JP6588321B2 - 圧力センサ - Google Patents
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Description
以上、実施の形態を参照して本発明を説明したが、本発明は上記の実施の形態に限定されるものではない。本発明の構成や詳細には、本発明の技術思想の範囲内で当業者が理解し得る様々な変更をすることができる。
Claims (6)
- 一方の面および他方の面に受ける圧力差に応じた信号を出力するセンサダイアフラムと、前記センサダイアフラムの一方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの一方の面へ被測定流体の圧力を導く第1の導圧孔を有する第1の保持部材と、前記センサダイアフラムの他方の面にその周縁部を対面させて接合され当該センサダイアフラムの他方の面を大気に解放させる第2の導圧孔を有する第2の保持部材とを備えたセンサチップと、
前記センサチップにおける前記被測定流体の圧力を導入する側の面と接合され、前記センサチップにおける前記導入する側の面に対して反対側の面と接合されないボディと、
前記ボディに設けられ前記被測定流体からの圧力を受ける受圧ダイアフラムと、
一端が前記センサダイアフラムにおけるセンサ抵抗パターンの配置面と電気的に接続され、前記センサ抵抗パターンの配置面からの前記圧力差に応じた信号を伝達するワイヤと、
前記ボディに設けられ、前記ワイヤの他端と電気的に接続される接続部と
を備え、
前記ボディは、
前記センサチップが接合されるベースボディと、
前記センサチップが接合されないカバーボディと、
を有し、
前記ベースボディは、前記受圧ダイアフラムと前記センサチップの接合面との間に、前記受圧ダイアフラムが受けた前記被測定流体からの圧力を前記第1の保持部材の第1の導圧孔を通して前記センサダイアフラムにおける前記センサ抵抗パターンの配置面に導く圧力伝達媒体が封入された封入室を有し、
前記接続部は、前記ベースボディに設けられる
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1に記載された圧力センサにおいて、
前記第1の保持部材と前記第2の保持部材とは前記センサダイアフラムを挟んで対向する面の面積が異なり、
前記ワイヤの一端は、前記第1の保持部材および前記第2の保持部材のうち外側にはみ出た保持部材の周縁部に位置する前記センサダイアフラムの面と接続される
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項2に記載された圧力センサにおいて、
前記第1の保持部材と前記第2の保持部材とは、
前記センサダイアフラムを挟んで対向する面の面積が前記第2の保持部材よりも前記第1の保持部材の方が小とされている
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項2に記載された圧力センサにおいて、
前記第1の保持部材と前記第2の保持部材とは、
前記センサダイアフラムを挟んで対向する面の面積が前記第1の保持部材よりも前記第2の保持部材の方が小とされている
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載された圧力センサにおいて、
前記接続部は、
前記ワイヤと接続される電極ピンが設けられた中継端子である
ことを特徴とする圧力センサ。 - 請求項1〜4のいずれか1項に記載された圧力センサにおいて、
前記接続部は、
前記ワイヤと接続される回路が形成された基板である
ことを特徴とする圧力センサ。
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