JP6581661B2 - 多孔質誘電体を含むプラズマ発生源 - Google Patents
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Description
Claims (11)
- 空気清浄用のプラズマ発生源であって、
プレート型第1電極;
前記第1電極と離隔して向き合って位置するプレート型第2電極;
前記二つの電極の間に多孔質誘電体;および
前記二つの電極に交流電圧を印加する電圧印加手段を含む、プラズマ発生源であって、
前記多孔質誘電体は液体が担持されており、
前記電圧印加手段によって二つの電極に電圧が印加されて二つの電極の間にプラズマが発生し、
前記多孔質誘電体は前記プラズマの発生領域に位置する、多孔質誘電体を含み、
空気が前記プラズマの発生領域に流入する、空気清浄用のプラズマ発生源。 - 前記第1電極および前記第2電極のうち一つ以上の一面に位置する誘電層を含む、請求項1に記載の多孔質誘電体を含む空気清浄用のプラズマ発生源。
- 液体が入っている液体供給部を含み、
前記多孔質誘電体の一末端は前記液体供給部に含浸されており、前記多孔質誘電体に液体を供給する、請求項1に記載の多孔質誘電体を含む空気清浄用のプラズマ発生源。 - 前記多孔質誘電体はこれの長軸が向き合う両電極の長軸と垂直に配置され、
前記多孔質誘電体の一端は前記誘電層面に接する、請求項2に記載の多孔質誘電体を含む空気清浄用のプラズマ発生源。 - 前記多孔質誘電体はこれの長軸が向き合う二つの電極と垂直に配置され、
前記多孔質誘電体の一端は前記誘電層面から離隔している、請求項2に記載の多孔質誘電体を含む空気清浄用のプラズマ発生源。 - 空気清浄用のプラズマ発生源であって、
誘電層、
前記誘電層の一面に置かれたプレート型第1電極;および
前記誘電層の他面に置かれた第2電極を含み、
前記第2電極はバーの形状で互いに離隔して並列で配列されているか、点の形状で互いに離隔してマトリックスで配列されており、
液体を担持する多孔質誘電体が前記第2電極の間に位置し、
電圧印加手段によって二つの電極に電圧が印加されて二つの電極の間にプラズマが発生し、
前記多孔質誘電体は前記プラズマの発生領域に位置する、多孔質誘電体を含む、
空気が前記プラズマの発生領域に流入する、空気清浄用のプラズマ発生源。 - 液体が入っている液体供給部を含み、
前記多孔質誘電体の一末端は前記液体供給部に含浸されており、前記多孔質誘電体に液体を供給する、請求項6に記載の多孔質誘電体を含む空気清浄用のプラズマ発生源。 - 空気清浄用のプラズマ発生源であって、
プレート型第1電極層;
前記第1電極層の一面側で前記第1電極層と離隔して平行して位置する第2電極層;
前記第1電極層の他面側で前記第1電極層と離隔して平行して位置する第3電極層;
前記第1電極層と前記第2電極層の間の空間および前記第1電極層と前記第3電極層の間の空間に位置して、液体を担持する多孔質誘電体;および
液体が入っている液体供給部を含み、
前記第1電極層、前記第2電極層、及び前記第3電極層が並ぶ方向に前記プラズマ発生源を視ると、前記多孔質誘電体の一末端は、前記第1電極層、前記第2電極層、及び前記第3電極層よりも外側に突出しており、
前記多孔質誘電体の一末端は前記液体供給部に含浸されており、前記多孔質誘電体に液体が供給され、
電圧印加手段によって第1電極層と第2電極層にそして第1電極層と第3電極層に電圧が印加されて電極の間にプラズマが発生し、
前記多孔質誘電体は前記プラズマの発生領域に位置する、多孔質誘電体を含み、
空気が前記プラズマの発生領域に流入する、空気清浄用のプラズマ発生源。 - 空気清浄用のプラズマ発生源であって、
円筒形の第1電極層;
前記第1電極層の内面と離隔し、第1電極層の内部の中心に位置するバーの形状の第2電極;
前記第1電極層と前記第2電極の離隔空間に位置して、液体を担持する円筒形の多孔質誘電体;および
液体が入っている液体供給部を含み、
前記第1電極層の径方向に前記プラズマ発生源を視ると、前記多孔質誘電体の一末端は、前記第1電極層よりも外側に突出しており、
前記多孔質誘電体の一末端は前記液体供給部に含浸されており、前記多孔質誘電体に液体を供給し、
電圧印加手段によって第1電極層と第2電極に電圧が印加されて電極の間にプラズマが発生し、前記多孔質誘電体は前記プラズマの発生領域に位置する、多孔質 誘電体を含み、
空気が前記プラズマの発生領域に流入する、空気清浄用のプラズマ発生源。 - 前記液体は過酸化水素を含む、請求項1、請求項6、請求項8または請求項9に記載の多孔質誘電体を含む空気清浄用のプラズマ発生源。
- 請求項1、請求項6、請求項8または請求項9に記載された空気清浄用のプラズマ発生源を含む、陰イオン発生器。
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