JP6558538B2 - Wire connection method - Google Patents

Description

本発明は、ワイヤーソーで使用されるワイヤーの接続方法に関する。   The present invention relates to a method for connecting wires used in a wire saw.

インゴット等の被加工物からウェーハを切り出す場合には、ワイヤーソー（マルチワイヤーソー）と呼ばれる加工装置を用いるのが一般的である（例えば、特許文献１参照）。このワイヤーソーは、複数のガイドローラーに巻き掛けられたワイヤーを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませることで、薄いウェーハを切り出す。   When a wafer is cut out from a workpiece such as an ingot, a processing apparatus called a wire saw (multi-wire saw) is generally used (see, for example, Patent Document 1). This wire saw cuts out a thin wafer by cutting into a work piece while feeding wires wound around a plurality of guide rollers in a predetermined direction.

一方、このワイヤーソーを用いる加工方法では、ガイドローラーに巻き掛けられたワイヤーに対して砥粒を分散させたスラリーを供給し続けなければならないので、工程が煩雑である。また、被加工物に対してワイヤーが直に接触するので、工程中にワイヤーが切れる可能性も高かった。   On the other hand, in the processing method using this wire saw, since the slurry in which abrasive grains are dispersed must be continuously supplied to the wire wound around the guide roller, the process is complicated. In addition, since the wire is in direct contact with the workpiece, there is a high possibility that the wire will break during the process.

これらの問題に対し、近年では、導電性を備えたワイヤーと被加工物との間で発生する放電を利用して、ウェーハを非接触で切り出すワイヤーソーも提案されている（例えば、特許文献２参照）。このワイヤーソーでは、ワイヤーと被加工物との間にパルス電圧を印加し、ワイヤーを所定の方向に送りながら被加工物に切り込ませることで、ウェーハを非接触で切り出すことができる。   In recent years, a wire saw that cuts a wafer in a non-contact manner using a discharge generated between a wire having conductivity and a workpiece has been proposed (see, for example, Patent Document 2). reference). In this wire saw, a wafer can be cut out in a non-contact manner by applying a pulse voltage between the wire and the workpiece and cutting the workpiece into the workpiece while feeding the wire in a predetermined direction.

ところで、上述のようなワイヤーソーでは、例えば、ワイヤーが途中で切れてしまった場合や、セットされているワイヤーを全て使い切った場合等に、新たなワイヤーをガイドローラー群に巻き掛ける必要がある。しかしながら、例えば、直径が１００μｍ〜２００μｍの細いワイヤーを、０．５ｍｍ〜１ｍｍ程度の狭いピッチで幾重にも巻き掛けるには、熟練したオペレータであっても３０分以上の時間が掛かっていた。   By the way, in the wire saw as described above, for example, when the wire is cut halfway or when all the set wires are used up, a new wire needs to be wound around the guide roller group. However, for example, it takes 30 minutes or more even for a skilled operator to wind a thin wire having a diameter of 100 μm to 200 μm multiple times at a narrow pitch of about 0.5 mm to 1 mm.

ワイヤーの交換に要する時間を短縮するために、ガイドローラー群に巻き掛けられたワイヤーの一端面に、新たなワイヤーの一端面を接触させて、２本のワイヤーを溶接するワイヤーの接続方法が提案されている（例えば、特許文献３参照）。このワイヤーの接続方法によれば、元のワイヤーを巻き取ることによって新たなワイヤーを巻き掛けることができるので、ワイヤーの交換に要する時間は大幅に短縮される。   In order to reduce the time required for wire replacement, a wire connection method is proposed in which one end surface of a new wire is brought into contact with one end surface of a wire wound around a group of guide rollers, and two wires are welded. (For example, see Patent Document 3). According to this wire connection method, since a new wire can be wound by winding the original wire, the time required for exchanging the wire is greatly reduced.

特開平９−９４７５５号公報Japanese Patent Laid-Open No. 9-94755 特開２０１１−１４００８８号公報JP 2011-140088 A 特開２００４−１９５６１２号公報JP 2004-195612 A

ところが、上述のようにワイヤーの端面同士を接触させて溶接する方法では、接続不良が発生し易く、溶接部分でワイヤーが切れてしまうこともあった。本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、ワイヤーソーで使用されるワイヤーを簡単かつ確実に接続できるワイヤーの接続方法を提供することである。   However, in the method in which the end surfaces of the wires are brought into contact with each other and welded as described above, connection failure is likely to occur, and the wire may be cut at the welded portion. This invention is made | formed in view of this problem, The place made into the objective is providing the connection method of the wire which can connect the wire used with a wire saw simply and reliably.

本発明の一態様によれば、ワイヤー張設用のガイド溝を備えワイヤーが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する基台と、該基台と該ワイヤとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤを切り込ませる移動手段と、を有するワイヤーソーの該ガイドローラー群に巻き掛けられた第１のワイヤーの一端部に、該第１のワイヤーとは別の第２のワイヤーの一端部を接続するワイヤーの接続方法であって、内部にワイヤーが挿通した状態で該ガイド溝に沿って該ガイドローラー群に巻き掛けることのできるチューブ状のカバー部材を準備するカバー部材準備ステップと、該第１のワイヤーの一端側又は該第２のワイヤーの一端側を該カバー部材に挿通するワイヤー挿通ステップと、該ワイヤー挿通ステップを実施した後、該第１のワイヤーの一端部と該第２のワイヤーの一端部とを交差させ、該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとの交差部を溶接して該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとを接続する溶接ステップと、該溶接ステップを実施した後、該カバー部材を該第１のワイヤー及び該第２のワイヤーに沿って移動させ、該第１のワイヤーの一端部及び該第２のワイヤーの一端部を該カバー部材の内部に収容する端部収容ステップと、を備えることを特徴とするワイヤーの接続方法が提供される。   According to one aspect of the present invention, a guide roller group including a guide groove for wire stretching and a wire wound around a plurality of times, a base for fixing a workpiece, and the base and the wire are relative to each other. And moving means for cutting the wire into a workpiece fixed to the base, and at one end of the first wire wound around the guide roller group of the wire saw, A wire connection method for connecting one end of a second wire different from a wire, and a tube-like shape that can be wound around the guide roller group along the guide groove with the wire inserted inside A cover member preparing step for preparing a cover member, a wire inserting step for inserting one end side of the first wire or one end side of the second wire into the cover member, and the wire inserting step. After that, one end of the first wire and one end of the second wire are crossed, and the crossing of the first wire and the second wire is welded to A welding step for connecting the second wire, and after performing the welding step, the cover member is moved along the first wire and the second wire, and one end portion of the first wire. And an end portion accommodating step for accommodating one end portion of the second wire inside the cover member. A wire connecting method is provided.

本発明の一態様において、該カバー部材の長さは、該第１のワイヤーの一端から該交差部までの長さと該第２のワイヤーの一端から該交差部までの長さの和以上であることが好ましい。   In one embodiment of the present invention, the length of the cover member is equal to or greater than the sum of the length from one end of the first wire to the intersection and the length from one end of the second wire to the intersection. It is preferable.

また、本発明の一態様において、該ワイヤーソーは、ワイヤー及び被加工物に高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットをさらに有し、被加工物を放電加工することが好ましい。   In one embodiment of the present invention, it is preferable that the wire saw further includes a high-frequency pulse power supply unit that supplies high-frequency pulse power to the wire and the workpiece, and discharges the workpiece.

本発明の一態様に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤーの一端部と第２のワイヤーの一端部とを交差させ、その交差部を溶接することで第１のワイヤーと第２のワイヤーとを接続するので、端面同士を接触させて溶接する従来の接続方法に比べて、第１のワイヤーと第２のワイヤーとを簡単かつ確実に接続できる。   In the wire connection method according to one embodiment of the present invention, the first wire and the second wire are welded by intersecting one end of the first wire and one end of the second wire and welding the intersecting portion. Therefore, the first wire and the second wire can be easily and reliably connected as compared with the conventional connection method in which the end surfaces are brought into contact with each other and welded.

また、本発明の一態様に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤーと第２のワイヤーとを接続した後に、チューブ状のカバー部材の内部に第１のワイヤーの一端部及び第２のワイヤーの一端部を収容するので、接続後の第１のワイヤー及び第２のワイヤーの形状が整えられ、第１のワイヤー及び第２のワイヤーがガイド溝からずれることもない。   In the wire connection method according to one embodiment of the present invention, after connecting the first wire and the second wire, one end of the first wire and the second wire are formed inside the tubular cover member. Since one end of the first wire is accommodated, the shapes of the first wire and the second wire after connection are adjusted, and the first wire and the second wire are not displaced from the guide groove.

ワイヤーソーの構成例を模式的に示す図である。It is a figure which shows the structural example of a wire saw typically. 被加工物が加工される様子を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows a mode that a to-be-processed object is processed typically. 図３（Ａ）は、カバー部材準備ステップ及びワイヤー挿通ステップを模式的に示す図であり、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）は、溶接ステップを模式的に示す図であり、図３（Ｄ）及び図３（Ｅ）は、端部収容ステップを模式的に示す図である。3A is a diagram schematically showing the cover member preparation step and the wire insertion step, and FIG. 3B and FIG. 3C are diagrams schematically showing the welding step. (D) and FIG.3 (E) are figures which show an edge part accommodation step typically. 図４（Ａ）は、第１ガイドローラー、第２ガイドローラー、第３ガイドローラー、及び第４ガイドローラーとなるローラーの構造を模式的に示す図であり、図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一部の領域を拡大した断面図である。FIG. 4A is a diagram schematically showing the structure of the first guide roller, the second guide roller, the third guide roller, and the fourth guide roller, and FIG. 4B is a diagram of FIG. It is sectional drawing to which the one part area | region of (A) was expanded.

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。本実施形態に係るワイヤーの接続方法は、カバー部材準備ステップ（図３（Ａ）参照）、ワイヤー挿通ステップ（図３（Ａ）参照）、溶接ステップ（図３（Ｂ）、図３（Ｃ）参照）、及び端部収容ステップ（図３（Ｄ）、図３（Ｅ）参照）を含む。   Embodiments according to one aspect of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. The wire connection method according to this embodiment includes a cover member preparation step (see FIG. 3A), a wire insertion step (see FIG. 3A), and a welding step (FIG. 3B and FIG. 3C). Reference) and an end portion accommodation step (see FIGS. 3D and 3E).

カバー部材準備ステップでは、内部にワイヤーを通すことができるチューブ状のカバー部材を準備する。ワイヤー挿通ステップでは、ワイヤーソーのガイドローラー群に巻き掛けられている第１のワイヤーの一端側、又は第１のワイヤーとは別の第２のワイヤーの一端側をカバー部材に通す。   In the cover member preparation step, a tube-shaped cover member capable of passing a wire through is prepared. In the wire insertion step, the one end side of the first wire wound around the guide roller group of the wire saw or the one end side of the second wire different from the first wire is passed through the cover member.

溶接ステップでは、第１のワイヤーの一端部と第２のワイヤーの一端部とを交差させ、その交差部を溶接する。端部収容ステップでは、第１のワイヤー及び第２のワイヤーに沿ってカバー部材を移動させ、第１のワイヤーの一端部及び第２のワイヤーの一端部をカバー部材の内部に収容する。以下、本実施形態に係るワイヤーの接続方法について詳述する。   In the welding step, the one end of the first wire and the one end of the second wire are crossed and the crossing is welded. In the end portion accommodation step, the cover member is moved along the first wire and the second wire, and one end portion of the first wire and one end portion of the second wire are accommodated in the cover member. Hereinafter, the wire connection method according to the present embodiment will be described in detail.

まず、本実施形態で接続されるワイヤーを使用するワイヤーソーの例を説明する。図１は、ワイヤーソーの構成例を模式的に示す図である。図１に示すように、ワイヤーソー（マルチワイヤーソー）２は、ワイヤー４が巻回された繰り出しボビン６を支持する円柱状の繰り出しローラー８を備えている。   First, the example of the wire saw which uses the wire connected by this embodiment is demonstrated. FIG. 1 is a diagram schematically illustrating a configuration example of a wire saw. As shown in FIG. 1, a wire saw (multi-wire saw) 2 includes a columnar feeding roller 8 that supports a feeding bobbin 6 around which a wire 4 is wound.

繰り出しローラー８の上方には、巻き取りボビン１０を支持する円柱状の巻き取りローラー１２が配置されている。繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤー４は、加工に使用された後、巻き取りボビン１０に巻き取られる。ワイヤー４は、例えば、直径が５０μｍ〜１４０μｍのピアノ線等をベースに構成されており、被加工物１１の加工に必要な導電性を備えている。   A cylindrical take-up roller 12 that supports the take-up bobbin 10 is disposed above the feed roller 8. The wire 4 fed out from the feeding bobbin 6 is wound around the winding bobbin 10 after being used for processing. The wire 4 is configured based on, for example, a piano wire having a diameter of 50 μm to 140 μm, and has conductivity necessary for processing the workpiece 11.

繰り出しローラー８に隣接する位置には、繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤー４を下流側に送る第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第３供給ローラー１８及び第４供給ローラー２０が配置されている。また、第２供給ローラー１６と第３供給ローラー１８との間には、ワイヤー４の張力を調整する第１調整ローラー２２が設けられている。   A first supply roller 14, a second supply roller 16, a third supply roller 18, and a fourth supply roller 20 that send the wire 4 fed from the feed bobbin 6 to the downstream side are disposed at positions adjacent to the feed roller 8. ing. A first adjustment roller 22 that adjusts the tension of the wire 4 is provided between the second supply roller 16 and the third supply roller 18.

繰り出しボビン６から繰り出されたワイヤー４は、第１供給ローラー１４、第２供給ローラー１６、第１調整ローラー２２、第３供給ローラー１８、第４供給ローラー２０の順に巻き掛けられて、下流側に送られる。   The wire 4 fed out from the feeding bobbin 6 is wound in the order of the first supply roller 14, the second supply roller 16, the first adjustment roller 22, the third supply roller 18, and the fourth supply roller 20 in the downstream side. Sent.

第４供給ローラー２０の下方には、第４供給ローラー２０から送られたワイヤー４を案内する円柱状の第１ガイドローラー２４が配置されている。第４供給ローラー２０から送られたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４に巻き掛けられて下方に案内される。この第１ガイドローラー２４は、例えば、ワイヤー４の移動に合わせて回転する従動ローラーである。   A columnar first guide roller 24 that guides the wire 4 sent from the fourth supply roller 20 is disposed below the fourth supply roller 20. The wire 4 sent from the fourth supply roller 20 is wound around the first guide roller 24 and guided downward. The first guide roller 24 is, for example, a driven roller that rotates in accordance with the movement of the wire 4.

第１ガイドローラー２４の下方には、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４をさらに案内する円柱状の第２ガイドローラー２６が配置されている。第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４は、第２ガイドローラー２６に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第２ガイドローラー２６は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤー４を移動させる駆動ローラーである。   A cylindrical second guide roller 26 that further guides the wire 4 guided by the first guide roller 24 is disposed below the first guide roller 24. The wire 4 guided by the first guide roller 24 is wound around the second guide roller 26 and guided in the horizontal direction. The second guide roller 26 is a driving roller that is connected to a rotational driving source such as a motor and moves the wire 4.

第２ガイドローラー２６から水平方向に離れた位置には、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤー４をさらに案内する円柱状の第３ガイドローラー２８が配置されている。第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤー４は、第３ガイドローラー２８に巻き掛けられて上方に案内される。この第３ガイドローラー２８は、例えば、ワイヤー４の移動に合わせて回転する従動ローラーである。また、第３ガイドローラー２８によって上方に案内されたワイヤー４の一部は、被加工物１１を加工する加工部４ａとなる。   A columnar third guide roller 28 that further guides the wire 4 guided by the second guide roller 26 is disposed at a position away from the second guide roller 26 in the horizontal direction. The wire 4 guided by the second guide roller 26 is wound around the third guide roller 28 and guided upward. The third guide roller 28 is a driven roller that rotates in accordance with the movement of the wire 4, for example. Further, a part of the wire 4 guided upward by the third guide roller 28 becomes a processing portion 4 a for processing the workpiece 11.

第３ガイドローラー２８の上方には、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤー４をさらに案内する円柱状の第４ガイドローラー３０が配置されている。第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤー４は、第４ガイドローラー３０に巻き掛けられて水平方向に案内される。この第４ガイドローラー３０は、例えば、モーター等の回転駆動源に連結されワイヤー４を移動させる駆動ローラーである。   Above the third guide roller 28, a cylindrical fourth guide roller 30 for further guiding the wire 4 guided by the third guide roller 28 is disposed. The wire 4 guided by the third guide roller 28 is wound around the fourth guide roller 30 and guided in the horizontal direction. The fourth guide roller 30 is a drive roller that is connected to a rotational drive source such as a motor and moves the wire 4.

第１ガイドローラー２４と第４ガイドローラー３０との間の位置には、第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤー４を巻き掛ける第５供給ローラー３２が配置されている。第４ガイドローラー３０で案内されたワイヤー４は、第５供給ローラー３２に巻き掛けられて第１ガイドローラー２４に送られる。   A fifth supply roller 32 around which the wire 4 guided by the fourth guide roller 30 is wound is disposed at a position between the first guide roller 24 and the fourth guide roller 30. The wire 4 guided by the fourth guide roller 30 is wound around the fifth supply roller 32 and sent to the first guide roller 24.

第５供給ローラー３２から第１ガイドローラー２４に送られたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４に再び巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。上述のように、第１ガイドローラー２４には、既にワイヤー４が巻き掛けられているので、ここでは、第１ガイドローラー２４の別の位置にワイヤー４が巻き掛けられる。具体的には、既に巻き掛けられているワイヤー４に対して第１ガイドローラー２４の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤー４が再度巻き掛けられる。   The wire 4 sent from the fifth supply roller 32 to the first guide roller 24 is again wound around the first guide roller 24 and guided to the second guide roller 26. As described above, since the wire 4 is already wound around the first guide roller 24, the wire 4 is wound around another position of the first guide roller 24 here. Specifically, the wire 4 is wound around the already wound wire 4 at a predetermined interval in the rotation axis direction of the first guide roller 24.

同様に、第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４は、第２ガイドローラー２６に再び巻き掛けられて第３ガイドローラー２８に案内される。また、第２ガイドローラー２６で案内されたワイヤー４は、第３ガイドローラー２８に再び巻き掛けられて第４ガイドローラー３０に案内される。さらに、第３ガイドローラー２８で案内されたワイヤー４は、第４ガイドローラー３０に再び巻き掛けられ、第５供給ローラー３２を経て第１ガイドローラー２４に案内される。   Similarly, the wire 4 guided by the first guide roller 24 is again wound around the second guide roller 26 and guided to the third guide roller 28. The wire 4 guided by the second guide roller 26 is again wound around the third guide roller 28 and guided to the fourth guide roller 30. Further, the wire 4 guided by the third guide roller 28 is again wound around the fourth guide roller 30 and guided to the first guide roller 24 through the fifth supply roller 32.

第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、第４ガイドローラー３０、及び第５供給ローラー３２にも既にワイヤー４が巻き掛けられているので、ここでも、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、第４ガイドローラー３０、又は第５供給ローラー３２の回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤー４が再度巻き掛けられる。第５供給ローラー３２で案内されたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４にさらに巻き掛けられて第２ガイドローラー２６に案内される。   Since the wire 4 is already wound around the second guide roller 26, the third guide roller 28, the fourth guide roller 30, and the fifth supply roller 32, the second guide roller 26 and the third guide roller are also here. 28, the fourth guide roller 30, or the fifth supply roller 32 is wound around the wire 4 again at a predetermined interval in the rotation axis direction. The wire 4 guided by the fifth supply roller 32 is further wound around the first guide roller 24 and guided to the second guide roller 26.

このように、第１ガイドローラー２４、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０（以下、ガイドローラー群）には、回転軸方向に所定の間隔をあけてワイヤー４が複数回巻き掛けられる。これにより、第３ガイドローラー２８と第４ガイドローラー３０との間には複数の加工部４ａが並列されて、被加工物１１から複数のウェーハを一度に切り出すことができる。   As described above, the first guide roller 24, the second guide roller 26, the third guide roller 28, and the fourth guide roller 30 (hereinafter referred to as “guide roller group”) are provided with the wire 4 at a predetermined interval in the rotation axis direction. Wrapped multiple times. Thereby, a plurality of processing parts 4 a are arranged in parallel between the third guide roller 28 and the fourth guide roller 30, and a plurality of wafers can be cut out from the workpiece 11 at a time.

第３ガイドローラー２８及び第４ガイドローラー３０に巻き掛けられるワイヤー４の回転軸方向の間隔（すなわち、隣接する加工部４ａの間隔）は、切り出されるウェーハの厚みに対応し、例えば、０．５ｍｍ〜１ｍｍに設定される。ただし、ワイヤー４の回転軸方向の間隔（隣接する加工部４ａの間隔）は、ウェーハの仕様等に応じて任意に変更できる。同様に、ワイヤー４を巻き掛ける回数は、被加工物１１やウェーハの仕様等に応じて任意に設定される。   The interval in the rotation axis direction of the wire 4 wound around the third guide roller 28 and the fourth guide roller 30 (that is, the interval between adjacent processed portions 4a) corresponds to the thickness of the wafer to be cut out, for example, 0.5 mm. Set to ~ 1 mm. However, the interval in the rotation axis direction of the wire 4 (the interval between the adjacent processed parts 4a) can be arbitrarily changed according to the specifications of the wafer. Similarly, the number of times the wire 4 is wound is arbitrarily set according to the specifications of the workpiece 11 and the wafer.

巻き取りローラー１２に隣接する位置には、加工に使用されたワイヤー４を送る第６供給ローラー３４、第７供給ローラー３６及び第８供給ローラー３８が配置されている。また、第７供給ローラー３６と第８供給ローラー３８との間には、ワイヤー４の張力を調整する第２調整ローラー４０が設けられている。   A sixth supply roller 34, a seventh supply roller 36, and an eighth supply roller 38 that send the wire 4 used for processing are disposed at a position adjacent to the winding roller 12. A second adjustment roller 40 that adjusts the tension of the wire 4 is provided between the seventh supply roller 36 and the eighth supply roller 38.

上述のようにガイドローラー群に複数回巻き掛けられたワイヤー４は、第１ガイドローラー２４で鉛直方向に案内される。第１ガイドローラー２４で案内されたワイヤー４は、第６供給ローラー３４、第７供給ローラー３６、第２調整ローラー４０、第８供給ローラー３８の順に巻き掛けられて、巻き取りボビン１０で巻き取られる。   As described above, the wire 4 wound around the guide roller group a plurality of times is guided in the vertical direction by the first guide roller 24. The wire 4 guided by the first guide roller 24 is wound in the order of the sixth supply roller 34, the seventh supply roller 36, the second adjustment roller 40, and the eighth supply roller 38, and taken up by the take-up bobbin 10. It is done.

上述のように、第２ガイドローラー２６及び第４ガイドローラー３０には、モーター等の回転駆動源が連結されている。この回転駆動源で、第２ガイドローラー２６及び第４ガイドローラー３０を回転させれば、ワイヤー４は、所定の送り方向に送られる。なお、回転駆動源は、繰り出しローラー８、巻き取りローラー１２、第１調整ローラー２２、第２調整ローラー４０等に連結されていても良い。   As described above, the second guide roller 26 and the fourth guide roller 30 are connected to a rotational drive source such as a motor. If the second guide roller 26 and the fourth guide roller 30 are rotated by this rotational drive source, the wire 4 is fed in a predetermined feeding direction. The rotation drive source may be connected to the feeding roller 8, the winding roller 12, the first adjustment roller 22, the second adjustment roller 40, and the like.

加工部４ａの側方には、被加工物１１を固定する基台４２が配置されている。基台４２は、アーム状の本体４４と、本体４４の一端部に装着される被加工物固定部材４６とを含む。   A base 42 for fixing the workpiece 11 is disposed on the side of the processing portion 4a. The base 42 includes an arm-shaped main body 44 and a workpiece fixing member 46 attached to one end of the main body 44.

被加工物１１は、例えば、シリコンやＳｉＣ、ダイヤモンド（単結晶ダイヤモンド）等の材料で円柱状に形成されたインゴットであり、ワイヤー４（加工部４ａ）の送り方向に対して被加工物１１の高さ方向（代表的には、結晶成長方向）が垂直になるように、導電性接着剤や半田等で被加工物固定部材４６に接着される。ただし、被加工物１１の種類に特段の制限はない。   The workpiece 11 is an ingot formed in a cylindrical shape with a material such as silicon, SiC, or diamond (single crystal diamond), for example, and the workpiece 11 is in the feed direction of the wire 4 (processed portion 4a). The workpiece is fixed to the workpiece fixing member 46 with a conductive adhesive or solder so that the height direction (typically, the crystal growth direction) is vertical. However, there is no particular limitation on the type of the workpiece 11.

本体４４の他端部には、基台４２を水平方向に移動（加工送り）させる移動機構（移動手段）４８が連結されている。この移動機構４８によって、基台４２とワイヤー４とを相対的に移動（加工送り）させることで、ワイヤー４の加工部４ａを被加工物１１に切り込ませることができる。   A moving mechanism (moving means) 48 for moving the base 42 in the horizontal direction (processing feed) is connected to the other end of the main body 44. By moving the base 42 and the wire 4 relatively by this moving mechanism 48 (processing feed), the processed portion 4a of the wire 4 can be cut into the workpiece 11.

本体４４には、放電加工用の高周波パルス電圧を発生する高周波パルス電源ユニット５０の第１端子が接続されている。一方、第４ガイドローラー３０と第５供給ローラー３２との間には、高周波パルス電源ユニット５０の第２端子に接続された給電ローラー５２が配置されている。   A first terminal of a high-frequency pulse power supply unit 50 that generates a high-frequency pulse voltage for electric discharge machining is connected to the main body 44. On the other hand, a power feeding roller 52 connected to the second terminal of the high-frequency pulse power supply unit 50 is disposed between the fourth guide roller 30 and the fifth supply roller 32.

この給電ローラー５２は、第４ガイドローラー３０と第５供給ローラー３２との間でワイヤー４に接触している。すなわち、ワイヤー４には、高周波パルス電源ユニット５０の第２端子が電気的に接続されている。   The power supply roller 52 is in contact with the wire 4 between the fourth guide roller 30 and the fifth supply roller 32. That is, the wire 4 is electrically connected to the second terminal of the high-frequency pulse power supply unit 50.

高周波パルス電源ユニット５０は、例えば、高周波パルス電圧の発生を制御し、パルス幅や繰り返し周波数を調整するパルス調整部５０ａと、電圧を調整する電圧調整部５０ｂと、を含んでいる。この高周波パルス電源ユニット５０により、放電加工に必要なパルス電圧を発生できる。   The high-frequency pulse power supply unit 50 includes, for example, a pulse adjustment unit 50a that controls generation of a high-frequency pulse voltage and adjusts a pulse width and a repetition frequency, and a voltage adjustment unit 50b that adjusts a voltage. This high frequency pulse power supply unit 50 can generate a pulse voltage necessary for electric discharge machining.

第１端子に接続される基台４２の本体４４及び被加工物固定部材４６は、例えば、カーボン、金属等の導電性材料で構成されており、被加工物１１は、電性接着剤や半田等で被加工物固定部材４６に接着される。また、給電ローラー５２を介して第２端子に接続されるワイヤー４は、導電性を備えている。そのため、高周波パルス電源ユニット５０で発生した高周波パルス電圧は、ワイヤー４と被加工物１１との間に印加される。   The main body 44 and the workpiece fixing member 46 of the base 42 connected to the first terminal are made of a conductive material such as carbon or metal, for example, and the workpiece 11 is made of an electric adhesive or solder. Etc. to be bonded to the workpiece fixing member 46. Further, the wire 4 connected to the second terminal via the power supply roller 52 has conductivity. Therefore, the high frequency pulse voltage generated by the high frequency pulse power supply unit 50 is applied between the wire 4 and the workpiece 11.

なお、本実施形態のワイヤーソー２では、給電ローラー５２とワイヤー４との接触面積を増やすために、給電ローラー５２に対してワイヤー４を押し当てることができる位置に第５供給ローラー３２と給電ローラー５２とを配置している。これにより、ワイヤー４に対して高周波パルス電圧を適切に印加できる。また、本実施形態のワイヤーソー２では、給電ローラー５２にのみ高周波パルス電源ユニット５０の第２端子を接続しているが、第５供給ローラー３２に高周波パルス電源ユニット５０の第２端子を接続しても良い。   In addition, in the wire saw 2 of this embodiment, in order to increase the contact area between the power supply roller 52 and the wire 4, the fifth supply roller 32 and the power supply roller are positioned at positions where the wire 4 can be pressed against the power supply roller 52. 52. Thereby, a high frequency pulse voltage can be appropriately applied to the wire 4. In the wire saw 2 of the present embodiment, the second terminal of the high-frequency pulse power supply unit 50 is connected only to the power supply roller 52, but the second terminal of the high-frequency pulse power supply unit 50 is connected to the fifth supply roller 32. May be.

第２ガイドローラー２６及び第３ガイドローラー２８を囲む位置には、加工槽５４が配置されている。加工槽５４の内部には、純水等の加工液５６が貯留されており、少なくとも、ワイヤー４の加工部４ａ及び被加工物１１が加工液５６に浸漬している。   A processing tank 54 is disposed at a position surrounding the second guide roller 26 and the third guide roller 28. A processing liquid 56 such as pure water is stored inside the processing tank 54, and at least the processing portion 4 a of the wire 4 and the workpiece 11 are immersed in the processing liquid 56.

次に、上述したワイヤーソー２を用いる被加工物１１の加工方法について説明する。図２は、被加工物１１が加工される様子を模式的に示す斜視図である。まず、高周波パルス電源ユニット５０でワイヤー４と被加工物１１との間に高周波パルス電圧を印加する。また、ガイドローラー群等を回転させて、図２に示すように、ワイヤー４を所定の送り方向に送る。   Next, the processing method of the to-be-processed object 11 using the wire saw 2 mentioned above is demonstrated. FIG. 2 is a perspective view schematically showing how the workpiece 11 is processed. First, a high frequency pulse voltage is applied between the wire 4 and the workpiece 11 by the high frequency pulse power supply unit 50. Further, the guide roller group or the like is rotated to feed the wire 4 in a predetermined feeding direction as shown in FIG.

次に、被加工物１１にワイヤー４（加工部４ａ）を切り込ませるように、移動機構４８で被加工物１１を水平方向に移動（加工送り）させる。加工液５６中で絶縁状態にある被加工物１１とワイヤー４の加工部４ａとが十分に近づくと、絶縁が破壊されて被加工物１１と加工部４ａとの間で放電が生じる。   Next, the workpiece 11 is moved (processed) in the horizontal direction by the moving mechanism 48 so that the wire 4 (machined portion 4a) is cut into the workpiece 11. When the workpiece 11 that is in an insulating state in the machining liquid 56 and the processed portion 4a of the wire 4 sufficiently approach each other, the insulation is destroyed and an electric discharge is generated between the processed workpiece 11 and the processed portion 4a.

その結果、放電に伴う熱で被加工物１１の加工部４ａに近接する部分が溶融される。また、加工液５６の温度が急激に上昇して沸騰し、体積が膨張して被加工物１１の溶融した部分を飛散（拡散）させる。このように、ワイヤー４と被加工物１１との間に高周波パルス電圧を供給しながら被加工物１１を水平方向に移動させることで、被加工物１１に対する加工部４ａの移動経路に応じた位置で被加工物１１を加工できる。   As a result, the part close to the processed part 4a of the workpiece 11 is melted by the heat accompanying the discharge. Further, the temperature of the machining liquid 56 rapidly rises and boils, the volume expands, and the melted portion of the workpiece 11 is scattered (diffused). Thus, the position according to the movement path | route of the process part 4a with respect to the to-be-processed object 11 is moved by moving the to-be-processed object 11 in a horizontal direction, supplying a high frequency pulse voltage between the wire 4 and the to-be-processed object 11. Thus, the workpiece 11 can be processed.

被加工物１１の水平方向への移動は、ワイヤー４の加工部４ａによって被加工物１１が完全に切断されるまで続けられる。以上により、被加工物１１から複数のウェーハを同時に切り出すことができる。   The horizontal movement of the workpiece 11 is continued until the workpiece 11 is completely cut by the processed portion 4a of the wire 4. As described above, a plurality of wafers can be simultaneously cut out from the workpiece 11.

次に、上述のワイヤー４を交換等する際に実施されるワイヤーの接続方法を説明する。本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、まず、内部にワイヤー４を通すことができるカバー部材を準備するカバー部材準備ステップを実施する。図３（Ａ）は、カバー部材準備ステップ及び次のワイヤー挿通ステップを模式的に示す図である。   Next, a wire connection method that is performed when the above-described wire 4 is exchanged will be described. In the wire connection method according to the present embodiment, first, a cover member preparation step of preparing a cover member through which the wire 4 can be passed is performed. FIG. 3A is a diagram schematically showing the cover member preparation step and the next wire insertion step.

カバー部材６２は、例えば、２本のワイヤー４を通すことができるチューブ状（円筒状）に形成されている。カバー部材６２の内径（直径）は、例えば、２００μｍ〜２４０μｍであり、カバー部材６２の外径（直径）は、例えば、２８０μｍ〜３００μｍである。   For example, the cover member 62 is formed in a tube shape (cylindrical shape) through which the two wires 4 can pass. The cover member 62 has an inner diameter (diameter) of, for example, 200 μm to 240 μm, and the cover member 62 has an outer diameter (diameter) of, for example, 280 μm to 300 μm.

このカバー部材６２は、例えば、ポリイミド等の比較的柔軟な樹脂材料で形成されている。そのため、内部に形成された円柱状の空間に対して２本のワイヤー４を容易に通すことができる。また、２本のワイヤー４と共にカバー部材６２をガイドローラー群に巻き掛けることもできる。   The cover member 62 is formed of a relatively flexible resin material such as polyimide, for example. Therefore, the two wires 4 can be easily passed through the cylindrical space formed inside. Further, the cover member 62 can be wound around the guide roller group together with the two wires 4.

カバー部材準備ステップの後には、既にガイドローラー群に巻き掛けられているワイヤー４、又は、このワイヤー４に接続される別のワイヤー４をカバー部材６２に通すワイヤー挿通ステップを実施する。   After the cover member preparation step, a wire insertion step of passing the wire 4 already wound around the guide roller group or another wire 4 connected to the wire 4 through the cover member 62 is performed.

図３（Ａ）に示すように、本実施形態では、既にガイドローラー群に巻き掛けられている第１のワイヤー６４の一端（下流端）６４ａ側をカバー部材６２に通す。なお、第１のワイヤー６４は、少なくとも一端６４ａがカバー部材６２から露出する位置まで挿入される。   As shown in FIG. 3A, in this embodiment, one end (downstream end) 64a side of the first wire 64 already wound around the guide roller group is passed through the cover member 62. The first wire 64 is inserted to a position where at least one end 64 a is exposed from the cover member 62.

ワイヤー挿通ステップの後には、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部（一端部）と別のワイヤー４の一端側の一部（一端部）とを交差させ、その交差部を溶接する溶接ステップを実施する。図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）は、溶接ステップを模式的に示す図である。   After the wire insertion step, welding is performed in which a part (one end part) on one end 64a side of the first wire 64 and a part (one end part) on one end side of another wire 4 are crossed and the crossing part is welded. Perform the steps. FIG. 3B and FIG. 3C are diagrams schematically showing the welding step.

本実施形態では、図３（Ｂ）及び図３（Ｃ）に示すスポット溶接機７２を用いて第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部と、第２のワイヤー６６の一端（上流端）６６ａ側の一部（一端部）とを溶接する。スポット溶接機７２は、例えば、対向して配置された第１電極７４及び第２電極７６を備えている。第１電極７４及び第２電極７６で第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６を挟み込んで加圧し、大電流を集中させることで、第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６を点状に溶接できる。   In the present embodiment, a part on the one end 64a side of the first wire 64 and one end (upstream end) of the second wire 66 using the spot welder 72 shown in FIGS. 3 (B) and 3 (C). A part (one end) on the 66a side is welded. The spot welder 72 includes, for example, a first electrode 74 and a second electrode 76 that are arranged to face each other. The first wire 64 and the second wire 66 are sandwiched and pressed by the first electrode 74 and the second electrode 76, and a large current is concentrated, so that the first wire 64 and the second wire 66 are formed in a dot shape. Can be welded.

具体的には、図３（Ｂ）に示すように、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部とを交差させて、交差部６８を形成する。次に、図３（Ｂ）に示すように、上述したスポット溶接機７２の第１電極７４及び第２電極７６で交差部６８を挟み込んで溶接する。これにより、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを簡単かつ確実に接続できる。   Specifically, as shown in FIG. 3B, a part on the one end 64a side of the first wire 64 and a part on the one end 66a side of the second wire 66 are intersected to form an intersection 68. Form. Next, as shown in FIG. 3B, the intersection 68 is sandwiched and welded by the first electrode 74 and the second electrode 76 of the spot welder 72 described above. Thereby, the 1st wire 64 and the 2nd wire 66 can be connected easily and reliably.

溶接ステップの後には、互いに接続された第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６に沿ってカバー部材６２を移動させ、第１のワイヤー６４の一端６６ａ側の一部と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部とをカバー部材６２の内部に収容する端部収容ステップを実施する。図３（Ｄ）及び図３（Ｅ）は、端部収容ステップを模式的に示す図である。   After the welding step, the cover member 62 is moved along the first wire 64 and the second wire 66 connected to each other, and a part of the first wire 64 on the one end 66a side and the second wire 66 are moved. An end portion storing step for storing a part of the one end 66 a side in the cover member 62 is performed. FIG. 3D and FIG. 3E are diagrams schematically showing the end portion accommodation step.

本実施形態では、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側をカバー部材６２に通しているので、図３（Ｄ）に示すように、カバー部材６２を第２のワイヤー６６側に移動させる。これにより、図３（Ｅ）に示すように、第１のワイヤー６４の一端６６ａ側の一部及び第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部（すなわち、交差部６８）をカバー部材６２の内部に収容できる。   In the present embodiment, since the one end 64a side of the first wire 64 is passed through the cover member 62, the cover member 62 is moved to the second wire 66 side as shown in FIG. As a result, as shown in FIG. 3E, a part of the first wire 64 on the one end 66a side and a part of the second wire 66 on the one end 66a side (that is, the intersecting portion 68) are removed from the cover member 62. Can be accommodated inside.

このように、接続後の第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６の形状をカバー部材６２で整えることにより、例えば、第１のワイヤー６４を巻き取りボビン１０に巻き取らせて第２のワイヤー６６をガイドローラー群に巻き掛ける際に、第２のワイヤー６６の位置がずれ難くなる。   Thus, by adjusting the shapes of the first wire 64 and the second wire 66 after connection with the cover member 62, for example, the first wire 64 is wound around the winding bobbin 10 and the second wire is wound. When the 66 is wound around the guide roller group, the position of the second wire 66 is difficult to shift.

図４（Ａ）は、第１ガイドローラー２４、第２ガイドローラー２６、第３ガイドローラー２８、及び第４ガイドローラー３０となるローラーの構造を模式的に示す図である。図４（Ａ）に示すように、ローラー８２の側面（周面）８２ａには、ワイヤー４を巻き掛ける位置を規定する溝（ガイド溝）８２ｂが形成されている。この溝８２ｂは、例えば、直径が３００μｍ以下のワイヤー４等に適合する深さ、幅等の条件で形成されている。   FIG. 4A is a diagram schematically illustrating the structure of the first guide roller 24, the second guide roller 26, the third guide roller 28, and the fourth guide roller 30. As shown in FIG. 4A, a groove (guide groove) 82b for defining a position where the wire 4 is wound is formed on the side surface (circumferential surface) 82a of the roller 82. For example, the groove 82b is formed under conditions such as a depth and a width suitable for the wire 4 having a diameter of 300 μm or less.

図４（Ｂ）は、図４（Ａ）の一部の領域８２ｃを拡大した断面図である。なお、図４（Ｂ）では、ローラー８２に第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６が巻き掛けられた状態を示している。   FIG. 4B is an enlarged cross-sectional view of a part of the region 82c in FIG. FIG. 4B shows a state in which the first wire 64 and the second wire 66 are wound around the roller 82.

上述のように、本実施形態では、溝８２ｂの適合範囲（例えば、直径が３００μｍ以下）内の外径（直径）（例えば、２８０μｍ〜３００μｍ）を持つカバー部材６２が使用されている。また、カバー部材６２は、ローラー８２に巻き掛けることができる程度に柔軟である。   As described above, in the present embodiment, the cover member 62 having an outer diameter (diameter) (for example, 280 μm to 300 μm) within a compatible range (for example, a diameter of 300 μm or less) of the groove 82b is used. Further, the cover member 62 is flexible enough to be wound around the roller 82.

そのため、第１のワイヤー６４、第２のワイヤー６６、及びこれらを収容するカバー部材６２は、図４（Ｂ）に示すように、溝８２ｂに沿って巻き掛けられて、溝８２ｂからずれてしまうことがない。これにより、ワイヤー４の交換作業を、迅速かつ確実に遂行できる。   Therefore, as shown in FIG. 4B, the first wire 64, the second wire 66, and the cover member 62 that accommodates the first wire 64 are wound along the groove 82b and are displaced from the groove 82b. There is nothing. Thereby, the exchange operation | work of the wire 4 can be performed rapidly and reliably.

以上のように、本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部（一端部）と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部（一端部）とを交差させ、その交差部６８を溶接することで第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを接続するので、端面同士を接触させて溶接する従来の接続方法に比べて、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを簡単かつ確実に接続できる。   As described above, in the wire connection method according to the present embodiment, a part (one end part) on the one end 64a side of the first wire 64 and a part (one end part) on the one end 66a side of the second wire 66, Since the first wire 64 and the second wire 66 are connected by welding the intersecting portion 68, the first wire is compared with the conventional connection method in which the end faces are in contact with each other and welded. 64 and the second wire 66 can be connected easily and reliably.

また、本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを接続した後に、チューブ状のカバー部材６２の内部に第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部及び第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部を収容するので、接続後の第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６の形状が整えられ、第１のワイヤー６４及び第２のワイヤー６６が溝（ガイド溝）８２ｂからずれることもない。   Further, in the wire connection method according to the present embodiment, after the first wire 64 and the second wire 66 are connected, one end 64 a side of the first wire 64 is provided inside the tube-shaped cover member 62. Since the first wire 64 and the second wire 66 are connected to each other, the first wire 64 and the second wire 66 are shaped. Does not deviate from the groove (guide groove) 82b.

さらに、本実施形態に係るワイヤーの接続方法では、第１のワイヤー６４の一端６４ａ側の一部と第２のワイヤー６６の一端６６ａ側の一部とを交差させ、その交差部６８を溶接することで第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを強固に接続できるので、例えば、上述のように、第５供給ローラー３２と給電ローラー５２との間でワイヤー４が大きく湾曲されるような場合にも、交差部６８でのワイヤー４の切断を防いで適切に送ることができる。   Furthermore, in the wire connection method according to the present embodiment, a part on the one end 64a side of the first wire 64 and a part on the one end 66a side of the second wire 66 are crossed, and the crossing portion 68 is welded. Thus, since the first wire 64 and the second wire 66 can be firmly connected, for example, the wire 4 is greatly bent between the fifth supply roller 32 and the power supply roller 52 as described above. Even in this case, the wire 4 at the crossing portion 68 can be prevented from being cut and sent appropriately.

なお、本発明は上記実施形態の記載に限定されず、種々変更して実施可能である。例えば、上記実施形態のワイヤー挿通ステップでは、既にガイドローラー群に巻き掛けられている第１のワイヤー６４の一端６４ａ側をカバー部材６２に通しているが、第２のワイヤー６６の一端６６ａ側をカバー部材６２に通しても良い。   In addition, this invention is not limited to description of the said embodiment, A various change can be implemented. For example, in the wire insertion step of the above embodiment, the one end 64a side of the first wire 64 already wound around the guide roller group is passed through the cover member 62, but the one end 66a side of the second wire 66 is passed. It may be passed through the cover member 62.

また、上記実施形態の溶接ステップでは、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とが交差する交差部６８の１点で溶接しているが、複数の点で溶接しても良い。また、第１のワイヤー６４と第２のワイヤー６６とを、スポット溶接以外の方法で溶接することもできる。   Moreover, in the welding step of the said embodiment, although it welds at one point of the cross | intersection part 68 where the 1st wire 64 and the 2nd wire 66 cross | intersect, you may weld at several points. Moreover, the 1st wire 64 and the 2nd wire 66 can also be welded by methods other than spot welding.

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。   In addition, the structure, method, and the like according to the above-described embodiment can be appropriately modified and implemented without departing from the scope of the object of the present invention.

２ ワイヤーソー
４ ワイヤー
４ａ 加工部
６ 繰り出しボビン
８ 繰り出しローラー
１０ 巻き取りボビン
１２ 巻き取りローラー
１４ 第１供給ローラー
１６ 第２供給ローラー
１８ 第３供給ローラー
２０ 第４供給ローラー
２２ 第１調整ローラー
２４ 第１ガイドローラー（ガイドローラー群）
２６ 第２ガイドローラー（ガイドローラー群）
２８ 第３ガイドローラー（ガイドローラー群）
３０ 第４ガイドローラー（ガイドローラー群）
３２ 第５供給ローラー
３４ 第６供給ローラー
３６ 第７供給ローラー
３８ 第８供給ローラー
４０ 第２調整ローラー
４２ 基台
４４ 本体
４６ 被加工物固定部材
４８ 移動機構（移動手段）
５０ 高周波パルス電源ユニット
５０ａ パルス調整部
５０ｂ 電圧調整部
５２ 給電ローラー
５４ 加工槽
５６ 加工液
６２ カバー部材
６４ 第１のワイヤー
６４ａ 一端
６６ 第２のワイヤー
６６ａ 一端
６８ 交差部
７２ スポット溶接機
７４ 第１電極
７６ 第２電極
８２ ローラー
８２ａ 側面（周面）
８２ｂ 溝（ガイド溝）
８２ｃ 領域
１１ 被加工物 2 Wire saw 4 Wire 4a Processing part 6 Feeding bobbin 8 Feeding roller 10 Winding bobbin 12 Winding roller 14 1st supply roller 16 2nd supply roller 18 3rd supply roller 20 4th supply roller 22 1st adjustment roller 24 1st Guide roller (guide roller group)
26 Second guide roller (guide roller group)
28 Third guide roller (guide roller group)
30 4th guide roller (guide roller group)
32 5th supply roller 34 6th supply roller 36 7th supply roller 38 8th supply roller 40 2nd adjustment roller 42 Base 44 Main body 46 Workpiece fixing member 48 Movement mechanism (movement means)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 50 High frequency pulse power supply unit 50a Pulse adjustment part 50b Voltage adjustment part 52 Feed roller 54 Processing tank 56 Processing liquid 62 Cover member 64 1st wire 64a One end 66 2nd wire 66a One end 68 Crossing part 72 Spot welder 74 1st electrode 76 Second electrode 82 Roller 82a Side surface (circumferential surface)
82b groove (guide groove)
82c area 11 work piece

Claims (3)

ワイヤー張設用のガイド溝を備えワイヤーが複数回巻き掛けられるガイドローラー群と、被加工物を固定する基台と、該基台と該ワイヤーとを相対的に移動させ該基台に固定した被加工物に該ワイヤーを切り込ませる移動手段と、を有するワイヤーソーの該ガイドローラー群に巻き掛けられた第１のワイヤーの一端部に、該第１のワイヤーとは別の第２のワイヤーの一端部を接続するワイヤーの接続方法であって、
内部にワイヤーが挿通した状態で該ガイド溝に沿って該ガイドローラー群に巻き掛けることのできるチューブ状のカバー部材を準備するカバー部材準備ステップと、
該第１のワイヤーの一端側又は該第２のワイヤーの一端側を該カバー部材に挿通するワイヤー挿通ステップと、
該ワイヤー挿通ステップを実施した後、該第１のワイヤーの一端部と該第２のワイヤーの一端部とを交差させ、該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとの交差部を溶接して該第１のワイヤーと該第２のワイヤーとを接続する溶接ステップと、
該溶接ステップを実施した後、該カバー部材を該第１のワイヤー及び該第２のワイヤーに沿って移動させ、該第１のワイヤーの一端部及び該第２のワイヤーの一端部を該カバー部材の内部に収容する端部収容ステップと、を備えることを特徴とするワイヤーの接続方法。 A guide roller group provided with a guide groove for extending a wire, a wire being wound a plurality of times, a base for fixing a workpiece, and the base and the wire are relatively moved and fixed to the base A second wire different from the first wire at one end of the first wire wound around the guide roller group of the wire saw having a moving means for cutting the wire into the workpiece. A wire connecting method for connecting one end of the wire,
A cover member preparation step of preparing a tube-shaped cover member that can be wound around the guide roller group along the guide groove in a state where a wire is inserted inside;
A wire insertion step of inserting one end side of the first wire or one end side of the second wire into the cover member;
After carrying out the wire insertion step, one end of the first wire and one end of the second wire are crossed, and the crossing of the first wire and the second wire is welded A welding step connecting the first wire and the second wire;
After performing the welding step, the cover member is moved along the first wire and the second wire, and one end portion of the first wire and one end portion of the second wire are moved to the cover member. An end portion accommodating step for accommodating the wire inside the wire, and a wire connecting method. 該カバー部材の長さは、該第１のワイヤーの一端から該交差部までの長さと該第２のワイヤーの一端から該交差部までの長さの和以上であることを特徴とする請求項１記載のワイヤーの接続方法。   The length of the cover member is equal to or greater than the sum of the length from one end of the first wire to the intersecting portion and the length from one end of the second wire to the intersecting portion. The method for connecting wires according to 1. 該ワイヤーソーは、ワイヤー及び被加工物に高周波パルス電力を供給する高周波パルス電源ユニットをさらに有し、被加工物を放電加工することを特徴とする請求項１又は請求項２記載のワイヤーの接続方法。   The wire connection according to claim 1 or 2, wherein the wire saw further includes a high-frequency pulse power supply unit that supplies high-frequency pulse power to the wire and the workpiece, and discharges the workpiece. Method.