JP6564312B2 - 表面処理方法及び表面処理液 - Google Patents
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Description
本発明の第二の態様は、基板表面に第一の態様の表面処理液を暴露させ、上記基板表面を疎水化する表面処理方法である。
まず、本発明に係る表面処理液について説明する。
本発明に係る表面処理液は、撥水化剤及び酸イミド化物を含有するものである。以下、各成分について詳細に説明する。
本発明において用いる酸イミド化物は、スルホン酸、カルボン酸、リン酸等の酸をイミド化した化学構造を有する化合物である。即ち、酸イミド化物は、T−NRA3−T(Tは、酸から−OHを除いた酸残基であり、RA3は、水素原子、ハロゲン原子又は1価の有機基を示す。)で表される構造を有する。T−で表される酸残基としては、酸が例えばRA1−SO2−OH又はRA2−SO2−OH(RA1及びRA2は、後述の一般式(a1)におけるRA1及びRA2と同じ。)で表されるスルホン酸である場合、RA2−SO2−又はRA2−SO2−で表される構造に相当する。
RA1−SO2−NRA3−SO2−RA2 (a1)
(式中、RA1及びRA2は同一又は異なって、フッ素原子、置換若しくは無置換のアルキル基又は置換若しくは無置換の芳香族基を示し、RA1とRA2とが組み合わさって環状基になっていてもよく、RA3は、上記のとおりであり、即ち、水素原子、ハロゲン原子又は1価の有機基を示す。)
撥水化剤としては、特に限定されず、従来公知のあらゆる撥水化剤を用いることができるが、シリル化剤が好ましい。
RS1、RS2及びRS3としてのアルキル基としては、特に限定されないが、炭化水素数1〜10の直鎖状又は分岐状のアルキル基が好ましく、炭化水素数1〜5の直鎖状又は分岐状のアルキル基がより好ましく、炭化水素数1〜3の直鎖状又は分岐状のアルキル基が更に好ましく、メチル基又はエチル基が更により好ましく、メチル基が特に好ましい。
上記Zとしてのトリアルキルシリルアミノ基は、アミノ基を構成する窒素原子にトリアルキルシリル基のほかには水素原子が結合している基が好ましい。
上記Zとしてのトリアルキルシリルアミノ基におけるトリアルキルシリル基としては、上記一般式(s2)においてRS1RS2RS3Si−で表される基と同じであるものが好ましい。
本発明の表面処理液は、更に、溶剤を含有するものであることが好ましい。撥水化剤として、メトキシトリメチルシラン等の上記式(s2)で表されるシリル化剤、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)等の上記式(2)で表されるシリル化剤を用いる場合には、溶剤を含有していても含有していなくてもよい。
溶剤としては、撥水化剤を溶解でき、かつ、表面処理対象となる基板表面に対するダメージの少ないものであれば、特に限定されずに従来公知の溶剤を使用することができる。
また、n−ヘキサン、シクロヘキサン、n−ヘプタン、n−オクタン、n−ノナン、メチルオクタン、n−デカン、n−ウンデカン、n−ドデカン等の脂肪族炭化水素等の炭化水素系溶剤であってもよく、p−メンタン、o−メンタン、m−メンタン等のメンタン、ジフェニルメンタン、リモネン、α−テルピネン、β−テルピネン、γ−テルピネン等のテルピネン;ボルナン、ノルボルナン、ピナン、α−ピネン、β−ピネン等のピネン;カラン、ロンギホレン等のモノテルペン類;アビエタン等のジテルペン類等のテルペン系溶剤であってもよい。
次に、本発明に係る表面処理方法について説明する。
本発明に係る表面処理方法は、基板表面に上述の本発明の表面処理液を暴露させ、上記基板表面を疎水化する表面処理方法である。
本発明において用いられる基板としては、特に限定されるものではないが、少なくとも表面にシリコン、酸化シリコン、窒化シリコン、窒化チタン及びタングステンからなる群より選択される少なくとも1つを有する基板であることが好ましい。これらの中では、本発明の効果がより良好に発揮されることから、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコンがより好ましい。
本発明において用いられる基板は、表面にエッチング処理が施されたものであってもよい。以下、表面にエッチング処理が施された基板の表面を、「被エッチングパターン」ともいう。
被エッチングパターンとしては、特に限定されるものではないが、樹脂パターンをマスクとして基板をエッチングすることにより形成されたパターンが挙げられる。
表面処理液を基板表面に暴露させる処理時間は、1〜60秒間が好ましい。また、この表面処理後には、表面における水の接触角が40〜120度となることが好ましく、60〜100度となることがより好ましい。
なお、スループットの点からは、表面処理と残存物を除去する洗浄処理等とが連続した処理であることが好ましい。このため、表面処理液としては、洗浄液との置換性に優れたものを選択することが好ましい。
本発明の表面処理方法により、基板表面を疎水化することができるので、例えば、表面に微細なパターンが形成された基板について、その表面を疎水化することによりパターン倒れを抑制することができる。
本発明の表面処理液及び表面処理方法は、特に、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン及びそれらの被エッチングパターンに対する疎水性付与効果に優れる。
F=2γ・cosθ・A/D・・・(I)
プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート(PM)
酢酸ブチル
メタノール(MeOH)
表1及び表2に示す種類と量のシリル化剤、溶剤及び酸イミド化物等の添加剤を用いて、表面処理液を調製した。表1及び表2に記載の各成分の添加量の単位は、質量部である。
基板として表1及び表2に示すようにシリコン基板(Si)、SiO2基板(Th−Ox)又は窒化ケイ素基板(SiN)(何れも基板サイズ2cm×3cm)を用い、25℃においてフッ化水素1%水溶液に1分間浸漬し、次いで室温において、純水により流水洗浄した後、窒素ブローにより1分間乾燥して、基板の前処理を行った。
前処理後の接触角はSi=74.1°、Th−Ox=5.9°、SiN=31.8°であった。
かかる前処理を施した基板を表1及び表2に記載の各表面処理液に表1及び表2に記載の時間浸漬し、イソプロピルアルコールに1分間浸漬し、流水にて洗浄し、N2ブローを施し乾燥した。
そして、Dropmaster700(協和界面科学社製)を用い、ウェーハ表面に純水(1.5μL)を滴下して接触角を測定した。結果を表1及び表2に示す。
また、シリル化剤としてN,N−ジメチルアミノトリメチルシラン(TMSDMA)、ヘキサメチルジシラザン(HMDS)、トリメチルシリルイミダゾール、又はこれらのうち少なくとも二つのシリル化剤を用いた場合、基板表面に疎水性を付与する効果に特に優れることがわかった。
実施例1〜3から、酸イミド化物を含有する表面処理液であれば、酸イミド化物の含有量が異なっても、基板表面に疎水性を付与する効果に優れることがわかった。
実施例5、7及び8と比較例1とを比べると、酸イミド化物を含有する表面処理液であれば、酸イミド化物の種類が異なっても、基板表面に疎水性を付与する効果に優れることがわかった。
実施例10と比較例7及び実施例13と比較例10をそれぞれ比べると、酸イミド化物を含有する表面処理液であれば、溶剤を用いない場合であっても、基板表面に疎水性を付与する効果に優れることがわかった。
実施例2において用いた酸イミド化物1と、比較例5において用いたトリフルオロメタンスルホン酸とは等モルであるが、両例を比べると、酸イミド化物1を含有する実施例2の表面処理液の方が、トリフルオロメタンスルホン酸を含有する比較例5の表面処理液よりも、基板表面に疎水性を付与する効果に優れることがわかった。
Claims (6)
- 表面に無機パターンを有する基板の表面を疎水化する表面処理液であって、
前記無機パターンはシリコン、酸化シリコン、窒化シリコン及びタングステンから選ばれる一種以上を有するパターンであり、
撥水化剤及び酸イミド化物を含有する表面処理液。 - 前記酸イミド化物は、下記一般式(a1)で表されるスルホンイミド化合物である請求項1記載の表面処理液。
RA1−SO2−NRA3−SO2−RA2 (a1)
(式中、RA1及びRA2は同一又は異なって、フッ素原子、置換若しくは無置換のアルキル基又は置換若しくは無置換の芳香族基を示し、RA1とRA2とが組み合わさって環状基になっていてもよく、RA3は、水素原子、ハロゲン原子又は1価の有機基を示す。) - 前記撥水化剤は、シリル化剤である請求項1又は2記載の表面処理液。
- 前記トリアルキルシリル基を有するケイ素化合物は、前記一般式(s2)におけるZが、前記一般式(s2)に表したSiに直接結合している窒素原子を環構成原子に含む前記含窒素複素環である、請求項4記載の表面処理液。
- 表面に無機パターンを有する基板表面であって、前記無機パターンはシリコン、酸化シリコン、窒化シリコン及びタングステンから選ばれる一種以上を有するパターンである前記基板表面に請求項1〜5の何れか1項に記載の表面処理液を暴露させ、前記基板表面を疎水化することを含む、表面処理方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
TW105106341A TWI696047B (zh) | 2015-03-31 | 2016-03-02 | 表面處理方法及表面處理液 |
US15/074,131 US9703202B2 (en) | 2015-03-31 | 2016-03-18 | Surface treatment process and surface treatment liquid |
KR1020160037784A KR102569672B1 (ko) | 2015-03-31 | 2016-03-29 | 표면 처리 방법 및 표면 처리액 |
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015073795 | 2015-03-31 | ||
JP2015073795 | 2015-03-31 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016195230A JP2016195230A (ja) | 2016-11-17 |
JP6564312B2 true JP6564312B2 (ja) | 2019-08-21 |
Family
ID=57323030
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015225644A Active JP6564312B2 (ja) | 2015-03-31 | 2015-11-18 | 表面処理方法及び表面処理液 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6564312B2 (ja) |
TW (1) | TWI696047B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP3602606B1 (en) | 2017-03-24 | 2024-06-26 | FUJIFILM Electronic Materials U.S.A., Inc. | Surface treatment methods and compositions therefor |
JP6916731B2 (ja) * | 2017-12-28 | 2021-08-11 | 東京応化工業株式会社 | 基板の撥水化方法、表面処理剤、及び基板表面を洗浄液により洗浄する際の有機パターン又は無機パターンの倒れを抑制する方法 |
EP3735325A4 (en) * | 2018-01-05 | 2021-03-03 | FUJIFILM Electronic Materials U.S.A, Inc. | SURFACE TREATMENT COMPOSITIONS AND METHODS |
JP2023076165A (ja) * | 2021-11-22 | 2023-06-01 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040202872A1 (en) * | 2002-07-23 | 2004-10-14 | Pennzoil-Quaker State Company | Hydrophobic surface treatment composition and method of making and using same |
US20100028803A1 (en) * | 2008-08-01 | 2010-02-04 | Fujifilm Corporation | Surface treating agent for resist pattern formation, resist composition, method of treating surface of resist pattern therewith and method of forming resist pattern |
-
2015
- 2015-11-18 JP JP2015225644A patent/JP6564312B2/ja active Active
-
2016
- 2016-03-02 TW TW105106341A patent/TWI696047B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2016195230A (ja) | 2016-11-17 |
TWI696047B (zh) | 2020-06-11 |
TW201702767A (zh) | 2017-01-16 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180809 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20190522 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190716 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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