JP6587423B2 - Transport system and exposure system - Google Patents
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Description
本発明は、搬送システム及び露光システムに関する。 The present invention relates to a transport system and an exposure system .
液晶表示デバイスなどを製造する工程に含まれるリソグラフィ工程では、原版(マスク等)のパターンを、投影光学系を介して感光性の基板(表面にレジスト層が形成されたガラスプレート等)に転写する露光装置が用いられている。このような露光装置では、当該装置内部の原版ステージと当該装置外部との間で原版を搬送する搬送システムが採用されている。特許文献1は、搬送路を共通とする複数のマスクローダと、原版を一時保管する保管室とを有し、露光装置全体の省スペース化を図りつつ搬送効率を向上させる露光装置を開示している。 In a lithography process included in a process of manufacturing a liquid crystal display device or the like, a pattern of an original (such as a mask) is transferred to a photosensitive substrate (such as a glass plate having a resist layer formed on the surface) via a projection optical system. An exposure apparatus is used. Such an exposure apparatus employs a transport system that transports the original between the original stage inside the apparatus and the outside of the apparatus. Patent Document 1 discloses an exposure apparatus that has a plurality of mask loaders having a common conveyance path and a storage room for temporarily storing an original, and improves the conveyance efficiency while saving space of the entire exposure apparatus. Yes.
一般的な搬送システムは、被搬送物(例えば原版)を搬送するマスクローダを、予め被搬送物の受け渡し位置であるすべてのステーションやステージに対してティーチングしてティーチングデータを取得することにより、その後の搬送が可能となる。したがって、特許文献1に開示されているように複数のマスクローダを有する搬送システムでは、それぞれのマスクローダについて個別にティーチングデータを取得することになるので、データの取得時間がより長くなる。 A general transport system teaches a mask loader that transports a transported object (for example, an original plate) to all stations and stages that are delivery positions of the transported object in advance, and then acquires teaching data. Can be transported. Therefore, in the transfer system having a plurality of mask loaders as disclosed in Patent Document 1, teaching data is individually acquired for each mask loader, so that the data acquisition time is longer.
本発明は、このような状況に鑑みてなされたものであり、例えば、複数のマスクローダを有する場合の総ティーチング時間の短縮に有利な搬送システムを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of such a situation, and an object of the present invention is to provide a transport system that is advantageous in shortening the total teaching time when a plurality of mask loaders are provided.
上記課題を解決するために、本発明の搬送システムは、搬送路に沿って移動する第1ローダ及び第2ローダを用いて、原版のパターンを基板に転写する露光装置における当該原版を搬送する搬送システムであって、前記第1ローダは、前記原版の受け渡しを行う第1基準位置に関する第1情報を取得する第1検出手段と、前記第1情報を前記第2ローダに送信可能な第1通信手段と、を有し、前記第2ローダは、前記原版の受け渡しを行う第2基準位置に関する第2情報を取得する第2検出手段と、前記第2情報を前記第1ローダに送信可能な第2通信手段と、を有し、前記第2ローダは、前記第1ローダから送信された前記第1情報に基づいて前記原版の受け渡しを行い、前記第1ローダは、前記第1基準位置を複数の受け渡し位置から選定し、前記複数の受け渡し位置は、前記原版を保持する位置を含む。 In order to solve the above problems, a transport system according to the present invention transports an original plate in an exposure apparatus that transfers the pattern of the original plate onto a substrate using a first loader and a second loader that move along the transport path. The first loader is a first detection unit that acquires first information related to a first reference position for delivering the original , and a first communication capable of transmitting the first information to the second loader. And a second detection unit that acquires second information relating to a second reference position for delivering the original , and a second loader capable of transmitting the second information to the first loader. includes a second communication unit, and the second loader, have line passing of the original based on the first information transmitted from the first loader, the first loader, the first reference position Select from multiple delivery positions And, said plurality of transfer position includes a position for holding the original.
本発明によれば、例えば、複数のマスクローダを有する場合の総ティーチング時間の短縮に有利な搬送システムを提供することができる。 According to the present invention, for example, it is possible to provide a transport system that is advantageous for shortening the total teaching time when a plurality of mask loaders are provided.
以下、本発明を実施するための形態について図面などを参照して説明する。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings.
まず、本発明の一実施形態に係る搬送システムの構成について説明する。本実施形態に係る搬送システムは、リソグラフィ装置としての露光装置の内外間で原版を搬送するものであり、以下の説明では、一例として、原版が液晶表示デバイス製造用のマスクである場合を想定する。なお、以下の各図では、鉛直方向にZ軸を取り、該Z軸に垂直な平面内の一方向にX軸を取り、該X軸に直交する方向にY軸を取っている。 First, the structure of the conveyance system which concerns on one Embodiment of this invention is demonstrated. The transport system according to the present embodiment transports an original between the inside and outside of an exposure apparatus as a lithography apparatus. In the following description, as an example, a case where the original is a mask for manufacturing a liquid crystal display device is assumed. . In the following drawings, the Z axis is taken in the vertical direction, the X axis is taken in one direction in a plane perpendicular to the Z axis, and the Y axis is taken in the direction perpendicular to the X axis.
図1は、本実施形態に係る搬送システム100の全体構成を示す概略図である。このうち、図1(a)は、Z軸方向プラス側(鉛直方向上方)から見た平面図であり、図1(b)は、図1(a)に対する側面図である。搬送システム100は、まず、複数の露光装置EXに対して連設された1つの搬送路Rと、搬送路Rに沿って走行可能に設置された複数のマスクローダMLとを有する。以下、本実施形態では、露光装置EXが2つ(第1露光装置EX1および第2露光装置EX2)あり、マスクローダMLが2つ(第1ローダML1および第2ローダML2)ある場合を例示する。なお、本発明は、これらに限らず、マスクローダMLが1つの搬送路Rに対して3つ以上設置されるものとしてもよいし、露光装置EXについては、複数に限らず1つでもよい。
FIG. 1 is a schematic diagram illustrating an overall configuration of a
露光装置EXは、マスクMに形成されているパターンを、被処理基板であるガラスプレートP上(基板上)に投影露光する。露光装置EXは、不図示であるが光源を含む照明光学系と、マスクステージMSと、投影光学系POと、プレートステージPSとを備える。光源は、露光光となる光線を射出するものであり、超高圧水銀ランプ等で構成される。照明光学系は、光源から入射された光線をマスクM上に集光する。マスクステージ(保持部)MSは、マスクMを吸着保持するための吸着部を有し、マスクMを保持し移動可能である。投影光学系POは、マスクMを透過して入射した露光光を、内部に設置された反射鏡で偏光特性を変化させつつ、マスクMのパターンの像をプレートP上に結像させる。ここで、投影光学系POは、例えば、台形ミラー、凸面鏡および凹面鏡等を介してマスクMのパターンの像をプレートP上に形成し、基板P上での投影領域は、所定形状(例えば円弧形状)に設定される。プレートステージPSは、プレートPを保持し移動可能である。プレートステージPSに保持されているプレートPと、マスクステージMSに保持されているマスクMとは、投影光学系POを介して共役な位置関係に配置されている。 The exposure apparatus EX projects and exposes the pattern formed on the mask M onto a glass plate P (substrate) that is a substrate to be processed. Although not shown, the exposure apparatus EX includes an illumination optical system including a light source, a mask stage MS, a projection optical system PO, and a plate stage PS. The light source emits a light beam as exposure light, and is composed of an ultra-high pressure mercury lamp or the like. The illumination optical system condenses the light incident from the light source on the mask M. The mask stage (holding part) MS has a suction part for sucking and holding the mask M, and can hold and move the mask M. The projection optical system PO forms an image of the pattern of the mask M on the plate P while changing the polarization characteristics of the exposure light that has passed through the mask M and entered by a reflecting mirror installed inside. Here, the projection optical system PO forms an image of the pattern of the mask M on the plate P via, for example, a trapezoidal mirror, a convex mirror, a concave mirror, and the like, and the projection area on the substrate P has a predetermined shape (for example, an arc shape) ). The plate stage PS can hold and move the plate P. The plate P held on the plate stage PS and the mask M held on the mask stage MS are arranged in a conjugate positional relationship via the projection optical system PO.
また、搬送システム100は、2つのマスクローダMLを、マスクMを受け渡すべき複数の目標位置(以下、「受け渡し位置」という。)に対して走行可能とする。まず、搬送システム100は、1つの露光装置EXにつき、1つのマスクステージMSと、4つのステーションSTとを受け渡し位置とする。例えば、第1露光装置EX1には、第1ステーションST11から第4ステーションST14までの4つのステーションが存在する。ここで、マスクMは、プレートPの大きさに合わせた大型の平板であるので、そのままでは自重の影響により撓みが生じる可能性がある。そこで、このような撓みを抑止するために、一般にマスクMは、その表面に対向して透過性のマスクベント(補正部材)を取り付け、不図示の真空排気手段によりマスクベントとマスクMとの間を真空排気することで、マスク形状を補正する。このようなことから、例えば、第1ステーションST11および第4ステーションST14を、マスクベントを一旦保持(保管)するマスクベント保持部とし得る。また、第2ステーションST12を、マスクMにマスクベントを取り付けるマスクベント取り付け部とし得る。そして、第3ステーションST13を、マスクMからマスクベントを取り外すマスクベント取り外し部とし得る。なお、第2露光装置EX2においても同様の搬送位置が存在するものとする。また、これらのステーションST構成は、一例であり、用途に応じて適宜変更可能である。
Further, the
また、搬送システム100は、さらに第1露光装置EX1と第2露光装置EX2との間に設置されているマスクステーションST0を受け渡し位置とする。マスクステーションST0の下部には、一度に複数のマスクMを保持(保管)することができるマスクストッカ(保管部)SKが設置されている。そして、マスクステーションST0において、不図示の搬送ロボットがマスクストッカSKとマスクローダMLとの間で適宜マスクMの受け渡しを行い得る。特に、マスクステーションST0は、本実施形態のように第1露光装置EX1と第2露光装置EX2とのそれぞれに隣設する形で設置されることで、各露光装置EXで共通化される。したがって、1つの露光装置に対して1つのマスクストッカを設置していた従来に比べて、露光装置が特に複数台存在する場合には、省スペース化が実現されるという利点がある。
The
図2は、搬送システム100とマスクローダMLとの要部構成を示す概略図である。このうち、図2(a)は、搬送方向(X軸方向)に沿った側面図であり、図2(b)は、搬送方向側から見た断面図である。マスクローダMLは、駆動部(駆動手段)8と、マスクMを把持するマスクハンドMHと、位置センサ(検出手段)6と、通信部3と、ローダ制御部1とを有する。駆動部8は、マスクローダMLをX、Y、Z、θの各軸方向に移動可能である。マスクハンドMHは、開閉動作により、各受け渡し位置でのマスクMの受け渡しが可能である。位置センサ6は、各受け渡し位置にそれぞれ設置されているターゲット7の位置を検出対象とし、マスクローダMLと各搬送位置との間のX、Y、Zの各軸方向の距離を計測可能である。例えば、位置センサ6は、X軸用センサ6Xと、2つのY軸用センサ6Y1、6Y2と、Z軸用のセンサ6Zとを含み、個々にX軸用ターゲット7Xと、2つのY軸用ターゲット7Y1、7Y2と、Z軸用のターゲット7Zとに対応する。通信部3(通信手段)は、図2(a)に示すように、各マスクローダML間で、後述するティーチングデータの送受信が可能である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing the main configuration of the
図3は、ローダ制御部1の概略構成を示すブロック図である。ローダ制御部1は、データ取得部(取得手段)2と、記憶部4と、データ生成部5と、駆動制御部9とを含む。データ取得部2は、当該マスクローダMLとは異なる特定のマスクローダMLからティーチングデータを取得するかを判断し、取得する場合には、通信部3に他の特定のマスクローダMLの通信部3からティーチングデータを取得させる。ここで、ティーチングとは、マスクローダMLと各受け渡し位置との間で精度良くマスクMの受け渡しを可能とするために、理想的なマスクMの受け渡し位置を座標として記憶する作業をいう。また、この理想的な受け渡し位置となるマスクローダMLの座標に関するデータをティーチングデータという。記憶部4は、各位置センサ6から出力された計測値と、ティーチングデータおよびオフセット量とを保存(記憶)する。なお、記憶部4に保存されるティーチングデータには、位置センサ6の検出により取得されたデータと、データ取得部2が通信部3を介して他のマスクローダMLから取得したデータとの双方を含む。データ生成部(補正手段)5は、記憶部4に保存されている各位置センサ6の計測値をティーチングデータに変換したり、オフセット量を算出したり、このオフセット量に基づいてティーチングデータを補正したりする。なお、θ軸についてのティーチングデータは、Y軸用センサ6Y1、6Y2の計測値とY軸用センサ間の距離Yの値とを用いて演算することで得られる。駆動制御部9は、データ生成部5で最終的に決定されたティーチングデータに従って、駆動部8の動作を制御する。また、リモコン受信部11は、後述する教示手段10からの指示信号を受信し、ローダ制御部1に入力する。
FIG. 3 is a block diagram illustrating a schematic configuration of the loader control unit 1. The loader control unit 1 includes a data acquisition unit (acquisition means) 2, a storage unit 4, a
図4は、ユーザがマスクローダMLに対してティーチング動作を指示可能とする教示手段10の外観を示す概略図である。教示手段10は、いわゆるリモコンであり、例えば、ユーザがそれぞれ操作可能とする、マニュアル操作ボタン10M、「TEACH」ボタン10Tおよび「SEND」ボタン10Sを有する。マニュアル操作ボタン10Mは、マスクローダMLの各軸の位置をマニュアル操作で調整するためのボタンである。「TEACH」ボタン10Tは、理想の受け渡し位置でのティーチングデータを登録するためのボタンである。「SEND」ボタン10Sは、1つのマスクローダML(例えば第1ローダML1)のティーチングデータを、他のマスクローダML(例えば第2ローダML2)に送信するためのボタンである。なお、教示手段10は、1つのマスクローダMLに対して1つずつ存在する。
FIG. 4 is a schematic diagram showing the appearance of the teaching means 10 that allows the user to instruct the teaching operation to the mask loader ML. The teaching means 10 is a so-called remote controller, and has, for example, a
次に、本実施形態におけるマスクローダMLのティーチング方法について説明する。図5は、本実施形態におけるティーチングデータ取得工程の流れを示すフローチャートである。以下、一例として、第1ローダML1に第1ステーションS11の位置をティーチングする(ティーチングデータを取得する)方法について説明する。まず、ユーザは、第1ローダML1用の教示手段10のマニュアル操作ボタン10Mを操作し、第1ローダML1を第1ステーションST11上に移動させる(ステップS101)。次に、ユーザは、さらに教示手段10を操作し、第1ローダML1を第1ステーションST11での理想の受け渡し位置まで移動させる(ステップS102)。次に、ユーザは、教示手段10の「TEACH」ボタン10Tを押下することで、第1ローダML1のデータ取得部2は、この受け渡し位置を各位置センサ6に検出させ、得られたX、Y、Zの各軸方向の計測値を記憶部4に保存する(ステップS103)。次に、データ生成部5は、各位置センサ6で得られた計測値をそれぞれティーチングデータML1(XS11、YS11、θS11、ZS11)に変換し(ステップS104)、得られたティーチングデータを記憶部4に保存する。これにより、第1ローダML1と第1ステーションST11との間でのマスクMの受け渡し準備が完了し、駆動制御部9は、得られたティーチングデータに基づいて、以後受け渡し動作が可能となる。
Next, a teaching method for the mask loader ML in the present embodiment will be described. FIG. 5 is a flowchart showing the flow of the teaching data acquisition process in the present embodiment. As an example, the first loader ML1 to teaching the position of the first station S 11 (acquiring the teaching data) methods will be described. First, the user, the
さらに、ユーザは、第1ローダML1のローダ制御部1にティーチング処理を実行させる作業を、マスクステーションST0、第2ステーションST12〜第4ステーションST14、マスクステージMS1の他の受け渡し位置についても実施する。これにより、第1ローダML1とこれらの受け渡し位置との間のマスクMの受け渡しが可能となる。また、上記の第1ローダML1に対するティーチングと同様に、ユーザは、第2ローダML2に対するティーチングを実施する。これにより、第2ローダML2と、マスクステーションST0、第1ステーションST21〜第4ステーションST24、マスクステージMS2の各受け渡し位置との間のマスクMの受け渡しが可能となる。
Further, the user performs the work of causing the loader control unit 1 of the first loader ML1 to execute the teaching process on the other delivery positions of the mask station ST 0 , the second station ST 12 to the fourth station ST 14 , and the mask stage MS 1. carry out. As a result, the mask M can be transferred between the first loader ML1 and these transfer positions. Further, similarly to the teaching for the first loader ML1, the user performs teaching for the second loader ML2. Thereby, the delivery of the mask M between the second loader ML2 and each delivery position of the mask station ST 0 , the first station ST 21 to the fourth station ST 24 , and the
ここで、この時点では、第1ローダML1から、第2露光装置EX2内の第1ステーションST21〜第4ステーションST24およびマスクステージMS2の各受け渡し位置へマスクMを受け渡すためのティーチングデータが存在しない。同様に、第2ローダML2から、第1露光装置EX1内の第1ステーションST11〜第4ステーションST14およびマスクステージMS1の各受け渡し位置へマスクMを受け渡すためのティーチングデータも存在しない。そのため、第1ローダML1と第2露光装置EX2内の各受け渡し位置との間、および、第2ローダML2と第1露光装置EX1内の各受け渡し位置との間では、マスクMの受け渡しはできない。そこで、本実施形態では、これらの間でもマスクMの受け渡しを可能とするための処理として、第1ローダML1と第2ローダML2との間で、それぞれが有するティーチングデータを送受信し合うことで、ティーチングデータを共有させる。 Here, at this time, the first loader ML1, teaching data for passing the mask M to each transfer position of the first station ST 21 ~ fourth station ST 24 and the mask stage MS2 in the second exposure apparatus EX2 is not exist. Similarly, the second loader ML2, no teaching data for passing the mask M to each transfer position of the first station ST 11 ~ fourth station ST 14 and mask stage MS1 of the first exposure apparatus EX1 also present. Therefore, the mask M cannot be transferred between the first loader ML1 and each transfer position in the second exposure apparatus EX2 and between the second loader ML2 and each transfer position in the first exposure apparatus EX1. Therefore, in the present embodiment, as processing for enabling the transfer of the mask M between these, the teaching data that each has is transmitted and received between the first loader ML1 and the second loader ML2, Share teaching data.
図6は、本実施形態におけるティーチングデータ共有工程の流れを示すフローチャートである。以下、一例として、第1ローダML1の記憶部4に保存されているティーチングデータを第2ローダML2の記憶部4へ送信する(ティーチングデータを共有させる)方法について説明する。まず、ユーザは、第1ローダML1用の教示手段10の「SEND」ボタン10Sを押下する。これを受けて、第1ローダML1のデータ取得部2は、記憶部4に保持しているティーチングデータを、第1ローダML1の通信部3から直接的に第2ローダML2の通信部3に送信する(ステップS201)。
FIG. 6 is a flowchart showing the flow of the teaching data sharing process in the present embodiment. Hereinafter, as an example, a method of transmitting the teaching data stored in the storage unit 4 of the first loader ML1 to the storage unit 4 of the second loader ML2 (sharing the teaching data) will be described. First, the user presses the “SEND”
次に、第2ローダML2のデータ取得部2は、第1ローダML1のティーチングデータが適切に受信され、第2ローダML2の記憶部4に保存されたかどうかを判断する(ステップS202)。ここで、データ取得部2は、ティーチングデータが適切に保存されていないと判断した場合(No)、ステップS202を繰り返す。
Next, the
一方、データ取得部2は、ステップS202にて適切に保存されたと判断した場合(Yes)、次に、データ生成部5は、第2ローダML2が採用するに適したティーチングデータに補正するためのオフセット量を算出する(ステップS203)。ここで、第2ローダML2の記憶部4には、同一の受け渡し位置であるマスクステーションST0に関する、第1ローダML1で取得されたティーチングデータと、第2ローダML2で取得されたティーチングデータとが保存されている。そこで、第2ローダML2のデータ生成部5は、マスクステーションST0を基準としての受け渡し位置に選定し、この同一の受け渡し位置についてのこれらのティーチングデータの差分を取ることで、所望のオフセット量とすることができる。具体的には、データ生成部5は、第2ローダML2で取得されたティーチングデータML2(XS0、YS0、θS0、ZS0)と、第1ローダML1で取得されたティーチングデータML1(XS0、YS0、θS0、ZS0)との差分を算出する。そして、データ生成部5は、その算出結果をオフセット量とし、記憶部4に保存する。
On the other hand, if the
そして、第2ローダML2のデータ生成部5は、ステップS203にて算出されたオフセット量に基づいて、第1ローダML1から取得したティーチングデータを、第2ローダML2が採用するに適したティーチングデータに補正する(ステップS204)。具体的には、データ生成部5は、ステップS203にて算出されたオフセット量を、記憶部4に保存されている各受け渡し位置についての各ティーチングデータに加算させることで、当該補正されたティーチングデータを求め、記憶部4に保存する。これにより、第2ローダML2は、これらのティーチングデータを用いることで、第1ステーションST11〜第4ステーションST14およびマスクステージMS1とのそれぞれの間でマスクMの受け渡しを行うことが可能となる。
Then, the
また、上記の第2ローダML2における、第1ローダML1から取得したティーチングデータの共有工程と同様に、ユーザは、第1ローダML1に対しても、第2ローダML2から取得したティーチングデータの共有工程を実行させる。これにより、第1ローダML1は、これらのティーチングデータを用いることにより、第1ステーションST21〜第4ステーションST24およびマスクステージMS2とのそれぞれの間でマスクMの受け渡しを行うことが可能となる。 Similarly to the teaching data sharing process acquired from the first loader ML1 in the second loader ML2, the user also shares the teaching data acquired from the second loader ML2 to the first loader ML1. Is executed. Thus, the first loader ML1, by using these teaching data, it is possible to perform transfer of the mask M between each of the first station ST 21 ~ fourth station ST 24 and the mask stage MS2 .
このように、搬送システム100では、例えば、第1ローダML1が位置検出によりティーチングデータを取得した各受け渡し位置のうちの一部の受け渡し位置では、第2ローダML2は、ティーチングデータを取得するための位置検出を行わない。そして、第2ローダML2が位置検出を行わなかった受け渡し位置についてのティーチングデータは、その受け渡し位置で位置検出によりティーチングデータを取得した第1ローダML1から通信部3を介して取得する。これは、その他のマスクローダMLについても同様である。すなわち、各マスクローダMLは、それぞれのすべての受け渡し位置についてのティーチングデータを取得するための位置検出を行う必要がない。したがって、搬送システム100は、各マスクローダML間でティーチングデータの送受信を行わない(送受信を行う通信部を有さない)従来の搬送システムに比べて、総ティーチング時間を短縮させることができる。
As described above, in the
以上のように、本実施形態によれば、複数のマスクローダを有する場合の総ティーチング時間の短縮に有利な搬送システムを提供することができる。 As described above, according to the present embodiment, it is possible to provide a transport system that is advantageous for shortening the total teaching time when a plurality of mask loaders are provided.
なお、上記説明では、各マスクローダMLに備えられているそれぞれの通信部3が直接的にティーチングデータを送受信するものとしている。ただし、本発明は、このような構成に限定されるものではない。例えば、搬送システム100の動作を統括的に制御する統括制御部などが存在する場合には、統括制御部も通信部を有するものとした上で、中継手段としての統括制御部を介して間接的に各マスクローダML間のティーチングデータの送受信を行うものとしてもよい。図7は、この場合の実施形態に係る搬送システム100の要部構成を示す概略図である。例えば、第1ローダML1が第2ローダML2へティーチングデータを送信する場合には、第1ローダML1の通信部3は、一旦、統括制御部101の通信部102にティーチングデータを送信する。その後、統括制御部101の通信部102は、第2ローダML2の通信部3に向けてそのティーチングデータを送信する。ここで、各マスクローダML間のティーチングデータの送受信の中継をする中継手段は、単に通信の中継のみ行うものでもよいし、特に統括制御部である場合などには、ティーチングデータを一旦保持し、そのデータを処理する工程を含むものであってもよい。
In the above description, each
また、上記説明では、露光装置EXが2つあり、マスクローダMLも2つあることを想定したが、本発明は、これらに限らない。例えば、マスクローダMLが1つの搬送路Rに対して3つ以上設けられるものとしてもよい。この場合にも、3つ以上の複数のマスクローダMLで互いにティーチングデータの送受信が行われることになる。また、露光装置EXについては、複数に限らず1つでもよい。露光装置EXが1つの場合でも、特にオフセット量を算出するための基準となる受け渡し位置を少なくとも1つ選定して通信部3により取得したティーチングデータを補正する点は上記と同様である。そして、そのときの基準となる受け渡し位置は、露光装置EXに隣設するマスクステーションST0でも、露光装置EX内部の他のステーションSTでも構わない。
In the above description, it is assumed that there are two exposure apparatuses EX and two mask loaders ML, but the present invention is not limited to these. For example, three or more mask loaders ML may be provided for one transport path R. Also in this case, teaching data is transmitted and received with each other by three or more mask loaders ML. Further, the exposure apparatus EX is not limited to a plurality and may be one. Even when there is only one exposure apparatus EX, the point that at least one delivery position serving as a reference for calculating the offset amount is selected and the teaching data acquired by the
以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明は、これらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形および変更が可能である。 As mentioned above, although preferable embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these embodiment, A various deformation | transformation and change are possible within the range of the summary.
1 ローダ制御部
3 通信部
6 位置センサ
8 駆動部
EX 露光装置
ML マスクローダ
R 搬送路
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
Claims (11)
前記第1ローダは、前記原版の受け渡しを行う第1基準位置に関する第1情報を取得する第1検出手段と、前記第1情報を前記第2ローダに送信可能な第1通信手段と、を有し、
前記第2ローダは、前記原版の受け渡しを行う第2基準位置に関する第2情報を取得する第2検出手段と、前記第2情報を前記第1ローダに送信可能な第2通信手段と、を有し、
前記第2ローダは、前記第1ローダから送信された前記第1情報に基づいて前記原版の受け渡しを行い、
前記第1ローダは、前記第1基準位置を複数の受け渡し位置から選定し、
前記複数の受け渡し位置は、前記原版を保持する位置を含む、
ことを特徴とする搬送システム。 A transport system that transports the original plate in an exposure apparatus that transfers the pattern of the original plate to the substrate using the first loader and the second loader that move along the transport path,
The first loader has first detection means for acquiring first information related to a first reference position for delivering the original , and first communication means capable of transmitting the first information to the second loader. And
The second loader has second detection means for acquiring second information relating to a second reference position for delivering the original , and second communication means capable of transmitting the second information to the first loader. And
The second loader have line passing of the original based on the first information transmitted from the first loader,
The first loader selects the first reference position from a plurality of delivery positions,
The plurality of delivery positions include a position for holding the original plate,
A conveyance system characterized by that.
ことを特徴とする請求項1に記載の搬送システム。 The first loader delivers the original based on the second information transmitted from the second loader;
The transport system according to claim 1.
ことを特徴とする請求項1又は2に記載の搬送システム。 The first reference position and the second reference position are different from each other.
The conveyance system according to claim 1 or 2, characterized by things.
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の搬送システム。 The first and second communication means communicate directly with respect to the first and second information.
The conveyance system according to any one of claims 1 to 3.
ことを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の搬送システム。 The first and second communication means communicate with each other with respect to the first and second information via a relay means.
The conveyance system according to any one of claims 1 to 3.
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の搬送システム。 The second loader calculates an offset amount that is a difference between the first reference position and the second reference position, and corrects the second reference position to the first reference position based on the offset amount. Delivering the original at the first reference position;
The conveyance system according to any one of claims 1 to 5, wherein
前記第1基準位置は、前記第1装置内の位置、又は前記第1及び第2装置間の位置であり、
前記第2基準位置は、前記第2装置内の位置、又は前記第1及び第2装置間の位置である、
ことを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の搬送システム。 The conveying path is continuously provided a first process to a second apparatus for performing the first unit and second processing intends row,
The first reference position is a position within the first device or a position between the first and second devices;
The second reference position is a position in the second device or a position between the first and second devices.
The conveyance system according to any one of claims 1 to 6, wherein
ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の搬送システム。 The plurality of delivery positions include a position for storing, attaching, or removing a correction member temporarily added to the original plate,
The conveyance system according to any one of claims 1 to 7, wherein
ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載の搬送システム。 The plurality of delivery positions include a position that is adjacent to the exposure apparatus and stores the original plate.
The conveyance system according to any one of claims 1 to 8, wherein
原版のパターンを基板に転写する露光装置を複数含む、
ことを特徴とする露光システム。 An exposure system including the transport system according to any one of claims 1 to 9 ,
Including multiple exposure devices that transfer the pattern of the original to the substrate,
An exposure system characterized by that.
前記第1ローダは、前記原版の受け渡しを行う基準位置に関する情報を取得する検出手段と、前記情報を前記第2ローダに送信可能な通信手段と、を有し、The first loader has detection means for acquiring information related to a reference position for delivering the original, and communication means capable of transmitting the information to the second loader.
前記第2ローダは、前記検出手段により取得され前記通信手段により送信された前記情報に基づいて前記原版の受け渡しを行い、The second loader delivers the original based on the information acquired by the detection means and transmitted by the communication means,
前記第1ローダは、前記基準位置を複数の受け渡し位置から選定し、The first loader selects the reference position from a plurality of delivery positions,
前記複数の受け渡し位置は、前記原版を保持する位置を含む、The plurality of delivery positions include a position for holding the original plate,
ことを特徴とする搬送システム。A conveyance system characterized by that.
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