JP6602687B2 - 光電気混載デバイス - Google Patents
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Description
次に、第7工程において、コア形成用マスク30を取り外す(図8)。
次に、第12工程において、クラッド形成用マスク46を取り外す(図13)。
12 IC(電子部品)
14 光回路
16 反射防止膜
18 接続電極
20 ガラス基板(スペーサ)
22 ガラス基板の開口
24 貫通配線
26 コア用樹脂
28 薄板ガラス(透明板材)
30 コア形成用マスク
32 縦型光導波路コア形成用透光部
36 薄板ガラス接着部用透光部
38 位置合わせ穴形成用透光部
40 縦型光導波路コア
44 クラッド用樹脂
46 クラッド形成用マスク
48 IC開口形成用遮光部
49 空隙形成用遮光部
50 縦型光導波路クラッド
51 空隙
52 IC上面の開口
Claims (3)
- 光信号の送信部と受信部の少なくとも何れか一方が設けられた基板と、
前記基板上に搭載され、前記送信部と受信部の少なくとも何れか一方と電気信号を送受信する電子部品と、
前記基板上に設置されたスペーサと、
前記スペーサ上に前記スペーサから張り出す形で設置された透明な板材と、
前記基板と前記板材の張り出した部分との間に形成された縦型光導波路と、
前記電子部品上に開口を有して前記基板上の少なくとも一部分を覆うと共に、前記縦型光導波路のクラッドを構成する樹脂層と、
を備え、前記スペーサと前記クラッドとの間に空隙が設けられており、
前記スペーサと前記板材が接着剤によって接着され、前記接着剤は、前記板材が温度変化による前記クラッドの収縮に応じて傾斜可能であるような柔軟性を有することを特徴とする、光電気混載デバイス。 - 光信号の送信部と受信部の少なくとも何れか一方が設けられた基板と、
前記基板上に搭載され、前記送信部と受信部の少なくとも何れか一方と電気信号を送受信する電子部品と、
前記基板上に設置されたスペーサと、
前記スペーサ上に前記スペーサから張り出す形で設置された透明な板材と、
前記基板と前記板材の張り出した部分との間に形成された縦型光導波路と、
前記電子部品上に開口を有して前記基板上の少なくとも一部分を覆うと共に、前記縦型光導波路のクラッドを構成する樹脂層と、
を備え、前記スペーサと前記クラッドとの間に空隙が設けられており、
前記スペーサと前記板材が接着剤によって接着され、前記接着剤は、紫外光照射によって接着力が低下することを特徴とする、光電気混載デバイス。 - 光信号の送信部と受信部の少なくとも何れか一方が設けられた基板と、
前記基板上に搭載され、前記送信部と受信部の少なくとも何れか一方と電気信号を送受信する電子部品と、
前記基板上に設置されたスペーサと、
前記スペーサ上に前記スペーサから張り出す形で設置された透明な板材と、
前記基板と前記板材の張り出した部分との間に形成された縦型光導波路と、
前記電子部品上に開口を有して前記基板上の少なくとも一部分を覆うと共に、前記縦型光導波路のクラッドを構成する樹脂層と、
を備え、前記スペーサと前記クラッドとの間に空隙が設けられており、
前記板材は、前記空隙の上部箇所で切断されていることを特徴とする、光電気混載デバイス。
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