JP6594250B2 - 温度計測装置及び温度計測方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 67
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 160
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 66
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 claims description 33
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 5
- 230000008569 process Effects 0.000 description 45
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 29
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 20
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 17
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 9
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 5
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 241000406668 Loxodonta cyclotis Species 0.000 description 1
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 description 1
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 1
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000009795 derivation Methods 0.000 description 1
- 230000008713 feedback mechanism Effects 0.000 description 1
- 239000010408 film Substances 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
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- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Description
図1〜図4を参照して第1実施形態を説明する。まず図1を参照して、第1実施形態に係る温度計測装置1の構成について説明する。
T0=T2+C×W1 ・・・(1)
図5及び図6を参照して第2実施形態を説明する。図5に示すように、第2実施形態に係る温度計測装置1Aは、温度センサ3に対して相対的に温度印加機構6側の治具5の温度T3を計測する第2温度センサ7(第2温度検出部)を備える点、及び、制御部4が、温度センサ3により検出される治具5の温度T2(第1温度)及び第2温度センサ7により検出される治具5の温度T3(第2温度)に基づいて温度印加機構6を制御して治具5の温度を調節する点、で第1実施形態の温度計測装置1と異なる。
2:熱流センサ(熱流検出部)
3:温度センサ(温度検出部、治具温度検出部)
4:制御部
5:治具
6:温度印加機構(温度調節部)
7:第2温度センサ(治具温度検出部)
10:測定対象物
11:被測定部
T0:被測定部の温度
T2:熱流センサの温度、治具の温度、治具の下流側温度(第1温度)
T3:治具の上流側温度(第2温度)
W1:測定対象物の被測定部と表面との間の熱流
C:熱抵抗値
S102:調節ステップ
S103:接触ステップ
S104:熱流検出ステップ
S105:温度検出ステップ
S106:温度算出ステップ
Claims (8)
- 測定対象物(10)の内部に存在する被測定部(11)の温度(T0)を計測する際に、前記測定対象物の表面(10a)に接触し、前記測定対象物の前記被測定部と前記表面との間の熱流(W1)を検出する熱流検出部(2)と、
前記熱流検出部の温度(T2)を検出する温度検出部(3)と、
前記被測定部の前記温度を計測する際に、前記測定対象物の前記表面に接触した状態の前記熱流検出部に接触するよう設けられる治具(5)と、
前記治具の温度を検出する治具温度検出部(3,7)と、
前記治具を加熱又は冷却する温度調節部(6)と、
前記治具温度検出部により検出される前記治具の温度に基づいて、前記熱流の流れが前記被測定部から前記熱流検出部へ向かう方向となるように、前記温度調節部を制御して前記治具の温度を調節すると共に、前記熱流検出部により検出される前記測定対象物の前記熱流と、前記温度検出部により検出される前記熱流検出部の前記温度とに基づいて、前記被測定部の前記温度を算出する制御部(4)と、
を備える温度計測装置(1,1A)。 - 前記被測定部の前記温度を計測する前に、前記測定対象物及び前記被測定部の温度が所定温度帯に入るよう調整され、
前記制御部は、前記治具と接触する前記熱流検出部の温度と、前記測定対象物及び前記被測定部の温度との間の温度差(ΔT)が所定範囲に入るように、前記温度調節部を制御して前記治具の温度を調節する、
請求項1に記載の温度計測装置。 - 前記制御部は、前記熱流検出部により検出される前記測定対象物の前記熱流(W1)に、前記測定対象物の前記表面と前記測定対象物の内部の前記被測定部との間の熱抵抗(C)を乗算し、さらに、前記温度検出部により検出される前記熱流検出部の前記温度(T2)を加算することにより、前記測定対象物の内部に設けられる前記被測定部の前記温度(T0)を算出する、
請求項1または2に記載の温度計測装置。 - 前記熱流検出部は、相互に対向する一対の主面(2a,2b)を有し、前記測定対象物の前記熱流を検出する際には、前記一対の主面のうち一方の主面(2a)が前記測定対象物の前記表面に密着して取り付けられ、
前記温度検出部は、前記熱流検出部の前記一対の主面のうち他方の主面(2b)の表面温度(T2)を検出する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の温度計測装置。 - 前記治具温度検出部は、前記熱流検出部の温度(T2)を検出すると共に、前記熱流検出部に接触した状態の前記治具の温度を検出可能な前記温度検出部であり、
前記制御部は、前記温度検出部により検出される前記治具の温度に基づいて、前記熱流の流れが前記被測定部から前記熱流検出部へ向かう方向となるように、前記温度調節部を制御して前記治具の温度を調節する、
請求項4に記載の温度計測装置(1)。 - 前記治具温度検出部は、前記温度検出部と、前記温度検出部に対して相対的に前記温度調整部側の前記治具の温度を計測する第2温度検出部(7)と、を含み、
前記制御部は、前記温度検出部により検出される前記治具の第1温度(T2)及び前記第2温度検出部により検出される前記治具の第2温度(T3)に基づいて、前記熱流の流れが前記被測定部から前記熱流検出部へ向かう方向となるように、前記温度調節部を制御して前記治具の温度を調節する、
請求項5に記載の温度計測装置(1A)。 - 前記測定対象物が、圧力センサであり、
前記被測定部が、前記圧力センサの内部に設けられる受圧部である、
請求項1〜6のいずれか1項に記載の温度計測装置(1,1A)。 - 測定対象物(10)の内部に存在する被測定部(11)の温度(T0)を計測する温度計測方法であって、
制御部(4)が、治具温度検出部(3,7)により検出される治具(5)の温度(T2)に基づいて、熱流検出部(2)が前記測定対象物の表面(10a)に接触し、かつ、前記治具が前記熱流検出部に接触した状態のときに、前記被測定部と前記表面との間の熱流(W1)の流れが、前記被測定部から前記熱流検出部へ向かう方向となるように、温度調節部(6)を制御して前記治具の温度を調節する調節ステップ(S102)と、
前記熱流検出部が、前記測定対象物の前記表面に接触する接触ステップ(S103)と、
前記治具を取り付けられた前記熱流検出部が、前記被測定部と前記表面との間の前記熱流を検出する熱流検出ステップ(S104)と、
温度検出部(3)が、前記熱流検出部の温度(T2)を検出する温度検出ステップ(S105)と、
制御部(4)が、前記熱流検出ステップにて前記熱流検出部により検出された前記測定対象物の前記熱流と、前記温度検出ステップにて前記温度検出部により検出された前記熱流検出部の前記温度とに基づいて、前記被測定部の前記温度を算出する温度算出ステップ(S106)と、
を含む温度計測方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016080805A JP6594250B2 (ja) | 2016-04-14 | 2016-04-14 | 温度計測装置及び温度計測方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016080805A JP6594250B2 (ja) | 2016-04-14 | 2016-04-14 | 温度計測装置及び温度計測方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017191019A JP2017191019A (ja) | 2017-10-19 |
JP6594250B2 true JP6594250B2 (ja) | 2019-10-23 |
Family
ID=60085928
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016080805A Expired - Fee Related JP6594250B2 (ja) | 2016-04-14 | 2016-04-14 | 温度計測装置及び温度計測方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6594250B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7362239B2 (ja) * | 2018-02-13 | 2023-10-17 | Ntn株式会社 | 軸受装置およびスピンドル装置 |
DE112019005429T5 (de) * | 2018-10-31 | 2021-07-15 | Ntn Corporation | Lagervorrichtung |
EP3943221B1 (en) * | 2019-03-19 | 2024-01-03 | NTN Corporation | Lubricating oil supply unit and bearing device |
JP7411347B2 (ja) * | 2019-03-19 | 2024-01-11 | Ntn株式会社 | 潤滑油供給ユニットおよび軸受装置 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4499274B2 (ja) * | 2000-12-01 | 2010-07-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体処理装置における温度測定方法および半導体処理方法 |
JP5847102B2 (ja) * | 2013-01-31 | 2016-01-20 | 三菱電機株式会社 | 被加熱試験体の加熱制御装置および加熱制御方法 |
JP6226185B2 (ja) * | 2013-12-20 | 2017-11-08 | 株式会社Ihi | 蒸発管の内部状態判定装置と方法 |
-
2016
- 2016-04-14 JP JP2016080805A patent/JP6594250B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017191019A (ja) | 2017-10-19 |
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A621 | Written request for application examination |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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|
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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