JP6603153B2 - 試料保持具 - Google Patents
試料保持具 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6603153B2 JP6603153B2 JP2016031938A JP2016031938A JP6603153B2 JP 6603153 B2 JP6603153 B2 JP 6603153B2 JP 2016031938 A JP2016031938 A JP 2016031938A JP 2016031938 A JP2016031938 A JP 2016031938A JP 6603153 B2 JP6603153 B2 JP 6603153B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- bonding layer
- substrate
- support
- conductor layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
部導体層4となる成分を含むペーストで外部導体層4のパターンを形成して、これらの同時焼成で形成することができる。あるいは、セラミックス材料から成る基体1を作製した後に、基体1の下面にペーストを焼き付けることでも作製することができる。
りも、第1部分31と基体1との間に深く入り込んでいる場合には、例えば、基体1側の端部(内端)の位置は支持体2側の端部(内端)の位置より0.05mm〜5mm程度内側に入り込んでいればよい。
布し、これを支持体2の上面に載置して2つの樹脂を硬化させて接着してもよい。第1部分31の外周面の形状は用いる樹脂の粘度で調整することもできるし、型を用いてもよいし、硬化した第1部分31の外周面を研削してもよい。第3部分33は、例えば、液状の樹脂材料を攪拌するなどして気泡(空気)を含ませ、これを完全に脱泡せずに第1部分31と第2部分32との間に位置するように塗布して硬化させることによって気孔を多く含むものとすることができる。気孔率は攪拌条件や脱泡条件によって調整することができる。
2:支持体
3:接合層
31:第1部分
32:第2部分
33:第3部分
4:外部導体層
5:内部導体層
10:試料保持具
Claims (5)
- 基体と、基体の下面に設けられた外部導体層と、金属から成り上面で前記基体の下面を前記外部導体層ごと覆う支持体と、前記基体の下面と前記支持体とを接合する樹脂材料から成る接合層とを備えており、前記接合層は、少なくとも一部が中央側に設けられた第1部分と、前記接合層の外周側に位置する第2部分を有するとともに、該第2部分は前記第1部分よりも炭素を多く含み、前記基体の下面に垂直な断面を見たときに、前記第2部分が前記第1部分と前記基体との間および前記第1部分と前記支持体との間に入り込むとともに、前記第2部分が入り込んでいる部分において、前記第2部分が凹むように弧状に曲がっていることを特徴とする試料保持具。
- 前記外部導体層が発熱抵抗体であり、前記第2部分が、前記第1部分と前記支持体との間よりも、前記第1部分と前記基体との間に深く入り込んでいることを特徴とする請求項1に記載の試料保持具。
- 基体と、基体の下面に設けられた外部導体層と、金属から成り上面で前記基体の下面を前記外部導体層ごと覆う支持体と、前記基体の下面と前記支持体とを接合する樹脂材料から成る接合層とを備えており、前記接合層は、少なくとも一部が中央側に設けられた第1部分と、前記接合層の外周側に位置する第2部分を有するとともに、該第2部分は前記第1部分よりも炭素を多く含み、前記第1部分と前記第2部分とが隣接しているとともに、前記第1部分と前記第2部分との境界が凹凸形状であることを特徴とする試料保持具。
- 前記外部導体層が、前記第1部分に覆われた部分と、前記第2部分に覆われた部分とを有することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の試料保持具。
- 基体と、基体の下面に設けられた外部導体層と、金属から成り上面で前記基体の下面を前記外部導体層ごと覆う支持体と、前記基体の下面と前記支持体とを接合する樹脂材料から成る接合層とを備えており、前記接合層は、少なくとも一部が中央側に設けられた第1部分と、前記接合層の外周側に位置する第2部分を有するとともに、該第2部分は前記第1部分よりも炭素を多く含み、前記接合層が、前記第1部分と前記第2部分との間に位置する第3部分を有するとともに、該第3部分の密度が前記第1部分の密度および前記第2部分の密度よりも小さいことを特徴とする試料保持具。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016031938A JP6603153B2 (ja) | 2016-02-23 | 2016-02-23 | 試料保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016031938A JP6603153B2 (ja) | 2016-02-23 | 2016-02-23 | 試料保持具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017152469A JP2017152469A (ja) | 2017-08-31 |
JP6603153B2 true JP6603153B2 (ja) | 2019-11-06 |
Family
ID=59739111
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016031938A Active JP6603153B2 (ja) | 2016-02-23 | 2016-02-23 | 試料保持具 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6603153B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6882131B2 (ja) * | 2017-09-28 | 2021-06-02 | 京セラ株式会社 | 試料保持具 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4409373B2 (ja) * | 2004-06-29 | 2010-02-03 | 日本碍子株式会社 | 基板載置装置及び基板温度調整方法 |
JP6060889B2 (ja) * | 2013-12-16 | 2017-01-18 | 住友電気工業株式会社 | ウエハ加熱用ヒータユニット |
-
2016
- 2016-02-23 JP JP2016031938A patent/JP6603153B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017152469A (ja) | 2017-08-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI718133B (zh) | 靜電夾盤裝置 | |
CN108140606A (zh) | 静电卡盘装置 | |
JP5117146B2 (ja) | 加熱装置 | |
JP5557164B2 (ja) | 静電チャック | |
WO2014134507A2 (en) | Pedestal construction with low coefficient of thermal expansion top | |
JP6525793B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP2020145280A (ja) | 静電チャック | |
JP6603153B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP6526219B2 (ja) | 試料保持具 | |
KR102164084B1 (ko) | 정전 척 | |
US11177151B2 (en) | Sample holder | |
WO2018123729A1 (ja) | 試料保持具 | |
CN112840741B (zh) | 陶瓷加热器 | |
JP7344759B2 (ja) | 静電チャック装置 | |
JP6743299B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP2020025074A (ja) | 静電チャック | |
JP6829087B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP6189744B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP2019040998A (ja) | 試料保持具 | |
JP6882131B2 (ja) | 試料保持具 | |
JP7338675B2 (ja) | 静電チャック部材、静電チャック装置、および静電チャック部材の製造方法 | |
JP7521404B2 (ja) | 静電チャック装置 | |
JP2001118759A (ja) | 半導体製造・検査装置用セラミック基板 | |
US20220148901A1 (en) | Sample holder | |
JP2004356638A (ja) | 半導体製造・検査装置用セラミック基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20181025 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190627 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190702 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190827 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190910 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20191010 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6603153 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |