JP6605096B1 - 光学式液位測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
[実施形態1]
図1は、実施形態1の光学式液位測定装置の構成を説明するための模式的な上面図である。光源部として機能する半導体レーザ11と、受光部として機能するフォトセンサ21が、基板31に実装されている。これらは一体のユニットとして、投受光部32を構成している。51は4面の光学面を備えた角柱プリズムである角柱4面プリズムであり、51Aはレーザ光の入出射面、51Bと51Cは全反射面、51Dは液位検知面である。
また、図2(b)は、角柱4面プリズム51の液位検知面51Dにて反射されたレーザ光が、フォトセンサ21に入射する光路を説明するための模式的な側面図である。
図1、図2(a)、図2(b)においては、同一部品には同一の番号を付してあり、検出対象となる液体の高さが変化する液位変化方向は、図中のY軸方向である。
[数1]
I=arc・sin(n2/n1)
[数2]
90°−θ>Iair
[数3]
90°−θ>Iliquid
[数4]
Iliquid>2×θ>Iair
図5(a)に、半導体レーザからの出力光のファーフィールドパターンを例示するが、平行方向については、狭い角度範囲内に強度分布が均一のビームが出射するパターンであることがわかる。一方、直交方向については、広い角度範囲にわたり強度分布が山形になるパターンで出射することがわかる。
図9を参照して、実施形態2の光学式液位測定装置について説明する。図9は、実施形態1の説明で用いた図2(a)に対応する模式的な側面図であり、実施形態1と共通する要素については同一の符号を付している。実施形態2に関する説明で実施形態1と共通する事項については、記載を省略する。
図10(a)および図10(b)を参照して、実施形態3の光学式液位測定装置について説明する。図10(a)は、実施形態1の説明で用いた図1に対応する模式的な上面図であり、図10(b)は模式的な側面図である。実施形態1と共通する要素については同一の符号を付している。実施形態3に関する説明で実施形態1と共通する事項については、記載を省略する。
図11を参照して、実施形態4の光学式液位測定装置について説明する。図11は、実施形態3の説明で用いた図10(b)に対応する模式的な側面図であり、実施形態3と共通する要素については同一の符号を付している。実施形態4に関する説明で実施形態3と共通する事項については、記載を省略する。
本発明の実施形態は、上述した実施形態1〜実施形態4に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で多くの変形が可能である。
例えば、レーザ光源と受光部は近接して配置できるため、上述の実施形態では単一の基板上に両者を実装したが、これに限らなくともよい。
また、光学式液位測定装置の設置は、図6に例示したような槽の外縁に設置する方法に限らず種々の設置形態が可能で、例えば槽中に支柱を立てて設置してもよいし、上方から吊下げて設置してもよい。
Claims (8)
- 半導体レーザと、
前記半導体レーザが出力するレーザ光を、液体の液位変化方向に拡大してコリメートするコリメート光学系と、
前記コリメート光学系を経由して入射する前記レーザ光のうち、境界面に接する媒質が空気の場合は全反射するが、境界面に接する媒質が前記液体の場合は液体側に透過させる液位検知面を有する角柱プリズムと、
前記液位検知面で全反射したレーザ光の光量を計測するフォトセンサと、を有し、
前記半導体レーザのPN接合面と平行な方向が、前記液位変化方向と平行になるように前記半導体レーザが配置されている、
ことを特徴とする光学式液位測定装置。 - 前記角柱プリズムは、
前記コリメート光学系によりコリメートされたレーザ光が入射する入射面と、
前記入射面から入射したレーザ光を、境界面に接する媒質が空気であっても前記液体であっても全反射する全反射面と、
前記全反射面で反射した前記レーザ光が入射する前記液位検知面と、
前記液位検知面で全反射したレーザ光を出射する出射面と、を有する、
ことを特徴とする請求項1に記載の光学式液位測定装置。 - 前記コリメート光学系でコリメートされたレーザ光の光軸と、前記全反射面とのなす角度をθとし、
前記レーザ光が前記角柱プリズムから空気に入射する場合の臨界角をIairとし、
前記レーザ光が前記角柱プリズムから前記液体に入射する場合の臨界角をIliquidとしたとき、
90°−θ>Iair、且つ
90°−θ>Iliquid、且つ
Iliquid>2×θ>Iair、を満足する、
ことを特徴とする請求項2に記載の光学式液位測定装置。 - 前記コリメート光学系は、
前記半導体レーザが出力するレーザ光を、前記液位変化方向に集光するパワーを有するシリンドリカルレンズと、
前記シリンドリカルレンズの焦点を通過して前記液位変化方向に広がった前記レーザ光を前記液位変化方向と直交する方向にコリメートする幅広シリンドリカルレンズと、を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学式液位測定装置。 - 前記液位検知面で全反射したレーザ光を、前記フォトセンサに集光するレンズを有する、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学式液位測定装置。 - 前記コリメート光学系は、
前記半導体レーザから前記角柱プリズムに向かうレーザ光の光路と、前記角柱プリズムから前記フォトセンサに向かうレーザ光の光路を分離する偏光ビームスプリッタを有する、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光学式液位測定装置。 - 前記半導体レーザおよび前記フォトセンサと、前記角柱プリズムとの間には、前記レーザ光の光路を変更するミラーを有し、
前記半導体レーザおよび前記フォトセンサは、前記液位変化方向において前記角柱プリズムよりも上部に配置されている、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光学式液位測定装置。 - さらに、液位の計測結果を通信する通信部を有する、
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光学式液位測定装置。
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