JP6559822B2 - 平板粒度検出装置 - Google Patents
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Description
ここで、theta1は前記散乱光の光軸と前記検出される平板表面の法線との夾角であり、alpha1は前記散乱光の反射プリズムの物体空間に対する視野角であり、d1は前記照明ユニットの前記検出される平板表面に発生された照明視野の中心から前記反射プリズムの前記第1斜面までの距離である。
本発明に係る平板粒度検出装置は、図6に示すように、照明視野、具体的にはライン照明視野が発生する照明ユニット100および検知ユニット200を含み、上記照明ユニット100により発生される入射光101は検出される平板400表面の異物を介して散乱され、載置台300は上記検出される平板400を載置し、発生した散乱光102は上記検知ユニット200に受け付けられ、上記検知ユニット200の光軸方向は上記照明ユニット100により発生された入射光101の上記検出される平板400表面に入射される法線方向に平行である。
ここで、theta1は散乱光102と法線との夾角であり、alpha1は散乱光102の反射プリズムの物体空間に対する視野角であり、dlは照明視野の中心から上記反射プリズムの第1斜面S3までの距離であり、beta1は散乱光102の上記反射プリズムの第2斜面S4を介して反射される反射角である。
図8を重点的に参照すると、本実施例と実施例1の区別は、反射光103が第1斜面S3の外面(光透過領域800以外の領域)から上記検知ユニット200の受光領域以外に反射されることである。
図9を重点的に参照すると、本実施例と実施例1および実施例2との区別は、測定ビーム調整ユニットの設置が異なることである。具体的には、本実施例において、上記測定ビーム調整ユニットは、第1、第2、第3反射鏡70、90、80を含み、上記散乱光102は順に上記第1反射鏡70および第2反射鏡90により反射され、上記検知ユニット200に入射し、上記反射光103は上記第3反射鏡80を介して上記検知ユニット200の受光領域以外に反射される。言い換えれば、本実施例は第1、第2、第3反射鏡70、90、80を用いて光路を屈折し、ここで、第2反射鏡90および第3反射鏡80は、実施例1における反射プリズムの第1斜面に相当する機能を実現することに用いられ、傾斜角度は反射プリズムの第1斜面と同じであり、第1反射鏡70は実施例1における反射プリズムの第2斜面に相当する機能を実現することに用いられ、傾斜角度も反射プリズムの第2斜面と同じである。
11 光線、
12 信号光、
13 反射光、
20 検知ユニット、
30 マスクテーブル、
40 マスク、
50 入射角、
60 受光角、
100 照明、
101 入射光、
102 散乱光、
103 反射光、
200 検知ユニット、
300 載置台、
400 検出される平板、
500 入射角、
600 受光角、
700 光反射領域、
800、900 光透過領域、
70 第1反射鏡、
90 第2反射鏡、
80 第3反射鏡。
Claims (7)
- 検出される平板表面の異物を介して散乱され散乱光を発生し、前記検出される平板の表面を介して反射された後に反射光を発生する入射光を発生する照明ユニットと、
前記散乱光を受光し、その光軸方向は平板表面において入射光が入射する位置における法線に平行である検知ユニットと、
前記反射光と前記散乱光を分離させる測定ビーム調整ユニットと、
を含み、
前記測定ビーム調整ユニットは、前記散乱光に対応するように設置され、前記散乱光を屈折させた後に前記検知ユニットに入射させる第1光屈折ユニット、および前記反射光に対応するように設置され、前記反射光を前記検知ユニットの受光領域以外に屈折させる第2光屈折ユニットを含み、
前記測定ビーム調整ユニットは反射プリズムを含み、前記反射プリズムの外面は第1光透過領域、第2光透過領域および光反射領域を含み、前記第1光透過領域、前記第2光透過領域および前記反射プリズム内面の光反射領域は前記第1光屈折ユニットを形成し、前記第1光透過領域は前記散乱光に向かうように設置され、前記第2光透過領域は前記検知ユニットに向かうように設置されており、前記反射プリズムは、前記散乱光が前記第1光透過領域から前記反射プリズムの内面に入射し、前記反射プリズムの内面を介して反射された後に前記第2光透過領域から前記検知ユニットに入射するように設置されており、
前記反射光に対応する前記反射プリズムの外面の前記光反射領域は前記第2光屈折ユニットを形成し、前記反射光は前記光反射領域に入射し、前記検知ユニットの前記受光領域以外に反射されており、
前記反射プリズムの断面は台形であり、頂面、底面、第1斜面および第2斜面を含み、
前記頂面および前記底面はいずれも前記検出される平板の表面に平行であり、前記底面は前記反射プリズムの前記検知ユニットに近接する面であり、前記第1斜面における前記散乱光に対応する領域は前記第1光透過領域であり、前記底面は前記第2光透過領域であり、前記散乱光は前記第1斜面から前記反射プリズムの内部に入射し、前記第2斜面の内面を介して第1回反射された後に前記第1斜面の内面に入射して第2回反射され、最終的には前記底面から射出し、前記検知ユニットに受け付けられる、
ことを特徴とする平板粒度検出装置。 - 屈折された後に前記検知ユニットに入射する前記散乱光の光軸は前記検知ユニットの受光面に垂直である、
ことを特徴とする請求項1に記載の平板粒度検出装置。 - 前記第1斜面は前記散乱光の光軸に垂直であり、前記反射プリズムの前記第1斜面と前記底面との間の夾角を第1角θ1、前記底面と前記第2斜面との間の夾角を第2角θ2、前記第2斜面と前記頂面との間の夾角を第3角θ3、および前記頂面と前記第1斜面との間の夾角を第4角θ4と定義し、前記第1角から第4角のパラメータ構成および前記反射プリズムの前記第1斜面における第1光透過領域の直径lは、
θ1=theta1、
θ2=180°−1.5×theta1、
θ3=1.5×theta1、
θ4=180°−theta1、
l=2×d1×tan(alpha1)であり、
ここで、theta1は前記散乱光の光軸と前記検出される平板表面の法線との夾角であり、alpha1は前記散乱光の反射プリズムの物体空間に対する視野角であり、d1は前記照明ユニットの前記検出される平板表面で発生する照明視野の中心から前記反射プリズムの前記第1斜面までの距離である、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の平板粒度検出装置。 - 検出される平板表面の異物を介して散乱され散乱光を発生し、前記検出される平板の表面を介して反射された後に反射光を発生する入射光を発生する照明ユニットと、
前記散乱光を受光し、その光軸方向は平板表面において入射光が入射する位置における法線に平行である検知ユニットと、
前記反射光と前記散乱光を分離させる測定ビーム調整ユニットと、
を含み、
前記測定ビーム調整ユニットは、前記散乱光に対応するように設置され、前記散乱光を屈折させた後に前記検知ユニットに入射させる第1光屈折ユニット、および前記反射光に対応するように設置され、前記反射光を前記検知ユニットの受光領域以外に屈折させる第2光屈折ユニットを含み、
前記第1光屈折ユニットは第1反射鏡および第2反射鏡を含み、前記第2光屈折ユニットは第3反射鏡を含み、前記第1反射鏡は前記散乱光に向かうように設置され、前記散乱光は順に前記第1反射鏡および第2反射鏡を介して反射され、前記検知ユニットに入射し、
前記第3反射鏡は前記反射光に向かうように設置され、前記反射光は前記第3反射鏡を介して前記検知ユニットの前記受光領域以外に反射されており、
前記第1反射鏡と前記検出される平板との夾角はθ5=180°−1.5×theta1であり、前記第2反射鏡と前記第3反射鏡は同一直線に位置し、前記第2反射鏡は前記第3反射鏡に対して前記検出される平板により近接しており、前記第2反射鏡および第3反射鏡と前記検出される平板との夾角はθ6=180°−1.5×theta1であり、
前記第1反射鏡の長さサイズは2×d1×tan(alpha1)よりも大きく、前記第2反射鏡の長さサイズは2×(d1+d3)×tan(alpha1)よりも大きく、前記第3反射鏡の長さサイズは0より大きく、且つ2×(h1−h2)より小さく、
ここで、theta1は散乱光の光軸と前記検出される平板表面の法線との夾角であり、alpha1は散乱光の前記第1反射鏡の物体空間に対する視野角であり、d1は照明ユニットの前記検出される平板表面で発生する照明視野の中心と前記第2反射鏡の散乱光の光軸方向に沿う距離であり、h1は前記第3反射鏡の反射光を受光する位置から前記検出される平板までの距離、h1=d2/tan(beta)であり、h2は前記第3反射鏡における反射光を受光する位置から前記検出される平板までの縦線と散乱光が交差する最高点から前記検出される平板までの距離、h2=d2/tan(theta1−alpha1)であり、betaは前記照明ユニットの前記検出される平板に入射する入射光と法線との夾角である、
ことを特徴とする平板粒度検出装置。 - 前記照明ユニットにより発生される照明視野はライン照明視野である、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の平板粒度検出装置。 - 前記検知ユニットは画像形成光路およびTDIカメラを含み、前記散乱光および反射光は前記測定ビーム調整ユニットにより分離された後、前記散乱光は前記画像形成光路を介して前記TDIカメラに集光される、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の平板粒度検出装置。 - 前記反射プリズムの断面は直角台形である、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の平板粒度検出装置。
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