JP6591910B2 - 圧電素子およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図1(a)、(b)、(c)は、それぞれ圧電素子100の平面図、側面図および側断面図である。図1(c)は、図1(a)の断面1cの断面図を示している。図2は、金属部材900上に配置された圧電素子100の側断面図である。圧電素子100は、矩形体に形成され、一方の主面が金属部材900に接着される積層型の圧電素子である。圧電素子100は、圧電層110、内部電極121、122、スルーホール電極171、172を備え、スルーホール電極171、172への電圧の印加により伸縮する。
圧電素子100の製造工程を説明する。まず、所定の配合で圧電材料、溶媒、バインダ等を混合し、押し出し成形でグリーンシートを形成する。得られたグリーンシートに電極ペーストで電極パターンを印刷して、それらを積層し、金型で積層体を打ち抜く。そして、打ち抜かれた積層体にスルーホール電極用の孔を設け、電極ペーストを所定量まで注入する。
110 圧電層
110a、110b 保護層
121、122 内部電極
150、160 端面
171、172 スルーホール電極
171a、172a 外部電極
900 金属部材
Claims (1)
- 電圧の印加により伸縮する積層型の圧電素子の製造方法であって、
電極パターンを印刷したグリーンシートの積層体にスルーホール電極用の孔を設ける工程と、
前記スルーホール電極用の孔に、電極用の金属粒子が20〜50vol%を占めるように固形分の占有率を調整され、固形分の量を45〜55vol%に調整された電極ペーストを注入する工程と、
前記電極ペーストを充填された積層体を焼成する工程と、を含むことを特徴とする圧電素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2017152532A JP2017152532A (ja) | 2017-08-31 |
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Country | Link |
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JP (1) | JP6591910B2 (ja) |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07221360A (ja) * | 1994-02-01 | 1995-08-18 | Fuji Elelctrochem Co Ltd | 積層型電歪/圧電素子の製造方法 |
JPH0953031A (ja) * | 1995-06-07 | 1997-02-25 | Hitachi Chem Co Ltd | 導電ペースト及び電気回路形成基板の製造法 |
JP3964193B2 (ja) * | 2000-12-22 | 2007-08-22 | 日本碍子株式会社 | マトリクス型アクチュエータ |
US7067965B2 (en) * | 2002-09-18 | 2006-06-27 | Tdk Corporation | Piezoelectric porcelain composition, piezoelectric device, and methods of making thereof |
US20150321222A1 (en) * | 2014-05-07 | 2015-11-12 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Piezoelectric element and piezoelectric vibration module having the same |
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2016
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Publication number | Publication date |
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JP2017152532A (ja) | 2017-08-31 |
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