JP6588894B2 - 熱処理可能な被覆ガラス板 - Google Patents
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Description
ガラス基板と、
下方反射防止層と、
銀系機能層と、
少なくとも1つのさらなる反射防止層と、を順に備える被覆ガラス板であって、さらなる反射防止層が、少なくとも以下の層、
少なくとも1つのバリア層と、
少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層と、
少なくとも1つの誘電体層とを順に備える、被覆ガラス板が提供される。
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金系誘電体層、
Ti酸化物及び/またはZr酸化物系誘電体層、
Zn及びSn酸化物、Sn酸化物、ならびに/またはNb酸化物などの金属酸化物系誘電体層、
ならびにZn酸化物系誘導体上層、のうちの1つ以上を備え得る。
○Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはTi酸化物、ならびに/またはZr酸化物系誘導体基層、
○Zn及びSn酸化物、Sn酸化物、ならびに/またはNb酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびに
○Zn酸化物系誘導体上層、を少なくとも備える。
○Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはTi酸化物、ならびに/またはZr酸化物系誘導体基層、
○Zn及びSn酸化物、Sn酸化物、ならびに/またはNb酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびに
○Zn酸化物系誘導体上層、を少なくとも備える。
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Zn及びSn酸化物、Sn酸化物、ならびに/またはNb酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびに
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、のうちの1つ以上の組み合わせを少なくとも備え得る。
各中央反射防止層は、
中央反射防止層が間に位置する銀系機能層のうちのガラス基板の最も近くに位置する銀系機能層から順に、
少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびに
Zn酸化物系誘導体上層を少なくとも備える。
各中央反射防止層は、
中央反射防止層が間に位置する銀系機能層のうちのガラス基板の最も近くに位置する銀系機能層から順に、
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
任意に、少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびに
Zn酸化物系誘導体上層を少なくとも備える。
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、ならびに
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層、のうちの1つ以上の組み合わせを少なくとも備え得る。
少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
少なくとも1つのSi(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、ならびに
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層を少なくとも備え得る。
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
任意に、少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、ならびに
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層を少なくとも備え得る。
Zn及びSn酸化物(ZnSnOx、重量比Zn:Sn≒50:50)の全誘電体層を、Ar/O2スパッタ雰囲気内で亜鉛−スズターゲットから反応的にスパッタした。
下方、中央、及び上方反射防止層のZnO:Al成長促進誘導体上層を、Ar/O2スパッタ雰囲気内でAlドープZnターゲット(Al含有量約2重量%)からスパッタした。
全実施例において本質的に純銀(Ag)から成る機能層を、いかなる追加酸素もなしに、10−5mbar未満の残留酸素の分圧で、Arスパッタ雰囲気内で銀ターゲットからスパッタした。
準化学量論的なNiCrOxのバリア層を、Ar/O2スパッタ雰囲気内でニッケル−クロムターゲットから反応的にスパッタした。
NiCrの吸収バリア層を、残留酸素のみを含有するArスパッタ雰囲気内でニッケル−クロムターゲットからスパッタした。
Alドープ亜鉛酸化物(ZnO:Al、「ZAO」)のバリア層を、酸素含有量の少ないAr/O2スパッタ雰囲気内で導電性セラミックZnOx:Alターゲットからスパッタした。
混合ケイ素アルミニウム窒化物(Si90Al10Nx)の誘電体層を、残留酸素のみを含有するAr/N2スパッタ雰囲気内で、混合Si90Al10ターゲットから反応的にスパッタした。Al窒化物の層を、残留酸素のみを含有するAr/N2スパッタ雰囲気内でAlターゲットから反応的にスパッタした。
窒化タングステンの吸収層を、残留酸素のみを含有するAr/N2スパッタ雰囲気内でWターゲットから反応的にスパッタした。
実施例の被覆の堆積後、TL及び色値を測定し、試料を約610℃で約5分間熱処理した。その後、ヘイズ、TL、及び色値を測定した。結果は上の表1に示す。
本評価システムは、被覆が損傷されているまたは不完全である局部的な色のバリエーション(表1内のヘイズスコア)を引き起こす、被覆内の目に見える欠陥のより肉眼的な影響を検討する。熱処理後の被覆における目に見える欠陥の肉眼的な影響(全ての実施例が熱処理前はヘイズを示さない)を、明るい光の下で試料を検分することによって主観的に評価した。本評価は、0(完全、欠陥なし)から3(明らかに目に見える欠陥及び/または染みが多い)を経て最大5(濃いヘイズ、多くの場合すでに肉眼で見える)までのスコアを使用する完全性採点(評価)システムに基づき、熱処理後の被覆ガラス試料の外観を評価する。
視覚的評価は、250万カンデラパワービーム(トーチ)を使用し、それを約−90°〜約+90°の入射角で(垂直入射に対して)、黒い箱の前に置かれた被覆ガラス板上の2つの直交面に当てる(すなわち、最初に水平面に、次いで垂直面にトーチを向ける)ことによって実行した。黒い箱は、数枚の被覆ガラス試料を同時に評価することができるように十分に大きいサイズを有する。被覆ガラス板を観測し、上記の入射角を変化させることにより、被覆ガラス板を通して観測者から光線を当てることにより、それらの見た目の品質を評価した。被覆ガラス板を、それらの被覆が観測者の方を向くように黒い箱の前に置いた。3以上のスコアを有する熱処理された被覆ガラス板は、試験に不合格であったと見なされる。
比較用実施例1の被覆板は、吸収及びバリア両方の特性を提供するために、上方反射防止層内にNiCr吸収バリア層を利用する。この被覆板は、熱処理時に検出可能なヘイズを示さない。しかしながら、この板は、被覆側及びガラス側両方からの観測に対するΔE値が共に高く、熱処理時に反射色特性に大きな変化を示す。
Claims (11)
- 少なくとも以下の層、
ガラス基板と、
下方反射防止層と、
銀系機能層と、
少なくとも1つのさらなる反射防止層と、を順に備える被覆ガラス板であって、前記さらなる反射防止層が、少なくとも以下の層、
少なくとも1つのバリア層と、
少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層と、
少なくとも1つの上位誘電体層と、を順に備え、
前記下方反射防止層が、Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはTi酸化物、ならびに/またはZr酸化物系誘導体基層、Zn及びSn酸化物、Sn酸化物、ならびに/またはNb酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびにZn酸化物系誘導体上層、のうちの1つ以上を備え、
前記少なくとも1つのバリア層が、NiCr、Nb、Ti、Zr、Zn、Sn、In、及び/もしくはCrの酸化物及び/もしくは窒化物系のものであり、
前記少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層が、前記バリア層と直接接触して位置し、
前記少なくとも1つの上位誘電体層が、前記吸収層と直接接触して位置し、前記少なくとも1つの上位誘電体層が、Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金系誘電体層、ならびに/または、Zn及びSn酸化物などの、Ti、Zr、Zn、Sn、In、及び/もしくはNbのうちの1つ以上の酸化物などの金属酸化物系誘電体層を備え、
前記上位誘電体層が、Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金系のものであるとき、前記少なくとも1つの吸収層と直接接触する前記バリア層は、Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金系のものではない、前記被覆ガラス板。 - 所与の反射防止層内に位置する前記少なくとも1つのバリア層が、少なくとも0.5nm、最大で8nmの全厚を有する、請求項1に記載の前記被覆ガラス板。
- 各吸収層が、少なくとも2nm、最大で25nmの厚さを有する、請求項1または2に記載の前記被覆ガラス板。
- 前記板が、1つより多くの銀系機能層を備え、
各銀系機能層が、中央反射防止層によって隣接する銀系機能層から離間されており、
前記ガラス基板から最も遠くに位置する前記反射防止層が、上方反射防止層と呼ばれ、
少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層が、前記上方反射防止層内及び/または中央反射防止層内に位置する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の前記被覆ガラス板。 - 前記中央反射防止層(複数可)が、以下の層、
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Zn及びSn酸化物、Sn酸化物、ならびに/またはNb酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびに
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、のうちの1つ以上の組み合わせを少なくとも備える、請求項4に記載の前記被覆ガラス板。 - 各中央反射防止層が、
前記中央反射防止層が間に位置する前記銀系機能層のうちの前記ガラス基板の最も近くに位置する前記銀系機能層から順に、
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
任意に、少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層、ならびに
Zn酸化物系誘導体上層、を少なくとも備え、
少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層が前記中央反射防止層内に位置するとき、前記任意の少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層が存在せず、前記吸収層が、前記少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層と、前記Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層との間に位置する、請求項4または請求項5のいずれか一項に記載の前記被覆ガラス板。 - 少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層が、最上のNiCr酸化物系バリア層と、前記Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層との間に、かつそれらと直接接触して前記中央反射防止層内に位置する、請求項6に記載の前記被覆ガラス板。
- 前記ガラス基板から最も遠くに位置する前記反射防止層が、上方反射防止層と呼ばれ、前記上方反射防止層が、以下の層、
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
少なくとも1つのZn酸化物及び/またはTi酸化物系バリア層、
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、ならびに
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層、のうちの1つ以上の組み合わせを少なくとも備える、請求項1〜7のいずれか一項に記載の前記被覆ガラス板。 - 前記上方反射防止層が、前記ガラス基板から最も遠くに位置する前記銀系機能層から順に、
少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層、
任意に、少なくとも1つのZn酸化物、Ti酸化物、及び/またはTi系バリア層、
Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系誘電体層、ならびに
Zn及びSn酸化物ならびに/またはSn酸化物などの金属酸化物系誘電体層を、少なくとも備え、
少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層が前記上方反射防止層内に位置するとき、前記任意の少なくとも1つのZn酸化物系バリア層が存在せず、前記吸収層が、前記少なくとも1つのNiCr酸化物系バリア層と、前記Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系前記誘電体層との間に位置する、請求項8に記載の前記被覆ガラス板。 - 少なくとも1つの窒化タングステン系吸収層が、最上のNiCr酸化物系バリア層と、前記Si(オキシ)窒化物及び/もしくはAl(オキシ)窒化物及び/もしくはそれらの合金、ならびに/またはAl、Si、Ti、及び/もしくはZr酸化物系前記誘電体層との間に、かつそれらと直接接触して前記上方反射防止層内に位置する、請求項9に記載の前記被覆ガラス板。
- 請求項1〜10のいずれか一項に記載の被覆ガラス板を組み込む多重グレージング。
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