JP6595844B2 - デジタル可変容量回路、共振回路、増幅回路、及び送信機 - Google Patents

デジタル可変容量回路、共振回路、増幅回路、及び送信機 Download PDF

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Description

本発明はデジタル可変容量回路、共振回路、増幅回路、及び送信機に関する。
特許文献1には、複数の容量セルを有するデジタル可変容量回路が開示されている。容量セルのそれぞれには、接地側にスイッチ用MOSトランジスタが直列接続されている。スイッチ用MOSトランジスタのゲート端子には、ハイレベル電位を与えるPチャネルMOSトランジスタと、ローレベル電位を与えるNチャネルMOSトランジスタが接続されている。スイッチ用MOSトランジスタのゲート端子がローレベル電位となることで、可変抵抗素子の抵抗値が増大している
特開2007−149925号公報
しかしながら、特許文献1のデジタル可変容量回路では、出力端子に大電圧振幅の信号が供給されると、耐圧やリーク電流の問題が生じるおそれがある。
その他の課題と新規な特徴は、本明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう。
一実施の形態によれば、デジタル可変容量回路は、並列接続された複数の容量セルを有しており、前記容量セルが、一端が一方の出力端子と接続された第1の容量と、2つの出力端子の間において、前記第1の容量と直列接続されたインピーダンス素子と、前記インピーダンス素子と並列接続され、デジタル制御信号に応じて制御されるトランジスタと、を備えている。
前記一実施の形態によれば、高性能のデジタル可変容量回路、共振回路、増幅回路、及び送信機を提供することができる。
デジタル可変容量回路を有する通信装置の構成を示す図である。 通信装置に用いられているHPA回路の構成を示す回路図である。 比較例にかかるデジタル可変容量回路の全体構成図を示す図である。 図3に示すデジタル可変容量回路のユニット容量セルを示す回路図である。 トランジスタM1のOFF時の電流電圧波形を示す図である。 実施形態1にかかるデジタル可変容量回路の回路図である。 図6に示すデジタル可変容量回路のユニット容量セルを示す回路図である。 デジタル可変容量回路の容量性能を比較するシミュレーション結果を示す図である。 実施形態2にかかるデジタル可変容量回路の回路図である。 図9に示すデジタル可変容量回路のユニット容量セルを示す回路図である。 実施形態3にかかるデジタル可変容量回路の回路図である。 図11に示すデジタル可変容量回路のユニット容量セルを示す回路図である。 実施形態4にかかるデジタル可変容量回路のユニット容量セルを示す回路図である。 本実施の形態にかかるデジタル容量回路が適用されるLNA回路を示す回路図である。 本実施の形態にかかるデジタル容量回路が適用されるVCO回路を示す回路図である。 厚膜トランジスタと薄膜トランジスタの断面構成を示す図である。
実施の形態1.
説明の明確化のため、以下の記載及び図面は、適宜、省略、及び簡略化がなされている。また、様々な処理を行う機能ブロックとして図面に記載される各要素は、ハードウェア的には、CPU、メモリ、その他の回路で構成することができ、ソフトウェア的には、メモリにロードされたプログラムなどによって実現される。したがって、これらの機能ブロックがハードウェアのみ、ソフトウェアのみ、またはそれらの組合せによっていろいろな形で実現できることは当業者には理解されるところであり、いずれかに限定されるものではない。なお、各図面において、同一の要素には同一の符号が付されており、必要に応じて重複説明は省略されている。
近年、ウェアラブル製品向け低消費電力無線通信規格Bluetooth(登録商標) Low Energy(以下、BLE)に対応したRFIC(Radio Freqquency Integrated Circuit)が普及している。また、IoT(Internet of Things)社会実現に向け、スマートメータ(電力、ガス)製品の開発が注目を集めている。それらに伴い、IEEE802.15.4g対応Sub−GHz RFICの開発が進められている。
特に、BLE対応RFIC及び、ガスメータ対応Sub−GHz RFICでは電池による長時間駆動が求められている。現状では駆動電圧の高いリチウムイオン電池駆動(約3.0V)を想定したRFIC製品が市場で出回っている。しかし、リチウムイオン電池は他の電池に比べ高価であり、経済性に乏しい。経済性を高めるためには駆動電圧が低いアルカリ電池(約1.6V)などの適用が必要となる。将来的なBLE対応RFIC、Sub−GHz対応RFICの製品動向としては、低電圧化が重要な製品要件となる。
図1は、本実施の形態にかかる通信装置1の構成例を示す。図1は、通信装置1の構成を示す回路図である。通信装置1は、RFIC100と、MCU(Micro Control Unit)/MPU(Micro Processing Unit)200と、アンテナ301と、バッテリ400を備えている。RFIC100は、Sub−GHz RFICである。さらに、RFIC100には、後述するように本実施形態にかかるデジタル可変容量回路(以下、単に可変容量回路ともいう)が用いられている。
MCU/MPU200は、RFIC100で送信するためのデータを生成する。さらに、MCU/MPU200は、RFICで復調したデータに応じた処理を実行する。MCU/MPU200は所定のインターフェースを介して、RFIC100と接続されている。
RFIC100は、Sub−GHz無線通信装置である。RFIC100は、コントローラ11と、MAC MODEM12と、受信機20と、送信機40と、を備えている。さらに、RFIC100は、RF入力端子21、22とRF出力端子45とを備えている。
通信装置1は、バッテリ400を備えている。すなわち、通信装置1は、バッテリ400によって駆動する。したがって、バッテリ400は、RFIC100、MCU/MPU200等に電源を供給する。バッテリ400は、例えば、アルカリ電池である。
受信機20は、無線受信系(RX)の回路を有している。具体的には、受信機20は、内部マッチング回路23とLNA回路24とミキサ25とIFA回路26とLPF(ローパスフィルタ)27とA/D(Analog to Digital)コンバータ28とVCO(Voltage Control Oscilator)回路42とPLL(Phased Locked Loop)回路41とを備えている。
送信機40は無線送信系(TX)の回路を有している。具体的には、送信機40は,PLL回路41とVCO回路42とHPA回路43と帯域除去フィルタ44とを備えている。PLL回路41とVCO回路42とは、受信機20と送信機40とで共用されている。
アンテナ301は、無線通信を行うため、高周波信号を電波として空間に送信し、空間からの電波を高周波信号として受信する。RFIC100は、アンテナ301で受信した受信信号、及びアンテナ301から送信する送信信号に対する処理を行う。この処理については後述する。
RFIC100は、送信パスTXpathと、受信パスRXpathとを介して、アンテナ301に接続されている。具体的には、受信パスRXpathには、容量303が設けられている。アンテナ301で受信した受信信号は、容量303を介して、RF入力端子21に入力される。また、RF入力端子22はグランドに接続されている。
送信パスTXpathには、容量304とマッチング(整合)回路305とが設けられている。RFIC100が生成した送信信号は、マッチング回路305と容量304を介して、アンテナ301に供給される。また、アンテナ301とRFIC100との間には、RFスイッチ302が設けられている。RFスイッチ302は、高周波信号の送信パス(TXPath)と受信パス(RXPath)の切替を行う。
送信処理について説明する。MCU/MPU200から、データを送信する命令がRFIC100に出力される。すると、コントローラ11は、MCU/MPU200からの命令をRFIC制御するための信号処理を実行する。そして、MAC MODEM12は、送信信号データを生成する。PLL回路41、及びVCO回路42は、送信信号データと搬送波を変調する。例えば、送信信号データがΔΣ変調されて、搬送波に乗せられる。そして、VCO回路42は、変調された送信信号をHPA回路43に出力する。
HPA回路43は、PLL回路41、VCO回路42で変調された送信信号を増幅して、帯域除去フィルタ44に出力する。これにより、送信電力が増幅される。帯域除去フィルタ44は、送信信号の不要な帯域成分を除去する。そして、帯域除去フィルタ44を通過した送信信号は、RF出力端子45に入力される。
RF出力端子301からの送信信号は、マッチング回路305、容量304を介して、RFスイッチ302に供給される。マッチング回路305は、HPA回路43から出力された高出力の送信信号をアンテナ301に損失なく伝搬するため、インピーダンスをマッチングする。送信時には、RFスイッチ302は、送信パスTXPathを介して、アンテナ301とRF入力端子21を接続する。したがって、RFIC100からの送信信号がアンテナ301に供給される。アンテナ301は、送信信号に応じた電磁波が放射される。このようにして、データを無線送信することができる。
次に、受信処理について説明する。アンテナ301が電波を受信すると、受信した電波に応じた受信信号は、受信パスRXpathを伝播する。すなわち、受信信号は、容量303を介してRF入力端子21に入力される。内部マッチング回路23は、LNA回路24の前段に配置されている。内部マッチング回路23は、インピーダンスのマッチングを行う。こうすることで、アンテナ301からのパワーを損失無く供給することができる。LNA(Low Noise Amplifier)回路24は、受信系の初段のアンプであり、アンテナ31で受信した受信信号を増幅する。
ミキサ25は、アンテナで受信した受信信号を復調する。すなわち、ミキサ25は、高周波信号の中から搬送波に乗っているデータを抽出する。そして、ミキサ25は、抽出したデータに応じた電流をIFA回路26に出力する。なお、ミキサ25が、VCO回路42から出力されたローカル信号を用いて復調処理を行っている。ローカル信号は、高周波信号の搬送波と同じ周波数の信号である。
IFA(Intermediate Frequency Amplifier)回路は、例えば、トランスインピーダンスアンプ(Transimpedance Amplifier)である。IFA回路26は、ミキサ25からの出力電流に対して電流電圧変換を行う。すなわち、ミキサ25の出力が電流、LPF27の入力が電圧であるため、IFA回路26は、電流電圧変換を行う。
LPF27は、アンテナ301からの受信信号の中に含まれる希望波以外の信号を抑圧する。すなわち、受信信号には、希望波の他に、受信には不必要な妨害信号も乗っている。LPF27は、低域周波数のみを通過させることで、妨害信号を抑圧する。A/Dコンバータ28は、LPF27を通過した受信信号をAD変換する。MAC MODEM12はデジタル信号処理回路であるため、A/Dコンバータ28は、デジタルの受信信号を生成して、MAC MODEM12に出力する。
ここで、HPA回路43の高効率及び高出力化はバランと容量が並列共振している時に実現可能である。各国の通信規格に対応するため、容量は可変機能が必要である。図2にHPA回路43、及び帯域除去フィルタ44の回路構成例を示す。
HPA回路43は増幅部47、バラン48、容量C1を備えている。バラン(平衡−不平衡変換器)48では、インダクタL1とインダクタL2とが結合している。帯域除去フィルタ44は、容量C2とインダクタL3とを備えている。インダクタL2と容量C1とが並列共振回路となる。また、容量C2とインダクタL3とが直列共振回路となる。インダクタL1、L2と容量C1がバラン共振回路となる。マッチング回路305は、外部容量CEXT1と外部インダクタLEXT1とを備えている。
VCO回路42から出力された送信信号は、増幅部47に入力される。増幅部47は、送信信号を増幅して、バラン48に出力する。バラン48は、増幅部47からの差動信号をシングルエンド信号に変換する。バラン48では、インダクタL2とインダクタL1とが結合している。インダクタL2と容量C1とは並列共振回路となっている。よって、バラン48に入力された送信信号は、低損失で出力される。
RF出力端子45aとRF出力端子45bとの間で、容量C1とインダクタL2とが並列接続されている。すなわち、容量C1の一端は、RF出力端子45aと接続し、他端はRF出力端子45bと接続している。インダクタL2の一端は、RF出力端子45aと接続し、他端はRF出力端子45bと接続している。
また、RF出力端子45aとRF出力端子45bとの間で、帯域除去フィルタ44は、容量C1と並列接続されている。RF出力端子45aとRF出力端子45bとの間にインダクタL3と容量C2が直接接続されている。具体的には、インダクタL3の一端は、RF出力端子45aと接続し、他端は容量C2の一端と接続されている。容量C2の他端は、RF出力端子45bと接続されている。
さらに、RFIC100の外部において、RF出力端子45aとRF出力端子45bとの間には、マッチング回路305が配置されている。RF出力端子45aは、外部インダクタLEXT1を介して、RFスイッチ302と接続されている。RF出力端子45bは、グランドに接続されている。外部インダクタLEXT1の一端は、RF出力端子45aに接続され、他端は、外部容量CEXT1の一端に接続されている。外部容量CEXT1の他端は、グランド、及びRF出力端子45bに接続されている。
インダクタL2と容量C1を並列共振させることにより、共振周波数でバラン48の減衰率が最小となる。これにより、高効率で高送信出力が可能となる。共振周波数は各国で規定された周波数帯が異なるため、調整機能が必要である。共振周波数は容量を可変にすることで調整する。すなわち、容量C1を可変容量とすることで、様々な国で使用することが可能となる。したがって、容量C1を本実施の形態にかかる可変容量回路とすることができる。
一方、高送信電力を出力するとRFIC端(例えば、RF出力端子45a)の電圧振幅が増大してしまい、可変容量回路が誤動作する可能性がある。特に、低電源電圧動作では、誤作動の問題が更に深刻化する。以下、図1に示したRFIC100を日本で使用する例について考える。
ARIB STD−T108より、アンテナ301端の最大送信電力は13dBm以下と規定されている。ここで、RFスイッチ302に2.5dBのロスがあった場合、RFIC100のRF出力端子45で15.5dBm出力以下にする必要がある。スマートメータネットワークではメータからコンセントレーターまでの距離を長くしたいため、可能な限り高出力送信が望まれる。そのため、RFIC100では最大15.5dBm送信出力が必要である。ここで、送信電力をPoutとし、図2のRFOUT端のインピーダンスをZRFOUTとする。RFOUT端電圧振幅VRFOUTは、以下の式(1)となる。
Figure 0006595844
例えば、出力電力が15.5dBmであり、RFOUT端インピーダンスを100オームである場合を考える。このとき、式(1)からRFOUT端の電圧振幅は1.88Vピーク電圧となる。15.5dBm送信出力の場合、RFIC端電圧振幅が非常に大振幅になる。電圧振幅が増大すると、容量C1や容量C2を形成している可変容量回路が誤動作を起こす可能性が生じる。低電源電圧で動作させると、誤作動が更に顕著となる。本実施形態では、大電圧振幅による可変容量回路50の誤動作を防ぎ、更に低電源電圧に適用するようにしている。
図3に、比較例にかかる可変容量回路50の全体構成を示す。可変容量回路50は、n個のユニット容量51を並列接続している。なお、nは2以上の整数である。図3では、2つの出力端子OUTP、OUTNの間に、ユニット容量セル51−0〜51−nが並列接続された構成を示している。可変容量回路50の容量値は、並列接続された複数のユニット容量セル51−0〜51−nの合成容量値となっている。
図3では、各ユニット容量セル51−0〜51−nの出力端子を出力端子OUTP、OUTNとして示す。すなわち、各ユニット容量セル51−0〜51−nの2つの出力端子OUTP、OUTNは共通している。出力端子OUTPが図2のRF出力端子45aに対応し、出力端子OUTNがRF出力端子45bに対応している。シングルエンド出力であるため、出力端子OUTNはグランドに接続されている。各ユニット容量セル51−0〜51−nの制御入力端子b0〜bnにはデジタルイネーブル制御信号(以下、単に制御信号という)がそれぞれ入力される。
複数のユニット容量セル51−0〜51−nは制御信号によって独立に制御される。これにより、可変容量回路50全体の容量値が可変となる。ユニット容量セル51−0〜51−nのそれぞれは同一の構成を有しており、入力される制御信号のみが異なっている。ユニット容量セル51の構成を図4に示す。なお、図4では、制御入力端子b0を有するユニット容量セル51−0の構成を示しているが、他のユニット容量セル51−1〜51−nについても同様の構成となっている。したがって、ユニット容量セル51−1〜51−nの構成については説明を省略する。
図4に示すように、ユニット容量セル51は、第1の容量Cu1と、NMOS(Metal Oxide Semiconductor)トランジスタM1と、抵抗R1と、トランスミッションゲートTG1と、NOT回路NT1と、を有している。NMOSトランジスタM1、及びトランスミッションゲートTG1は、スイッチとして機能する。
出力端子OUTPと出力端子OUTNとの間には、第1の容量Cu1とNMOSトランジスタM1が直列接続されている。具体的には、第1の容量Cu1の一端が出力端子OUTPに接続されている。第1の容量Cu1の他端がNMOSトランジスタM1のドレイン端子に接続されている。MMOSスイッチM1のソース端子は、出力端子OUTNに接続されている。ここで、第1の容量Cu1とNMOSトランジスタM1との間の端子を第1の中間端子N1とする。
NMOSトランジスタM1のゲート端子は、制御入力端子b0が接続されている。制御入力端子b0には、可変容量回路50の容量値を可変とするための制御信号が供給されている。したがって、NMOSトランジスタM1は、制御信号によってオンオフ制御されるスイッチとなる。
また、バイアス電圧入力端子VBは、トランスミッションゲートTG1及び抵抗R1を介して、第1の中間端子N1に接続されている。第1の中間端子N1は、NMOSトランジスタM1のドレイン端子に接続している。さらに、トランスミッションゲートTG1の負極制御端子は、制御入力端子b0に接続されている。トランスミッションゲートTG1の正極制御端子は、NOT回路NT1の出力に接続されている。NOT回路NT1の入力側には、制御端子b0が接続されている。
したがって、トランスミッションゲートTG1は、制御信号によってオンオフ制御されるスイッチとなる。トランスミッションゲートTG1がオンすると、バイアス電圧が抵抗R1を介して、第1の中間端子N1、及びNMOSトランジスタM1のドレイン端子に供給される。
制御入力端子b0に入力された制御信号がHの場合、NMOSトランジスタM1のスイッチ抵抗はゼロとなり、トランスミッションゲートTG1がハイインピーダンスとなる。これにより、ユニット容量セル51がオン(活性)状態となり、ユニット容量セル51の容量値が第1の容量Cu1の容量値(以下、Cuとする)となる。制御信号がLの場合、NMOSトランジスタM1のスイッチ抵抗は無限大となり、トランスミッションゲートTG1はショートし、NMOSトランジスタM1のドレインDC電圧はバイアス電圧となる。これにより、ユニット容量セル51がオフ状態となる。
ユニット容量セル51がオフ状態で大電圧振幅がかかっている場合、NMOSトランジスタM1が誤動作し、耐圧仕様が満たせなくなる場合がある。図5に、オフ状態でのNMOSトランジスタM1のドレイン端子にかかる電圧波形と電流波形のイメージ図を示す。
ユニット容量セル51がオフ状態に遷移したとき、可変容量回路50にかかる電圧振幅がそのままNMOSトランジスタM1のドレイン電圧にかかる。これはNMOSトランジスタM1のオフ抵抗が無限大であるので、電圧分圧されず、そのまま伝搬するからである。このとき、NMOSトランジスタM1のドレイン電圧V(D)は、以下の(2)式となる。
Figure 0006595844
なお、Vrrは電圧振幅である。ここで、NOMSスイッチM1のドレイン電圧の電圧動作範囲を検討する。NOMSスイッチM1のドレイン電圧の最大値はオフトランジスタの素子耐圧Vmaxで決まる。一方、NMOSトランジスタM1のドレイン電圧の最小値はNMOSトランジスタM1がオンとなる誤動作が起こらない条件で決まる。使用しているNMOSスイッチM1のしきい電圧をVTHとすると、NMOSトランジスタM1のドレイン電圧の最小値は−VTHとなる。したがって、NMOSトランジスタM1のドレイン電圧の電圧動作範囲は、以下の式(3)となる。
Figure 0006595844
式(3)を満たし、電圧振幅が最大になるため、バイアス電圧VB及び許容最大電圧振幅Vrfを、式(4)、及び式(5)に設定する必要がある。
Figure 0006595844
Figure 0006595844
例えば、図2の容量C1に図3、図4に示す可変容量回路50を適用し、15.5dBm出力をしている場合を考える。このとき、NMOSトランジスタM1のオフ時耐圧仕様を2.0Vとし、しきい電圧VTHを0.3Vとする。式(4)、式(5)より、バイアス電圧VB=0.85V、許容最大電圧振幅は1.15Vピーク電圧となる。
上述のように、15.5dBm出力のとき、RFOUT端の電圧振幅は1.88Vピーク電圧である。この場合、式(2)から最大電圧は2.73V、最小電圧は−1.03Vとなる。したがって、NMOSトランジスタM1の素子耐圧、及びオフ時のスイッチの誤動作が生じてしまう。
このような可変容量回路で高出力送信を行うためには、NMOSトランジスタM1に高耐圧MOSトランジスタを用いるという対策がある。高耐圧MOSトランジスタの場合、トランジスタの素子耐圧、及び、しきい電圧が薄膜MOSトランジスタに比べて高い。
例えば、高耐圧MOSトランジスタの耐圧が4.1V、しきい電圧が0.5Vとすると、バイアス電圧VB=1.8V、許容最大電圧振幅は2.3Vピーク電圧となる。高耐圧MOSトランジスタを用いることにより、15.5dBm出力送信が可能となる。しかし、電源電圧が1.8V以下となるとき、バイアス電圧VBが生成不可能になり、低電源電圧化が非常に困難となる。すなわち、1.6Vのアルカリ電池を用いることが困難になる。
したがって、比較例の可変容量回路では15.5dBmの高送信出力と低電源電圧動作の両立は難しい。このような条件下でも正常に動作する新たな回路構成が必要となる。本実施の形態にかかる可変容量回路を用いることで、高送信出力と低電源電圧動作の両立が可能な通信装置を実現することができる。
本実施の形態にかかる可変容量回路について、図6、及び図7を用いて説明する。図6は、可変容量回路50の構成を模式的に示す回路図である。図7は、ユニット容量セル51の構成を示す回路図である。以下、可変容量回路50が図2の容量C1である例について説明する。
図6に示すように、可変容量回路50は、複数のユニット容量セル51−0〜51−nを有している。可変容量回路50は、複数のユニット容量セル51−0〜51−nを有している。2つの出力端子OUTP、OUTNの間に、複数のユニット容量セル51−0〜51−nが並列接続されている。可変容量回路50の容量値は、並列接続された複数のユニット容量セル51−0〜51−nの合成容量値となっている。
図6では、各ユニット容量セル51−0〜51−nの出力端子を出力端子OUTP、OUTNとして示す。すなわち、各ユニット容量セル51−0〜51−nの2つの出力端子OUTP、OUTNは共通している。
出力端子OUTPが図2のRF出力端子45aに対応し、出力端子OUTNがRF出力端子45bに対応している。したがって、出力端子OUTPには、バラン48の出力電圧V(OUT)が供給される。出力端子OUTNはグランドに接続されている。各ユニット容量セル51−0〜51−nの制御入力端子b0〜bnにはデジタルイネーブル制御信号(以下、単に制御信号という)がそれぞれ入力される。
複数のユニット容量セル51−0〜51−nは制御信号によって独立に制御される。これにより、可変容量回路50全体の容量値が可変となる。ユニット容量セル51−0〜51−nのそれぞれは同一の構成を有しており、入力される制御信号のみが異なっている。ここで、ユニット容量セル51の構成を図7に示す。なお、図7では、制御入力端子b0を有するユニット容量セル51−0の構成を示しているが、他のユニット容量セル51−1〜51−nについても同様の構成となっている。したがって、ユニット容量セル51−1〜51−nの構成については説明を省略する。
図7に示すように、ユニット容量セル51は、第1の容量Cu1と、第2の容量Cu2と、NMOSトランジスタM1と、を有している。NMOSトランジスタM1は、スイッチとして機能する。
出力端子OUTPと出力端子OUTNとの間には、第1の容量Cu1と、第2の容量Cu2とが、直列接続されている。具体的には、第1の容量Cu1の一端が出力端子OUTPに接続され、第1の容量Cu1の他端が第2の容量Cu2の一端と接続されている。第2の電極Cu2の他端は、出力端子OUTNに接続されている。第1の容量Cu1と第2の容量Cu2の間の端子を第1の中間端子N1とする。
第1の中間端子N1と出力端子OUTNと間には、NMOSトランジスタM1と第2の容量Cu2とが並列に接続されている。具体的には、NMOSトランジスタM1のドレイン端子が第1の中間端子N1に接続されている。NMOSトランジスタのソース端子が出力端子OUTNに接続されている。したがって、NMOSトランジスタのソース端子が第2の容量Cu2の他端に接続されている。
NMOSトランジスタM1のゲート端子は、制御入力端子b0に接続されている。制御入力端子b0には、制御信号が入力されている。したがって、NMOSトランジスタM1は、制御信号によってオンオフ制御されるスイッチとして機能する。
ユニット容量セル51がオフ(非活性)状態であるとき、NMOSトランジスタM1にかかるドレイン電圧は容量分圧される。したがって、電圧減衰が可能にある。ここで、ユニット容量セルの活性動作を説明する。制御入力端子b0に入力された制御信号がHの場合、NMOSトランジスタM1のスイッチ抵抗はゼロとなる。これにより、ユニット容量セル51がオン(活性)状態となる。よって、ユニット容量セル51の全体の容量値が第1の容量Cu1の容量値Cuとなる。
制御信号がLの場合、NMOSトランジスタM1はオフとなり、NMOSトランジスタM1のスイッチ抵抗は無限大となる。これにより、ユニット容量セル51がオフ(不活性)状態となる。ユニット容量セル51の容量値は2つの直列容量の合成容量値となる。第1の容量Cu1の容量値をCU、第2の容量Cu2の容量値をM・Cuとすると、ユニット容量セル51の容量値は、M/(1+M)・Cuとなる。すなわち、ユニット容量セル51の容量値は、第1の容量Cu1と第2の容量Cu2の直列合成容量となる。
ここで、ユニット容量セル51にかかる電圧をV(OUT)とすると、NMOSトランジスタM1のドレイン電圧V(D)は以下の式(6)となる。
Figure 0006595844
このように、ドレイン端子には容量分圧された電圧V(D)が出力される。比較例では、ドレイン端子にV(OUT)がそのまま出力される形になる。したがって、実施形態1の可変容量回路50では、NMOSトランジスタM1にかかる電圧を抑えることができる。よって、NMOSトランジスタM1のスイッチ誤動作を防止することができる。耐圧の低い素子をNMOSトランジスタM1として用いることが可能になる。したがって、薄膜MOSトランジスタで、NMOSトランジスタM1を形成することができる。これにより、低電源電圧化を図ることができる。よって、アルカリ電池駆動が可能になる。
また、実施形態1にかかる構成の他の利点を説明する。容量回路の容量性能の1つであるQuality factorが比較例に比べ、優れている。図8に、実施形態1と比較例にかかる可変容量回路50のQuality factorと合成容量値とのシミュレーション結果を示す。図8では、横軸が合成容量値であり、縦軸がQuality factorである。図8では、実施の形態1のシミュレーション結果をA、比較例のシミュレーション結果をBとして示している。図8は、3ビットの可変容量回路についてのシミュレーション結果を示す。また、最大合成容量値は同一条件下としている。
図8より、実施形態の構成では、比較例に比べ、Quality factor性能が良い。特に、小容量の場合、その効果が顕著である。これは、オフ時のNMOSトランジスタM1のスイッチ抵抗が有限で、Quality factorはその抵抗成分に強く依存するからである。ここで、3ビットの可変容量回路50のユニット容量セル51が全てオフであるときのQuality factorを求める。
NMOSトランジスタM1がオフであるときのスイッチ抵抗をROFFとする。比較例の構成でのQuality factorをQconvとすると、以下の式(7)が得られる。
Figure 0006595844

同様にして、実施形態1の構成のQuality factorをQprop1とすると、以下の式(8)が得られる。
Figure 0006595844
ここで、ROFFはオフスイッチ抵抗であるため、高抵抗である。式(7)、及び式(8)より、実施形態1と比較例のQuality factorを比較すると、実施形態1の方が大きくなる。
上記したように、本実施の形態では、NMOSトランジスタM1のドレイン端子に印加されるAC電圧は出力AC電圧の1/(1+M)倍となる。したがって、ドレイン端子での電圧振幅を減少することができる。これにより、高出力送信が可能となり、かつ、可変容量回路が誤動作しなくなる。また、NMOSトランジスタM1がオフ時のリーク電流を低減することができる。可変容量回路50を小容量で用いる場合でもQuality factorを高くすることが可能である。このように、本実施の形態によれば、高性能の可変容量回路50を実現することができる。
本実施の形態にかかる可変容量回路50を図2の容量C1や容量C2に用いることができる。このようにすることで、大電圧振幅を出力するRFIC100においても、NMOSトランジスタM1として高耐圧素子を用いる必要がなくなる。したがって、NMOSトランジスタM1を耐圧の低い薄膜MOSトランジスタで形成することができる。したがって、主回路と同じ薄膜MOSトランジスタを用いることができるので、別途電源、及び電圧源回路を用意する必要がなくなる。
実施の形態2.
本実施の形態にかかる可変容量回路50について、図9、及び図10を用いて説明する。図9は、可変容量回路50の構成を示す回路図であり。図10は、可変容量回路50のユニット容量セル51の構成を示す回路図である。
実施の形態2では、図7に示したユニット容量セル51に、抵抗R1、トランスミッションゲートTG1、NOT回路NT1、バイアス電圧入力端子VBが追加されている。可変容量回路50、及びユニット容量セル51の基本的構成については、実施の形態1と同様であるため説明を省略する。
バイアス電圧入力端子VBは、トランスミッションゲートTG1及び抵抗R1を介して、第1の中間端子N1に接続されている。第1の中間端子N1は、第1の容量Cu1と第2の容量Cu2との間の端子である。トランスミッションゲートTG1には、バイアス電圧入力端子VBが接続されている。したがって、トランスミッションゲートTG1には、バイアス電圧が入力される。抵抗R1の一端は、トランスミッションゲートTG1の出力に接続され、抵抗R1の他端は、第1の中間端子N1に接続されている。したがって、トランスミッションゲートTG1の出力側は、抵抗R1を介して、NMOSトランジスタM1のドレイン端子と接続されている。
トランスミッションゲートTG1の負極制御端子は、制御入力端子b0に接続されている。トランスミッションゲートTG1の正極制御端子は、NOT回路NT1の出力に接続されている。NOT回路NT1の入力側には、制御端子b0が接続されている。したがって、トランスミッションゲートTG1は、制御信号によってオンオフ制御されるスイッチとなる。トランスミッションゲートTG1がオンすると、バイアス電圧が抵抗R1を介して、第1の中間端子N1、及びNMOSトランジスタM1のドレイン端子に供給される。
次に、ユニット容量セル51の活性動作について説明する。図10のユニット容量セル51がオン(活性)状態になるとき、NMOSトランジスタM1がオンとなり、スイッチ抵抗はゼロとなる。このとき、制御入力端子b0の制御信号はHであり、NOT回路NT1の出力がLである。このため、トランスミッションゲートTG1はハイインピーダンスになる。バイアス電圧はNMOSトランジスタM1のドレイン端子に供給されない。したがって、ユニット容量セル51の容量値はCuとなる。
一方、ユニット容量セルがオフ(不活性)状態になるとき、NMOSトランジスタM1がオフとなり、スイッチ抵抗は無限大になる。このとき、制御入力端子b0の制御信号がLであり、NOT回路NT1の出力がHである、したがって、トランスミッションゲートTG1は導通状態になる。そのため、バイアス電圧はNMOSトランジスタM1のドレイン端子に供給される。したがって、ユニット容量セル51の容量値は2つの直列容量の合成容量となる。すなわち、ユニット容量セル51の容量値は、M/(1+M)・Cuとなる。
実施形態2の構成では、ユニット容量セル51のオフ時において、NMOSトランジスタM1のドレイン電位がバイアス電圧分だけレベルシフトする。したがって、実施形態1よりも、大振幅を受け入れることが可能となる。以下に、オフ時のドレイン電圧について考える。
DCバイアス電圧がVBになり、信号電圧振幅は式(6)よりも電圧減衰された振幅になる。ここで、可変容量回路50に印可される電圧振幅をVrfとすると、以下の式(9)が得られる。
Figure 0006595844
比較例と同様に、電圧振幅を最大にするためのバイアス電圧及び許容最大電圧振幅を求める。NMOSトランジスタM1のドレイン電圧の最大値はオフトランジスタの素子耐圧Vmaxで決まる。一方、NMOSトランジスタM1のドレイン電圧の最小値はMOSスイッチがONとなるような誤動作起こらない条件で決まり、−VTHとなる。したがって、式(9)を用いると、最大振幅及びバイアス電圧は、それぞれ、以下の式(10)、及び式(11)のようになる。
Figure 0006595844
Figure 0006595844
ここで、実施形態1の最大振幅はNMOSトランジスタM1のしきい電圧と等しくなる。したがって、式(10)より、実施形態2では実施形態1に比べ、(1+M)/2・(1+Vmax/VTH)倍だけ大振幅を受け入れられる。したがって、許容可能な電圧振幅をより大きくすることができるため、より高出力送信が可能となる。
実施の形態3.
本実施形態にかかる可変容量回路50について、図11、及び図12を用いて説明する。図11は、可変容量回路50の構成を示す回路図であり。図12は、可変容量回路50のユニット容量セル51の構成を示す回路図である。
本実施の形態にかかる可変容量回路50は、実施形態2の可変容量回路50を差動容量化したものである。そのため、出力端子OUTNがグランドに接続されていない。すなわち、出力端子OUTNが負の差動出力となっており、出力端子OUTPが正の差動出力となっている。
さらに、出力端子OUTPと出力端子OUTNとの間に、第1の容量Cu11と第2の容量Cu2と第3の容量Cu3とが直列接続されている。さらに、抵抗R2が追加されている。第3の容量Cu3、及び抵抗R2以外の構成については、図10と同様であるため説明を省略する。
第1の容量Cu11が図10の第1の容量Cu1に対応し、第2の容量Cu2が図10の第2の容量Cu2に対応する。したがって、実施の形態3では、第2の容量Cu2の出力端子OUTN側に第3の容量Cu3が追加された構成となっている。
具体的には、第1の容量Cu11の一端が出力端子OUTPと接続され、第1の容量Cu11の他端が第2の容量Cu2の一端と接続されている。第3の容量Cu3の一端が第2の容量Cu2の他端と接続され、第3の容量Cu3の他端が出力端子OUTNと接続されている。第1の容量Cu1と第2の容量Cu2の間の端子を第1の中間端子N1とし、第2の容量Cu2と第3の容量Cu3の間の端子を第2の中間端子N2とする。
第2の容量Cu2に、NMOSトランジスタM1が並列接続されている。したがって、NMOSトランジスタM1のドレイン端子は、第1の中間端子N1に接続され、ソース端子は、第2の中間端子に接続されている。
トランスミッションゲートTG1の出力は、R2を介して、第2の中間端子N2と接続されている。したがって、トランスミッションゲートTG1がオンすると、バイアス電圧が抵抗R2を介して、第2の中間端子N2に供給される。
制御端子b0がNMOSトランジスタM1のゲート端子及び、NOT回路NT1の入力に接続されている。バイアス電圧入力端子VBがトランスミッションゲートTG1、抵抗R1を介して、NMOSトランジスタM1のドレイン端子に接続されている。また、バイアス電圧入力端子VBがトランスミッションゲートTG2、及び抵抗R2を介して、NMOSトランジスタM1のソース端子に接続されている。また、トランスミッションゲートTG1の正極制御端子はNOT回路NT1の出力と接続し、負極制御端子は制御端子b0と接続している。
第1の容量Cu11と第3の容量Cu3の容量値をCuとし、第2の容量Cu2の容量値を1/2・M・Cuとする。
次に、実施形態3の活性動作について説明する。図12のユニット容量セル51がオン(活性)状態になるとき、NMOSトランジスタM1がオンとなり、スイッチ抵抗はゼロとなる。このとき、制御端子b0の制御信号がHであり、NOT回路NT1の出力がLである。したがって、トランスミッションゲートTG1はハイインピーダンスになる。そのため、バイアス電圧入力端子VBに入力されたバイアス電圧はNMOSトランジスタM1のドレイン端子に供給されない。ユニット容量セル51の差動合成容量値は1/2・Cuとなる。すなわち、オン状態のNMOSトランジスタM1を介して、第1の容量Cu11と第3の容量Cu3が直列接続される。よって、第1の容量Cu11と第3の容量Cu3の直列合成容量値が、ユニット容量セル51の容量値となる。
一方、ユニット容量セルがオフ(不活性)状態になるとき、NMOSトランジスタM1がオフとなり、スイッチ抵抗は無限大になる。このとき、制御端子b0の制御信号がLであり、NOT回路NT1の出力がHである。したがって、トランスミッションゲートTG1は導通状態になる。そのため、バイアス電圧は抵抗R1,R2を介して、NMOSトランジスタM1のドレイン端子及びソース端子にそれぞれ供給される。したがって、ユニット容量セル51の容量値は3つの第1の容量Cu11,第2の容量Cu2、及び第3の容量Cu3の直列合成容量値となり、M/(1+2M)・Cuとなる。
本実施の形態では、NMOSトランジスタM1にかかるドレイン・ソース間の信号電圧を減衰することができる。図12のユニット容量セル51が非活性状態にあるとき、ユニット容量セル51は第1の容量Cu11、第2の容量Cu2、及び第3の容量Cu3の直列接続した回路と見なすことができる。ここで、可変容量回路50にかかる電圧をV(OUT)とすると、ドレイン・ソース間電圧は式(6)と同値になる。
一方、一般的な差動型の可変容量回路の場合、非活性状態のドレイン・ソース間電圧はV(OUT)になる。したがって、実施形態3の構成により、ドレイン・ソース間電圧信号を減衰させることができる。よって、トランジスタの素子耐圧及び、MOSスイッチの誤動作防止が可能となる。
なお、本実施形態では、実施の形態2の構成を差動容量化したが、実施の形態1の構成を差動容量化してもよい。この場合、図7の構成に、第3の容量Cu3が追加された構成になる。すなわち、第2の容量Cuと出力端子OUTNとの間に第3の容量Cu3が配置される。
実施の形態4.
本実施の形態にかかる可変容量回路について、図13を用いて説明する。図13は、可変容量回路50のユニット容量セル51の構成を示す回路図である。本実施の形態では、実施の形態2のユニット容量セル51の第2の容量Cu2がインピーダンス素子Zbに置き換えられている。それ以外の構成は実施の形態2と同様であるため説明を省略する。
出力端子OUTPと出力端子OUTNとの間に、第1の容量Cu1とインピーダンス素子Zbが直列接続されている。したがって、ユニット容量セル51がオフ(不活性)状態のとき、NMOSトランジスタM1がオフとなる。よって、ユニット容量セル51は、第1の容量Cu1とインピーダンス素子Zbが直列接続された回路とみなすことができる。従って、NMOSトランジスタM1のドレイン端子電圧は第1の容量Cuと固定インピーダンスZbで分圧され、電圧減衰される。よって、実施の形態2と同様の効果を得ることができる。
インピーダンス素子Zbとしては、例えば、抵抗が挙げられる。低周波アナログ回路などでは、インピーダンス素子Zbとして抵抗を用いることができる。なお、図13では、実施の形態2の第2の容量Cu2をインピーダンス素子Zbに置き換えたが、実施の形態1又は実施の形態3における第2の容量Cu2をインピーダンス素子Zbと置き換えてもよい。
なお、上記の実施の形態1〜4は適宜組み合わせることができる。
(可変容量回路の適用例)
上記の実施形態では、HPA回路43の容量C1に可変容量回路50を適用する例について説明したが、その他の容量に可変容量回路50を適用することも可能である。例えば、図2に示した、帯域除去フィルタ44の容量C2に可変容量回路50を適用することも可能である。
また、増幅回路のほか、マッチング回路、負荷回路、前置回路、共振回路にも可変容量回路50を用いることが可能である。負荷回路は、例えば、図2において、増幅部47以降の回路である。したがって、容量C1、及び容量C2の1つまたは複数を可変容量回路50とすることも可能である。前置回路は、受信機20における初段のLNA回路24までの回路である。例えば、図1の内部マッチング回路23が前置回路である。内部マッチング回路23の容量を可変容量回路50とすることも可能である。これにより、素子耐圧問題の解消や可変容量回路の誤動作を防ぐことができる。
さらには、バラン共振回路にも可変容量回路50を適用することができる。例えば、図2のインダクタL1、L2と容量C1をバラン共振回路とする場合、容量C1に可変容量回路50を用いることができる。さらに、入力側のインダクタL1に可変容量回路50を並列接続してもよい。あるいは、インダクタL1とインダクタL2の両方に可変容量回路50を並列接続してもよい。これにより、素子耐圧問題の解消や可変容量回路の誤動作を防ぐことができる。
また、インダクタと容量が直列接続された直列共振回路にも可変容量回路50を適用することができる。例えば、図2のインダクタL3と容量C2を直列共振回路とする場合、容量C2に可変容量回路50を用いてもよい。これにより、素子耐圧問題の解消や可変容量回路の誤動作を防ぐことができる。
さらに、容量とインダクタが並列接続された並列共振回路にも可変容量回路50を適用することが可能である。例えば、図2のインダクタL2と容量C1を並列共振回路とする場合、容量C1に可変容量回路50を用いることができる。そして、発振回路において、並列共振回路を負荷として用いることもできる。並列共振回路を負荷回路としても用いた発振回路では、大電圧振幅を出力することができる。
さらには、大電圧振幅を出力するシステム構成があるLNA回路24やVCO回路42にも、可変容量回路50を適用することが可能である。HPA回路43と同様に、LNA回路24やVCO回路42でも素子耐圧問題の解消や可変容量回路の誤動作を防ぐことができる。
図14にLNA回路24の構成例を示す。LNA回路24は、インダクタL11と容量C11とNMOSトランジスタM11とNMOSトランジスタM12とを備えている。インダクタL11と容量C11とが並列に接続されている。さらに、NMOSトランジスタM11のドレイン端子が容量C11の一端に接続されている。また、NMOSトランジスタM12のドレイン端子が容量C11の他端に接続されている。NMOSトランジスタM11,M12のソース端子はグランドに接続されている。
容量素子C11の一端に出力端子OUTPが接続され、他端に出力端子OUTNが接続されている。このようなLNA回路24の容量C11について、上記した可変容量回路50を用いることができる。例えば、LNA回路24が差動出力の場合、容量C11に実施形態3の可変容量回路50を用いることができる。
図15にVCO回路42の構成例を示す。VCO回路42は、インダクタL21と容量C21とNMOSトランジスタM21とNMOSトランジスタM22とを備えている。インダクタL21と容量C21とが並列に接続されている。さらに、NMOSトランジスタM21のドレイン端子が容量C21の一端に接続されている。また、NMOSトランジスタM22のドレイン端子が容量C21の他端に接続されている。NMOSトランジスタM21,M22のソース端子はグランドに接続されている。さらに、NMOSトランジスタM21のゲート端子が中間端子N22に接続されている。中間端子N22は、NMOSトランジスタM22のドレイン端子と容量C21との間の端子である。NMOSトランジスタM22のゲート端子が中間端子N21に接続されている。中間端子N21は、NMOSトランジスタM22のドレイン端子と容量C21との間の端子である。
容量素子C21の一端に出力端子OUTPが接続され、他端に出力端子OUTNが接続されている。このようなVCO回路42の容量C21について、上記した可変容量回路50を用いることができる。例えば、VCO回路42が差動出力の場合、容量C21に実施形態3の可変容量回路50を用いることができる。
このように、直列共振回路、並列共振回路、バラン共振回路、負荷回路、発振回路、前置回路などの様々な回路に用いられる容量に可変容量回路50を用いることができる。本実施の形態では、ユニット容量セル51のNMOSトランジスタM1にかかる信号電圧を減衰させることができる。よって、NMOSトランジスタM1の耐圧やリーク電流の問題を抑制することができる。デジタル可変容量の誤動作を防ぐことができる。NMOSトランジスタM1として耐圧の低い低耐圧素子を用いることができる。大出力振幅を出力することができる。さらに、高耐圧MOSトランジスタをNMOSトランジスタM1に用いた場合と比べ、容量性能(Quality factor)を向上することができる。高出力送信の場合でも高耐圧MOSトランジスタを使用しなくて済み、低電源電圧化を図ることができる。
このように、高性能の可変容量回路50を提供することができる。さらに、直列共振回路、並列共振回路、バラン共振回路、負荷回路、発振回路、前置回路などの各種回路の高性能化を実現することができる。可変容量回路50は、無線通信における送信機に好適である。低電源電圧化を図ることができるので、可変容量回路50は、バッテリ駆動の送信機等に好適である。具体的には、可変容量回路50は、sub−GHz無線通信RFICやBLE対応RFICに好適である。すなわち、可変容量回路50を有する送信機では、アルカリ電池で駆動することができるので、経済性を高くすることができる。
(MOSトランジスタ構成)
上記したように、NMOSトランジスタM1として耐圧が低い素子を用いることができる。したがって、耐圧の低い薄膜トランジスタをNMOSトランジスタM1として用いることができる。図16に厚膜トランジスタと薄膜トランジスタの断面構成を示す。
図16に示すように、基板90には、薄膜トランジスタ98と厚膜トランジスタ99が形成されている。薄膜トランジスタ98は、薄膜トランジスタ形成領域901に配置されている。また、高耐圧MOSトランジスタである厚膜トランジスタ99は、厚膜トランジスタ形成領域902に配置されている。薄膜トランジスタ98と厚膜トランジスタ99は、MOSトランジスタであり、ゲート絶縁膜94の厚さが異なっている。
薄膜MOSトランジスタ98と厚膜トランジスタ99では、それぞれN型のソース91、N型のドレイン92、ゲート93、及びゲート絶縁膜94を有している。ソース91とドレイン92の間において、基板90の上にはゲート絶縁膜94が配置されている。さらに、ゲート絶縁膜94の上には、ゲート93が配置されている。ここで、薄膜MOSトランジスタ98のゲート絶縁膜をゲート絶縁膜94aとし、厚膜MOSトランジスタ99のゲート絶縁膜をゲート絶縁膜94bとしている。
ゲート絶縁膜94aはゲート絶縁膜94bよりも薄くなっている。したがって、薄膜MOSトランジスタ98の耐圧は、厚膜トランジスタ99よりも低くなっている。換言すると、厚膜トランジスタ99は高耐圧素子であり、薄膜トランジスタ98は低耐圧素子である。可変容量回路50のNMOSトランジスタM1は、薄膜トランジスタ98によって形成されている。
したがって、可変容量回路50を用いる回路、例えば、図2のHPA回路43、VCO回路42、LNA回路24等のトランジスタを薄膜トランジスタ98により形成することができる。これにより、低電源電圧化を図ることができ、アルカリ電池(1.6V)での駆動が可能となる。したがって、可変容量回路50は、IEEE802.15.4g対応Sub−GHz RFICやBLE対応RFICに好適である。可変容量回路50を通信装置1に用いることで、様々な国の規格に対応することができる。高耐圧が必要な回路、例えば、帯域除去フィルタ44や内部マッチング回路23のトランジスタのみを厚膜トランジスタ98により形成するようにしてもよい。
以上、本発明者によってなされた発明を実施の形態に基づき具体的に説明したが、本発明は既に述べた実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能であることはいうまでもない。
1 通信装置
11 コントローラ
12 MAC MODEM
20 受信機
21 入力端子
22 入力端子
23 内部マッチング回路
24 LNA回路
25 ミキサ
26 IFA回路
27 LPF
28 A/Dコンバータ
40 発信機
41 PLL回路
42 VCO回路
43 HPA回路
44 帯域除去フィルタ
47 増幅部
48 バラン
50 可変容量回路
51 ユニット容量セル
100 RFIC
200 MCU/MPU
301 アンテナ
302 RFスイッチ
303 容量
304 容量
M1 NMOSトランジスタ
R1 抵抗
C1、C2 容量
L1、L2、L3 インダクタ

Claims (9)

  1. 2つの出力端子の間に並列接続された複数の容量セルを有するデジタル可変容量回路であって、
    前記容量セルが、
    一端が一方の出力端子と接続された第1の容量と、
    前記2つの出力端子の間において、前記第1の容量と直列接続されたインピーダンス素子と
    前記インピーダンス素子と並列接続され、デジタル制御信号に応じて制御されるトランジスタと、を備え、
    前記デジタル可変容量回路が、
    バイアス電圧が供給されているバイアス電圧供給端子と、
    前記デジタル制御信号に応じて、前記第1の容量と前記インピーダンス素子との間の中間端子に前記バイアス電圧を供給するスイッチと、
    前記中間端子と前記バイアス電圧供給端子との間に配置された抵抗と、を備えるデジタル可変容量回路。
  2. 前記インピーダンス素子が第2の容量である請求項1に記載のデジタル可変容量回路。
  3. 2つの出力端子の間に並列接続された複数の容量セルを有するデジタル可変容量回路であって、
    バイアス電圧が供給されているバイアス電圧供給端子と、
    デジタル制御信号に応じて、第1及び第2の中間端子に前記バイアス電圧を供給するスイッチと、
    前記第1の中間端子と前記バイアス電圧供給端子との間に配置された第1の抵抗と、
    前記第2の中間端子と前記バイアス電圧供給端子との間に接続された第2の抵抗と、を備え、
    前記容量セルが、
    一端が一方の出力端子と接続された第1の容量と、
    前記2つの出力端子の間において、前記第1の容量と直列接続されたインピーダンス素子と、
    前記インピーダンス素子と並列接続され、前記デジタル制御信号に応じて制御されるトランジスタと、
    第3の容量を備え、
    前記2つの出力端子の間には、前記第1の容量、前記インピーダンス素子、及び第3の容量がこの順で直列接続され、
    前記2つの出力端子によって差動動作を行い、
    前記第1の中間端子が、前記第1の容量と前記インピーダンス素子との間の中間端子であり、
    前記第2の中間端子が、前記第3の容量と前記インピーダンス素子との間の中間端子である、デジタル可変容量回路。
  4. 請求項1に記載のデジタル可変容量回路と、
    第1のインダクタと、
    前記第1のインダクタと結合された第2のインダクタと、を備え、
    前記デジタル可変容量回路が、前記第1のインダクタ及び第2のインダクタの少なくとも一方に並列接続されているバラン共振回路。
  5. 請求項1に記載のデジタル可変容量回路と、
    前記デジタル可変容量回路と直列接続されたインダクタと、を備える直列共振回路。
  6. 請求項1に記載のデジタル可変容量回路と、
    前記デジタル可変容量回路と並列接続されたインダクタと、を備える並列共振回路。
  7. 請求項に記載の並列共振回路を負荷とした用いた発振回路。
  8. 請求項に記載のバラン共振回路と、
    請求項に記載の直列共振回路と、
    請求項に記載の並列共振回路と、を備える増幅回路。
  9. 請求項1に記載のデジタル可変容量回路を備える送信機。
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