JP6550284B2 - 配線形成装置及び配線形成方法 - Google Patents
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Description
絶縁基板が載置されたステージと、
前記ステージの上方に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて粘着性を有する粘着インクを吐出する粘着インク吐出ヘッドと、
前記ステージの上方に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて金属粉末を吐出する金属粉末吐出ヘッドと、
前記粘着インク吐出ヘッド及び前記金属粉末吐出ヘッドと、前記ステージとを対向させた状態で、前記粘着インク吐出ヘッド及び前記金属粉末吐出ヘッドと、前記ステージとを相対的に移動させる駆動手段と、
前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、を備えたことにある。
前記制御手段が、
前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させ、その後、さらに前記絶縁基板に着弾した前記金属粉末上に、前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させるように、前記ステージ駆動手段を制御することにある。
前記ステージの上方に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて導電ペーストを吐出する導電ペースト吐出ヘッドを、さらに備え、
前記制御手段が、
前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させ、その後、前記絶縁基板に着弾した前記金属粉末上に、前記導電ペースト吐出ヘッドから導電ペーストを吐出させるように、前記ステージ駆動手段を制御することにある。
前記ステージと前記金属粉末吐出ヘッドとの間に電圧を印加する電源を、さらに備え、
前記制御手段が、少なくとも前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させている間に前記電源に電圧を印加させることにある。
前記ステージと前記金属粉末吐出ヘッドとの間に電圧を印加する電源を、さらに備え、
前記制御手段が、少なくとも前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させている間、及び前記導電ペースト吐出ヘッドから導電ペーストを吐出させている間に前記電源に電圧を印加させることにある。
前記金属粉末吐出ヘッドから吐出され、前記絶縁基板上で前記粘着インクに接触することなく堆積された前記金属粉末を除去する金属粉末除去手段を、さらに備えたことにある。
前記金属粉末吐出ヘッド内に貯留されている金属粉末を撹拌する撹拌手段を、さらに備えたことにある。
絶縁基板が載置されたステージと、
前記ステージの上方に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて粘着性を有する粘着インクを吐出する粘着インク吐出ヘッドと、
前記ステージの上方に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて金属粉末を吐出する金属粉末吐出ヘッドと、を用いた配線形成方法であって、
前記粘着インク吐出ヘッド及び前記金属粉末吐出ヘッドと、前記ステージとを対向させた状態で、前記粘着インク吐出ヘッド及び前記金属粉末吐出ヘッドと、前記ステージとを相対的に移動させながら、前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させることにある。
図1は、本発明の実施形態1である配線形成装置の全体構造を示した図である。
本発明の実施形態1である配線形成装置1Aでは、制御部11は、少なくとも絶縁基板20に着弾した粘着インク上に、金属ヘッド17から金属粉末を吐出させるように、ステージ駆動機構19をステージ12と平行な平面上、すなわち、X−Y平面上で移動させるように制御した。
実施形態1では、インクヘッド18と、金属ヘッド17とを備えた配線形成装置1Aを例に挙げて説明した。
図5は、実施形態3である配線形成装置1Cの作用を模式的に説明した説明図である。
実施形態2では、X軸移動機構30と、Y軸移動機構40とを備え、インクヘッド18、金属ヘッド17を、ステージ12と平行な平面上、すなわち、X−Y平面上で移動させる配線形成装置1Bを例に挙げて説明した。
X軸ガイド34は、インクヘッド18用のY軸レール42に固定されており、インクヘッド機構41がX1−X2方向に移動可能となるようにX軸レール33に支持されている。
11…制御部
12…ステージ
13…電源
14…撹拌モータ(撹拌手段)
15…金属粉末タンク
16…粘着インクタンク
17,62…金属粉末吐出ヘッド(金属ヘッド)
18…粘着インク吐出ヘッド(インクヘッド)
19…ステージ駆動機構(駆動手段)
20…絶縁基板
21…吸引ファン(金属粉末除去手段)
30…X軸移動機構(駆動手段)
33…X軸レール
34,35,63…X軸ガイド
40…Y軸移動機構(駆動手段)
41…金属ヘッド機構
45…インクヘッド機構
42…Y軸レール
43,47…ガイド
46…Y軸レール
51…導電ペーストタンク
52…導電ペースト吐出ヘッド(ペーストヘッド)
Claims (8)
- 絶縁基板が載置されたステージと、
前記ステージの上方で前記ステージと平行な平面上で移動可能に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて粘着性を有する粘着インクを吐出する粘着インク吐出ヘッドと、
前記ステージの上方で前記ステージと平行な平面上で所定の方向に移動可能に設けられ、前記移動可能な所定の方向と直交する方向全体に吐出可能に設けられた吐出口から前記絶縁基板に向けて金属粉末を吐出する金属粉末吐出ヘッドと、
前記粘着インク吐出ヘッドと前記ステージとを対向させた状態で、前記粘着インク吐出ヘッドを前記ステージと平行な平面上で移動させると共に、前記金属粉末吐出ヘッドと前記ステージとを対向させた状態で、前記金属粉末吐出ヘッドを前記ステージと平行な平面上で前記所定の方向に移動させる駆動手段と、
前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させるように前記駆動手段を制御する制御手段と、
を備えたことを特徴とする配線形成装置。 - 前記制御手段は、
前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させ、その後、さらに前記絶縁基板に着弾した前記金属粉末上に、前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させるように、前記駆動手段を制御する
ことを特徴とする請求項1記載の配線形成装置。 - 前記ステージの上方に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて導電ペーストを吐出する導電ペースト吐出ヘッドを、さらに備え、
前記制御手段は、
前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させ、その後、前記絶縁基板に着弾した前記金属粉末上に、前記導電ペースト吐出ヘッドから導電ペーストを吐出させるように、前記駆動手段を制御する
ことを特徴とする請求項1記載の配線形成装置。 - 前記ステージと前記金属粉末吐出ヘッドとの間に電圧を印加する電源を、さらに備え、
前記制御手段は、少なくとも前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させている間に前記電源に電圧を印加させることを特徴とする請求項1又は2記載の配線形成装置。 - 前記ステージと前記金属粉末吐出ヘッドとの間、および前記ステージと前記導電ペースト吐出ヘッドとの間に電圧を印加する電源を、さらに備え、
前記制御手段は、少なくとも前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させている間、及び前記導電ペースト吐出ヘッドから導電ペーストを吐出させている間に前記電源に電圧を印加させることを特徴とする請求項3記載の配線形成装置。 - 前記金属粉末吐出ヘッドから吐出され、前記絶縁基板上で前記粘着インクに接触することなく堆積された前記金属粉末を除去する金属粉末除去手段を、さらに備えた
ことを特徴とする請求項1記載の配線形成装置。 - 前記金属粉末吐出ヘッド内に貯留されている金属粉末を撹拌する撹拌手段を、
さらに備えたことを特徴とする請求項1記載の配線形成装置。 - 絶縁基板が載置されたステージと、
前記ステージの上方で前記ステージと平行な平面上で移動可能に設けられ、吐出口から前記絶縁基板に向けて粘着性を有する粘着インクを吐出する粘着インク吐出ヘッドと、
前記ステージの上方で前記ステージと平行な平面上で所定の方向に移動可能に設けられ、前記移動可能な所定の方向と直交する方向全体に吐出可能に設けられた吐出口から前記絶縁基板に向けて金属粉末を吐出する金属粉末吐出ヘッドと、を用いた配線形成方法であって、
前記粘着インク吐出ヘッドと前記ステージとを対向させた状態で、前記粘着インク吐出ヘッドを前記ステージと平行な平面上で移動させながら、前記粘着インク吐出ヘッドから粘着インクを吐出させた後、前記金属粉末吐出ヘッドと前記ステージとを対向させた状態で、前記金属粉末吐出ヘッドを前記ステージと平行な平面上で前記所定の方向に移動させながら、前記絶縁基板に着弾した前記粘着インク上に、前記金属粉末吐出ヘッドから金属粉末を吐出させる
ことを特徴とする配線形成方法。
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JP2015140179A JP6550284B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 配線形成装置及び配線形成方法 |
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Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015140179A Active JP6550284B2 (ja) | 2015-07-14 | 2015-07-14 | 配線形成装置及び配線形成方法 |
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