JP6596404B2

JP6596404B2 - Tube manufacturing method

Info

Publication number: JP6596404B2
Application number: JP2016191566A
Authority: JP
Inventors: 充岩田
Original assignee: Fujifilm Corp
Current assignee: Fujifilm Corp
Priority date: 2016-09-29
Filing date: 2016-09-29
Publication date: 2019-10-23
Anticipated expiration: 2036-09-29
Also published as: JP2018051968A

Description

本発明は、チューブの製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a tube.

撥水性をもつチューブとして、ポリテトラフルオロエチレンで形成されているチューブが流通している。ポリテトラフルオロエチレンからなるチューブは、人工生体材料として有用とされているが、柔軟性に欠ける。そこで、例えば特許文献１には、平均繊維径が０．０５〜５０μｍの脂肪族ポリエステル繊維からなり、軸方向に連続する山部および谷部を有する蛇腹状の円筒体が人工生体材料に用いられるものとして記載されている。この円筒体は、厚みが０．０５ｍｍ〜１ｍｍであり、外径が０．５ｍｍ〜５０ｍｍであり、蛇腹の間隔が２ｍｍ以下であり、蛇腹の深さが０．０１ｍｍ〜１０ｍｍとされている。 As tubes having water repellency, tubes made of polytetrafluoroethylene are in circulation. A tube made of polytetrafluoroethylene is considered useful as an artificial biomaterial, but lacks flexibility. Therefore, for example, in Patent Document 1, a bellows-like cylindrical body made of an aliphatic polyester fiber having an average fiber diameter of 0.05 to 50 μm and having peaks and valleys continuous in the axial direction is used as the artificial biomaterial. It is described as a thing. The cylindrical body has a thickness of 0.05 mm to 1 mm, an outer diameter of 0.5 mm to 50 mm, an interval between bellows of 2 mm or less, and a bellows depth of 0.01 mm to 10 mm.

また、表面処理を施すことにより、被処理物の表面に撥水性をもたせる技術がある。例えば、特許文献２には、撥水性チューブの製造方法として、フッ素系樹脂からなるチューブの外表面をブラストにより粗した後、チューブ内部に治具を入れた状態でチューブの外表面にフッ素ガスを接触させることが記載されている。 In addition, there is a technique for imparting water repellency to the surface of an object to be processed by performing a surface treatment. For example, in Patent Document 2 , as a method for producing a water-repellent tube, after blasting the outer surface of a tube made of a fluorine-based resin by blasting, fluorine gas is applied to the outer surface of the tube with a jig inside The contact is described.

撥水性は表面の微細な凹凸を利用することによって発現ないし向上することが知られている。また、特許文献３には、μｍレベルの微細な凹凸が形成された表層を備える基板の製造方法として、延伸工程と、表層形成工程と、幾何微細凹凸構造形成工程とを有する製造方法が記載されている。延伸工程は、基板面に対して略垂直方向に応力を加えることにより基板を延伸し、表層形成工程は、基板の延伸状態を維持したままプラズマ処理により基板上に表層を形成する。幾何微細凹凸構造形成工程は延伸状態を解除することにより基板の表面に幾何微細凹凸構造を形成する工程とされている。 It is known that water repellency is expressed or improved by utilizing fine irregularities on the surface. Patent Document 3 describes a manufacturing method having a stretching step, a surface layer forming step, and a geometric micro uneven structure forming step as a method for manufacturing a substrate having a surface layer on which fine unevenness of μm level is formed. ing. In the stretching step, the substrate is stretched by applying stress in a direction substantially perpendicular to the substrate surface, and in the surface layer forming step, a surface layer is formed on the substrate by plasma treatment while maintaining the stretched state of the substrate. The geometric fine concavo-convex structure forming step is a step of forming a geometric fine concavo-convex structure on the surface of the substrate by releasing the stretched state.

特開２００７−２１５８０３号公報JP 2007-215803 A 特開平９−０３９０９３号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-039093 特開２０１３−０３５１９７号公報JP 2013-035197 A

特許文献１に記載されるチューブは、撥水性が十分ではない。ポリテトラフルオロエチレンからなるチューブは、撥水性をもつものの、外表面が滑りやすいなどの理由から、例えばチューブを他の部材等に巻き付けて使用する場合には巻きが次第に緩んできたり、他の部材に固定して使用したくても固定状態が保持されにくい。このように取り扱いの難しさから、ポリテトラフルオロエチレンからなるチューブは用途や取り扱い場面に制限がある。また、送液などに用いるチューブにおいては撥水性が内表面に求められるが、特許文献２には、チューブの内表面の撥水性を向上させる手法については記載されていない。特許文献３に記載される方法は、基板に微細凹凸構造を形成するものであり、チューブの内表面に形成する手法については記載されていない。 The tube described in Patent Document 1 has insufficient water repellency. A tube made of polytetrafluoroethylene has water repellency, but the outer surface is slippery. For example, when the tube is wound around another member, the winding gradually loosens or other members Even if you want to use it in a fixed state, it is difficult to maintain the fixed state. As described above, because of the difficulty in handling, the tube made of polytetrafluoroethylene has limitations in use and handling scenes. Moreover, in the tube used for liquid feeding etc., water repellency is calculated | required by the inner surface, However, patent document 2 does not describe the method of improving the water repellency of the inner surface of a tube. The method described in Patent Document 3 forms a fine concavo-convex structure on a substrate, and does not describe a method of forming on the inner surface of a tube.

そこで本発明は、取り扱い性に優れた、撥水性の内表面をもつチューブの製造方法を提供することを目的とする。 Therefore, an object of the present invention is to provide a method for producing a tube having a water repellent inner surface that is excellent in handleability.

上記課題を解決するために、本発明は、延伸ステップと、プラズマ処理ステップとを有する。延伸ステップは、伸縮自在なチューブ材を長手方向に延伸率が５％以上３０％以下の範囲内で延伸する。プラズマ処理ステップは、延伸されているチューブ材をプラズマ発生装置の互いに離間した第１電極と第２電極とに接触させた状態で、チューブ材の中空部にプラズマを発生させる。 In order to solve the above problems, the present invention includes a stretching step and a plasma processing step. In the stretching step, the stretchable tube material is stretched in the longitudinal direction within a range of a stretch ratio of 5% to 30% . In the plasma treatment step, plasma is generated in the hollow portion of the tube material in a state where the stretched tube material is in contact with the first electrode and the second electrode that are separated from each other in the plasma generator.

チューブは、内表面に、周方向に延びた複数の突条が１．５μm以下のピッチで長手方向に並んで形成されていることが好ましい。 The tube is preferably formed on the inner surface with a plurality of protrusions extending in the circumferential direction arranged in the longitudinal direction at a pitch of 1.5 μm or less.

プラズマ処理ステップにおいて第１電極と第２電極との間に印加する電圧は交流電圧であることが好ましい交流電圧の周波数は８ｋＨｚ以上４０ｋＨｚ以下の範囲内であることが好ましい。 In the plasma treatment step, the voltage applied between the first electrode and the second electrode is preferably an AC voltage. The frequency of the AC voltage is preferably in the range of 8 kHz to 40 kHz.

プラズマ処理ステップは、中空部を減圧する減圧ステップを有し、中空部を減圧状態に保持した状態でプラズマを発生させることが好ましい。 The plasma treatment step preferably includes a pressure reducing step for reducing the pressure of the hollow portion, and plasma is preferably generated in a state where the hollow portion is maintained in a reduced pressure state.

チューブ材の第１電極に接する第１接触位置と第２電極に接する第２接触位置との距離は５０ｍｍ以下であることが好ましい。 The distance between the first contact position in contact with the first electrode of the tube material and the second contact position in contact with the second electrode is preferably 50 mm or less.

チューブ材を延伸した状態で搬送する搬送ステップを有し、プラズマ処理ステップは、搬送中のチューブ材の中空部にプラズマを発生させることが好ましい。 It is preferable to have a transfer step of transferring the tube material in a stretched state, and in the plasma treatment step, plasma is generated in the hollow portion of the tube material being transferred.

プラズマ処理ステップの後に、延伸を解除する延伸解除ステップを有することが好ましい。 It is preferable to have a stretching cancellation step for canceling stretching after the plasma treatment step.

チューブ材はポリシロキサンで形成されていることが好ましい。 The tube material is preferably made of polysiloxane.

本発明によれば、取り扱い性に優れた、撥水性の内表面をもつチューブが得られる。 According to the present invention, a tube having a water repellent inner surface excellent in handleability can be obtained.

チューブの説明図である。It is explanatory drawing of a tube. チューブの長手方向に沿った断面の端面模式図である。It is an end surface schematic diagram of the cross section along the longitudinal direction of the tube. チューブ製造設備の概略図である。It is the schematic of a tube manufacturing equipment. チューブ製造設備の概略図である。It is the schematic of a tube manufacturing equipment.

図１において、本発明を実施したチューブ１０は、水、または、水を溶媒とする水溶液を、目的とする供給先へ案内するためのものである。チューブ１０は、断面円筒状とされている。図１においては、説明の便宜上、チューブ１０の長さＬを、外径ＤＥと内径ＤＩと厚みＴ１０とに対し、短く描いてあるが、チューブ１０は、外径ＤＥが６ｍｍ、内径ＤＩが概ね４ｍｍ、厚みＴ１０が概ね１ｍｍ、長さＬが例えば２ｍｍである。ただし、チューブの各寸法はこれらに限られず、外径ＤＥは４ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲内、内径ＤＩは２ｍｍ以上２０ｍｍ以下の範囲内、厚みＴ１０は１ｍｍ以上５ｍｍ以下の範囲内にすることができる。 In FIG. 1, a tube 10 embodying the present invention is for guiding water or an aqueous solution containing water as a solvent to a target supply destination. The tube 10 has a cylindrical cross section. In FIG. 1, for convenience of explanation, the length L of the tube 10 is drawn shorter than the outer diameter DE, the inner diameter DI, and the thickness T10. However, the tube 10 has an outer diameter DE of 6 mm and an inner diameter DI of about 10 mm. 4 mm, thickness T10 is approximately 1 mm, and length L is, for example, 2 mm. However, the dimensions of the tube are not limited to these, and the outer diameter DE can be in the range of 4 mm to 30 mm, the inner diameter DI can be in the range of 2 mm to 20 mm, and the thickness T10 can be in the range of 1 mm to 5 mm. .

チューブ１０は、後述のように弾性を有する素材で形成されており、長手方向での寸法が変化自在、すなわち伸縮自在である。具体的には、長手方向において張力が付与されることにより長手方向に延びた延伸状態となる（図１の（Ｂ）参照）が、その張力が解除されることにより元の長さに戻る（図１の（Ａ）参照）。そのため、チューブ１０は、径方向においても寸法が変化自在、すなわち拡縮自在となっている。つまり、延伸状態では、張力が解除された状態（以下、単に「解除状態」と称する）に比べて、外径ＤＥと内径ＤＩとが小さい。 The tube 10 is formed of a material having elasticity as will be described later, and its dimension in the longitudinal direction can be changed, that is, can be expanded and contracted. More specifically, when a tension is applied in the longitudinal direction, the stretched state extends in the longitudinal direction (see (B) in FIG. 1), but when the tension is released, the original length is restored ( (See (A) of FIG. 1). Therefore, the tube 10 is dimensionally variable in the radial direction, that is, can be expanded and contracted. That is, in the stretched state, the outer diameter DE and the inner diameter DI are smaller than the state in which the tension is released (hereinafter simply referred to as “released state”).

このように、チューブ１０は長手方向での張力の付与と解除とによって伸縮自在であるから、例えば、他の部材や装置などに巻き付けて使用する場合において巻き付けの作業がしやすいし、巻き付けた後の放置状態においても、巻き緩みがしにくい。また、他の部材や装置にチューブ１０を紐、結束バンド、針金などの固定部材によって固定した場合には、安定した固定状態が維持される。このように、チューブ１０は、取り扱いやすい。なお、チューブ１０の内表面には符号１０ａを付し、外表面には符号１０ｂを付す。チューブ１０の内表面１０ａには周方向に延びた複数の突条１１（図２参照）が、長手方向に並んで形成されているが、この例のチューブ１０では、外表面１０ｂにはこのような突条１１は形成されておらず、平坦とされている。 As described above, the tube 10 can be expanded and contracted by applying and releasing tension in the longitudinal direction. For example, when the tube 10 is used by being wound around another member or device, the winding work is easy. Even in the state of being left, it is difficult to loosen the winding. Further, when the tube 10 is fixed to another member or device by a fixing member such as a string, a binding band, or a wire, a stable fixed state is maintained. Thus, the tube 10 is easy to handle. In addition, the code | symbol 10a is attached | subjected to the inner surface of the tube 10, and the code | symbol 10b is attached | subjected to the outer surface. A plurality of protrusions 11 (see FIG. 2) extending in the circumferential direction are formed on the inner surface 10a of the tube 10 side by side in the longitudinal direction. In the tube 10 of this example, the outer surface 10b has The long ridges 11 are not formed and are flat.

図２に示すように、上記複数の突条１１の各々は周方向（図２の紙面奥行方向）に延びている。複数の突条１１は、互いに接した状態で長手方向に並列している。突条１１のピッチＰ１１は１．５μｍ以下である。すなわち、ピッチＰ１１は、０より大きく１．５μｍ以下の範囲内である。なお、前述の通り、チューブ１０は、解除状態においては、延伸状態から長さＬが短く戻った状態にあるから、上記のピッチＰ１１は、この短く戻った解除状態における値である。このような非常に小さなピッチＰ１１で複数の突条１１が内表面１０ａに形成されているから、チューブ１０は、内表面１０ａにおいて撥水性をしめす。チューブ１０は、外表面１０ｂにおける水の接触角が９５°であるのに対し、内表面１０ａにおける水の接触角は１２５°である。チューブ１０の内表面１０ａは撥水性を有するから、例えば、水溶液などの水系液を送る場合において、内表面１０ａに対する液の付着が抑制される。このため、目的とする送り先に、所定量の液を無駄なく送ることができたり、あるいは、送る液を切り替える場合には先に送っていた第１の液と、後に送る第２の液との混じり合いがごく少量に抑えられるから混液の廃棄量が少量に抑えられ、かつ、切り替えが迅速になる。ピッチＰ１１は、１μｍ以上３μｍ以下の範囲内であることがより好ましく、１．５μｍ以上２．０μｍ以下の範囲内であることがさらに好ましい。 As shown in FIG. 2, each of the plurality of protrusions 11 extends in the circumferential direction (the depth direction in FIG. 2). The plurality of protrusions 11 are juxtaposed in the longitudinal direction in contact with each other. The pitch P11 of the ridges 11 is 1.5 μm or less. That is, the pitch P11 is in the range of more than 0 and 1.5 μm or less. Note that, as described above, the tube 10 is in a state in which the length L has returned short from the stretched state in the released state, and thus the pitch P11 is a value in the released state in which the tube 10 has returned short. Since the plurality of protrusions 11 are formed on the inner surface 10a with such a very small pitch P11, the tube 10 exhibits water repellency on the inner surface 10a. The tube 10 has a water contact angle of 95 ° on the outer surface 10b, whereas the water contact angle of the inner surface 10a is 125 °. Since the inner surface 10a of the tube 10 has water repellency, for example, when sending an aqueous liquid such as an aqueous solution, adhesion of the liquid to the inner surface 10a is suppressed. For this reason, a predetermined amount of liquid can be sent to the intended destination without waste, or when switching the liquid to be sent, the first liquid that was sent first and the second liquid that is sent later Mixing can be suppressed to a very small amount, so that the amount of the mixed solution discarded can be suppressed to a small amount, and the switching can be performed quickly. The pitch P11 is more preferably in the range of 1 μm to 3 μm, and further preferably in the range of 1.5 μm to 2.0 μm.

ピッチＰ１１は、図２に示すように、突条１１の頂部間距離である。また、上記の水の接触角は、蒸留水を用いた前進接触角である。接触角は、日本工業規格ＪＩＳＲ３２５７により求めることができ、本実施形態では協和界面科学（株）製のポータブル接触角計ＰＣＡ−１により測定している。 As shown in FIG. 2, the pitch P <b> 11 is the distance between the tops of the ridges 11. Moreover, said water contact angle is a forward contact angle using distilled water. The contact angle can be determined according to Japanese Industrial Standard JIS R 3257. In this embodiment, the contact angle is measured by a portable contact angle meter PCA-1 manufactured by Kyowa Interface Science Co., Ltd.

突条１１の高さＨ１１は、解除状態において１．０μｍ以上３．０μｍ以下の範囲内であることが好ましい。突条１１の高さＨ１１は、１．５μｍ以上２．５μｍ以下の範囲内であることがより好ましく、２．０μｍ以上２．５μｍ以下の範囲内であることがさらに好ましい。高さＨ１１は、図２に示すように、突条１１と突条１１との間に形成される谷部を基準とした突条１１の頂部の高さである。 The height H11 of the protrusion 11 is preferably in the range of 1.0 μm to 3.0 μm in the released state. The height H11 of the ridge 11 is more preferably in the range of 1.5 μm to 2.5 μm, and still more preferably in the range of 2.0 μm to 2.5 μm. As shown in FIG. 2, the height H <b> 11 is the height of the top of the ridge 11 with reference to a trough formed between the ridge 11 and the ridge 11.

前述の通りチューブ１０は長手方向における張力の付与により伸縮自在であるから、高さＨ１１は、付与される張力によって変化自在である。すなわち、付与されている張力が大きいほど高さＨは小さく、張力が小さいほど高さＨは大きい。このように、付与される張力によって高さＨ１１が変化自在であるから、撥水性の制御が可能である。 As described above, since the tube 10 can be expanded and contracted by applying a tension in the longitudinal direction, the height H11 can be changed by the applied tension. That is, the greater the applied tension, the smaller the height H, and the smaller the tension, the greater the height H. In this way, the height H11 can be changed by the applied tension, so that the water repellency can be controlled.

長手方向に沿った断面において、突条１１の外郭の形状は、図２においては円弧状に描いてあるが、楕円弧状と、放物線状と、チューブ１０の中空部側に凸のその他の曲線の場合もある。また、向きが異なる直線が接続した形状である場合もある。 In the cross section along the longitudinal direction, the outer shape of the ridge 11 is drawn in an arc shape in FIG. 2, but an elliptical arc shape, a parabola shape, and other curves convex toward the hollow portion side of the tube 10. In some cases. In some cases, straight lines with different orientations are connected.

チューブ１０は、内表面１０ａを成す内周部１５と外表面１０ｂを成す外周部１６との２層構造となっていることがより好ましく、本例でもそのようになっている。長手方向に沿った断面において、内周部１５と外周部１６との境界は、この例では、三角状の山部と谷部とが連なった形状として描いているが、この例に限られない。外周部１６は、弾性を有する素材としてのポリシロキサンで形成されていることが好ましく、これにより、チューブ境界は、この例では、三角状の山部と谷部とが連なった形状として描いているが、この例に限られない。外周部１６は、弾性を有する素材としてのポリシロキサンで形成されていることが好ましく、これにより、チューブ１０は伸縮自在となっている。また、外周部１６の厚みＴ１６は、内周部１５の厚みＴ１５よりも大きいから、チューブ１０はより確実に伸縮自在となっている。 It is more preferable that the tube 10 has a two-layer structure of an inner peripheral portion 15 that forms the inner surface 10a and an outer peripheral portion 16 that forms the outer surface 10b, and this is also the case in this example. In the cross section along the longitudinal direction, the boundary between the inner peripheral portion 15 and the outer peripheral portion 16 is drawn as a shape in which triangular peaks and valleys are connected in this example, but the present invention is not limited to this example. . The outer peripheral portion 16 is preferably formed of polysiloxane as a material having elasticity, so that the tube boundary is drawn as a shape in which triangular peaks and valleys are connected in this example. However, it is not limited to this example. The outer peripheral portion 16 is preferably made of polysiloxane as a material having elasticity, so that the tube 10 can be expanded and contracted. Moreover, since the thickness T16 of the outer peripheral part 16 is larger than the thickness T15 of the inner peripheral part 15, the tube 10 can be expanded and contracted more reliably.

突条１１は、単位体積において酸素の数が外周部１６よりも多いケイ素化合物で形成されている。これは、突条１１が、後述の製造方法においてポリシロキサンがプラズマ処理により酸化した酸化ケイ素（ガラス）で形成されているからである。これにより、突条１１は外周部１６よりも硬くなっており、その結果、延伸状態と解除状態との間でチューブ１０が伸縮を繰り返しても、突条１１の破壊が抑えられ、撥水性がより確実に維持される。内周部１５は複数の突条１１を有しており、内周部１５全体が、単位体積あたりの酸素の数が外周部１６よりも多い前述のケイ素化合物で形成されている。 The ridge 11 is formed of a silicon compound having a larger number of oxygen than that of the outer peripheral portion 16 in a unit volume. This is because the protrusion 11 is formed of silicon oxide (glass) obtained by oxidizing polysiloxane by plasma treatment in the manufacturing method described later. Thereby, the protrusion 11 is harder than the outer peripheral part 16. As a result, even if the tube 10 repeats expansion and contraction between the extended state and the released state, the destruction of the protrusion 11 is suppressed, and the water repellency is reduced. More reliably maintained. The inner peripheral portion 15 has a plurality of protrusions 11, and the entire inner peripheral portion 15 is formed of the aforementioned silicon compound in which the number of oxygen per unit volume is larger than that of the outer peripheral portion 16.

内周部１５と外周部１６との境界は、内周部１５と外周部１６との酸素の数を調べることにより確認することができる。具体的には以下である。まず、内周部１５をＸ線光電子分光法（ＸＰＳ：X-ray Photoelectron Spectroscopy）により分析する。次に、イオンスパッタを行って内周部１５の表層を除去した後、再びＸＰＳ分析を行なう。このようにイオンスパッタによる表層の除去とＸＰＳ分析とを繰り返すことにより、内周部１５から外周部１６に向けた組成プロファイルが取得できる。このデータをもとに、酸素に帰属する光電子強度を比較することにより、内周部１５が外周部１６よりも酸素の比率が高い組成であることが分かり、かつ、内周部１５と外周部１６との境界を確認することができる。内周部１５と外周部１６との境界は視認できない場合もあるが、視認できない場合であっても、上記の方法を用いることにより上記境界は確認される。 The boundary between the inner peripheral portion 15 and the outer peripheral portion 16 can be confirmed by examining the number of oxygen in the inner peripheral portion 15 and the outer peripheral portion 16. Specifically: First, the inner periphery 15 is analyzed by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Next, ion sputtering is performed to remove the surface layer of the inner peripheral portion 15, and then XPS analysis is performed again. Thus, by repeating the removal of the surface layer by ion sputtering and the XPS analysis, a composition profile from the inner peripheral portion 15 toward the outer peripheral portion 16 can be acquired. Based on this data, by comparing the photoelectron intensity attributed to oxygen, it can be seen that the inner peripheral portion 15 has a composition with a higher oxygen ratio than the outer peripheral portion 16, and the inner peripheral portion 15 and the outer peripheral portion The boundary with 16 can be confirmed. Although the boundary between the inner peripheral portion 15 and the outer peripheral portion 16 may not be visually recognized, the boundary is confirmed by using the above method even when the boundary is not visible.

図２に示すように、前述の厚みＴ１５は、上記の方法で求めた内周部１５と外周部１６との境界から、内周部１５の表面までの距離である。なお、外周部１６の厚みは、解除状態において突条１１と突条１１との間に形成される谷部から外表面１０ｂまでの距離とする。 As shown in FIG. 2, the above-described thickness T <b> 15 is a distance from the boundary between the inner peripheral portion 15 and the outer peripheral portion 16 obtained by the above method to the surface of the inner peripheral portion 15. In addition, the thickness of the outer peripheral part 16 shall be the distance from the trough part formed between the protrusion 11 and the protrusion 11 in the cancellation | release state to the outer surface 10b.

図３に示すチューブ製造設備３０は、チューブ１０を製造するためのものである。チューブ１０の材料としては、本実施形態では、弾性を有する素材としてのポリシロキサンで形成されたチューブ材３１を用いており、チューブ材３１は伸縮自在である。この例では、外径が６ｍｍであり、厚みが１ｍｍ、長さが３０ｃｍのチューブ材３１を用いている。チューブ製造設備３０は、プラズマ発生装置３２と、一対の固定部３３，３４とを備える。チューブ製造設備３０は、本実施形態のように吸引部３６と酸素供給部３７とを備えることが好ましい。 A tube manufacturing facility 30 shown in FIG. 3 is for manufacturing the tube 10. As a material of the tube 10, in this embodiment, the tube material 31 formed of polysiloxane as a material having elasticity is used, and the tube material 31 is extendable. In this example, a tube material 31 having an outer diameter of 6 mm, a thickness of 1 mm, and a length of 30 cm is used. The tube manufacturing facility 30 includes a plasma generator 32 and a pair of fixing parts 33 and 34. The tube manufacturing facility 30 preferably includes a suction unit 36 and an oxygen supply unit 37 as in the present embodiment.

プラズマ発生装置３２は、チューブ材３１の中空部にプラズマを発生させるためのものであり、第１電極４１と、第２電極４２と、電源４３とを備える。第１電極４１と第２電極４２とは、例えば銅などの導電性素材で形成された電極部材４１ａと電極部材４２ａとが、周方向に回動自在なローラ４１ｂとローラ４２ｂとの周面に設けられた構成とされている。ローラ４１ｂとローラ４２ｂとは、外径が３０ｍｍのものを用いているが、この例に限られない。電極部材４１ａと電極部材４２ａとのそれぞれは電源４３に接続されている。電源４３は、第１電極４１の電極部材４１ａと第２電極４２の電極部材４２ａとの間に電圧を印加し、これによりプラズマが発生する。なお、本実施形態では、電源４３は、２００Ｗの電力で電圧を印加しており、電圧の印加時間は５分としている。 The plasma generator 32 is for generating plasma in the hollow portion of the tube material 31, and includes a first electrode 41, a second electrode 42, and a power source 43. The first electrode 41 and the second electrode 42 are formed on the peripheral surfaces of the roller 41b and the roller 42b, in which an electrode member 41a and an electrode member 42a formed of a conductive material such as copper are rotatable in the circumferential direction. It is set as the provided structure. The roller 41b and the roller 42b have an outer diameter of 30 mm, but are not limited to this example. Each of the electrode member 41 a and the electrode member 42 a is connected to a power source 43. The power source 43 applies a voltage between the electrode member 41a of the first electrode 41 and the electrode member 42a of the second electrode 42, thereby generating plasma. In the present embodiment, the power source 43 applies a voltage with a power of 200 W, and the voltage application time is 5 minutes.

第１電極４１と第２電極４２とは互いに離間して配され、かつ、絶縁体上に配されることにより、電極部材４１ａと電極部材４２ａとを電気的に絶縁した状態にしている。ただし、第１電極４１と第２電極４２との構成は上記に限られず、互いに離間して配され、かつ、電極部材４１ａと電極部材４２ａとが電気的に絶縁した状態であればよい。なお、第１電極４１と第２電極４２とのいずれか一方はアース電極とされており、図３においては第１電極４１をアース電極としている。 The first electrode 41 and the second electrode 42 are spaced apart from each other and are disposed on an insulator so that the electrode member 41a and the electrode member 42a are electrically insulated. However, the structure of the 1st electrode 41 and the 2nd electrode 42 is not restricted above, What is necessary is just the state which was distribute | arranged mutually spaced apart and the electrode member 41a and the electrode member 42a were electrically insulated. One of the first electrode 41 and the second electrode 42 is a ground electrode, and in FIG. 3, the first electrode 41 is a ground electrode.

チューブ材３１を長手方向に延伸し（延伸ステップ）、延伸されている状態のチューブ材３１を電極部材４１ａと電極部材４２ａとのそれぞれに接触させる。延伸されているチューブ材３１を電極部材４１ａと電極部材４２ａとに接触させた状態で、電極部材４１ａと電極部材４２ａとに電圧を印加することにより、チューブ材３１の中空部にプラズマが発生する。これにより、チューブ材３１は内表面側がプラズマ処理される（プラズマ処理ステップ）。このプラズマ処理により、チューブ１０が製造される。ただし、プラズマ処理中と同じ延伸状態にある間は、内表面１０ａにおいて突条１１は確認されず、長手方向における張力を小さくすることにより突条１１が生成し、確認される。なお、この例のプラズマ処理は、酸素プラズマ処理である。 The tube material 31 is stretched in the longitudinal direction (stretching step), and the stretched tube material 31 is brought into contact with each of the electrode member 41a and the electrode member 42a. Plasma is generated in the hollow portion of the tube material 31 by applying a voltage to the electrode member 41a and the electrode member 42a in a state where the stretched tube material 31 is in contact with the electrode member 41a and the electrode member 42a. . Thereby, the tube material 31 is plasma-treated on the inner surface side (plasma treatment step). The tube 10 is manufactured by this plasma treatment. However, the ridge 11 is not confirmed on the inner surface 10a during the same stretched state as during the plasma treatment, but the ridge 11 is generated and confirmed by reducing the tension in the longitudinal direction. Note that the plasma treatment in this example is an oxygen plasma treatment.

本実施形態では、３０ｃｍのチューブ材３１を２０％延伸することにより３６ｃｍの長さにする。固定部３３は、第１電極４１ａの第２電極４２ａとは反対側に配され、固定部３４は、第２電極４２ａの第１電極４１ａとは反対側に配されている。固定部３３は、延伸したチューブ材３１の一端を固定し、固定部３４は延伸したチューブ材３１の他端を固定する。これにより、チューブ材３１は延伸状態が維持された状態で、電極部材４１ａと電極部材４２ａとのそれぞれに接触する状態に配される。電極部材４１ａと電極部材４２ａとに接触している間のチューブ材３１の延伸率は、５％以上３０％以下の範囲内であることが好ましい。この延伸率（単位は％）は、チューブ材３１の解除状態における長さをＸとし、延伸状態における長さをＹとするときに、｛（Ｙ−Ｘ）／Ｘ｝×１００で求める。 In the present embodiment, the tube material 31 of 30 cm is stretched by 20% to have a length of 36 cm. The fixed portion 33 is disposed on the opposite side of the first electrode 41a from the second electrode 42a, and the fixed portion 34 is disposed on the opposite side of the second electrode 42a from the first electrode 41a. The fixing portion 33 fixes one end of the stretched tube material 31, and the fixing portion 34 fixes the other end of the stretched tube material 31. Thereby, the tube material 31 is arranged in a state in which the tube member 31 is in contact with each of the electrode member 41a and the electrode member 42a while the stretched state is maintained. It is preferable that the stretch rate of the tube material 31 during contact with the electrode member 41a and the electrode member 42a is in the range of 5% to 30%. This stretch rate (unit:%) is obtained by {(Y−X) / X} × 100, where X is the length of the tube material 31 in the released state and Y is the length in the stretched state.

チューブ材３１の電極部材４１ａとの接触位置を第１接触位置Ｐ１とし、電極部材４２ａとの接触位置を第２接触位置Ｐ２とする。第１接触位置Ｐ１と第２接触位置Ｐ２との距離ＤＰは５０ｍｍ以下、すなわち０より大きく５０ｍｍ以下の範囲内であることが好ましい。距離ＤＰが５０ｍｍ以下であることにより、５０ｍｍよりも大きい場合に比べて、より確実に、延伸された状態のチューブ材３１の中空部にプラズマが発生する。距離ＤＰは、１０ｍｍ以上４０ｍｍ以下の範囲内であることがより好ましく、２０ｍｍ以上３０ｍｍ以下の範囲内であることがさらに好ましい。 The contact position of the tube material 31 with the electrode member 41a is defined as a first contact position P1, and the contact position with the electrode member 42a is defined as a second contact position P2. The distance DP between the first contact position P1 and the second contact position P2 is preferably 50 mm or less, that is, within a range greater than 0 and 50 mm or less. When the distance DP is 50 mm or less, the plasma is more reliably generated in the hollow portion of the tube material 31 in the stretched state than when the distance DP is larger than 50 mm. The distance DP is more preferably in the range of 10 mm or more and 40 mm or less, and further preferably in the range of 20 mm or more and 30 mm or less.

電源４３が印加する電圧は交流電圧であることが好ましい。これにより、導電率の低いチューブ材３１を用いても、その中空部に、十分な電離密度のプラズマを、確実に発生させることができる。 The voltage applied by the power supply 43 is preferably an alternating voltage. Thereby, even if it uses the tube material 31 with low electrical conductivity, the plasma of sufficient ionization density can be reliably generate | occur | produced in the hollow part.

交流電圧の周波数は、８ｋＨｚ以上４０ｋＨｚ以下の範囲内であることが好ましく、本実施形態では１０ｋＨｚとしている。交流電圧の周波数が８ｋＨｚ以上であることにより、８ｋＨｚ以下である場合に比べて、高い電離密度のプラズマが生成される。交流電圧の周波数が４０ｋＨｚ以下であることにより、４０ｋＨｚよりも大きい場合に比べて、第１接触位置Ｐ１と第２接触位置Ｐ２との電位差が大きくなるから、第１接触位置Ｐ１と第２接触位置Ｐ２との距離ＤＰが例えば５０ｍｍというように大きくされていても、チューブ材３１の中空部に、より確実にプラズマが発生する。交流電圧の周波数は、１０ｋＨｚ以上３０ｋＨｚ以下の範囲内であることがより好ましく、１０ｋＨｚ以上２０ｋＨｚ以下の範囲内であることがさらに好ましい。 The frequency of the AC voltage is preferably in the range of 8 kHz or more and 40 kHz or less, and is 10 kHz in this embodiment. When the frequency of the AC voltage is 8 kHz or more, plasma with a higher ionization density is generated compared to the case where the frequency is 8 kHz or less. Since the frequency of the AC voltage is 40 kHz or less, the potential difference between the first contact position P1 and the second contact position P2 becomes larger than when the frequency is higher than 40 kHz. Therefore, the first contact position P1 and the second contact position Even if the distance DP to P2 is increased to, for example, 50 mm, plasma is more reliably generated in the hollow portion of the tube material 31. The frequency of the AC voltage is more preferably in the range of 10 kHz to 30 kHz, and still more preferably in the range of 10 kHz to 20 kHz.

吸引部３６は、プラズマ処理中におけるチューブ材３１の中空部を減圧状態に保持するためのものである。この例の固定部３４には、接続口３４ａが設けられている。この接続口３４ａの一端に吸引部３６が接続され、接続口３４ａの他端は固定部３４の内部において、延伸されているチューブ材３１に接続される。吸引部３６には、チューブ材３１の中空部の圧力を検出する圧力センサ（図示無し）が設けられており、この圧力センサの検出信号に基づいて吸引部３６の吸引力を調整することにより、チューブ材３１の中空部が目的とする圧力に減圧される。本実施形態においては、プラズマ処理中のチューブ材３１の中空部の圧力を１０Ｐａに保持している。このように、プラズマ処理ステップは、チューブ材３１の中空部を減圧する減圧ステップを有することが好ましい。チューブ材３１の中空部を減圧状態にすることにより、より確実に、十分な量のプラズマが発生する。また、中空部を減圧状態に保持した状態でプラズマ処理をすることにより、より確実に、突条１１が形成される。 The suction part 36 is for holding the hollow part of the tube material 31 in the reduced pressure state during the plasma processing. The fixing portion 34 in this example is provided with a connection port 34a. The suction port 36 is connected to one end of the connection port 34 a, and the other end of the connection port 34 a is connected to the extended tube material 31 inside the fixed unit 34. The suction part 36 is provided with a pressure sensor (not shown) that detects the pressure of the hollow part of the tube material 31, and by adjusting the suction force of the suction part 36 based on the detection signal of this pressure sensor, The hollow part of the tube material 31 is depressurized to the target pressure. In this embodiment, the pressure of the hollow part of the tube material 31 during the plasma processing is maintained at 10 Pa. Thus, it is preferable that the plasma treatment step includes a pressure reducing step for reducing the pressure of the hollow portion of the tube material 31. By making the hollow portion of the tube material 31 in a reduced pressure state, a sufficient amount of plasma is generated more reliably. Moreover, the protrusion 11 is more reliably formed by performing the plasma treatment in a state where the hollow portion is held in a reduced pressure state.

固定部３３側のチューブ材３１の端部は栓（図示無し）により中空部を塞いだ状態にしてもよいが、本実施形態のように、酸素供給部３７に接続することがより好ましい。酸素供給部３７は、プラズマ処理中のチューブ材３１の中空部に酸素を供給するためのものである。この例の固定部３３には、固定部３４と同様に接続口３３ａが設けられている。この接続口３３ａの一端に酸素供給部３７が接続され、接続口３３ａの他端は固定部３３の内部において、延伸されているチューブ材３１に接続される。酸素供給部３７からの酸素の流量は、特に限定されないが、本実施形態においては１分あたり２０ｃｍ³としている。 The end portion of the tube material 31 on the fixing portion 33 side may be in a state of closing the hollow portion with a stopper (not shown), but it is more preferable to connect to the oxygen supply portion 37 as in this embodiment. The oxygen supply part 37 is for supplying oxygen to the hollow part of the tube material 31 during plasma processing. The fixing portion 33 in this example is provided with a connection port 33 a in the same manner as the fixing portion 34. An oxygen supply unit 37 is connected to one end of the connection port 33 a, and the other end of the connection port 33 a is connected to the extended tube material 31 inside the fixing unit 33. The flow rate of oxygen from the oxygen supply unit 37 is not particularly limited, but is 20 cm ³ per minute in the present embodiment.

チューブ材３１を長手方向に移動させ、順次プラズマ処理を行うとよい。プラズマ処理を経た後に、プラズマ処理中と同じ延伸状態に維持した状態で巻き芯などに巻き取ってもよい。この場合には、巻き芯からの巻出しにおいて延伸を解除する（延伸解除ステップ）ことにより、突条１１が確認されるチューブ１０として得られる。また、プラズマ処理を経た後に、延伸を解除し（延伸解除ステップ）、延伸を解除したチューブ１０を巻き芯などに巻き取ってもよい。 It is preferable to move the tube material 31 in the longitudinal direction and sequentially perform plasma treatment. After the plasma treatment, it may be wound on a winding core or the like while being maintained in the same stretched state as during the plasma treatment. In this case, by removing the stretching in the unwinding from the winding core (stretching release step), it is possible to obtain the tube 10 in which the protrusion 11 is confirmed. In addition, after the plasma treatment, the stretching may be canceled (stretch canceling step), and the stretched tube 10 may be wound around a winding core or the like.

図４に示すチューブ製造設備６０は、チューブ１０を製造するためのものである。チューブ１０の材料としては、本実施形態におけるチューブ材３１は、長さが２ｍである以外はチューブ製造設備３０における上記実施形態で用いたチューブ材３１と同じである。チューブ製造設備６０は、プラズマ発生装置３２と、搬送装置６１とを備える。なお、図４において図３と同じ装置及び部材については、図３と同じ符号を付し、説明を略す。 A tube manufacturing facility 60 shown in FIG. 4 is for manufacturing the tube 10. As a material of the tube 10, the tube material 31 in the present embodiment is the same as the tube material 31 used in the above embodiment in the tube manufacturing facility 30 except that the length is 2 m. The tube manufacturing facility 60 includes a plasma generator 32 and a transfer device 61. 4 that are the same as those in FIG. 3 are assigned the same reference numerals as those in FIG. 3 and descriptions thereof are omitted.

搬送装置６１は、送出部６２と巻取部６３と制御部６６とを備える。送出部６２はチューブ材３１を送り出すためのものであり、巻取部６３はチューブ１０を巻き取るためのものである。制御部６６は、送出部６２と巻取部６３との駆動を統括的に制御する。 The transport device 61 includes a sending unit 62, a winding unit 63, and a control unit 66. The delivery part 62 is for delivering the tube material 31, and the take-up part 63 is for taking up the tube 10. The control unit 66 comprehensively controls driving of the sending unit 62 and the winding unit 63.

送出部６２は、チューブ材３１が巻かれた巻き芯６７がセットされる軸６８と、軸６８を回転させるモータ６９とを備え、軸６８と巻き芯６７とは図４における反時計回りに一体に回転する。巻取部６３は、巻き芯７２がセットされる軸７３と、軸７３を回転させるモータ７４とを備え、巻き芯７２はチューブ１０を巻くためのものである。 The delivery unit 62 includes a shaft 68 on which a winding core 67 around which the tube material 31 is wound is set, and a motor 69 that rotates the shaft 68. The shaft 68 and the winding core 67 are integrated counterclockwise in FIG. Rotate to. The winding unit 63 includes a shaft 73 on which the winding core 72 is set and a motor 74 that rotates the shaft 73, and the winding core 72 is for winding the tube 10.

軸７３と巻き芯７２とは図４における反時計回りに一体に回転する。軸６８と軸７３とは、制御部６６による制御のもとで、モータ６９とモータ７４とにより回転し、これにより、巻き芯６７からチューブ材３１が送り出され、巻き芯７２にチューブ１０が巻かれる。軸７３の回転速度を軸６８の回転速度よりも大きくすることにより、送出部６２と巻取部６３との間に配置されたプラズマ発生装置３２に供するチューブ材３１を延伸する。ただし、チューブ材３１の延伸の手法は、これに限られない。以上のようにしてチューブ材３１は延伸した状態で搬送され（搬送ステップ）、プラズマ処理は、搬送中のチューブ材３１に対して行われる。このように、プラズマ処理は、チューブ材３１を搬送しながら行っており、搬送中のチューブ材３１の中空部にプラズマを発生させる。 The shaft 73 and the winding core 72 rotate integrally counterclockwise in FIG. The shaft 68 and the shaft 73 are rotated by the motor 69 and the motor 74 under the control of the control unit 66, whereby the tube material 31 is sent out from the winding core 67 and the tube 10 is wound around the winding core 72. It is burned. By making the rotational speed of the shaft 73 larger than the rotational speed of the shaft 68, the tube material 31 to be provided to the plasma generator 32 disposed between the delivery unit 62 and the winding unit 63 is stretched. However, the method of extending the tube material 31 is not limited to this. As described above, the tube material 31 is transported in a stretched state (transport step), and the plasma treatment is performed on the tube material 31 being transported. Thus, the plasma treatment is performed while the tube material 31 is being transported, and plasma is generated in the hollow portion of the tube material 31 being transported.

第１電極４１と第２電極４２とは、接触するチューブ材３１の搬送に伴って従動回転する。なお、この例では、第１電極４１と第２電極４２とを回動自在に設けていることにより、例えば延伸率を製造中において変更する場合において、チューブ３１が送出部６２側に引っ張られても、チューブ材３１の電極部材４１ａと電極部材４２ａとのそれぞれに対する摩擦が抑制され、その結果、チューブ材３１の外表面の傷付きが抑制される。ただし、第１電極４１と第２電極４２とは、図４における反時計回りに回転自在に設けてもよい。また、第１電極４１と第２電極４２とは、回転駆動させてもよい。 The first electrode 41 and the second electrode 42 are driven to rotate as the tube material 31 in contact with the first electrode 41 and the second electrode 42 is conveyed. In this example, since the first electrode 41 and the second electrode 42 are provided so as to be rotatable, the tube 31 is pulled toward the delivery section 62 when, for example, the stretching ratio is changed during manufacturing. Moreover, the friction with respect to each of the electrode member 41a of the tube material 31 and the electrode member 42a is suppressed, As a result, the damage of the outer surface of the tube material 31 is suppressed. However, the first electrode 41 and the second electrode 42 may be provided so as to be rotatable counterclockwise in FIG. The first electrode 41 and the second electrode 42 may be driven to rotate.

この例では、プラズマ処理における延伸率を保持した状態でチューブ１０を巻き芯６７に巻き取っている。したがって、巻かれた状態では突条１１は確認されないが、巻き芯６７から巻き出し、延伸を解除する（延伸解除ステップ）ことにより、突条１１が確認される。なお、巻き芯６７からチューブ１０を巻き出し、延伸を解除し（延伸解除ステップ）てから、他の巻き芯（図示なし）へ巻き取ってもよい。 In this example, the tube 10 is wound around the winding core 67 in a state where the stretching ratio in the plasma treatment is maintained. Therefore, although the ridge 11 is not confirmed in the wound state, the ridge 11 is confirmed by unwinding from the winding core 67 and releasing the extension (extension release step). In addition, after unwinding the tube 10 from the winding core 67 and canceling | stretching (extension cancellation | release step), you may wind up to another winding core (not shown).

この例においても、チューブ製造設備３０における前述の実施形態と同様に、チューブ材３１の中空部の減圧と、チューブ材３１の中空部への酸素の供給とを行っている。この例の軸７３には接続口（図示無し）が設けられている。この接続口の一端に吸引部３６が接続され、接続口の他端は軸７３の内部において、延伸されているチューブ材３１に接続される。これにより、チューブ材３１の中空部が減圧される。また、この例の軸６８には接続口（図示無し）が設けられている。この接続口の一端に酸素供給部３７が接続され、他端は軸６８の内部において、延伸されているチューブ材３１に接続される。これにより、チューブ材３１の中空部に酸素が供給される。 Also in this example, similarly to the above-described embodiment in the tube manufacturing facility 30, the decompression of the hollow portion of the tube material 31 and the supply of oxygen to the hollow portion of the tube material 31 are performed. The shaft 73 in this example is provided with a connection port (not shown). The suction part 36 is connected to one end of the connection port, and the other end of the connection port is connected to the extended tube material 31 inside the shaft 73. Thereby, the hollow part of the tube material 31 is decompressed. The shaft 68 in this example is provided with a connection port (not shown). An oxygen supply unit 37 is connected to one end of the connection port, and the other end is connected to the extended tube material 31 inside the shaft 68. Thereby, oxygen is supplied to the hollow part of the tube material 31.

電源４３での電力と電圧の印加時間を変えることにより、高さＨ１１などの突条１１の態様を変えることができる。 By changing the power and voltage application time in the power supply 43, the aspect of the protrusion 11 such as the height H11 can be changed .

１０チューブ
１０ａ内表面
１０ｂ外表面
１１突条
１５内周部
１６外周部
３０，６０チューブ製造設備
３１チューブ材
３２プラズマ発生装置
３３，３４固定部
３６吸引部
３７酸素供給部
４１，４２第１電極，第２電極
４１ａ，４２ａ電極部材
４１ｂ，４２ｂローラ
４３電源
６１搬送装置
６２送出部
６３巻取部
６６制御部
６７巻き芯
６８軸
６９モータ
７２巻き芯
７３軸
７４モータ
ＤＥ外径
ＤＩ内径
ＤＰ距離
Ｈ１１高さ
Ｌ長さ
Ｐ１第１接触位置
Ｐ２第２接触位置
Ｐ１１ピッチ
Ｔ１０チューブの厚み
Ｔ１５内周部の厚み
Ｔ１６外周部の厚み DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Tube 10a Inner surface 10b Outer surface 11 Projection 15 Inner peripheral part 16 Outer peripheral part 30, 60 Tube manufacturing equipment 31 Tube material 32 Plasma generator 33, 34 Fixing part 36 Suction part 37 Oxygen supply part 41, 42 1st electrode, Second electrode 41a, 42a Electrode member 41b, 42b Roller 43 Power supply 61 Conveying device 62 Sending part 63 Winding part 66 Control part 67 Winding core 68 Axis 69 Motor 72 Winding core 73 Axis 74 Motor DE Outer diameter DI Inner diameter DP Distance H11 High Length L P1 First contact position P2 Second contact position P11 Pitch T10 Tube thickness T15 Inner peripheral thickness T16 Outer peripheral thickness

Claims

伸縮自在なチューブ材を長手方向に延伸率が５％以上３０％以下の範囲内で延伸する延伸ステップと、
延伸されている前記チューブ材をプラズマ発生装置の互いに離間した第１電極と第２電極とに接触させた状態で前記チューブ材の中空部にプラズマを発生させるプラズマ処理ステップと、
を有するチューブの製造方法。 A stretching step of stretching a stretchable tube material in the longitudinal direction within a range of a stretch ratio of 5% to 30% ;
A plasma treatment step for generating plasma in the hollow portion of the tube material in a state where the stretched tube material is in contact with the first electrode and the second electrode spaced apart from each other in the plasma generator;
The manufacturing method of the tube which has this.

前記チューブは、
内表面に、周方向に延びた複数の突条が１．５μm以下のピッチで長手方向に並んで形成されている請求項１に記載のチューブの製造方法。 The tube
The method for manufacturing a tube according to claim 1, wherein a plurality of protrusions extending in the circumferential direction are formed on the inner surface side by side in the longitudinal direction at a pitch of 1.5 µm or less.

前記プラズマ処理ステップにおいて前記第１電極と前記第２電極との間に印加する電圧は交流電圧である請求項１または２に記載のチューブの製造方法。 The tube manufacturing method according to claim 1 or 2, wherein a voltage applied between the first electrode and the second electrode in the plasma treatment step is an alternating voltage.

前記交流電圧の周波数は８ｋＨｚ以上４０ｋＨｚ以下の範囲内である請求項３に記載のチューブの製造方法。 The method of manufacturing a tube according to claim 3, wherein the frequency of the AC voltage is in a range of 8 kHz to 40 kHz.

前記プラズマ処理ステップは、前記中空部を減圧する減圧ステップを有し、前記中空部を減圧状態に保持した状態で前記プラズマを発生させる請求項１ないし４のいずれか１項に記載のチューブの製造方法。 The tube manufacturing method according to any one of claims 1 to 4, wherein the plasma treatment step includes a pressure reducing step for decompressing the hollow portion, and the plasma is generated in a state where the hollow portion is maintained in a decompressed state. Method.

前記チューブ材の前記第１電極に接する第１接触位置と前記第２電極に接する第２接触位置との距離は５０ｍｍ以下である請求項１ないし５のいずれか１項に記載のチューブの製造方法。 The method for manufacturing a tube according to any one of claims 1 to 5, wherein a distance between a first contact position in contact with the first electrode of the tube material and a second contact position in contact with the second electrode is 50 mm or less. .

前記チューブ材を延伸した状態で搬送する搬送ステップを有し、
前記プラズマ処理ステップは、搬送中の前記チューブ材の中空部に前記プラズマを発生させる請求項１ないし６のいずれか１項に記載のチューブの製造方法。 A transport step of transporting the tube material in a stretched state;
The said plasma processing step is a manufacturing method of the tube of any one of Claim 1 thru | or 6 which generates the said plasma in the hollow part of the said tube material in conveyance.

前記プラズマ処理ステップの後に、前記延伸を解除する延伸解除ステップを有する請求項１ないし７のいずれか１項に記載のチューブの製造方法。 The tube manufacturing method according to any one of claims 1 to 7, further comprising a stretching release step of canceling the stretching after the plasma treatment step.

前記チューブ材はポリシロキサンで形成されている請求項１ないし８のいずれか１項に記載のチューブの製造方法。 The tube manufacturing method according to claim 1, wherein the tube material is made of polysiloxane.