチルアミノプロピルアミン、エチルヘキシルアミン、エトキシプロピルアミン、エチルヘキシルオキシプロピルアミン、ビスプロピルアミン、イソプロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ピペリジン、２，６−ジメチルピペリジン、アニリン、メチルアミン、エチルアミン、ブチルアミン、３−アミノ−１−プロペン、イソプロピルアミン、ジメチルヘキシルアミン、シクロヘキシルアミン等のアミンの塩化水素酸塩又は臭化水素酸塩が挙げられる。 The activator is preferably a hydrohalic acid amine salt, specifically, triethanolamine, diphenylguanidine, ethanolamine, butylamine, aminopropanol, polyoxyethylene oleylamine, polyoxyethylene laurelamine, polyoxyethylene. Stearylamine, diethylamine, triethylamine, methoxypropylamine, dimethylaminopropylamine, dibutylaminopropylamine, ethylhexylamine, ethoxypropylamine, ethylhexyloxypropylamine, bispropylamine, isopropylamine, diisopropylamine, piperidine, 2,6-dimethyl Piperidine, aniline, methylamine, ethylamine, butylamine, 3-amino-1-propene, isopropylamine , Dimethyl hexyl amines, hydrochloric acid salt or hydrobromide of an amine such as cyclohexylamine.
ハンダ用フラックスは、上記各成分を所定の割合で混合することにより得られる。フラックス全体量１００質量％中に占める溶剤の割合は３０〜６０質量％、チキソ剤の割合は１〜１０質量％、活性剤の割合は０．１〜１０質量％とするのが好ましい。溶剤の割合が下限値未満では、フラックスの粘度が高くなりすぎるため、これを用いたハンダ用ペーストの粘度も応じて高くなり、ハンダの充填性低下や塗布ムラが多発する等、印刷性が低下する不具合を生じる場合がある。一方、上限値を越えるとフラックスの粘度が低くなりすぎるため、これを用いたハンダ用ペーストの粘度も応じて低くなることから、ハンダ粉末とフラックス成分が沈降分離する不具合を生じる場合がある。また、チキソ剤の割合が下限値未満では、ハンダ用ペーストの粘度が低くなりすぎるため、ハンダ粉末とフラックス成分が沈降分離するという不具合を生じる場合がある。一方、上限値を越えるとハンダ用ペーストの粘度が高くなりすぎるため、ハンダ充填性や塗布ムラ等の印刷性低下という不具合を生じる場合がある。 The soldering flux can be obtained by mixing the above components at a predetermined ratio. It is preferable that the ratio of the solvent in the total amount of flux of 100% by mass is 30 to 60% by mass, the ratio of the thixotropic agent is 1 to 10% by mass, and the ratio of the activator is 0.1 to 10% by mass. If the solvent ratio is less than the lower limit, the viscosity of the flux will be too high, so the viscosity of the solder paste using this will also increase accordingly, resulting in poor printability, such as poor solder filling and uneven coating. May cause malfunctions. On the other hand, when the upper limit is exceeded, the viscosity of the flux becomes too low, and the viscosity of the solder paste using the flux also decreases accordingly, which may cause a problem that the solder powder and the flux component settle and separate. In addition, when the ratio of the thixotropic agent is less than the lower limit, the viscosity of the solder paste becomes too low, which may cause a problem that the solder powder and the flux component are settled and separated. On the other hand, when the upper limit is exceeded, the viscosity of the solder paste becomes too high, which may cause problems such as poor solderability and poor printability such as coating unevenness.
また、活性剤の割合が下限値未満では、ハンダ粉末が溶融せず、十分な接合強度が得られないという不具合を生じる場合があり、一方、上限値を越えると保管中に活性剤がハンダ粉末と反応し易くなるため、ハンダ用ペーストの保存安定性が低下するという不具合を生じる場合がある。この他、ハンダ用フラックスには、粘度安定剤を添加しても良い。粘度安定剤としては、溶剤に溶解可能なポリフェノール類、リン酸系化合物、硫黄系化合物、トコフェノール、トコフェノールの誘導体、アルコルビン酸、アルコルビン酸の誘導体等が挙げられる。粘度安定剤は、多すぎるとハンダ粉末の溶融性が低下する等の不具合が生じる場合があるため、１０質量％以下とするのが好ましい。 In addition, if the ratio of the activator is less than the lower limit value, the solder powder may not be melted and a sufficient bonding strength may not be obtained. May cause a problem that the storage stability of the solder paste decreases. In addition, a viscosity stabilizer may be added to the solder flux. Examples of the viscosity stabilizer include polyphenols that can be dissolved in a solvent, phosphoric acid compounds, sulfur compounds, tocophenols, tocophenol derivatives, ascorbic acid, and ascorbic acid derivatives. If there are too many viscosity stabilizers, problems such as a decrease in the meltability of the solder powder may occur.
ハンダ用ペーストを調製する際のハンダ用フラックスの混合量は、調製後のペースト１００質量％中に占める該フラックスの割合が５〜３０質量％になる量にするのが好ましい。下限値未満ではフラックス不足でペースト化が困難になり、一方、上限値を越えるとペースト中のフラックスの含有割合が多すぎて金属の含有割合が少なくなってしまい、ハンダ溶融時に所望のサイズのハンダバンプを得るのが困難になるからである。 The amount of solder flux mixed when preparing the solder paste is preferably such that the proportion of the flux in 100% by mass of the prepared paste is 5 to 30% by mass. If it is less than the lower limit, it becomes difficult to form a paste due to insufficient flux, while if it exceeds the upper limit, the content of the flux in the paste is too high and the content of metal is reduced, and solder bumps of the desired size when melting the solder This is because it becomes difficult to obtain.
このハンダ用ペーストは、上記本発明のハンダ粉末を材料としているため、リフロー時の溶融が速く、溶融性に優れる一方、リフロー後は、溶融するハンダ粉末が融点の高い金属間化合物を形成し、耐熱性が上昇するため、熱による再溶融が起こりにくい。このため、本発明のハンダ用ペーストは、特に高温雰囲気に晒される電子部品等の実装に好適に用いることができる。 Since this solder paste is made of the above-described solder powder of the present invention, melting at the time of reflow is fast and excellent in meltability, and after reflow, the melting solder powder forms an intermetallic compound having a high melting point, Since heat resistance increases, remelting due to heat hardly occurs. For this reason, the solder paste of the present invention can be suitably used for mounting electronic parts and the like exposed to a high temperature atmosphere.
〔ハンダ用ペーストを用いた電子部品の実装方法と接合体〕
上述した方法で調製されたハンダ用ペーストを用いてシリコンチップ、ＬＥＤチップ等の電子部品を各種放熱基板、ＦＲ４(Flame Retardant Type 4)基板、コバール等の基板に実装するには、ピン転写法にて上記基板の所定位置にハンダ用ペーストを転写するか、又は印刷法により所定位置にハンダ用ペーストを印刷する。次いで、転写又は印刷されたペースト上に電子部品であるチップ素子を搭載する。この状態で、リフロー炉にて窒素雰囲気中、２５０〜４００℃の温度で、５〜１２０分間保持して、ハンダ粉末をリフローする。場合によっては、チップと基板とを加圧しながら接合してもよい。これにより、チップ素子と基板とを接合させて接合体を得て、電子部品を基板に実装する。
[Electronic component mounting method and joint using solder paste]
To mount electronic parts such as silicon chips and LED chips on various heat dissipation boards, FR4 (Flame Retardant Type 4) boards, and Kovar boards using the solder paste prepared by the method described above, the pin transfer method is used. Then, the solder paste is transferred to a predetermined position of the substrate, or the solder paste is printed at a predetermined position by a printing method. Next, a chip element which is an electronic component is mounted on the transferred or printed paste. In this state, the solder powder is reflowed by holding in a reflow furnace in a nitrogen atmosphere at a temperature of 250 to 400 ° C. for 5 to 120 minutes. In some cases, the chip and the substrate may be joined while being pressed. Thus, the chip element and the substrate are bonded to obtain a bonded body, and the electronic component is mounted on the substrate.
次に本発明の実施例を比較例とともに詳しく説明する。 Next, examples of the present invention will be described in detail together with comparative examples.
＜実施例１＞
先ず、水５０ｍＬに硫酸ニッケル(II)を４．９２×１０−３ｍｏｌ、ホスフィン酸ナトリウムを１．１×１０−３ｍｏｌ、クエン酸ナトリウムを３．８８×１０−４ｍｏｌを加え、スターラを用いて回転速度３００ｒｐｍにて５分間攪拌し、溶解液を調製した。この溶解液を硫酸にてｐＨを５．０に調整した後、分散剤としてポリビニルアルコール５００（平均分子量が５００のポリビニルアルコール）を０．２ｇ加え、更に回転速度３００ｒｐｍにて１０分間攪拌した。次いで、この溶解液に、水５０ｍＬに分散剤としてポリビニルアルコール５００（平均分子量が５００のポリビニルアルコール）を０．２ｇ溶解し、かつ、平均粒径が０．３２μｍの銀粉末３．４１ｇを分散させた分散液を添加し、回転速度５００ｒｐｍにて１０分間攪拌し、銀粉末表面にニッケルを析出させたニッケル被覆銀粉末が分散する分散液を得た。この分散液を６０分間静置して生成した粉末を沈降させた後、上澄み液を捨て、ここに水１００ｍＬを加えて回転速度３００ｒｐｍにて１０分間攪拌する操作を４回繰返し、洗浄を行った。最後にこれを真空乾燥機にて乾燥することにより、銀を中心核に、ニッケルを第１被覆層（拡散防止層）とする粉末を得た。
<Example 1>
First, 4.92 × 10 −3 mol of nickel (II) sulfate, 1.1 × 10 −3 mol of sodium phosphinate and 3.88 × 10 −4 mol of sodium citrate are added to 50 mL of water, and a stirrer is added. The mixture was stirred at a rotational speed of 300 rpm for 5 minutes to prepare a solution. After adjusting the pH of this solution to 5.0 with sulfuric acid, 0.2 g of polyvinyl alcohol 500 (polyvinyl alcohol having an average molecular weight of 500) was added as a dispersant, and the mixture was further stirred at a rotation speed of 300 rpm for 10 minutes. Next, 0.2 g of polyvinyl alcohol 500 (polyvinyl alcohol having an average molecular weight of 500) as a dispersant is dissolved in 50 mL of water in this solution, and 3.41 g of silver powder having an average particle size of 0.32 μm is dispersed. The dispersion was added and stirred at a rotational speed of 500 rpm for 10 minutes to obtain a dispersion in which nickel-coated silver powder having nickel deposited on the surface of the silver powder was dispersed. The dispersion was allowed to stand for 60 minutes, and the produced powder was allowed to settle. Then, the supernatant was discarded, and 100 mL of water was added thereto, followed by stirring for 10 minutes at a rotational speed of 300 rpm, and washing was performed four times. . Finally, this was dried with a vacuum dryer to obtain a powder having silver as the central core and nickel as the first coating layer (diffusion prevention layer).
引続き、水５０ｍＬに上記粉末０．３７ｇを分散させて分散液を調製した。この分散液に硫酸錫（II）２．５６×１０−２ｍｏｌを加え、スターラを用いて回転速度３００ｒｐｍにて５分間撹拌し、混合液を調製した。この混合液を硫酸にてｐＨを０．５に調整した後、分散剤としてポリビニルアルコール５００（平均分子量が５００のポリビニルアルコール）を０．５ｇ加え、更に回転速度３００ｒｐｍにて１０分間撹拌した。次いで、この混合液にｐＨを０．５に調整した１．５８ｍｏｌ／Ｌの２価クロムイオン水溶液５０ｍＬを、添加速度５０ｍＬ／ｍｉｎにて加え、回転速度５００ｒｐｍにて１０分間撹拌して錫イオンを還元することにより、ニッケル被覆銀粉末表面に錫を析出させた最外層が錫からなるニッケル被覆銀粉末が分散する分散液を得た。この分散液を６０分間静置して生成した粉末を沈降させた後、上澄み液を捨て、ここに水１００ｍＬを加えて回転速度３００ｒｐｍにて１０分間攪拌する操作を４回繰返し、洗浄を行った。最後にこれを真空乾燥機にて乾燥することにより、平均粒径が１．２μｍであって、銀を中心核に、ニッケルを第１被覆層（拡散防止層）に、錫を第２被覆層（最外層）にそれぞれ形成したハンダ粉末を得た。 Subsequently, 0.37 g of the above powder was dispersed in 50 mL of water to prepare a dispersion. To this dispersion, 2.56 × 10 −2 mol of tin (II) sulfate was added and stirred for 5 minutes at a rotational speed of 300 rpm using a stirrer to prepare a mixed solution. After adjusting the pH of this mixed solution to 0.5 with sulfuric acid, 0.5 g of polyvinyl alcohol 500 (polyvinyl alcohol having an average molecular weight of 500) was added as a dispersant, and the mixture was further stirred at a rotational speed of 300 rpm for 10 minutes. Next, 50 mL of a 1.58 mol / L divalent chromium ion aqueous solution whose pH was adjusted to 0.5 was added to this mixed solution at an addition rate of 50 mL / min, and stirred at a rotational speed of 500 rpm for 10 minutes to remove tin ions. By carrying out reduction, a dispersion liquid in which nickel-coated silver powder composed of tin as an outermost layer having tin deposited on the surface of nickel-coated silver powder is obtained. The dispersion was allowed to stand for 60 minutes, and the produced powder was allowed to settle. Then, the supernatant was discarded, and 100 mL of water was added thereto, followed by stirring for 10 minutes at a rotational speed of 300 rpm, and washing was performed 4 times. . Finally, this is dried in a vacuum dryer, the average particle diameter is 1.2 μm, silver is the central core, nickel is the first coating layer (diffusion prevention layer), and tin is the second coating layer. Solder powder formed on each (outermost layer) was obtained.
＜実施例２〜４１、比較例１〜３６＞
実施例２〜４１、比較例１〜３６においても、用いる銀粉末の粒径及び銀粉末の添加量、硫酸ニッケル（II及び硫酸錫（II）の添加量、並びに他成分の割合を調整することにより、所定の銀中心核半径、ニッケル拡散防止層及び錫最外層の厚さ、更には所定の粒径のハンダ粉末に制御したこと以外は、実施例１と同様にしてハンダ粉末を得た。
<Examples 2-41 and Comparative Examples 1-36>
Also in Examples 2 to 41 and Comparative Examples 1 to 36, adjusting the particle diameter of the silver powder to be used, the addition amount of the silver powder, the addition amount of nickel sulfate (II and tin sulfate (II), and the ratio of other components Thus, a solder powder was obtained in the same manner as in Example 1 except that the silver core nucleus radius, the thickness of the nickel diffusion preventing layer and the tin outermost layer, and the solder powder having a predetermined particle diameter were controlled.
＜比較試験及び評価＞
実施例１〜４１及び比較例１〜３６で得られたハンダ粉末について、次に述べる方法により、ハンダ粉末の銀の含有割合[質量％]、平均粒径[μｍ]、銀からなる中心核の平均半径[μｍ]、ニッケルからなる拡散防止層の平均厚さ[μｍ]、錫からなる被覆層の平均厚さ[μｍ]を測定した。これらの結果を以下の表１〜表４に示す。また、これらのハンダ粉末を用いてハンダ用ペーストをそれぞれ調製し、リフロー時の最大保持温度を変えたときの接合強度を評価した。これらの結果を以下の表５〜表８に示す。なお、銀からなる中心核の平均半径と、ニッケルからなる拡散防止層の平均厚さと、錫からなる被覆層の平均厚さとの和をハンダ粉末の平均半径とした。これらの平均値は３０個のハンダ粉末の平均値である。
<Comparison test and evaluation>
With respect to the solder powders obtained in Examples 1-41 and Comparative Examples 1-36, the content ratio [% by mass] of silver in the solder powder, the average particle diameter [μm], and the central core made of silver are obtained by the following method. The average radius [μm], the average thickness [μm] of the diffusion preventing layer made of nickel, and the average thickness [μm] of the coating layer made of tin were measured. These results are shown in Tables 1 to 4 below. In addition, solder pastes were prepared using these solder powders, and the bonding strength when the maximum holding temperature during reflow was changed was evaluated. These results are shown in Tables 5 to 8 below. The sum of the average radius of the central core made of silver, the average thickness of the diffusion preventing layer made of nickel, and the average thickness of the coating layer made of tin was taken as the average radius of the solder powder. These average values are the average values of 30 solder powders.
(1) ハンダ粉末の銀の含有割合の分析：誘導結合プラズマ発光分光分析（島津製作所社製 ＩＣＰ発光分析装置：ＩＣＰＳ−７５１０）により、ハンダ粉末の銀の含有割合の分析を行った。 (1) Analysis of silver content of solder powder: The silver content of solder powder was analyzed by inductively coupled plasma emission spectroscopic analysis (ICP emission analyzer: ICPS-7510 manufactured by Shimadzu Corporation).
(2) ハンダ粉末の平均粒径：レーザー回折散乱法を用いた粒度分布測定装置（堀場製作所社製、レーザー回折／散乱式粒子径分布測定装置ＬＡ−９５０）にて粒径分布を測定し、その体積累積中位径（Ｍｅｄｉａｎ径、Ｄ５０）をハンダ粉末の平均粒径とした。 (2) Average particle size of solder powder: The particle size distribution was measured with a particle size distribution measuring device (Horiba Seisakusho, laser diffraction / scattering particle size distribution measuring device LA-950) using a laser diffraction scattering method, The volume cumulative median diameter (Median diameter, D 50 ) was defined as the average particle diameter of the solder powder.
(3) 銀からなる中心核の半径、ニッケルからなる拡散防止層の厚さ及び錫からなる被覆層の厚さの測定：ハンダ粉末を熱硬化性エポキシ樹脂に埋め込み、ハンダ粉末の断面を乾式研磨した後、電子顕微鏡（Scanning Electron Microscope、SEM）を用いて観察し、ハンダ粉末３０個について、各々銀からなる中心核の半径、ニッケルからなる拡散防止層の厚さ及び錫からなる被覆層の厚さを測定し、各々の平均値を求めた。更に、上記測定から得られたニッケルからなる拡散防止層の厚さ及び銀からなる中心核の半径より厚さの平均値の比率（拡散防止層厚さ／中心核の半径）を算出した。 (3) Measurement of the radius of the central core made of silver, the thickness of the anti-diffusion layer made of nickel, and the thickness of the coating layer made of tin: the solder powder was embedded in a thermosetting epoxy resin, and the solder powder cross section was dry-polished Then, using an electron microscope (Scanning Electron Microscope, SEM), about 30 solder powders, the radius of the central core made of silver, the thickness of the diffusion prevention layer made of nickel, and the thickness of the coating layer made of tin The thickness was measured and the average value of each was obtained. Furthermore, the ratio of the average value of the thickness (the thickness of the diffusion prevention layer / the radius of the central core) was calculated from the thickness of the diffusion prevention layer made of nickel and the radius of the central core made of silver obtained from the above measurement.
(4) 接合強度：溶剤として５０質量％のジエチレングリコールモノヘキシルエーテルと、ロジンとして４６質量％の重合ロジン（軟化点９５℃）と、活性剤としてシクロヘキシルアミン臭化水素酸塩１．０質量％と、チキソ剤として硬化ひまし油３．０質量％とを混合してフラックスを調製した。次に、このフラックスと、実施例１〜２５及び比較例１〜１２で得られたハンダ粉末とを、フラックスを８８質量％、ハンダ粉末を１２質量％の割合で混合してハンダ用ペーストをそれぞれ調製した。 (4) Bonding strength: 50% by mass of diethylene glycol monohexyl ether as a solvent, 46% by mass of polymerized rosin (softening point 95 ° C.) as rosin, and 1.0% by mass of cyclohexylamine hydrobromide as an activator A flux was prepared by mixing 3.0% by mass of hardened castor oil as a thixotropic agent. Next, this flux and the solder powder obtained in Examples 1 to 25 and Comparative Examples 1 to 12 are mixed in a proportion of 88 mass% flux and 12 mass% solder powder, respectively, and solder pastes are mixed. Prepared.
上記調製したペーストをピン転写法にて先端部の直径１００μｍのピンを用いて０．５ｍｍ厚のコバール（Ｆｅ−Ｎｉ−Ｃｏ系合金）基板の所定位置に転写した。なお、コバール基板上にはＮｉメッキ、更にその上にＡｕフラッシュメッキを行った。続いて、転写されたペースト上に０．９ｍｍ□のＬＥＤチップを搭載した。更に、加圧用治具を用いて、ＬＥＤチップ及び基板とを１．０ＭＰａの圧力で加圧しながら、赤外線加熱炉にて窒素雰囲気中、０．１７時間、所定の最大保持温度でリフローし、ＬＥＤチップとコバール基板とを接合させることにより、接合サンプルを得た。なお、上記リフロー時の最大保持温度を２５０℃、３００℃、３５０℃の異なる温度に設定し、実施例又は比較例ごとにそれぞれ３つずつ接合サンプルを得た。 The prepared paste was transferred to a predetermined position on a 0.5 mm thick Kovar (Fe—Ni—Co alloy) substrate using a pin having a diameter of 100 μm by a pin transfer method. The Kovar substrate was Ni-plated, and further Au flash-plated. Subsequently, a 0.9 mm □ LED chip was mounted on the transferred paste. Further, using a pressurizing jig, the LED chip and the substrate are pressed at a pressure of 1.0 MPa, and reflowed at a predetermined maximum holding temperature in a nitrogen atmosphere in an infrared heating furnace for 0.17 hours, and the LED A bonded sample was obtained by bonding the chip and the Kovar substrate. In addition, the maximum holding temperature at the time of the reflow was set to different temperatures of 250 ° C., 300 ° C., and 350 ° C., and three bonded samples were obtained for each of the examples or comparative examples.
上記接合したコバール基板及びＬＥＤチップとの接合強度について、ＪＩＳ Ｚ ３１９８−７に記されている鉛フリーハンダ試験方法−第７部の「チップ部品におけるハンダ接合のシェア強度測定方法」に準拠して、室温及び３００℃で０日及び３０日保管後の条件下で接合シェア強度をそれぞれ測定し、室温におけるシェア強度を１００としたときの３００℃での０日及び３０日保管後の相対的シェア強度を求めた。表中、「優」は、相対的シェア強度が９０以上であった場合を示し、「良」は、９０未満から８０以上であった場合を示し、「可」は、８０未満から７０以上であった場合を示し、「不可」は、７０未満であった場合を示す。 Regarding the bonding strength between the above-mentioned Kovar substrate and the LED chip, in accordance with “Lead-free solder test method described in JIS Z 3198-7—Part 7:“ Measurement method of shear strength of solder joint in chip parts ” , Measured the joint shear strength under the conditions after storage at room temperature and 300 ° C for 0 day and 30 days, respectively, and relative share after storage at 300 ° C for 0 day and 30 days when the shear strength at room temperature is 100 The strength was determined. In the table, “excellent” indicates a case where the relative share strength is 90 or more, “good” indicates a case where it is less than 90 to 80 or more, and “good” indicates less than 80 to 70 or more. “Not possible” indicates a case of less than 70.
表５〜表８から実施例１〜４１と比較例１〜３６とを比較すると次のことが分かった。 From Tables 5 to 8, the following was found when Examples 1-41 and Comparative Examples 1-36 were compared.
比較例１では、ハンダ粉末の平均粒径が０．５μｍと小さすぎ、粉末表面の酸化膜の影響で、ハンダ粉末を保管する前から、ハンダ粉末が溶融しなかった。比較例２、４、５、７〜９、１１〜１４、１６〜１８、２３、２９、３３、３５では、銀の含有量が５質量％程度で少なすぎ、凝固開始温度が低くなり、十分な耐熱性が得られなかったため、ハンダ粉末を保管前及び３０日保管後の各３５０℃のリフロー温度では接合強度が不可であった。比較例３、６、１０、１５、２８では、銀の含有量が８３質量％程度で多すぎ、凝固開始温度が高くなりすぎ、ハンダ粉末を保管前及び３０日保管後の２５０℃のリフロー時並びに３０日保管後の３００℃のリフロー時にハンダが溶融せず、接合強度が不可であった。比較例１９〜３６では、ハンダ粉末の平均粒径が４０μｍ程度で大きすぎ、リフロー後において大きなボイド（空孔）を有した接合層となり緻密な接合層が得られなかった。このためハンダ粉末を保管前及び３０日保管後の２５０℃、３００℃、３５０℃のいずれかのリフロー温度で接合強度が不可であった。 In Comparative Example 1, the average particle size of the solder powder was too small as 0.5 μm, and the solder powder did not melt before storing the solder powder due to the influence of the oxide film on the powder surface. In Comparative Examples 2, 4, 5, 7-9, 11-14, 16-18, 23, 29, 33, 35, the silver content is too low at about 5% by mass, and the solidification start temperature becomes low enough. Since the heat resistance was not obtained, the bonding strength was not possible at the reflow temperatures of 350 ° C. before storing the solder powder and after storing for 30 days. In Comparative Examples 3, 6, 10, 15, and 28, the silver content is too high at about 83% by mass, the solidification start temperature becomes too high, and the solder powder is reflowed at 250 ° C. before storage and after storage for 30 days. In addition, the solder did not melt at the time of reflowing at 300 ° C. after storage for 30 days, and the bonding strength was not possible. In Comparative Examples 19 to 36, the average particle size of the solder powder was about 40 μm, which was too large, and became a bonding layer having large voids (holes) after reflow, and a dense bonding layer was not obtained. For this reason, the bonding strength was not possible at a reflow temperature of 250 ° C., 300 ° C., or 350 ° C. before storing the solder powder and after storing for 30 days.
これに対して、ハンダ粉末の平均粒径が１μｍ以上３０μｍ以下の範囲内にあり、ハンダ粉末の全体量１００質量％に対し、銀の含有割合が１０質量％以上８１質量％以下の範囲内にある実施例１〜４１では、ハンダ粉末を保管前及び３０日保管後の各２５０℃、３００℃、３５０℃のすべてのリフロー温度において接合強度が可、良又は優であった。 On the other hand, the average particle size of the solder powder is in the range of 1 μm to 30 μm, and the silver content is in the range of 10% to 81% by mass with respect to 100% by mass of the total amount of the solder powder. In certain Examples 1 to 41, the bonding strength was good, good or excellent at all reflow temperatures of 250 ° C., 300 ° C., and 350 ° C. before and after storing the solder powder for 30 days.
本発明は、長期間保管することがあるハンダ粉末に好適に利用できる。また電子部品の実装、特に高温雰囲気に晒される電子部品の実装に好適に利用できる。 The present invention can be suitably used for solder powder that may be stored for a long period of time. Moreover, it can utilize suitably for mounting of electronic components, especially mounting of electronic components exposed to a high temperature atmosphere.
１０ ハンダ粉末
１１ 中心核
１２ 被覆層
１３ ニッケルからなる拡散防止層
10
Claims (4)
前記中心核と前記被覆層の間にニッケルからなる拡散防止層が形成され、
前記ハンダ粉末の平均粒径が１μｍ以上３０μｍ以下であり、
前記ハンダ粉末の全体量１００質量％に対し、銀の含有割合が１０質量％以上８１質量％以下である
ことを特徴とするハンダ粉末。 In the solder powder composed of a central core and a coating layer covering the central core, the central core is made of silver, and the coating layer is made of tin,
A diffusion preventing layer made of nickel is formed between the central core and the coating layer;
The average particle size of the solder powder is 1 μm or more and 30 μm or less,
Solder powder characterized by having a silver content of 10 mass% or more and 81 mass% or less with respect to 100 mass% of the total amount of the solder powder.
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