JP6599137B2 - 平面形状測定装置及び平面形状算出システム - Google Patents
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Description
以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図1は、本実施の形態にかかる平面形状測定装置100の構成を示す概念図である。平面形状測定装置100は、オートコリメータ101、第1ペンタプリズム102、第2ペンタプリズム103、及びペンタプリズム回転台104を備える。平面形状測定装置100の測定対象は被測定物200である。被測定物200は、表面に被測定面200Aを有する。まず、平面形状測定装置100の各構成の動作概略について光線の入射順序に沿って説明する。
f(x, y) = B(x, y)×a
101 オートコリメータ
102 第1ペンタプリズム
103 第2ペンタプリズム
104 ペンタプリズム回転台
200 被測定物
200A 被測定面
300 平面形状算出装置
310 CPU
320 座標系設定部
330 第1測定形状式算出部
340 第2測定形状式算出部
350 被測定面形状算出部
400 出力装置
Claims (4)
- 第1光線を出射するとともに、前記第1光線と第2光線との角度を測定する角度測定器と、
前記第1光線を直角に反射させた第3光線を出射する第1ペンタプリズムと、
前記第3光線の光軸方向に移動可能であり、前記第3光線を直角に反射させた第4光線を被測定物の被測定面に出射し、前記被測定面からの反射光を前記第1ペンタプリズムの方向に直角に反射させた第5光線を出射する第2ペンタプリズムと、を備え、
前記第1ペンタプリズムは、前記第5光線を前記角度測定器の方向に直角に反射させることにより前記第2光線を出射し、
前記第1ペンタプリズムは、前記第1光線を回転軸として回転可能であり、
前記第2ペンタプリズムは、前記第1ペンタプリズムと連動して前記第1光線を回転軸として回転可能であり、
前記角度測定器は、前記第1ペンタプリズムと物理的に分離され、かつ固定面に固定されていることを特徴とする平面形状測定装置。 - 前記角度測定器は、オートコリメータであり、
前記オートコリメータは、複軸測定が可能な構成であることを特徴とする請求項1に記載の平面形状測定装置。 - 請求項1又は請求項2のいずれか1項に記載の平面形状測定装置と、平面形状算出装置と、を備えた平面形状算出システムであって、
前記平面形状測定装置は、複数の測定ラインから構成される第1測定ライン群の各測定ライン上において、前記第2ペンタプリズムを移動させた各点での前記第1光線と前記第2光線の角度を測定した第1データ群を取得する第1測定を実施し、
前記第1測定ライン群の各測定ラインと交わるように設定した1以上の測定ライン上において、前記第2ペンタプリズムを移動させた各点での前記第1光線と前記第2光線の角度を測定した第2データ群を取得する第2測定を実施し、
前記平面形状算出装置は、
前記被測定面の平面形状の定義に用いる座標系を設定する座標系設定部と、
前記第1データ群を基に、前記第1測定における各測定ラインの前記座標系での形状を示す形状式を求める第1測定形状式算出部と、
前記第2データ群を基に、前記第2測定における各測定ラインの前記座標系での形状を示す形状式を求める第2測定形状式算出部と、
基底関数を用いた前記被測定面の平面形状の定義式に対し、前記第1測定形状式算出部が算出した形状式と、前記第2測定形状式算出部が算出した形状式と、を代入して解くことにより前記被測定面の形状を算出する被測定面形状算出部と、
を備える、平面形状算出システム。 - 前記第2測定は、前記第1測定ライン群の各測定ラインと交わる複数の測定ラインを対象として実施されることを特徴とする請求項3に記載の平面形状算出システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP6599137B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN112762857B (zh) * | 2021-01-20 | 2022-09-06 | 西安应用光学研究所 | 一种大口径平面镜面形在线检测方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5269070A (en) * | 1992-10-19 | 1993-12-14 | Thurston Wm H | Instrument for measuring flatness or uniformity of curvature |
JP2012022030A (ja) * | 2010-07-12 | 2012-02-02 | Nikon Corp | ペンタ光学素子ユニット及びこのペンタ光学素子ユニットを使った面形状測定装置 |
JP6274732B2 (ja) * | 2013-02-12 | 2018-02-07 | 三菱電機株式会社 | 面形状測定装置及び面形状測定方法 |
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2015
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Publication number | Publication date |
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JP2017009304A (ja) | 2017-01-12 |
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