JP6548982B2 - How to create drawing data - Google Patents

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Description

本発明は、描画データの作成方法に係り、例えば、描画装置に入力される描画データの作成手法に関する。   The present invention relates to a method of creating drawing data, and, for example, to a method of creating drawing data input to a drawing apparatus.

近年、ＬＳＩの高集積化に伴い、半導体デバイスの回路線幅はさらに微細化されてきている。これらの半導体デバイスへ回路パターンを形成するための露光用マスク（レチクルともいう。）を形成する方法として、優れた解像性を有する電子ビーム（ＥＢ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ）描画技術が用いられる。   In recent years, with the high integration of LSI, the circuit line width of a semiconductor device has been further miniaturized. As a method of forming an exposure mask (also referred to as a reticle) for forming a circuit pattern on these semiconductor devices, an electron beam (EB: Electron Beam) drawing technology having excellent resolution is used.

例えば、マルチビームを使った描画装置がある。１本の電子ビームで描画する場合に比べて、マルチビームを用いることで一度に多くのビームを照射できるのでスループットを大幅に向上させることができる。かかるマルチビーム方式の描画装置では、例えば、電子銃から放出された電子ビームを複数の穴を持ったマスクに通してマルチビームを形成し、各々、ブランキング制御され、遮蔽されなかった各ビームが光学系で縮小され、偏向器で偏向され試料上の所望の位置へと照射される。   For example, there is a drawing apparatus using multiple beams. As compared with the case of drawing with one electron beam, by using multiple beams, more beams can be irradiated at one time, so that the throughput can be significantly improved. In such a multi-beam type drawing apparatus, for example, an electron beam emitted from an electron gun is passed through a mask having a plurality of holes to form a multi-beam, and each of the beams which is blanked and not shielded is It is demagnified by an optical system, deflected by a deflector and irradiated to a desired position on the sample.

マルチビーム描画装置では、ＣＡＤデータから変換されたパターンデータ（描画データ）を入力する。そして、入力されたパターンデータに対してデータ変換処理を行って描画処理へと進んでいく。その際、描画装置へと入力されるパターンデータのデータ量は少ない方が望ましいことは言うまでもない。よって、複数の図形パターンを定義するパターンデータはデータ圧縮されたフォーマットで定義される（例えば、特許文献１参照）。   In the multi-beam drawing apparatus, pattern data (drawing data) converted from CAD data is input. Then, data conversion processing is performed on the input pattern data, and the process proceeds to drawing processing. At that time, it goes without saying that it is desirable that the data amount of pattern data input to the drawing apparatus be small. Therefore, pattern data defining a plurality of graphic patterns is defined in a data-compressed format (see, for example, Patent Document 1).

従来、描画装置内では、影響範囲が１０μｍ程度の後方散乱による近接効果、影響範囲がｍｍオーダーのかぶり効果、及び、影響範囲がｍｍオーダーのクロムローディング効果に起因する寸法変動についてパターン寸法ＣＤを補正する処理を行っている。かかる１０μｍ程度の影響範囲よりも小さい影響範囲の現象に起因する寸法変動を補正するためには、例えば、描画装置に入力する描画データの図形パターン自体にドーズ変調量を定義することが考えられる。しかし、かかる小さい影響範囲の補正のためには、図形パターン自体のサイズが大きすぎるため、かかる手法を用いるためには、図形パターンを複数の小図形パターンに分割し、小図形パターン毎に１つのドーズ変調量を定義する必要が生じる。よって、描画データのデータ量が膨大な量となってしまうといった問題があった。   Conventionally, in the drawing apparatus, the pattern dimension CD is corrected for dimensional variation due to proximity effect due to back scattering with an influence range of about 10 μm, fog effect with an influence range of mm order, and chromium loading effect of an influence range of mm order Processing is done. In order to correct the dimensional variation caused by the phenomenon of the influence range smaller than the influence range of about 10 μm, for example, it is conceivable to define the dose modulation amount in the graphic pattern itself of the drawing data input to the drawing device. However, since the size of the figure pattern itself is too large for correction of such a small influence range, in order to use such a method, the figure pattern is divided into a plurality of small figure patterns, one for each small figure pattern. It is necessary to define a dose modulation amount. Therefore, there is a problem that the data amount of drawing data becomes a huge amount.

特開２００５−０７９１１５号公報JP, 2005-079115, A

図１７は、ドーズ変調量の情報を含む図形パターンのパターンデータのデータフォーマットの一例を示す図である。図１７では、ｘ方向サイズがｗ、ｙ方向サイズがｈの矩形パターンを一例として示している。図１７に示すデータフォーマットでは、ドーズ変調量を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＤＯＳＥ）、２バイトのドーズ変調量、図形種を示す１バイトのコード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。よって、図１７に示すデータフォーマットで、かかる図形パターンのパターンデータを作成した場合、１＋２＋１＋３×２＋２×２＝１４バイトのデータ量で定義できる。 FIG. 17 is a diagram showing an example of a data format of pattern data of a figure pattern including information of dose modulation amount. In FIG. 17, a rectangular pattern in which the size in the x direction is w and the size in the y direction is h is shown as an example. In the data format shown in FIG. 17, a 1-byte code (code DOSE ) indicating a dose modulation amount, a 2-byte dose modulation amount, a 1-byte code (code FIG ) indicating a graphic type, and coordinates of a 3-byte graphic pattern The size (W, H) in the x, y directions of (X, Y) and each 2 bytes is defined. Therefore, when pattern data of such a figure pattern is created in the data format shown in FIG. 17, it can be defined by a data amount of 1 + 2 + 1 + 3 × 2 + 2 × 2 = 14 bytes.

図１８は、必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合のパターンデータのデータ量を説明するための図である。図１８の例では、例えば、２００ｎｍ×２００ｎｍの矩形パターンを示している。ドーズ変調量を定義しない場合には、図１７で示したデータフォーマットのうち、１バイトのコード（ｃｏｄｅＤＯＳＥ）と２バイトのドーズ変調量が不要となるので、１１バイトのデータ量で定義できる。しかし、例えば、１０ｎｍサイズでドーズ変調量を定義する場合、図１８に示す矩形パターンをｘ，ｙ方向にそれぞれ２０分割する必要がある。よって、図形数が１個から２０×２０＝４００個のドーズ変調量付きパターンデータが必要となる。図１７で説明したデータフォーマットを用いた場合、４００×１４＝５６００バイトのデータ量が必要となる。このように、上述した小さい影響範囲の補正のためには、例えば、１１バイトのデータ量が５６００バイトのデータ量に増えてしまうといった問題がある。 FIG. 18 is a diagram for explaining the data amount of pattern data in the case of dividing into a small figure pattern of a necessary dose modulation amount. In the example of FIG. 18, for example, a rectangular pattern of 200 nm × 200 nm is shown. When the dose modulation amount is not defined, a 1-byte code (code DOSE ) and a 2-byte dose modulation amount become unnecessary in the data format shown in FIG. 17, and therefore, it can be defined by an 11-byte data amount. However, for example, when defining the dose modulation amount with a 10 nm size, it is necessary to divide the rectangular pattern shown in FIG. 18 into 20 in the x and y directions, respectively. Therefore, pattern data with a dose modulation amount of 1 to 20 × 20 = 400 is required. When the data format described in FIG. 17 is used, a data amount of 400 × 14 = 5600 bytes is required. As described above, there is a problem that, for example, the amount of data of 11 bytes increases to the amount of data of 5600 bytes for the correction of the small influence range described above.

図１９は、必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合の試料単位でのパターンデータのデータ量を説明するための図である。図１９の例では、露光用マスク基板上に８０ｍｍ×１２０ｍｍのチップ領域（描画領域）が形成される場合を示している。そして、かかるチップ領域について、ドーズ変調量マップを作成する場合を想定する。ドーズ変調量マップでは、例えば、ドーズ変調量を１０ビットで定義する。例えば、１０ｎｍサイズのメッシュ領域毎にドーズ変調量を定義する場合、ドーズ変調量マップについて（８０００００００／１０）ｎｍ×（１２０００００００／１０）ｎｍ×１０ビット／８ビット＝１０９ＴＢ（テラバイト）のデータ量が必要となってしまう。ＩＴＲＳ（Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｒｏａｄｍａｐ ｆｏｒ Ｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒｓ）２０１２の報告では、ハーフピッチＨＰ２８ｎｍ〜１０ｎｍのパターンの場合、１つのマスクあたり、２．２ＴＢ〜２．９ＴＢとなっており、かかるデータ量と比較しても図１９に示したデータ量が膨大であることがわかる。   FIG. 19 is a diagram for explaining the data amount of pattern data in a sample unit in the case of dividing into a small figure pattern of a necessary dose modulation amount. The example of FIG. 19 shows the case where a chip area (drawing area) of 80 mm × 120 mm is formed on the mask substrate for exposure. Then, it is assumed that a dose modulation amount map is created for such a chip region. In the dose modulation amount map, for example, the dose modulation amount is defined by 10 bits. For example, when the dose modulation amount is defined for each mesh region of 10 nm size, the data amount of (80000000/10) nm × (120000000/10) nm × 10 bits / 8 bits = 109 TB (terabyte) for the dose modulation amount map is It will be necessary. According to the report of ITRS (International Technology Roadmap for Semiconductors) 2012, in the case of the pattern of half pitch HP 28 nm to 10 nm, it is 2.2 TB to 2.9 TB per mask, and even when compared with such data amount, FIG. It can be seen that the amount of data shown in is huge.

そこで、本発明は、上述した問題点を克服し、ドーズ量を微細サイズで定義する必要がある場合でもデータ量を低減可能なデータフォーマットを用いた描画データの作成方法を提供することを目的とする。   Therefore, the object of the present invention is to provide a method of creating drawing data using a data format that can reduce the amount of data even when it is necessary to define the dose amount with a fine size, overcoming the problems described above. Do.

本発明の一態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に図形パターンの各角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成することを特徴とする。 A method of creating drawing data according to an aspect of the present invention is
In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing a figure pattern on a sample using a charged particle beam,
According to a data format in which the graphic information of the graphic pattern and the dose information indicating the dose or the dose modulation ratio at each corner of the graphic pattern are continuously defined before or after the graphic information is defined. It is characterized in that the drawing data is created.

また、ドーズ量情報は、さらに、図形パターンをｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と図形パターンのいずれかの辺との交点でのドーズ量或いはドーズ変調率を示すように構成すると好適である。   Further, the dose amount information further indicates a dose amount or a dose modulation rate at an intersection between a dividing line dividing the figure pattern in at least one of the x direction and the y direction and any side of the figure pattern. It is preferable to configure as follows.

本発明の他の態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする。 The method of creating drawing data according to another aspect of the present invention is
In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing at least one figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Inputting graphic information of at least one graphic pattern and setting a rectangular frame surrounding the at least one graphic pattern;
Setting a dose amount or a dose modulation rate at each of four corner portions of the rectangular frame;
Graphic information of at least one graphic pattern and dose information indicating a set dose or dose modulation rate at positions of four corner portions of the rectangular frame are consecutively before or after the graphic information is defined. Creating drawing data according to the defined data format;
It is characterized by having.

また、図形情報には、複数の図形パターンの図形情報が定義され、
複数の図形パターンの図形情報を入力し、複数の図形パターンを連続する図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する工程をさらに備え、
矩形枠を設定する際、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定し、
ドーズ量或いはドーズ変調率を設定する際、グループ毎に、当該矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定し、
グループ毎に、当該グループの図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に当該矩形枠の４つの角部の位置でのドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成すると好適である。 Further, in the graphic information, graphic information of a plurality of graphic patterns is defined,
The method further comprises the step of inputting graphic information of a plurality of graphic patterns and grouping the plurality of graphic patterns into at least one group for each successive graphic pattern group,
When setting a rectangular frame, set a rectangular frame surrounding the graphic pattern group of the group for each group,
When setting the dose amount or the dose modulation rate, set the dose amount or the dose modulation rate at the position of the four corners of the rectangular frame for each group,
According to a data format in which, for each group, graphic information of the graphic pattern group of the group and dose information at positions of four corners of the rectangular frame are continuously defined before or after the graphic information is defined. It is preferable to create the drawing data.

また、ドーズ量情報は、さらに、矩形枠をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と矩形枠のいずれかの辺との交点でのドーズ量或いはドーズ変調率を示すように構成すると好適である。   Further, the dose amount information further indicates a dose amount or a dose modulation rate at an intersection between a dividing line dividing the rectangular frame in at least one of the x direction and the y direction and any side of the rectangular frame. It is preferable to configure as follows.

また、矩形枠外の領域に固定サイズの複数のメッシュ領域を設定する工程をさらに備え、
データフォーマットには、ドーズ量情報の他に、さらに、固定サイズのメッシュ領域毎にドーズ量或いはドーズ変調率を示す第２のドーズ量情報が定義されるように構成すると好適である。 Further, the method further comprises the step of setting a plurality of mesh areas of fixed size in an area outside the rectangular frame,
It is preferable that in the data format, in addition to the dose amount information, second dose amount information indicating a dose amount or a dose modulation rate be further defined for each fixed-size mesh region.

本発明の他の態様の描画データの作成方法は、
荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報を入力し、図形パターンの一部に矩形枠を設定する工程と、
図形パターンの残部を含む領域に固定サイズの複数のメッシュ領域を設定する工程と、
矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
複数のメッシュ領域にそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第１のドーズ量情報と、固定サイズの複数のメッシュ領域に設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第２のドーズ量情報と、が連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする。 The method of creating drawing data according to another aspect of the present invention is
In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing a figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Inputting graphic information of a graphic pattern, and setting a rectangular frame as part of the graphic pattern;
Setting a plurality of mesh areas of fixed size in an area including the remaining part of the figure pattern;
Setting a dose amount or a dose modulation rate at each of four corner portions of the rectangular frame;
Setting a dose amount or a dose modulation rate to each of a plurality of mesh regions;
Graphic information of a graphic pattern, first dose information indicating a set dose or dose modulation rate at positions of four corners of a rectangular frame before or after graphic information is defined, and fixed size Creating drawing data according to a data format in which a dose amount or a second dose amount information indicating a dose modulation rate set in a plurality of mesh regions is continuously defined;
It is characterized by having.

本発明の一態様によれば、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。さらに、ドーズ量の補正サイズに関わらず描画データを作成できる。よって、データ量を低減できる。   According to one aspect of the present invention, it is possible to eliminate the need to define dose information for each fine size. Furthermore, drawing data can be created regardless of the dose correction size. Therefore, the amount of data can be reduced.

実施の形態１における描画システムの構成を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing system in Embodiment 1. 実施の形態１における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing data conversion device in Embodiment 1. 実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of a data format with dose modulation amount in the first embodiment. 実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing another example of the data format with dose modulation amount in the first embodiment. 実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing another example of the data format with dose modulation amount in the first embodiment. 実施の形態１の効果を説明するための評価パターンを示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an evaluation pattern for explaining the effect of the first embodiment. 実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の一例を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing an example of the number of divisions of an evaluation pattern for explaining the effect of the first embodiment. 実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の他の一例を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing another example of the number of divisions of the evaluation pattern for explaining the effect of the first embodiment. 実施の形態１の分割数とデータ量の関係を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the number of divisions and the amount of data according to Embodiment 1. 実施の形態２における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing data conversion device in Embodiment 2. 実施の形態２における図形パターン群とドーズ量定義位置を説明するための図である。FIG. 16 is a diagram for describing a graphic pattern group and a dose definition position in the second embodiment. 実施の形態２におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。FIG. 17 is a diagram showing another example of the data format with dose modulation amount in the second embodiment. 実施の形態２における図形パターン群のグループ化の一例を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing an example of grouping of graphic patterns in the second embodiment. 実施の形態３における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。FIG. 16 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing data conversion device in Embodiment 3. 実施の形態３におけるドーズ量定義位置の一例を説明するための図である。FIG. 21 is a diagram for describing an example of a dose amount defining position in the third embodiment. 実施の形態３におけるドーズ量定義位置の他の一例を説明するための図である。FIG. 17 is a diagram for describing another example of the dose amount defining position in the third embodiment. ドーズ変調量の情報を含む図形パターンのパターンデータのデータフォーマットの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the data format of the pattern data of the figure pattern containing the information of dose modulation amount. 必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合のパターンデータのデータ量を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the data amount of pattern data in the case of dividing | segmenting into the small figure pattern of the required dose modulation amount. 必要なドーズ変調量の小図形パターンに分割する場合の試料単位でのパターンデータのデータ量を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the data amount of the pattern data in a sample unit in the case of dividing | segmenting into the small figure pattern of the required dose modulation amount. 実施の形態４における図形パターンの一例を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing an example of a figure pattern in the fourth embodiment. 実施の形態４における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。FIG. 16 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing data conversion device in a fourth embodiment. 実施の形態４における回転角を持った図形パターンとドーズ変調量付きデータフォーマットとの一例を示す図である。FIG. 18 is a diagram showing an example of a graphic pattern having a rotation angle and a data format with dose modulation amount according to the fourth embodiment. 実施の形態５における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。FIG. 18 is a conceptual diagram showing the configuration of a drawing data conversion device in a fifth embodiment. 実施の形態５における図形パターン群とドーズ量定義位置とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。FIG. 21 is a diagram for describing a graphic pattern group, a dose amount defining position, and an example of a data format with dose amount of modulation according to a fifth embodiment. 実施の形態６における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。FIG. 18 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing data conversion device in a sixth embodiment. 実施の形態６におけるセルと図形パターン群とドーズ量定義位置との一例とを説明するための図である。FIG. 21 is a diagram for describing an example of a cell, a graphic pattern group, and a dose amount defining position in a sixth embodiment. 実施の形態６におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。FIG. 21 is a diagram showing an example of a data format with dose modulation amount in the sixth embodiment. 実施の形態７におけるセルと図形パターン群とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。FIG. 24 is a diagram for describing a cell, a graphic pattern group, and an example of a data format with dose modulation amount in the seventh embodiment.

以下、実施の形態では、荷電粒子ビームの一例として、電子ビームを用いた構成について説明する。但し、荷電粒子ビームは、電子ビームに限るものではなく、イオンビーム等の荷電粒子を用いたビームでも構わない。   Hereinafter, in the embodiment, a configuration using an electron beam will be described as an example of a charged particle beam. However, the charged particle beam is not limited to the electron beam, and may be a beam using charged particles such as an ion beam.

実施の形態１．
図１は、実施の形態１における描画システムの構成を示す概念図である。図１において、描画システムは、描画装置１００、及び描画データ変換装置３００を有している。 Embodiment 1
FIG. 1 is a conceptual diagram showing the configuration of the drawing system in the first embodiment. In FIG. 1, the drawing system includes a drawing apparatus 100 and a drawing data conversion apparatus 300.

図１において、描画装置１００は、描画部１５０と制御部１６０を備えている。描画装置１００は、マルチ荷電粒子ビーム描画装置の一例である。描画部１５０は、電子鏡筒１０２と描画室１０３を備えている。電子鏡筒１０２内には、電子銃２０１、照明レンズ２０２、マルチビーム成形プレート２０３、ブランキングプレート２０４、縮小レンズ２０５、制限アパーチャ部材２０６、対物レンズ２０７、及び偏向器２０８が配置されている。描画室１０３内には、ＸＹステージ１０５が配置される。ＸＹステージ１０５上には、描画時には描画対象基板となるマスク等の試料１０１が配置される。試料１０１には、半導体装置を製造する際の露光用マスク、或いは、半導体装置が製造される半導体基板（シリコンウェハ）等が含まれる。また、試料１０１には、レジストが塗布された、まだ何も描画されていないマスクブランクスが含まれる。   In FIG. 1, the drawing apparatus 100 includes a drawing unit 150 and a control unit 160. The drawing apparatus 100 is an example of a multi-charged particle beam drawing apparatus. The drawing unit 150 includes an electron lens barrel 102 and a drawing chamber 103. In the electron lens barrel 102, an electron gun 201, an illumination lens 202, a multi-beam shaping plate 203, a blanking plate 204, a reduction lens 205, a limiting aperture member 206, an objective lens 207, and a deflector 208 are disposed. An XY stage 105 is disposed in the drawing chamber 103. On the XY stage 105, a sample 101 such as a mask which is a drawing target substrate at the time of drawing is disposed. The sample 101 includes an exposure mask for manufacturing a semiconductor device, a semiconductor substrate (silicon wafer) on which the semiconductor device is manufactured, and the like. The sample 101 also includes mask blanks on which a resist is applied and which has not been drawn yet.

制御部１６０は、制御計算機１１０、メモリ１１１、制御回路１２０、及び、磁気ディスク装置等の記憶装置１４０，１４２を有している。制御計算機１１０、メモリ１１１、制御回路１２０、及び記憶装置１４０，１４２は、図示しないバスを介して接続されている。制御計算機１１０内には、ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４が配置される。ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。ショットデータ生成部１１２、照射量演算部１１３、及び描画制御部１１４に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１１１にその都度格納される。   The control unit 160 includes a control computer 110, a memory 111, a control circuit 120, and storage devices 140 and 142 such as magnetic disk devices. The control computer 110, the memory 111, the control circuit 120, and the storage devices 140 and 142 are connected via a bus (not shown). In the control computer 110, a shot data generation unit 112, an irradiation amount calculation unit 113, and a drawing control unit 114 are disposed. The functions such as the shot data generation unit 112, the irradiation amount calculation unit 113, and the drawing control unit 114 may be configured by hardware such as an electric circuit, or may be configured by software such as a program that executes these functions. Good. Alternatively, it may be configured by a combination of hardware and software. Information input to and output from the shot data generation unit 112, the irradiation amount calculation unit 113, and the drawing control unit 114, and information being calculated are stored in the memory 111 each time.

描画データ変換装置３００には、磁気ディスク装置等の記憶装置３４０，３４２が図示しないバスを介して接続されている。   Storage devices 340 and 342 such as magnetic disk drives are connected to the drawing data conversion device 300 via a bus (not shown).

また、描画装置１００の制御計算機１１０には、図示しないネットワーク等を介して、描画データ変換装置３００、及び記憶装置３４０，３４２に接続されている。記憶装置３４０には、設計データであるレイアウトデータ（ＣＡＤデータ）が格納される。そして、描画データ変換装置３００内でデータ変換が行われ、描画装置１００に入力可能な描画データが作成される。作成された描画データは、記憶装置３４２に格納される。   The control computer 110 of the drawing apparatus 100 is connected to the drawing data conversion apparatus 300 and the storage devices 340 and 342 via a network (not shown) and the like. The storage device 340 stores layout data (CAD data) which is design data. Then, data conversion is performed in the drawing data conversion apparatus 300, and drawing data that can be input to the drawing apparatus 100 is created. The created drawing data is stored in the storage device 342.

ここで、図１では、実施の形態１を説明する上で必要な構成を記載している。描画装置１００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。また、描画装置１００には、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない。   Here, FIG. 1 describes the configuration necessary to explain the first embodiment. The drawing apparatus 100 may generally have other necessary configurations. In addition, an input device such as a mouse or a keyboard, a monitor device, an external interface circuit, or the like may be connected to the drawing device 100.

描画装置１００で描画処理を行うためには、かかるレイアウトデータを描画装置１００へ入力可能な描画データにデータ変換する必要がある。また、描画装置１００では、図示しないが、一般に、その内部で、影響範囲が１０μｍ程度の後方散乱による近接効果、影響範囲がｍｍオーダーのかぶり効果、及び、影響範囲がｍｍオーダーのクロムローディング効果に起因する寸法変動についてパターン寸法ＣＤを補正する処理を行っている。しかし、描画装置内での計算されたドーズ量を使用しても補正残差等が残る場合もある。かかる補正残差の要因として、かかる１０μｍ程度の影響範囲よりも小さい影響範囲の現象に起因する寸法変動がある。例えば、影響範囲が１００ｎｍ程度の現象に起因する寸法変動が考えられる。影響範囲が例えば１００ｎｍ程度の現象に起因する寸法変動を補正するためには、ドーズ量或いはドーズ変調量を影響範囲の１／１０程度の例えば１０ｎｍのメッシュサイズ毎に定義する必要がある。そのため、ユーザは、描画装置へ入力する前の段階で、かかる微小サイズ毎にドーズ変調量を設定する。しかし、上述したように、例えば１０ｎｍのメッシュサイズ毎に定義するとなると描画データのデータ量が膨大な量となってしまう。   In order to perform drawing processing in the drawing apparatus 100, it is necessary to convert the layout data into drawing data that can be input to the drawing apparatus 100. In addition, although not shown in the drawing apparatus 100, in general, the proximity effect due to backscattering with an influence range of about 10 μm, the fogging effect with an influence range of mm order, and the chromium loading effect of an influence range of mm order A process is performed to correct the pattern dimension CD for the resulting dimensional variation. However, correction residuals and the like may remain even if the calculated dose amount in the drawing apparatus is used. As a factor of the correction residual, there is a dimensional variation due to a phenomenon of an influence range smaller than the influence range of about 10 μm. For example, dimensional variation due to a phenomenon with an influence range of about 100 nm can be considered. In order to correct the dimensional variation caused by the phenomenon in which the influence range is, for example, about 100 nm, it is necessary to define the dose amount or the dose modulation amount for each mesh size of, for example, 10 nm which is about 1/10 of the influence range. Therefore, the user sets the dose modulation amount for each of the minute sizes before input to the drawing apparatus. However, as described above, for example, if the definition is made for each mesh size of 10 nm, the data amount of drawing data becomes a huge amount.

ここで、同一図形パターン内および隣接する図形パターン群内での上述した現象に起因する寸法変動量の変化は、急峻な変化をするものではなく、徐々に変化する。よって、必要なドーズ量或いはドーズ変調量（率）の情報は、急峻な変化をするものではなく、徐々に変化すればよい。そこで、実施の形態１では、上述した微小サイズ毎にドーズ量或いはドーズ変調量（率）を定義するのではなく、複数の代表点におけるドーズ量或いはドーズ変調量（率）を定義するデータフォーマットを用いる。   Here, the change in the amount of dimensional change caused by the above-mentioned phenomenon in the same figure pattern and in the adjacent figure pattern group does not make a sharp change but gradually changes. Therefore, the information of the required dose amount or dose modulation amount (rate) does not change rapidly, but may be changed gradually. Therefore, in the first embodiment, instead of defining the dose amount or dose modulation amount (rate) for each minute size described above, a data format that defines the dose amount or dose modulation amount (rate) at a plurality of representative points is used. Use.

図２は、実施の形態１における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２において、描画データ変換装置３００内には、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、及びメモリ１８が配置されている。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。   FIG. 2 is a conceptual diagram showing the configuration of a drawing data conversion apparatus according to the first embodiment. In FIG. 2, in the drawing data conversion apparatus 300, a division setting unit 10, a dose amount setting unit 12, a drawing data creation unit 14, a control unit 16, and a memory 18 are arranged. The functions such as the division setting unit 10, the dose amount setting unit 12, the drawing data creation unit 14, and the control unit 16 may be configured by hardware such as an electric circuit, or software such as a program that executes these functions. It may be configured. Alternatively, it may be configured by a combination of hardware and software. Information input to and output from the division setting unit 10, the dose amount setting unit 12, the drawing data creation unit 14, and the control unit 16 and information under calculation are stored in the memory 18 each time.

ここで、図２では、実施の形態１を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない。   Here, FIG. 2 describes the configuration necessary to describe the first embodiment. The drawing data conversion apparatus 300 may generally have other necessary configurations. For example, an input device such as a mouse or a keyboard, a monitor device, an external interface circuit, or the like may be connected.

図３は、実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。ここでは、図３（ｂ）に示すように、ｘ方向サイズがｗ、ｙ方向サイズがｈの矩形の図形パターン３０について定義している。図３（ｂ）の例では、図形パターン３０の４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０１、及びＰ１１の各位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を定義する。ここでは、インデックス（００）が矩形の図形パターン３０の左下の角部を示す。インデックス（１０）が矩形の図形パターン３０の右下の角部を示す。インデックス（０１）が矩形の図形パターン３０の左上の角部を示す。インデックス（１１）が矩形の図形パターン３０の右上の角部を示す。また、図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）で示す。 FIG. 3 is a diagram showing an example of a data format with dose modulation amount according to the first embodiment. Here, as shown in FIG. 3B, a rectangular graphic pattern 30 having a size in the x direction of w and a size in the y direction of h is defined. In the example of FIG. 3B, the dose amount or the dose modulation rate at each position of the four corner portions P 00 , P 10 , P 01 , and P 11 of the graphic pattern 30 is defined. Here, the index (00) indicates the lower left corner of the rectangular graphic pattern 30. The index (10) indicates the lower right corner of the rectangular graphic pattern 30. The index (01) indicates the upper left corner of the rectangular graphic pattern 30. The index (11) indicates the upper right corner of the rectangular graphic pattern 30. Further, the coordinates of the lower left corner of the figure pattern 30 are indicated by (x 0 , y 0 ).

図３（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ量或いはドーズ変調量（率）であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤ０）、４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０１、及びＰ１１の各位置での２バイトのドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ１１、ｄ０１が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤ０）、及び各ドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ１１、ｄ０１は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図３（ａ）に示すデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋２×４＋１＋３×２＋２×２＝２０バイトで定義できる。 In the data format shown in FIG. 3A, a 1-byte expression code (code D0 ) indicating that the dose amount or dose modulation amount (rate), four corner portions P 00 , P 10 , P 01 , and P dose of 2 bytes at each position 11 (or the dose modulation index) d 00, d 10, d 11, d 01 are defined. Then, following the dose information, a 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating a graphic type, coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern of the graphic pattern, and x- and y-direction sizes of each 2-byte (W, H) is defined. The 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating the graphic type, the coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern of the graphic pattern, and the x- and y-direction sizes (W, H) of each 2-byte are Indicates the graphic information of the pattern. The expression code (code D0 ) and each dose (or dose modulation rate) d 00 , d 10 , d 11 , d 01 indicate dose information. The dose amount information may be defined after the graphic information of the graphic pattern. Therefore, in the data format shown in FIG. 3A, one rectangular pattern can be defined as 1 + 2 × 4 + 1 + 3 × 2 + 2 × 2 = 20 bytes.

このように、描画データ変換装置３００は、図形パターン３０の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に図形パターン３０の各角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成する。   As described above, the drawing data conversion apparatus 300 displays the figure information of the figure pattern 30 and the dose indicating the dose amount or the dose modulation rate at the position of each corner of the figure pattern 30 before or after the figure information is defined. Drawing data is created in accordance with a data format in which quantity information is continuously defined.

描画装置１００内では、かかる描画データを使って、必要なサイズ毎のドーズ量を計算すればよい。図３（ｃ）に示す座標（ｘ，ｙ）のドーズ量（或いはドーズ変調量）ｄ（ｘ，ｙ）は、例えば、式（１）に示す１次補間（共一次内挿法）で計算すればよい。かかる計算により図形パターン３０内の各位置（ｘ，ｙ）のドーズ量を計算できる。
（１） ｄ（ｘ，ｙ）＝（１／ｗ・ｈ）｛ｄ００（ｘ０＋ｗ−ｘ）（ｙ０＋ｈ−ｙ）
＋ｄ１０（ｘ−ｘ０）（ｙ０＋ｈ−ｙ）
＋ｄ０１（ｘ０＋ｗ−ｘ）（ｙ−ｙ０）
＋ｄ１１（ｘ−ｘ０）（ｙ−ｙ０）｝ In the drawing apparatus 100, the necessary dose amount for each size may be calculated using such drawing data. The dose amount (or dose modulation amount) d (x, y) of the coordinates (x, y) shown in FIG. 3C is calculated, for example, by linear interpolation (colinear interpolation method) shown in equation (1) do it. By this calculation, the dose amount of each position (x, y) in the figure pattern 30 can be calculated.
(1) d (x, y) = (1 / w · h) {d 00 (x 0 + w−x) (y 0 + h−y)
+ D 10 (x−x 0 ) (y 0 + h−y)
+ D 01 (x 0 + w−x) (y−y 0 )
+ D 11 (x-x 0 ) (y-y 0 )}

図４は、実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。ここでは、図４（ｂ）に示すように、図３（ｂ）と同様の図形パターン３０の４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０２、及びＰ１２の他に、さらに、辺の途中の追加点Ｐ０１、Ｐ１１でドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図４（ｂ）の例では、ドーズ量情報は、さらに、図形パターン３０をｙ方向の座標ｙ１（分割ｙ座標）の位置でｙ方向に分割する分割線と図形パターン３０の左辺との交点Ｐ０１と分割線と図形パターン３０の右辺との交点Ｐ１１でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図４（ｂ）の例では、図形パターン３０をｙ方向に分割する場合を示しているが、これに限るものではない。図形パターン３０をｘ方向に分割する場合であってもよい。かかる場合には、図形パターン３０をｘ方向に分割する分割線と図形パターン３０の上辺との交点と分割線と図形パターン３０の下辺との交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義すればよい。図４（ｂ）では、インデックス（００）が矩形の図形パターン３０の左下の角部を示す。インデックス（１０）が矩形の図形パターン３０の右下の角部を示す。インデックス（０２）が矩形の図形パターン３０の左上の角部を示す。インデックス（１２）が矩形の図形パターン３０の右上の角部を示す。また、インデックス（０１）が図形パターン３０をｙ方向に分割する分割線と図形パターン３０の左辺との交点を示す。また、インデックス（１１）が図形パターン３０をｙ方向に分割する分割線と図形パターン３０の右辺との交点を示す。また、図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）で示す。計算対象の座標（ｘ，ｙ）のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））は、図４（ｃ）に示すように、座標（ｘ，ｙ）の周囲のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されている直近の４点で取り囲む矩形枠の４隅のデータを用いて式（１）で計算すればよい。 FIG. 4 is a diagram showing another example of the data format with dose modulation amount according to the first embodiment. Here, as shown in FIG. 4B, in addition to the four corner portions P 00 , P 10 , P 02 , and P 12 of the figure pattern 30 similar to FIG. A dose amount (or dose modulation amount (rate)) is defined by additional points P 01 and P 11 of. In the example of FIG. 4B, the dose information further includes the intersection point of the dividing line dividing the figure pattern 30 in the y direction at the position of the coordinate y 1 (division y coordinate) in the y direction and the left side of the figure pattern 30. P 01 and the dividing line and the dose at the intersection P 11 of the right side of the figure 30 (or dose modulation amount (rate)) that defines the. Although the example of FIG. 4B shows the case where the figure pattern 30 is divided in the y direction, it is not limited to this. The graphic pattern 30 may be divided in the x direction. In such a case, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) at the intersection point of the dividing line dividing the figure pattern 30 in the x direction with the upper side of the figure pattern 30 and the intersection of the dividing line and the lower side of the figure pattern 30 You can define In FIG. 4B, the index (00) indicates the lower left corner of the rectangular figure pattern 30. The index (10) indicates the lower right corner of the rectangular graphic pattern 30. The index (02) indicates the upper left corner of the rectangular graphic pattern 30. The index (12) indicates the upper right corner of the rectangular graphic pattern 30. Also, the index (01) indicates the intersection point of the dividing line dividing the figure pattern 30 in the y direction and the left side of the figure pattern 30. Also, the index (11) indicates the intersection point of the dividing line dividing the figure pattern 30 in the y direction and the right side of the figure pattern 30. Further, the coordinates of the lower left corner of the figure pattern 30 are indicated by (x 0 , y 0 ). The dose (or dose modulation amount (rate)) of the coordinates (x, y) to be calculated is the dose (or dose modulation amount (or dose modulation) around the coordinates (x, y) as shown in FIG. The ratio may be calculated by equation (1) using the data of the four corners of the rectangular frame surrounded by the nearest four points for which the ratio is defined.

図４（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、図形パターンの２バイトのｘ方向への分割数ｎｄｉｖｘ、図形パターンの２バイトのｙ方向への分割数ｎｄｉｖｙ、３バイトの分割ｙ座標ｙ１、４つの角部Ｐ００、Ｐ１０、Ｐ０１、Ｐ１１及び途中の追加点Ｐ０１、Ｐ１１の各位置での２バイトのドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ０１、ｄ１１、ｄ０２、ｄ１２が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、分割高さｙ１、及び各ドーズ量（或いはドーズ変調率）ｄ００、ｄ１０、ｄ０１、ｄ１１、ｄ０２、ｄ１２は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図４（ａ）に示すｙ方向分割１回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋２×２＋３＋２×６＋１＋３×２＋２×２＝３１バイトで定義できる。 In the data format shown in FIG. 4A, a 1-byte expression code (code DD ) indicating that it is a dose amount (or a dose modulation amount (rate)), and the number of divisions of 2 bytes of the figure pattern in the x direction ndivx The division number ndivy of 2 bytes in the y direction of the figure pattern, the division y coordinate y 1 of 3 bytes, four corner parts P 00 , P 10 , P 01 , P 11 and additional points P 01 , P 11 in the middle A 2-byte dose (or dose modulation rate) d 00 , d 10 , d 01 , d 11 , d 02 , d 12 at each position is defined. Then, following the dose information, a 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating a graphic type, coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern of the graphic pattern, and x- and y-direction sizes of each 2-byte (W, H) is defined. The 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating the graphic type, the coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern of the graphic pattern, and the x- and y-direction sizes (W, H) of each 2-byte are Indicates the graphic information of the pattern. The expression code (code DD ), the division number ndivx, the division number ndivy, the division height y 1 , and respective dose amounts (or dose modulation rates) d 00 , d 10 , d 01 , d 11 , d 02 , d 12 are Indicates dose information. The dose amount information may be defined after the graphic information of the graphic pattern. Therefore, in the data format of one y-direction division shown in FIG. 4A, one rectangular pattern can be defined as 1 + 2 × 2 + 3 + 2 × 6 + 1 + 3 × 2 + 2 × 2 = 31 bytes.

図５は、実施の形態１におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。ここでは、図５（ｂ）に示すように、矩形の図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図５（ｂ）の例では、図形パターン３０をｘ方向にｍ回、ｙ方向にｎ回分割する場合を示している。図５（ｂ）の例では、図形パターン３０をｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）で分割すると共に、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）で分割する。図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）とした場合、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義される各位置のｘ座標はｘ方向に向かって順にｘ０、ｘ１、・・・、ｘｍ、ｘｍ＋１となり、各位置のｙ座標はｙ方向に向かって順にｙ０、ｙ１、・・・、ｙｎ、ｙｎ＋１となる。よって、インデックスも同様に、ｘ方向に向かって順に０、１、・・・ｍ、ｍ＋１となり、ｙ方向に向かって順に０、１、・・・ｎ、ｎ＋１となる値の組み合わせで示される。 FIG. 5 is a diagram showing another example of the data format with dose modulation amount according to the first embodiment. Here, as shown in FIG. 5B, in addition to the four corners of the rectangular graphic pattern 30, each dividing line for dividing the graphic pattern 30 in the x and y directions and each side of the graphic pattern 30 are further provided. The dose amount (or the dose modulation amount (rate)) at each of the intersection points of and the division lines is defined. In the example shown in FIG. 5B, the figure pattern 30 is divided m times in the x direction and n times in the y direction. In the example of FIG. 5 (b), with dividing the graphic pattern 30 in the x direction of the coordinate x 1 ~ coordinate x m (divided x-coordinate), divided by the y-direction of the coordinate y 1 ~ coordinate y n (divided y-coordinate) Do. Assuming that the coordinates of the lower left corner of the figure pattern 30 are (x 0 , y 0 ), the x coordinate of each position at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is defined is x in the x direction 0, x 1, ···, x m, x m + 1 next, y 0, y 1 y coordinates in the order toward the y-direction at each position, ···, y n, the y n + 1. Accordingly, the index is similarly 0, 1,... M, m + 1 sequentially in the x direction, and is indicated by a combination of values 0, 1,... N, n + 1 sequentially in the y direction.

図５（ａ）に示すデータフォーマットでは、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、図形パターンの２バイトのｘ方向への分割数ｎｄｉｖｘ、図形パターンの２バイトのｙ方向への分割数ｎｄｉｖｙ、各３バイトの分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、各３バイトの分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。 In the data format shown in FIG. 5A, a 1-byte expression code (code DD ) indicating that it is a dose amount (or a dose modulation amount (rate)), and the number of divisions of 2 bytes of the figure pattern in the x direction ndivx The division number ndivy of 2 bytes in the y direction of the figure pattern, division x coordinates x 1 to x m of 3 bytes each, division y coordinates y 1 to y n of 3 bytes each, four corners of the figure pattern 30 In addition, the dose amount (or dose modulation amount) at each position of each intersection point of each dividing line dividing each figure pattern 30 in the x and y directions and each side of the figure pattern 30 and each intersection point of the dividing lines (index)) d 00, d 10, d 20, d m0, d (m + 1) 0, ··· d 0 (n + 1), d 1 (n + 1), d 2 (n + 1), d m (n + 1), d (m + 1) (n + 1) It is defined. Then, following the dose information, a 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating a graphic type, coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern of the graphic pattern, and x- and y-direction sizes of each 2-byte (W, H) is defined.

図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、４つの角部、各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図５（ａ）に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋３×２＋２×２＝（２４＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ）バイトで定義できる。 The 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating the graphic type, the coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern of the graphic pattern, and the x- and y-direction sizes (W, H) of each 2-byte are Indicates the graphic information of the pattern. Expression code (code DD ), division number ndivx, division number ndivy, division x coordinate x 1 to x m , division y coordinate y 1 to y n , four corners, each division line and each side of figure pattern 30 Dosing amount (or dose modulation amount (rate)) d 00 , d 10 , d 20 , d m0 , d (m + 1) 0 ,..., D 0 at each position of each intersection point and each intersection point of dividing lines n + 1) , d1 (n + 1) , d2 (n + 1) , dm (n + 1) , d (m + 1) (n + 1) indicate dose information. The dose amount information may be defined after the graphic information of the graphic pattern. Therefore, in the data format of m times divided in n directions and n times divided in y directions shown in FIG. 5A, 1 + 2 x 2 + 3 x (m + n) + 2 x (m + 2) (n + 2) + 1 + 3 x 2 + 2 x for one rectangular pattern. 2 = (24 + 2 mn + 7 m + 7 n) bytes.

以上のように、描画データ変換装置３００は、ドーズ量情報として、図形パターン３０の各角部の位置でのそれぞれのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））の他に、さらに、図形パターン３０をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と図形パターンのいずれかの辺との交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示す。   As described above, the drawing data conversion apparatus 300 further uses, as dose information, the figure pattern 30 in addition to the respective dose amounts (or dose modulation amounts (ratios)) at the positions of the corner portions of the figure pattern 30. The dose amount (or the dose modulation amount (rate)) at the intersection of a dividing line dividing one of the x direction and the y direction in at least one of the x direction and the y direction is shown.

かかるデータフォーマットの描画データの作成方法は、分割設定工程と、ドーズ量設定工程と、描画データ作成工程との各工程を実施する。   The method of creating drawing data of such a data format carries out each of the division setting step, the dose amount setting step, and the drawing data creation step.

分割設定工程として、分割設定部１０は、記憶装置３４０からＣＡＤデータを読み出し、図形パターン毎に、ｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。 In the division setting step, the division setting unit 10 reads CAD data from the storage device 340, and sets the division number ndivx in the x direction and the division number ndivy in the y direction for each figure pattern. In addition, each divided coordinate is set. If a number of divisions ndivx = m sets x direction of the coordinate x 1 ~ coordinate x m (divided x-coordinate). Similarly, in the case of the division number ndivy = n sets the coordinates y 1 ~ coordinate y n in the y direction (divided y-coordinate). When not dividing, the division number ndivx and the division number ndivy in the y direction may be set to zero. Alternatively, in the case of not dividing, the division setting process may be omitted.

ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、図形パターン毎に、当該図形パターンの４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。 As the dose setting process, the dose setting unit 12, for each figure pattern, the x-coordinate x 0, x 1, including the x coordinate x 0, x m + 1 of the four corners of the graphic pattern, · · ·, x m , X m + 1 and the x coordinates y 0 , y 1 ,..., Y n , y n +1 including the y coordinates y 0 , y n +1 of the four corners, at each position (or dose modulation amount) Set (Rate)). If division is not to be performed, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) at each position of the four corner portions may be set.

描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、図形パターン毎に、図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、４つの角部を含む上述した各位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。   In the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 sets the graphic information of the graphic pattern and the graphic information for each graphic pattern before or after the graphic information is defined at the above-described positions including the four corner portions. Pattern data (drawing data) is created according to a data format in which dose information (or dose modulation amount (ratio)) indicating dose amount is continuously defined.

そして、制御部１６は、作成された各図形パターンのパターンデータをまとめた描画データを記憶装置３４２に出力し、格納する。以上のようにして、電子ビーム２００を用いて試料１０１に図形パターンを描画する描画装置１００に入力されるための描画データが作成される。   Then, the control unit 16 outputs, to the storage device 342, drawing data in which the pattern data of the created figure patterns are collected and stored. As described above, drawing data to be input to the drawing apparatus 100 for drawing a figure pattern on the sample 101 using the electron beam 200 is created.

図６は、実施の形態１の効果を説明するための評価パターンを示す図である。図６では、例えば、１辺が２００ｎｍの複数の正方形が並ぶアレイ配置を示す。また、図形パターン間は、２００ｎｍの隙間（スペース部）を空けて配置される。ここで、図６に示すアレイ配置のうち、中央の正方形（Ａ）を評価対象とする。そして、例えば、１０ｎｍ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を必要とする場合、従来の手法では、上述したように５６００バイトのデータ量が必要となる。また、パターンデータとは別にドーズマップを作成する場合には、正方形（Ａ）の１ピッチ分の４００ｎｍ×４００ｎｍの領域で計算すると、（４００／１０）×（４００／１０）×（１０／８）＝２０００バイトのデータ量が必要となる。これに対して、実施の形態１では、以下のデータ量に抑えることができる。   FIG. 6 is a diagram showing an evaluation pattern for explaining the effect of the first embodiment. FIG. 6 shows, for example, an array arrangement in which a plurality of squares each having a side of 200 nm are arranged. In addition, a space (a space portion) of 200 nm is provided between the figure patterns. Here, in the array arrangement shown in FIG. 6, the central square (A) is to be evaluated. Then, for example, when a dose amount (or a dose modulation amount (rate)) is required every 10 nm, the conventional method requires a data amount of 5600 bytes as described above. In addition, when creating a dose map separately from the pattern data, when calculated in an area of 400 nm × 400 nm for one pitch of the square (A), (400/10) × (400/10) × (10/8) ) = 2000 bytes of data are required. On the other hand, in the first embodiment, the following data amount can be suppressed.

図７は、実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の一例を示す図である。図７では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する位置を設定するために、ｘ方向に２分割、ｙ方向に２分割した場合を示している。よって、図形パターン３０のパターンデータには、４隅の角部の他に、１２点の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されていることになる。よって、かかるデータフォーマットに沿ってパターンデータを作成すると、図形情報に１１バイト、ドーズ量情報に４９バイトの計６０バイトのデータ量に抑えることができる。   FIG. 7 is a diagram showing an example of the number of divisions of the evaluation pattern for explaining the effect of the first embodiment. In FIG. 7, in order to set the position which defines a dose amount (or dose modulation amount (ratio)), the case where it divides into 2 in x direction and it divides into 2 in y direction is shown. Therefore, in the pattern data of the graphic pattern 30, in addition to the four corner portions, a dose amount (or dose modulation amount (rate)) at the position of 12 points is defined. Therefore, when pattern data is created in accordance with such a data format, it is possible to suppress the data amount to 11 bytes for graphic information and 49 bytes for dose amount information, for a total of 60 bytes.

図８は、実施の形態１の効果を説明するための評価パターンの分割数の他の一例を示す図である。図７では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する位置を設定するために、ｘ方向に５分割、ｙ方向に５分割した場合を示している。よって、図形パターン３０のパターンデータには、４隅の角部の他に、４５点の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されていることになる。よって、かかるデータフォーマットに沿ってパターンデータを作成すると、図形情報に１１バイト、ドーズ量情報に１３３バイトの計１４４バイトのデータ量に抑えることができる。   FIG. 8 is a diagram showing another example of the number of divisions of the evaluation pattern for explaining the effect of the first embodiment. In FIG. 7, in order to set the position which defines a dose amount (or dose modulation amount (ratio)), the case where it divides into 5 in x direction, and divides into 5 in y direction is shown. Therefore, in the pattern data of the graphic pattern 30, in addition to the four corners, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) at the position of 45 points is defined. Therefore, when pattern data is created according to such a data format, it is possible to suppress the data amount to a total of 144 bytes, ie 11 bytes for graphic information and 133 bytes for dose amount information.

図９は、実施の形態１の分割数とデータ量の関係を示す図である。図９に示すように、、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する位置を設定するために、ｘ方向に２分割、ｙ方向に２分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは６０バイトのデータ量に抑えることができる。ｘ方向に３分割、ｙ方向に３分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは８４バイトのデータ量に抑えることができる。ｘ方向に４分割、ｙ方向に４分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは１１２バイトのデータ量に抑えることができる。ｘ方向に５分割、ｙ方向に５分割した場合、１つの図形パターンのパターンデータは１４４バイトのデータ量に抑えることができる。   FIG. 9 is a diagram showing the relationship between the number of divisions and the amount of data according to the first embodiment. As shown in FIG. 9, pattern data of one figure pattern when divided into two in the x direction and two in the y direction in order to set the position defining the dose amount (or dose modulation amount (rate)) Can be reduced to 60 bytes of data. When the image data is divided into three in the x direction and into three in the y direction, the pattern data of one figure pattern can be suppressed to a data amount of 84 bytes. In the case of four divisions in the x direction and four divisions in the y direction, pattern data of one figure pattern can be suppressed to a data amount of 112 bytes. In the case of five divisions in the x direction and five divisions in the y direction, pattern data of one figure pattern can be suppressed to a data amount of 144 bytes.

以上のように、実施の形態１によれば、パターンデータ（描画データ）のデータ量を大幅に低減できる。   As described above, according to the first embodiment, the data amount of pattern data (drawing data) can be significantly reduced.

次に、描画装置１００では、かかる描画データを記憶装置３４２から入力（転送）し、記憶装置１４０に格納する。そして、描画装置１００において描画処理が行われる。   Next, in the drawing apparatus 100, the drawing data is input (transferred) from the storage device 342 and stored in the storage device 140. Then, drawing processing is performed in the drawing apparatus 100.

ショットデータ生成工程として、ショットデータ生成部１１２は、記憶装置１４０から描画データを読み出し、装置固有のショットデータを生成する。ショットデータ生成部１１２は、記憶装置１４０から描画データを読み出し、試料１０１の描画領域、或いは描画されるチップ領域がメッシュ状に仮想分割された複数の画素領域（メッシュ領域）の画素領域毎にその内部に配置されるパターンの面積密度を算出する。例えば、まず、試料１０１の描画領域、或いは描画されるチップ領域を所定の幅で短冊上のストライプ領域に分割する。そして、各ストライプ領域を上述した複数の画素領域に仮想分割する。画素領域のサイズは、例えば、ビームサイズ、或いは、それ以下のサイズであると好適である。例えば、１０ｎｍ程度のサイズにすると好適である。例えば、ストライプ領域毎に記憶装置１４０から対応する描画データを読み出し、描画データ内に定義された複数の図形パターンを画素に割り当てる。そして、画素毎に配置される図形パターンの面積密度を算出すればよい。   In the shot data generation step, the shot data generation unit 112 reads the drawing data from the storage device 140 and generates shot data unique to the apparatus. The shot data generation unit 112 reads the drawing data from the storage device 140, and the drawing area of the sample 101 or the chip area to be drawn is divided into pixel areas of a plurality of pixel areas (mesh areas) virtually divided into meshes. Calculate the area density of the pattern placed inside. For example, first, the drawing area of the sample 101 or the chip area to be drawn is divided into strip areas on a strip with a predetermined width. Then, each stripe area is virtually divided into the plurality of pixel areas described above. The size of the pixel area is preferably, for example, the beam size or smaller. For example, a size of about 10 nm is suitable. For example, the corresponding drawing data is read from the storage device 140 for each stripe area, and a plurality of figure patterns defined in the drawing data are assigned to the pixels. Then, the area density of the figure pattern arranged for each pixel may be calculated.

照射量演算工程として、まず、照射量演算部１１３は、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ，ｙ）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）の計算手法は、式（１）と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。但し、式（１）における座標（ｘ０，ｙ０）は、計算対象の座標（ｘ，ｙ）の周囲のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義されている直近の４点で取り囲む矩形枠の左下の角部の座標を用いる。また、式（１）における幅寸法ｗは、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の幅寸法を用いる。また、式（１）における高さ寸法ｈは、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の高さ寸法を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の左下の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ１０は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の右下の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ０１は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の左上の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。また、式（１）におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ１１は、かかる直近の４点で取り囲む矩形枠の右上の角部の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いる。 In the dose calculation step, first, the dose calculation unit 113 uses the dose information defined in the drawing data to determine the dose (or dose modulation amount (rate)) d at the desired position (x, y) Calculate (x, y). The calculation method of the dose amount (or dose modulation amount (rate)) d (x, y) may be obtained by calculation of, for example, linear interpolation similar to the equation (1). However, the coordinates (x 0 , y 0 ) in the equation (1) are the nearest four points at which the dose (or dose modulation amount (rate)) around the coordinates (x, y) to be calculated is defined. Use the coordinates of the lower left corner of the surrounding rectangular frame. In addition, as the width dimension w in Expression (1), the width dimension of the rectangular frame surrounded by the nearest four points is used. Further, as the height dimension h in the equation (1), the height dimension of the rectangular frame surrounded by the nearest four points is used. Further, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) d 00 in the equation (1) is the dose amount (or dose modulation amount (rate) at the position of the lower left corner of the rectangular frame surrounded by the four closest points. Use). Further, the dose (or dose modulation amount (rate)) d 10 in the equation (1) is the dose (or dose modulation amount (rate) at the position of the lower right corner of the rectangular frame surrounded by the last four points. Use)). Further, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) d 01 in the equation (1) is the dose amount (or dose modulation amount (rate) at the position of the upper left corner of the rectangular frame surrounded by the four closest points. Use). Further, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) d 11 in the equation (1) is the dose amount (or dose modulation amount (rate) at the position of the upper right corner of the rectangular frame surrounded by the four closest points. Use).

ここでは、一例として、１次補間によってドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）を求めているがこれに限るものではない。定義された各点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を所定の多項式で近似してもよい。例えば、２次以上の多項式で近似してもよい。そして得られた近似式から所望する位置（ｘ，ｙ）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）を演算してもよい。   Here, as an example, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) d (x, y) is obtained by primary interpolation, but the present invention is not limited to this. The dose (or dose modulation amount (rate)) at each defined point may be approximated by a predetermined polynomial. For example, it may be approximated by a second or higher order polynomial. Then, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) d (x, y) at a desired position (x, y) may be calculated from the obtained approximate expression.

そして、照射量演算部１１３は、得られたｄ（ｘ，ｙ）を用いて、各画素位置（ｘ，ｙ）での照射量Ｄ（ｘ，ｙ）を演算する。照射量Ｄ（ｘ，ｙ）は、基準照射量Ｄｂａｓｅにドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ，ｙ）と面積密度とを乗じた値で演算できる。描画データに定義されたドーズ量（ドーズ変調量）に近接効果補正分が考慮されていない場合には、近接効果を補正する近接効果補正照射係数をさらに乗じても好適である。或いは、さらに、かぶり効果を補正するかぶり効果補正照射係数やローディング効果を補正するローディング効果補正照射係数といった補正係数を乗じても好適である。近接効果補正等の各現象に対する補正計算は、従来と同様の手法で構わない。   Then, using the obtained d (x, y), the dose calculation unit 113 calculates the dose D (x, y) at each pixel position (x, y). The dose D (x, y) can be calculated by multiplying the reference dose Dbase by the dose (or dose modulation rate (ratio)) d (x, y) and the area density. When the dose amount (dose modulation amount) defined in the drawing data is not taken into consideration for the proximity effect correction, it is preferable to further multiply the proximity effect correction irradiation coefficient for correcting the proximity effect. Alternatively, it is also preferable to multiply by a correction coefficient such as a fog effect correction irradiation coefficient for correcting a fogging effect or a loading effect correction irradiation coefficient for correcting a loading effect. The correction calculation for each phenomenon such as proximity effect correction may be performed by the same method as the conventional one.

描画工程として、描画制御部１１４は、制御回路１２０に描画処理を行うように制御信号を出力する。制御回路１２０は、画素毎の各補正照射量のデータを入力し、描画制御部１１４から制御信号に従って描画部１５０を制御し、描画部１５０は、マルチビーム２０を用いて、当該図形パターンを試料１００に描画する。具体的には、以下のように動作する。   In the drawing process, the drawing control unit 114 outputs a control signal to the control circuit 120 so as to perform a drawing process. The control circuit 120 inputs data of each correction dose for each pixel, controls the drawing unit 150 according to a control signal from the drawing control unit 114, and the drawing unit 150 uses the multi-beam 20 to sample the figure pattern. Draw on 100 Specifically, it operates as follows.

電子銃２０１（放出部）から放出された電子ビーム２００は、照明レンズ２０２によりほぼ垂直にマルチビーム成形プレート２０３全体を照明する。マルチビーム成形プレート２０３には、縦（ｙ方向）ｍ列×横（ｘ方向）ｎ列（ｍ，ｎ≧２）の穴（開口部）が所定の配列ピッチでマトリクス状に形成されている。例えば、５１２×８列の穴が形成される。各穴は、共に同じ寸法形状の矩形で形成される。或いは、同じ外径の円形であっても構わない。電子ビーム２００は、すべての複数の穴が含まれる領域を照明する。複数の穴の位置に照射された電子ビーム２００の各一部が、かかるマルチビーム成形プレート２０３の複数の穴をそれぞれ通過することによって、例えば矩形形状の複数の電子ビーム（マルチビーム）２０ａ〜ｅが形成される。かかるマルチビーム２０ａ〜ｅは、ブランキングプレート２０４のそれぞれ対応するブランカー内を通過する。ブランキングプレート２０４には、マルチビーム成形プレート２０３の各穴に対応する位置にマルチビームのそれぞれビームの通過用の通過孔（開口部）が開口される。各通過孔の近傍位置に該当する通過孔を挟んでブランキング偏向用の対となる２つの電極の組（ブランカー）がそれぞれ配置される。すなわち、ビーム数に応じた複数のブランカーが配置される。かかるブランカーは、それぞれ、個別に通過する電子ビーム２０を偏向する（ブランキング偏向を行う）。
ブランキングプレート２０４を通過したマルチビーム２０ａ〜ｅは、縮小レンズ２０５によって、縮小され、制限アパーチャ部材２０６に形成された中心の穴に向かって進む。ここで、ブランキングプレート２０４の対応するブランカーによって偏向された電子ビーム２０は、制限アパーチャ部材２０６（ブランキングアパーチャ部材）の中心の穴から位置がはずれ、制限アパーチャ部材２０６によって遮蔽される。一方、ブランキングプレート２０４の対応ブランカーによって偏向されなかった電子ビーム２０は、図１に示すように制限アパーチャ部材２０６の中心の穴を通過する。かかる個別ブランキング機構のＯＮ／ＯＦＦによって、ブランキング制御が行われ、ビームのＯＮ／ＯＦＦが制御される。このように、制限アパーチャ部材２０６は、個別ブランキング機構によってビームＯＦＦの状態になるように偏向された各ビームを遮蔽する。そして、ビームＯＮになってからビームＯＦＦになるまでに形成された、制限アパーチャ部材２０６を通過したビームにより、１回分のショットのビームが形成される。制限アパーチャ部材２０６を通過したマルチビーム２０は、対物レンズ２０７により焦点が合わされ、所望の縮小率のパターン像となり、偏向器２０８によって、制限アパーチャ部材２０６を通過した各ビーム（マルチビーム２０全体）が同方向にまとめて偏向され、各ビームの試料１０１上のそれぞれの照射位置に照射される。また、例えばＸＹステージ１０５が連続移動している時、ビームの照射位置がＸＹステージ１０５の移動に追従するように偏向器２０８によって制御される。一度に照射されるマルチビーム２０は、理想的にはマルチビーム成形プレート２０３の複数の穴の配列ピッチに上述した所望の縮小率を乗じたピッチで並ぶことになる。描画装置１００は、ショットビームを連続して順に照射していく方式で描画動作を行い、所望のパターンを描画する際、パターンに応じて必要なビームがブランキング制御によりビームＯＮに制御される。 The electron beam 200 emitted from the electron gun 201 (emission unit) illuminates the entire multi-beam shaping plate 203 almost perpendicularly by the illumination lens 202. In the multi-beam shaping plate 203, holes (openings) of vertical (y direction) m rows × horizontal (x direction) n rows (m, n ≧ 2) are formed in a matrix at a predetermined arrangement pitch. For example, 512 × 8 rows of holes are formed. Each hole is formed of a rectangle of the same size and shape. Alternatively, it may be circular with the same outer diameter. Electron beam 200 illuminates the area including all the plurality of holes. Each part of the electron beam 200 irradiated to the position of the plurality of holes passes through the plurality of holes of the multi-beam shaping plate 203, for example, a plurality of electron beams (multi-beams) 20a to 20e having a rectangular shape. Is formed. The multibeams 20a to 20e pass through the corresponding blankers of the blanking plates 204, respectively. In the blanking plate 204, passage holes (openings) for passing beams of the multi-beams are opened at positions corresponding to the respective holes of the multi-beam shaping plate 203. Sets of two electrodes (blankers) serving as a pair for blanking deflection are respectively disposed across the corresponding passage holes at positions near the respective passage holes. That is, a plurality of blankers corresponding to the number of beams are arranged. Each such blanker deflects (passes blanking) the electron beam 20 that passes individually.
The multi-beams 20 a-e that have passed through the blanking plate 204 are reduced by the reduction lens 205 and travel toward the central hole formed in the limiting aperture member 206. Here, the electron beam 20 deflected by the corresponding blanker of the blanking plate 204 deviates from the hole at the center of the limiting aperture member 206 (blanking aperture member) and is shielded by the limiting aperture member 206. On the other hand, the electron beam 20 not deflected by the corresponding blanker of the blanking plate 204 passes through the hole in the center of the limiting aperture member 206 as shown in FIG. Blanking control is performed by turning on / off the individual blanking mechanism to control on / off of the beam. In this way, the limiting aperture member 206 blocks each beam deflected to be in the beam OFF state by the individual blanking mechanism. Then, a beam of one shot is formed by the beam passing through the limiting aperture member 206, which is formed from the turning on of the beam to the turning off of the beam. The multibeam 20 passing through the limiting aperture member 206 is focused by the objective lens 207 to form a pattern image of a desired reduction ratio, and each beam (entire multibeam 20) passing through the limiting aperture member 206 is produced by the deflector 208. The beams are deflected together in the same direction, and are irradiated to the respective irradiation positions on the sample 101 of each beam. Also, for example, when the XY stage 105 is moving continuously, the beam irradiation position is controlled by the deflector 208 so as to follow the movement of the XY stage 105. The multi-beams 20 irradiated at one time are ideally aligned at a pitch obtained by multiplying the arrangement pitch of the plurality of holes of the multi-beam shaping plate 203 by the above-described desired reduction ratio. The drawing apparatus 100 performs drawing operation by sequentially irradiating shot beams sequentially, and when drawing a desired pattern, the necessary beam is controlled to be beam ON by blanking control according to the pattern.

以上のように、実施の形態１によれば、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。さらに、ドーズ量の補正サイズに関わらず描画データを作成できる。よって、データ量を低減できる。また、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））のマップが図形の存在する箇所に作成されるので、従来のドーズ量マップのように図形の無い領域まで作成する必要はなく、その点からもデータ量を低減できる。また、分割線の位置は可変に設定できるので、可変メッシュサイズの格子を作成しやすい。よって、より圧縮されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成し易くなる。   As described above, according to the first embodiment, it is possible to eliminate the need to define dose information for each fine size. Furthermore, drawing data can be created regardless of the dose correction size. Therefore, the amount of data can be reduced. In addition, since a map of the dose amount (or dose modulation amount (rate) is created at the location where the figure exists, it is not necessary to create an area without the figure as in the conventional dose amount map. The amount of data can be reduced. In addition, since the positions of dividing lines can be set variably, it is easy to create a grid of variable mesh size. Therefore, it becomes easier to create a more compressed dose (or dose modulation (rate)) map.

実施の形態２．
実施の形態１では、１つの図形パターンについて、図形パターンの角部等の位置でドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義したデータフォーマットを示した。言い換えれば、各図形パターンの形状そのものをドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップに使用したデータフォーマットを示した。しかし、これに限るものではない。実施の形態２では、少なくとも１つの図形パターンを一群のグループとして、グループ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義したデータフォーマットについて説明する。実施の形態２において、描画装置１００の構成は図１と同様である。また、以下に説明する点以外の内容は実施の形態１と同様である。 Second Embodiment
In the first embodiment, a data format in which the dose amount (or the dose modulation amount (rate)) is defined at a position such as a corner of a figure pattern is shown for one figure pattern. In other words, a data format is shown in which the shape itself of each figure pattern is used for a dose amount (or dose modulation amount (rate)) map. However, it is not limited to this. In the second embodiment, a data format in which a dose amount (or a dose modulation amount (rate)) is defined for each group with at least one figure pattern as a group will be described. In the second embodiment, the configuration of the drawing apparatus 100 is the same as that shown in FIG. Further, the contents other than the points described below are the same as in the first embodiment.

図１０は、実施の形態２における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図１０において、描画データ変換装置３００内に、さらに、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０が追加された点以外は、図２と同様である。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。   FIG. 10 is a conceptual diagram showing the configuration of a drawing data conversion apparatus according to the second embodiment. 10 is the same as FIG. 2 except that a group processing unit 19 and a rectangular frame setting unit 20 are further added to the drawing data conversion apparatus 300. The functions such as the division setting unit 10, the dose amount setting unit 12, the drawing data creation unit 14, the control unit 16, the group processing unit 19, and the rectangular frame setting unit 20 may be configured by hardware such as an electric circuit. It may be configured by software such as a program that executes these functions. Alternatively, it may be configured by a combination of hardware and software. Information input to and output from division setting unit 10, dose amount setting unit 12, drawing data creation unit 14, control unit 16, group processing unit 19, and rectangular frame setting unit 20 and information being calculated are stored in memory 18 each time. Be done.

ここで、図１０では、実施の形態２を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態１と同様である。   Here, in FIG. 10, a configuration necessary for describing the second embodiment is described. The drawing data conversion apparatus 300 may generally have other necessary configurations. For example, as in the first embodiment, an input device such as a mouse or a keyboard, a monitor device, an external interface circuit, and the like may be connected.

図１１は、実施の形態２における図形パターン群とドーズ量定義位置を説明するための図である。図１１（ａ）〜図１１（ｆ）には、連続する図形パターン群の一例がそれぞれ示されている。ここでは、矩形パターンが連続する図形パターン群がそれぞれ示されている。実施の形態２では、かかる連続する図形パターン群を１つのグループとして、グループ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。   FIG. 11 is a diagram for explaining a graphic pattern group and a dose amount defining position in the second embodiment. FIGS. 11 (a) to 11 (f) show examples of continuous graphic pattern groups. Here, graphic pattern groups in which rectangular patterns are continuous are shown. In the second embodiment, a dose amount (or dose modulation amount (rate)) map is created for each group by setting the continuous figure pattern group as one group.

グループ処理工程として、グループ処理部１９は、記憶装置３４０から複数の図形パターンの図形情報が定義されるＣＡＤデータを読み出し、ＣＡＤデータに定義された複数の図形パターンを連続する図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する。連続する図形パターン群が１つしか無い場合には、１つのグループが作成される。複数個の連続する図形パターン群が定義されていれば、複数のグループを作成すればよい。例えば、図１１（ｃ）に示す連続する一群の図形パターンを１つのグループとしてグループ化する。図１１（ａ）〜図１１（ｆ）のうち、残りの連続する図形パターン群についてもそれぞれグループ化すればよい。   As a group processing step, the group processing unit 19 reads out CAD data in which graphic information of a plurality of graphic patterns is defined from the storage device 340, and at least for each of a plurality of graphic pattern groups in which a plurality of graphic patterns defined in the CAD data are continuous. Group into one group. If there is only one continuous graphic pattern group, one group is created. If a plurality of continuous graphic pattern groups are defined, a plurality of groups may be created. For example, a continuous group of graphic patterns shown in FIG. 11C is grouped into one group. The remaining continuous graphic pattern groups in FIGS. 11A to 11F may be grouped, respectively.

矩形枠設定工程として、矩形枠設定部２０は、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定する。矩形枠は、例えば、図形パターン群の外接矩形を用いると好適である。但し、これに限るものではなく、図１１（ｇ）に示すように、矩形枠４０は、外接矩形よりも若干大きい枠であっても良い。例えば、後述する分割線を所定のグリッドに合わせて設定する場合に、矩形枠４０自体をかかるグリッドに合わせて設定してもよい。実施の形態２では、かかる矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップとして用いる。図１１（ｇ）に示すように、矩形枠設定部２０は、矩形枠４０（マップ）のｘ方向サイズをＷｍ、ｙ方向サイズをｈｍで定義する。また、矩形枠設定部２０は、矩形枠４０に取り囲まれた当該グループの図形パターン群のうち最初（例えば左端）の図形パターンの基準位置（例えば左下角）から矩形枠４０（マップ）の基準位置（例えば左下角）までのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する。よって、図１１（ｇ）に示す矩形枠４０付きの図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報とが定義されることになる。 In the rectangular frame setting step, the rectangular frame setting unit 20 sets, for each group, a rectangular frame surrounding the graphic pattern group of the group. The rectangular frame is preferably, for example, a circumscribed rectangle of a graphic pattern group. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 11 (g), the rectangular frame 40 may be a frame slightly larger than the circumscribed rectangle. For example, when dividing lines to be described later are set according to a predetermined grid, the rectangular frame 40 itself may be set according to the grid. In the second embodiment, the rectangular frame 40 is used as a dose amount (or dose modulation amount (rate)) map. As shown in FIG. 11G, the rectangular frame setting unit 20 defines the size in the x direction of the rectangular frame 40 (map) as Wm and the size in the y direction as hm. In addition, the rectangular frame setting unit 20 sets the reference position of the rectangular frame 40 (map) from the reference position (for example, lower left corner) of the first (for example, left end) graphic pattern group of the group surrounded by the rectangular frame 40 Define the offset amounts (x off , y off ) up to (eg, lower left corner). Therefore, the pattern data (drawing data) of the graphic pattern group with the rectangular frame 40 shown in FIG. 11G is the graphic information of the graphic pattern group and the dose amount (or dose modulation amount (rate)) map of the rectangular frame 40 The dose information to be 32 is to be defined.

分割設定工程として、分割設定部１０は、グループ毎に、矩形枠４０のｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。 In the division setting step, the division setting unit 10 sets the division number ndivx in the x direction of the rectangular frame 40 and the division number ndivy in the y direction for each group. In addition, each divided coordinate is set. If a number of divisions ndivx = m sets x direction of the coordinate x 1 ~ coordinate x m (divided x-coordinate). Similarly, in the case of the division number ndivy = n sets the coordinates y 1 ~ coordinate y n in the y direction (divided y-coordinate). When not dividing, the division number ndivx and the division number ndivy in the y direction may be set to zero. Alternatively, in the case of not dividing, the division setting process may be omitted. The way of division may be the same as the contents described in FIGS. At that time, the figure pattern may be read as the rectangular frame 40.

ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、グループ毎に、当該矩形枠４０の４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。 As the dose setting process, the dose setting unit 12, for each group, x-coordinate x 0, x 1, including the x coordinate x 0, x m + 1 of the four corners of the rectangular frame 40, · · ·, x m , X m + 1 and the x coordinates y 0 , y 1 ,..., Y n , y n +1 including the y coordinates y 0 , y n +1 of the four corners, at each position (or dose modulation amount) Set (Rate)). If division is not to be performed, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) at each position of the four corner portions may be set.

図１２は、実施の形態２におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの他の一例を示す図である。ここでは、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図１２の例では、矩形枠４０をｘ方向にｍ回、ｙ方向にｎ回分割する場合を示している。図１２の例では、矩形枠４０をｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）で分割すると共に、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）で分割する。矩形枠４０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）とした場合、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義される各位置のｘ座標はｘ方向に向かって順にｘ０、ｘ１、・・・、ｘｍ、ｘｍ＋１となり、各位置のｙ座標はｙ方向に向かって順にｙ０、ｙ１、・・・、ｙｎ、ｙｎ＋１となる。よって、インデックスも同様に、ｘ方向に向かって順に０、１、・・・ｍ、ｍ＋１となり、ｙ方向に向かって順に０、１、・・・ｎ、ｎ＋１となる値の組み合わせで示される。 FIG. 12 is a diagram showing another example of the data format with dose modulation amount according to the second embodiment. Here, in addition to the four corners of the rectangular frame 40, respective intersections between the dividing lines dividing the rectangular frame 40 in the x and y directions and the sides of the rectangular frame 40 and intersections between the dividing lines The dose amount (or dose modulation amount (rate)) at The example of FIG. 12 illustrates the case where the rectangular frame 40 is divided m times in the x direction and n times in the y direction. In the example of FIG. 12, a rectangular frame 40 with split in the x direction of the coordinate x 1 ~ coordinate x m (divided x-coordinate) is divided in the y-direction of the coordinate y 1 ~ coordinate y n (divided y-coordinate). Assuming that the coordinates of the lower left corner of the rectangular frame 40 are (x 0 , y 0 ), the x coordinate of each position at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is defined is sequentially x toward the x direction 0, x 1, ···, x m, x m + 1 next, y 0, y 1 y coordinates in the order toward the y-direction at each position, ···, y n, the y n + 1. Accordingly, the index is similarly 0, 1,... M, m + 1 sequentially in the x direction, and is indicated by a combination of values 0, 1,... N, n + 1 sequentially in the y direction.

描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、グループ毎に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。   In the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 determines, for each group, the position of the four corner portions of the rectangular frame 40 before or after graphic information of graphic patterns constituting the group and graphic information are defined. Pattern data (drawing data) is created in accordance with a data format in which the set dose amount (or dose modulation amount (rate)) indicating the set dose amount is continuously defined. The created pattern data (drawing data) is output to the storage device 342 and stored.

図１２に示すデータフォーマットでは、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ２）、矩形枠４０の２バイトのｘ方向への分割数ｎｄｉｖｘ、矩形枠４０の２バイトのｙ方向への分割数ｎｄｉｖｙ、各３バイトのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）、各２バイトの矩形枠４０のｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗｍ，ｈｍ）、各３バイトの分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、各３バイトの分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、各図形情報を単純に繰り返すノーマル表現を示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＮＲ）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形パターン群の数、図形パターン群を構成する図形パターン１〜Ｎについて順に繰り返される各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。 In the data format shown in FIG. 12, a 1-byte expression code (code DD2 ) indicating that it is a dose amount (or dose modulation amount (rate)), the division number ndivx of 2 bytes of the rectangular frame 40 in the x direction, division number ndivy in the y direction of the two-byte frame 40, the offset amount of each of the three bytes (x off, y off), x of the rectangular frame 40 of two bytes each, the y-direction size (Wm, hm), the 3 In addition to the division x-coordinates x 1 to x m of bytes, the division y-coordinates y 1 to y n of 3 bytes each, and the four corners of the rectangular frame 40, each further divides the rectangular frame 40 in the x and y directions Dose amount (or dose modulation amount (rate)) d 00 , d 10 , d 20 , d m 0 , d at each intersection of the dividing line and each side of the rectangular frame 40 and at each intersection of the dividing lines (M + 1) 0 , ... d 0 (n +1) , d 1 (n + 1) , d 2 (n + 1) , d m (n + 1) , d (m + 1) (n + 1) are defined. Then, following the dose information, a 1-byte expression code (code NR ) indicating a normal expression that simply repeats each graphic information, a 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating a graphic type, and a 2-byte graphic pattern group The coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern repeated for the graphic patterns 1 to N constituting the graphic pattern group and the size (W, H) in the x, y directions of each 2 bytes are defined. Ru.

１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＮＲ）、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、２バイトの図形パターン群の数、図形パターン群を構成する図形パターン１〜Ｎについて順に繰り返される各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターン群の図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、オフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）、矩形枠４０のｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗｍ，ｈｍ）、分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、４つの角部、各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図１２に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターン（グループ：連続して繋がる図形パターン群）について、１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋１＋２＋Ｎ・（３×２＋２×２）＝（２７＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１０Ｎ）バイトで定義できる。 A 1-byte expression code (code NR ), a 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating a graphic type, the number of 2-byte graphic pattern groups, and each repeated in order for graphic patterns 1 to N constituting the graphic pattern group The coordinates (X, Y) of the 3-byte graphic pattern and the size (W, H) of each 2-byte in the x and y directions indicate graphic information of the graphic pattern group. Representation code (code DD), the division number Ndivx, division number Ndivy, offset (x off, y off), x of the rectangular frame 40, the size in the y direction (Wm, hm), split x coordinate x 1 ~x m, Dose amount (or dose modulation amount (rate) at each position of divided y coordinates y 1 to y n , four corner portions, respective intersections of each divided line and each side of the figure pattern 30, and respective intersections of divided lines )) d 00, d 10, d 20, d m0, d (m + 1) 0, ··· d 0 (n + 1), d 1 (n + 1), d 2 (n + 1), d m (n + 1), d (m + 1 ) (N + 1) indicates dose information. The dose amount information may be defined after the graphic information of the graphic pattern. Therefore, in the data format of m times divided in the x direction and n times divided in the y direction shown in FIG. 12, 1 + 2 x 2 + 3 x 2 + 2 x 2 + 3 x (m + n) for one rectangular pattern (group: graphic pattern group connected continuously). It can be defined by + 2 × (m + 2) (n + 2) + 1 + 1 + 2 + N · (3 × 2 + 2 × 2) = (27 + 2 mn + 7 m + 7 n + 10 N) bytes.

以上のように、描画データ変換装置３００は、ドーズ量情報として、矩形枠４０の各角部の位置でのそれぞれのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））の他に、さらに、矩形枠４０をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と矩形枠４０のいずれかの辺との交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示す。   As described above, the drawing data conversion apparatus 300 further uses the rectangular frame 40 as the dose information in addition to the respective dose (or dose modulation amount (rate)) at the position of each corner of the rectangular frame 40. The dose amount (or the dose modulation amount (rate)) at the intersection point of the dividing line that divides in the x direction and the y direction in at least one direction and any side of the rectangular frame 40 is shown.

図１３は、実施の形態２における図形パターン群のグループ化の一例を示す図である。上述した例では、連続する図形パターン群全体で１つのグループを形成する場合を示したが、これに限るものではない。図１３に示すように連続する図形パターン群を複数のグループに設定してもよい。図１３の例では、連続する図形パターン群をグループ１〜４に分けた場合を示している。グループ化は、矩形枠が大きくなりすぎないように設定すると良い。図１３の例では、連結方向が９０度変化する位置で図形パターン群を分けている（グループ１，２間）。例えば幅サイズが大きく変化する位置で図形パターン群を分けている（グループ２，３，４間）。   FIG. 13 is a diagram showing an example of grouping of graphic patterns in the second embodiment. In the above-mentioned example, although the case where one group is formed by the whole continuous figure pattern group was shown, it does not restrict to this. As shown in FIG. 13, continuous graphic pattern groups may be set to a plurality of groups. In the example of FIG. 13, the case where the continuous figure pattern group is divided into groups 1 to 4 is shown. The grouping may be set so that the rectangular frame does not become too large. In the example of FIG. 13, the graphic pattern groups are divided at positions where the connecting direction changes by 90 degrees (between groups 1 and 2). For example, the figure pattern group is divided at the position where the width size largely changes (between groups 2, 3 and 4).

なお、上述した例では、連続する複数の図形パターン（図形パターン群）により１つのグループを構成したが、これに限るものではない。１つの図形パターンにより１つのグループを構成してもよい。かかる１つの図形パターンが矩形の場合には、矩形枠と図形パターンが同じ形状になってしまう場合が想定されるが、かかる１つの図形パターンが矩形ではない場合、例えば、３角形、台形、その他の図形等の場合、矩形枠４０を設定した方がドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成しやすい場合がある。かかる場合には、特に、１つの図形パターンにより１つのグループを構成すると好適である。   In the example described above, although one group is configured by a plurality of continuous graphic patterns (graphic pattern groups), the present invention is not limited to this. One graphic pattern may constitute one group. If one such figure pattern is a rectangle, it is assumed that the rectangular frame and the figure pattern have the same shape, but if one such figure pattern is not a rectangle, for example, a triangle, a trapezoid, or the like In the case of a figure or the like, it may be easier to create a dose (or dose modulation amount (rate)) map if the rectangular frame 40 is set. In such a case, in particular, it is preferable that one graphic pattern constitute one group.

よって、上述したグループ処理工程として、グループ処理部１９は、記憶装置３４０から少なくとも１つの図形パターンの図形情報が定義されるＣＡＤデータを読み出し、ＣＡＤデータに定義された少なくとも１つの図形パターンを少なくとも１つのグループにグループ化すればよい。同様に、矩形枠設定工程として、矩形枠設定部２０は、少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定すればよい。同様に、描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って描画データを作成すればよい。   Therefore, as the group processing step described above, the group processing unit 19 reads CAD data in which graphic information of at least one graphic pattern is defined from the storage device 340, and at least one graphic pattern defined in the CAD data. It should be grouped into one group. Similarly, in the rectangular frame setting step, the rectangular frame setting unit 20 may input graphic information of at least one graphic pattern, and set a rectangular frame surrounding at least one graphic pattern. Similarly, as the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 sets the graphic information of at least one graphic pattern and the graphic information at the positions of the four corners of the rectangular frame before or after the graphic information is defined. The drawing data may be created in accordance with a data format in which the dose amount or the dose amount information indicating the dose modulation rate is continuously defined.

以上のように、実施の形態２では、少なくとも１つの図形パターンで構成されるグループ毎に矩形枠４０を設定し、矩形枠について４隅等の角部、分割線と辺の交点、及び分割線同士の交点でドーズ量情報を定義したデータフォーマットを作成する。そして、作成された描画データを描画装置１００が入力する。そして、描画装置１００内で、かかる矩形枠４０を用いて定義された複数の点の情報を例えば１次補間等によりかかる複数の点以外の所望の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を計算する。計算手法は、実施の形態１と同様で良い。   As described above, in the second embodiment, the rectangular frame 40 is set for each group formed of at least one figure pattern, and the corner such as the four corners, the intersection of the dividing line and the side, and the dividing line for the rectangular frame Create a data format in which dose information is defined at the intersections of each other. Then, the drawing apparatus 100 inputs the created drawing data. Then, in the drawing apparatus 100, a dose amount (or a dose modulation amount (rate) at a desired position other than the plurality of points, for example, by linear interpolation or the like, of information of a plurality of points defined using the rectangular frame 40 )) To calculate. The calculation method may be the same as that of the first embodiment.

以上のように、実施の形態２によれば、少なくとも１つの図形パターンで構成されるグループ毎にドーズ量情報を定義できる。よって、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。さらに、ドーズ量の補正サイズに関わらず描画データを作成できる。よって、データ量を低減できる。さらに、実施の形態２によれば、複数の図形パターンの図形情報とドーズ量情報とをまとめて定義するのでさらにデータ量を低減できる。また、従来のドーズ量マップのように図形の無い領域まで作成する必要はなく、その点からもデータ量を低減できる。また、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））のマップが図形群の近傍毎に作成されるので、従来のドーズ量マップのように図形の無い領域まで作成する必要はなく、その点からもデータ量を低減できる。また、分割線の位置は可変に設定できるので、可変メッシュサイズの格子を作成しやすい。よって、より圧縮されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成し易くなる。   As described above, according to the second embodiment, the dose information can be defined for each group configured by at least one figure pattern. Therefore, it is possible to eliminate the need to define the dose information for each fine size. Furthermore, drawing data can be created regardless of the dose correction size. Therefore, the amount of data can be reduced. Furthermore, according to the second embodiment, since the graphic information and the dose information of a plurality of graphic patterns are collectively defined, the data amount can be further reduced. In addition, it is not necessary to create an area having no figure as in the conventional dose map, and the amount of data can be reduced also from that point. In addition, since a map of dose amount (or dose modulation amount (rate) is created for each vicinity of a figure group, it is not necessary to create a region having no figure as in the conventional dose amount map, and from that point The amount of data can be reduced. In addition, since the positions of dividing lines can be set variably, it is easy to create a grid of variable mesh size. Therefore, it becomes easier to create a more compressed dose (or dose modulation (rate)) map.

実施の形態３．
実施の形態１，２では、図形パターン或いは矩形枠を用いて定義された複数の点のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を使って、所望の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を計算可能にするデータフォーマットを説明した。但し、これに限るものではない。実施の形態３では、実施の形態１，２で説明した例えば１次補間用データが定義されたマップの他に、固定サイズの複数のメッシュ領域を設定して、メッシュ領域毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する構成について説明する。実施の形態３において、描画装置１００の構成は図１と同様である。また、以下に説明する点以外の内容は実施の形態１或いは実施の形態２と同様である。 Third Embodiment
In the first and second embodiments, the dose amount (or dose modulation amount) at a desired position is calculated using the dose amounts (or dose modulation amounts (ratios)) of a plurality of points defined using graphic patterns or rectangular frames. A data format has been described which makes it possible to calculate (rate)). However, it is not limited to this. In the third embodiment, a plurality of mesh areas of fixed size are set in addition to the map in which the primary interpolation data is defined, for example, described in the first and second embodiments, and the dose amount (or The configuration for defining the dose modulation amount (rate) will be described. In the third embodiment, the configuration of the drawing apparatus 100 is the same as that shown in FIG. Further, the contents other than the points described below are the same as in the first embodiment or the second embodiment.

図１４は、実施の形態３における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図１４において、描画データ変換装置３００内に、さらに、固定サイズメッシュ設定部２２、及びドーズ量設定部１３が追加された点以外は、図１０と同様である。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、ドーズ量設定部１３、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、矩形枠設定部２０、及び固定サイズメッシュ設定部２２といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、ドーズ量設定部１３、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、矩形枠設定部２０、及び固定サイズメッシュ設定部２２に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。   FIG. 14 is a conceptual diagram showing the configuration of a drawing data conversion apparatus according to the third embodiment. 14 is the same as FIG. 10 except that a fixed size mesh setting unit 22 and a dose amount setting unit 13 are further added to the drawing data conversion apparatus 300. Functions such as the division setting unit 10, the dose amount setting unit 12, the dose amount setting unit 13, the drawing data creation unit 14, the control unit 16, the group processing unit 19, the rectangular frame setting unit 20, and the fixed size mesh setting unit 22 It may be comprised with hardwares, such as a circuit, and may be comprised with software, such as a program which performs these functions. Alternatively, it may be configured by a combination of hardware and software. The division setting unit 10, the dose amount setting unit 12, the dose amount setting unit 13, the drawing data creation unit 14, the control unit 16, the group processing unit 19, the rectangular frame setting unit 20, and the fixed size mesh setting unit 22 Information and information being calculated are stored in the memory 18 each time.

ここで、図１４では、実施の形態３を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態１，２と同様である。   Here, FIG. 14 describes the configuration necessary to describe the third embodiment. The drawing data conversion apparatus 300 may generally have other necessary configurations. For example, as in the first and second embodiments, an input device such as a mouse and a keyboard, a monitor device, and an external interface circuit may be connected.

グループ処理工程から矩形枠設定工程までの各工程の内容は、実施の形態２と同様である。矩形枠を使用せずに図形パターン毎に当該図形パターンの形状をそのまま使用する場合には、実施の形態１と同様、グループ処理工程から矩形枠設定工程までの各工程は実施しないで良い。   The contents of each step from the group processing step to the rectangular frame setting step are the same as in the second embodiment. When the shape of the figure pattern is used as it is for each figure pattern without using the rectangular frame, each process from the group processing process to the rectangular frame setting process may not be performed as in the first embodiment.

固定サイズメッシュ設定工程として、固定サイズメッシュ設定部２２は、矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）外の領域に固定サイズの複数のメッシュ領域４４を設定する。   In the fixed size mesh setting step, the fixed size mesh setting unit 22 sets a plurality of mesh areas 44 of fixed size in an area outside the rectangular frame 40 (or one graphic pattern 30).

図１５は、実施の形態３におけるドーズ量定義位置の一例を説明するための図である。図１５には、分割線で分割した、１つグループを構成する図形パターン群を取り囲む矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）部分と、矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）外の領域に固定サイズの複数のメッシュ領域４４との一例を示している。かかる矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）と複数のメッシュ領域４４によりドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。   FIG. 15 is a diagram for explaining an example of a dose amount defining position in the third embodiment. In FIG. 15, a rectangular frame 40 (or one graphic pattern 30) portion surrounding a graphic pattern group constituting one group divided by a dividing line and a portion outside the rectangular frame 40 (or one graphic pattern 30) are shown. An example of a plurality of mesh areas 44 of fixed size is shown in FIG. A dose amount (or dose modulation amount (rate)) map is created by the rectangular frame 40 (or one figure pattern 30) and the plurality of mesh regions 44.

分割設定工程として、分割設定部１０は、グループ毎（或いは図形パターン毎）に、矩形枠４０（或いは、１つの図形パターン３０）のｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。 In the division setting step, the division setting unit 10 sets the division number ndivx in the x direction and the division number ndivy in the y direction of the rectangular frame 40 (or one graphic pattern 30) for each group (or each graphic pattern). . In addition, each divided coordinate is set. If a number of divisions ndivx = m sets x direction of the coordinate x 1 ~ coordinate x m (divided x-coordinate). Similarly, in the case of the division number ndivy = n sets the coordinates y 1 ~ coordinate y n in the y direction (divided y-coordinate). When not dividing, the division number ndivx and the division number ndivy in the y direction may be set to zero. Alternatively, in the case of not dividing, the division setting process may be omitted. The way of division may be the same as the contents described in FIGS. At that time, the figure pattern may be read as the rectangular frame 40.

ドーズ量設定（１）工程として、ドーズ量設定部１２は、グループ毎（或いは図形パターン毎）に、当該矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）の４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。 As the dose amount setting (1) step, the dose amount setting unit 12 sets x coordinates x 0 , x of x corners of four corners of the rectangular frame 40 (or the figure pattern 30) for each group (or each figure pattern). x-coordinate x 0, x 1 comprising m + 1, ···, x m , x m + 1 and, x coordinate y 0 containing y-coordinate y 0, y n + 1 of the four corners, y 1, ···, y n , Y n + 1 are set at each position (or dose modulation amount (rate)). If division is not to be performed, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) at each position of the four corner portions may be set.

ドーズ量設定（２）工程として、ドーズ量設定部１３は、固定サイズのメッシュ領域４４毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。例えば、矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）の設定された複数の点のデータを用いて１次補間等の計算を行うのでは、局所的なドーズ変化に対応することが難しい。かかる場合には、固定サイズのメッシュ領域４４にかかる局所的なドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。   As a dose amount setting step (2), the dose amount setting unit 13 sets a dose amount (or a dose modulation amount (rate)) for each mesh area 44 of a fixed size. For example, if calculations such as linear interpolation are performed using data of a plurality of points set in the rectangular frame 40 (or the figure pattern 30), it is difficult to cope with local dose change. In such a case, the local dose (or dose modulation amount (rate)) applied to the mesh area 44 of fixed size may be set.

描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、グループ毎（或いは図形パターン毎）に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報（或いは当該図形パターンの図形情報）と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報（第１のドーズ量情報）とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。かかるデータフォーマットには、矩形枠４０（或いは、当該図形パターン３０）を使った複数の点のドーズ量情報の他に、さらに、連続して、固定サイズのメッシュ領域４４毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報（第２のドーズ量情報）が定義される。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。   In the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 defines, for each group (or each graphic pattern), graphic information (or graphic information of the graphic pattern) of graphic patterns constituting the group and graphic information. Before or after the dose information (first dose) indicating the set dose (or dose modulation amount (rate)) at the position of the four corners of the rectangular frame 40 (or the figure pattern 30) The pattern data (drawing data) is created in accordance with a data format in which information is continuously defined. In this data format, in addition to the dose amount information of a plurality of points using the rectangular frame 40 (or the figure pattern 30), the dose amount (or dose) for each mesh area 44 of fixed size is continuously provided. Dose amount information (second dose amount information) indicating a modulation amount (rate) is defined. The created pattern data (drawing data) is output to the storage device 342 and stored.

ここで、上述した例では、グループを構成する図形パターン群を取り囲む矩形枠４０、或いは図形パターン３０の外側の領域に複数のメッシュ領域４４を設定する場合を説明したがこれに限るものではない。   Here, in the above-described example, although the case where the plurality of mesh areas 44 are set in the rectangular frame 40 surrounding the graphic pattern group constituting the group or the area outside the graphic pattern 30 has been described, the present invention is not limited thereto.

図１６は、実施の形態３におけるドーズ量定義位置の他の一例を説明するための図である。図１６では、図形パターン３３の一部に矩形枠４１を設定する。そして、図形パターン３３の残部を含む領域に固定サイズの複数のメッシュ領域４４を設定する。そして、矩形枠４１については、上述した分割線で分割し、矩形枠の４隅の角部、分割線と辺との交点、及び分割線同士の交点にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。かかる矩形枠４０と複数のメッシュ領域４４により、図形パターン３３のためのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成するようにしても好適である。図１６の例では、１つの図形パターン３３について矩形枠部分と固定サイズメッシュ部分に分けているが、複数の図形パターンで構成されるグループについて、矩形枠部分と固定サイズメッシュ部分に分けても良い。   FIG. 16 is a diagram for explaining another example of the dose amount defining position in the third embodiment. In FIG. 16, a rectangular frame 41 is set in part of the figure pattern 33. Then, a plurality of mesh areas 44 of fixed size are set in the area including the remaining part of the graphic pattern 33. Then, the rectangular frame 41 is divided by the above-described dividing line, and dose amount (or dose modulation amount (rate) at the four corners of the rectangular frame, the intersection of the dividing line and the side, and the intersection of the dividing lines ) Should be set. It is preferable that a dose amount (or dose modulation amount (rate)) map for the figure pattern 33 be created from the rectangular frame 40 and the plurality of mesh regions 44. In the example of FIG. 16, although one figure pattern 33 is divided into a rectangular frame part and a fixed size mesh part, a group constituted by a plurality of figure patterns may be divided into a rectangular frame part and a fixed size mesh part .

以上のように、実施の形態３によれば、例えば１次補間等の関数計算では得られないような局所的なドーズ量（或いはドーズ変調量（率））についても定義できる。固定サイズメッシュ領域だけでマップ作成する場合に比べて、データ量を低減できる。例えば１次補間等の関数計算で十分な領域については、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。   As described above, according to the third embodiment, it is possible to define, for example, a local dose (or dose modulation amount (rate)) which can not be obtained by function calculation such as linear interpolation. The amount of data can be reduced compared to the case of creating a map only with a fixed size mesh area. For example, for a region sufficient for function calculation such as linear interpolation, it is possible to eliminate the need to define dose information for each fine size.

そして、作成された描画データを描画装置１００が入力する。そして、描画装置１００内で、かかる矩形枠４０を用いて定義された複数の点の情報を例えば１次補間等によりかかる複数の点以外の所望の位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を計算する。計算手法は、実施の形態１と同様で良い。また、所望の位置が、固定サイズメッシュ領域４４に対応する場合には、かかる固定サイズメッシュ領域４４に定義されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いればよい。   Then, the drawing apparatus 100 inputs the created drawing data. Then, in the drawing apparatus 100, a dose amount (or a dose modulation amount (rate) at a desired position other than the plurality of points, for example, by linear interpolation or the like, of information of a plurality of points defined using the rectangular frame 40 )) To calculate. The calculation method may be the same as that of the first embodiment. When the desired position corresponds to the fixed size mesh area 44, the dose (or the dose modulation amount (rate)) defined in the fixed size mesh area 44 may be used.

マルチビーム描画では、画素毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を求める必要があるが、１０μｍ程度の影響範囲よりも小さい影響範囲の現象に起因する寸法変動を補正するためには、ドーズ量等を微細サイズ毎に定義する必要がある。これに対して、実施の形態１〜３を用いることで、マルチビーム描画装置が入力する描画データの段階では、微細サイズ毎、或いは画素毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する必要を無くすことができる。上述したように、矩形枠（或いは図形パターン）の４隅の角部、分割線と辺との交点、及び分割線同士の交点に定義されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を用いて、マルチビーム描画装置内にて、所望の画素領域のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を１次補間等により計算すればよい。このように、マルチビーム描画用の描画データとして、データ量を低減できる。   In multi-beam writing, it is necessary to determine the dose amount (or dose modulation amount (rate)) for each pixel, but in order to correct the dimensional variation due to the phenomenon of the influence range smaller than the influence range of about 10 μm, It is necessary to define the dose and the like for each fine size. On the other hand, by using the first to third embodiments, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is defined for each fine size or for each pixel at the stage of drawing data input by the multi-beam drawing apparatus. You can eliminate the need to As described above, the dose (or dose modulation amount (rate)) defined at the four corners of the rectangular frame (or figure pattern), the intersections of the dividing lines and the sides, and the intersections of the dividing lines are used. The dose amount (or dose modulation amount (rate)) of the desired pixel area may be calculated by linear interpolation or the like in the multi-beam drawing apparatus. Thus, the amount of data can be reduced as drawing data for multi-beam drawing.

実施の形態４．
上述した実施の形態１では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、分割位置等を設定する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態４では、直交座標系の座標軸方向に平行でない図形パターン等について説明する。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態１と同様である。 Fourth Embodiment
In the first embodiment described above, the division position and the like are set along the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system in the horizontal (x direction) and vertical (y direction) directions, but the present invention is not limited thereto. . In the fourth embodiment, a figure pattern etc. that is not parallel to the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system will be described. The contents other than the points particularly described below are the same as in the first embodiment.

図２０は、実施の形態４における図形パターンの一例を示す図である。図２０において、例えば、メモリに使用されるパターン等では、ｘ，ｙ方向の直交座標系の座標軸方向に対して回転した図形パターンが使用される場合がある。かかる図形パターンについて上述したｘ，ｙ方向の直交座標系の座標軸方向に沿った２次元ドーズ量マップでは、１次補間によるデータ圧縮を最適に行うことが困難な場合も予想される。そこで、実施の形態４では、図２０に示したように、回転角θで回転された図形パターンの描画データについて定義可能なフォーマットについて説明する。   FIG. 20 is a diagram showing an example of a figure pattern in the fourth embodiment. In FIG. 20, for example, a pattern or the like used in a memory may use a graphic pattern rotated with respect to the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system in the x and y directions. In the two-dimensional dose amount map along the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system in the x and y directions described above for such a figure pattern, it may be expected that it is difficult to optimally perform data compression by linear interpolation. Therefore, in the fourth embodiment, as shown in FIG. 20, a format that can be defined for drawing data of a figure pattern rotated by the rotation angle θ will be described.

図２１は、実施の形態４における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２１において、描画データ変換装置３００内には、さらに、回転角設定部１１が配置される。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、及び制御部１６に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。   FIG. 21 is a conceptual diagram showing the configuration of a drawing data conversion apparatus according to the fourth embodiment. In FIG. 21, a rotation angle setting unit 11 is further disposed in the drawing data conversion device 300. The functions such as the rotation angle setting unit 11, the division setting unit 10, the dose amount setting unit 12, the drawing data creation unit 14, and the control unit 16 may be configured by hardware such as an electric circuit or the like. The program may be configured by software such as a program. Alternatively, it may be configured by a combination of hardware and software. Information input to and output from the rotation angle setting unit 11, division setting unit 10, dose amount setting unit 12, drawing data creation unit 14, and control unit 16 and information being calculated are stored in the memory 18 each time.

ここで、図２１では、実施の形態４を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態１と同様である。   Here, FIG. 21 describes the configuration necessary to describe the fourth embodiment. The drawing data conversion apparatus 300 may generally have other necessary configurations. For example, as in the first embodiment, an input device such as a mouse or a keyboard, a monitor device, an external interface circuit, and the like may be connected.

図２２は、実施の形態４における回転角を持った図形パターンとドーズ変調量付きデータフォーマットとの一例を示す図である。図２２（ａ）の例では、矩形の図形パターン３０がｘ方向に対して反時計回りに角度θの回転した状態を示している。ここでは、図５（ｂ）と同様、図２２（ｃ）に示すように、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に対して、矩形の図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ’，ｙ’方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図２２（ｃ）の例では、図形パターン３０をｘ’方向にｍ回、ｙ’方向にｎ回分割する場合を示している。図２２（ｃ）の例では、図形パターン３０をｘ’方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）で分割すると共に、ｙ’方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）で分割する。図形パターン３０の左下の角部の座標を（ｘ０，ｙ０）とした場合、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が定義される各位置のｘ座標はｘ’方向に向かって順にｘ０、ｘ１、・・・、ｘｍ、ｘｍ＋１となり、各位置のｙ座標はｙ’方向に向かって順にｙ０、ｙ１、・・・、ｙｎ、ｙｎ＋１となる。よって、インデックスも同様に、ｘ’方向に向かって順に０、１、・・・ｍ、ｍ＋１となり、ｙ’方向に向かって順に０、１、・・・ｎ、ｎ＋１となる値の組み合わせで示される。 FIG. 22 is a diagram showing an example of a graphic pattern having a rotation angle and a data format with dose modulation amount according to the fourth embodiment. In the example of FIG. 22A, the rectangular graphic pattern 30 is rotated counterclockwise in the x direction. Here, as in FIG. 5 (b), as shown in FIG. 22 (c), a rectangular figure with respect to the x ′, y ′ coordinate system obtained by rotating the x, y coordinate system counterclockwise by the angle θ. In addition to the four corners of pattern 30, the intersections of the dividing lines dividing the figure pattern 30 in the x 'and y' directions and the sides of the figure pattern 30 and the intersections of the dividing lines are also used. The dose amount (or dose modulation amount (rate)) is defined. In the example of FIG. 22C, the figure pattern 30 is divided m times in the x 'direction and n times in the y' direction. Figure 22 In the example of (c), 'as well as split in the direction of the coordinate x 1 ~ coordinate x m (divided x-coordinate), y' graphic pattern 30 x coordinate direction y 1 ~ coordinate y n (divided y-coordinate) Divide by. Assuming that the coordinates of the lower left corner of the figure pattern 30 are (x 0 , y 0 ), the x coordinate of each position where the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is defined is sequentially toward the x ′ direction x 0, x 1, ···, x m, x m + 1 next, y 0 in the order y-coordinate at each position toward the y 'direction, y 1, ···, y n , the y n + 1. Therefore, the index is also 0, 1,... M, m + 1 sequentially in the x ′ direction, and 0, 1,... N, n + 1 sequentially in the y ′ direction. Be

図２２（ｂ）に示すデータフォーマットでは、回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θ、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、図形パターンの２バイトのｘ’方向への分割数ｎｄｉｖｘ、図形パターンの２バイトのｙ’方向への分割数ｎｄｉｖｙ、各３バイトの分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、各３バイトの分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、図形パターン３０の４つの角部の他に、さらに、図形パターン３０をｘ’，ｙ’方向に分割する各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）が定義される。そして、ドーズ量情報に引き続き、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ’、ｙ’方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）が定義される。なお、実際の座標値は、ｘ’，ｙ’座標系ではなく、角度θ回転させていないｘ，ｙ座標系における値が定義される。 In the data format shown in FIG. 22B, a 1-byte expression code (code rot ) indicating that it is a rotation angle, a 4-byte rotation angle θ of a figure pattern, and a dose amount (or dose modulation amount (rate)) 1 byte expression code (code DD ) to indicate that there are 2 bytes of figure pattern divided in x 'direction ndivx, 2 bytes of figure pattern divided in y' direction ndivy, 3 bytes divided each x In addition to the coordinates x 1 to x m , the division y coordinates y 1 to y n of 3 bytes each, and the four corner portions of the figure pattern 30, each division line further divides the figure pattern 30 in the x ′ and y ′ directions and a dose at each position of each intersection of each of the intersections and the dividing line between the sides of the figure 30 (or dose modulation amount (rate)) d 00, d 10, d 20, d m0, d (m + 1 ) 0 ... D 0 (n + 1) , d 1 (n + 1) , d 2 (n + 1) , d m (n + 1) , d (m + 1) (n + 1) are defined. Then, following the dose information, a 1-byte graphic type code (code FIG ) indicating the graphic type, coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern of the graphic pattern, and x 'and y' directions of each 2-byte The size (W, H) of is defined. Note that actual coordinate values are not defined in the x 'and y' coordinate systems, but values in the x, y coordinate systems that are not rotated by the angle θ are defined.

回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θ、図形種を示す１バイトの図形種コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）、図形パターンの各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ’、ｙ’方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）は、図形パターンの図形情報を示す。表現コード（ｃｏｄｅＤＤ）、分割数ｎｄｉｖｘ、分割数ｎｄｉｖｙ、分割ｘ座標ｘ１〜ｘｍ、分割ｙ座標ｙ１〜ｙｎ、４つの角部、各分割線と図形パターン３０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点の各位置でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ００、ｄ１０、ｄ２０、ｄｍ０、ｄ（ｍ＋１）０、・・・ｄ０（ｎ＋１）、ｄ１（ｎ＋１）、ｄ２（ｎ＋１）、ｄｍ（ｎ＋１）、ｄ（ｍ＋１）（ｎ＋１）は、ドーズ量情報を示す。ドーズ量情報は、図形パターンの図形情報の後に定義されても構わない。よって、図２２（ａ）に示すｘ’方向分割ｍ回及びｙ’方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つの矩形パターンについて、１＋４＋１＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋３×２＋２×２＝（２９＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ）バイトで定義できる。 1-byte expression code (code rot ) indicating rotation angle, 4-byte rotation angle θ of figure pattern, 1-byte figure type code (code FIG ) indicating figure type, 3-byte figure for figure pattern The coordinates (X, Y) of the pattern and the sizes (W, H) in the x 'and y' directions of each two bytes indicate graphic information of the graphic pattern. Expression code (code DD ), division number ndivx, division number ndivy, division x coordinate x 1 to x m , division y coordinate y 1 to y n , four corners, each division line and each side of figure pattern 30 Dosing amount (or dose modulation amount (rate)) d 00 , d 10 , d 20 , d m0 , d (m + 1) 0 ,..., D 0 at each position of each intersection point and each intersection point of dividing lines n + 1) , d1 (n + 1) , d2 (n + 1) , dm (n + 1) , d (m + 1) (n + 1) indicate dose information. The dose amount information may be defined after the graphic information of the graphic pattern. Therefore, in the data format of m times divided in the x 'direction and n times divided in the y' direction shown in FIG. 22A, 1 + 4 + 1 + 2 x 2 + 3 x (m + n) + 2 x (m + 2) (n + 2) + 1 + 3 x for one rectangular pattern. It can be defined by 2 + 2 × 2 = (29 + 2 mn + 7 m + 7 n) bytes.

かかるデータフォーマットの描画データの作成方法は、回転角設定工程と、分割設定工程と、ドーズ量設定工程と、描画データ作成工程との各工程を実施する。   The drawing data creation method of this data format carries out each of the rotation angle setting step, the division setting step, the dose amount setting step, and the drawing data creation step.

回転角設定工程として、回転角設定部１１は、記憶装置３４０からＣＡＤデータを読み出し、図形パターン毎に、図形パターンの回転角θを設定する。   In the rotation angle setting step, the rotation angle setting unit 11 reads CAD data from the storage device 340 and sets the rotation angle θ of the figure pattern for each figure pattern.

分割設定工程として、分割設定部１０は、記憶装置３４０からＣＡＤデータを読み出し、図形パターン毎に、設定された回転角θに応じてｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に変換し、ｘ’方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ’方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｘ’座標からｘ，ｙ座標系でのｘ座標に換算したｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｙ’座標からｘ，ｙ座標系でのｙ座標に換算したｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。 In the division setting step, the division setting unit 10 reads CAD data from the storage device 340, and rotates the x, y coordinate system counterclockwise by an angle θ according to the set rotation angle θ for each figure pattern. Convert to the ', y' coordinate system, and set the division number ndivx in the x 'direction and the division number ndivy in the y' direction. In addition, each divided coordinate is set. When the division number ndivx = m, the coordinate x 1 to the coordinate x m in the x direction converted from the x 'coordinate in the x', y 'coordinate system to the x coordinate in the x, y coordinate system (division x coordinate Set). Similarly, when the division number ndivy = n, the coordinates y 1 to the coordinates y n in the y direction converted from y 'coordinates in the x', y 'coordinate system to y coordinates in the x, y coordinate system Set the division y coordinate). When not dividing, the division number ndivx and the division number ndivy in the y direction may be set to zero. Alternatively, in the case of not dividing, the division setting process may be omitted.

ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、図形パターン毎に、当該図形パターンの４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。 As the dose setting process, the dose setting unit 12, for each figure pattern, the x-coordinate x 0, x 1, including the x coordinate x 0, x m + 1 of the four corners of the graphic pattern, · · ·, x m , X m + 1 and the x coordinates y 0 , y 1 ,..., Y n , y n +1 including the y coordinates y 0 , y n +1 of the four corners, at each position (or dose modulation amount) Set (Rate)). If division is not to be performed, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) at each position of the four corner portions may be set.

描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、図形パターン毎に、図形パターンの図形情報の一部となる図形パターンの回転角を示す回転情報と、図形パターンの残りの図形情報と、回転情報以外の図形情報が定義される前或いは後に、４つの角部を含む上述した各位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。なお、図２２（ｂ）の例では、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが、他の図形情報と分離されてドーズ量情報よりも前に定義されているが、これに限るものではなく、ドーズ量情報の前或いは後に、回転情報が他の図形情報と連続して定義されても良い。 In the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 generates, for each figure pattern, rotation information indicating a rotation angle of a figure pattern which is a part of the figure information of the figure pattern, remaining figure information of the figure pattern, and rotation information. Before or after other graphic information is defined, dose information indicating the set dose (or dose modulation amount (rate)) at each position described above including the four corners is continuously defined. Create pattern data (drawing data) according to the data format. In the example of FIG. 22 (b), the expression code (code rot ) indicating rotation information and the rotation angle θ are separated from other graphic information and defined before the dose information, but The rotation information may be defined continuously with other graphic information before or after the dose information.

そして、制御部１６は、作成された各図形パターンのパターンデータをまとめた描画データを記憶装置３４２に出力し、格納する。以上のようにして、電子ビーム２００を用いて試料１０１に図形パターンを描画する描画装置１００に入力されるための描画データが作成される。   Then, the control unit 16 outputs, to the storage device 342, drawing data in which the pattern data of the created figure patterns are collected and stored. As described above, drawing data to be input to the drawing apparatus 100 for drawing a figure pattern on the sample 101 using the electron beam 200 is created.

また、実施の形態４の照射量演算工程において、まず、照射量演算部１１３は、回転角θを用いて、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置（ｘ，ｙ）の座標を換算し、座標（ｘ’，ｙ’）を得る。その上で、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ’，ｙ’）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）の計算手法は、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。   In addition, in the irradiation amount calculating step of the fourth embodiment, first, the irradiation amount calculating unit 113 rotates the x, y coordinate system counterclockwise by the rotation angle θ and rotates the x ′, y ′ coordinates. The coordinates of the position (x, y) at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is set is converted into the system to obtain the coordinates (x ′, y ′). Then, using the dose information defined in the drawing data, calculate the dose (or dose modulation rate (ratio)) d (x ', y') at the desired position (x ', y') Do. The calculation method of dose amount (or dose modulation amount (rate)) d (x ', y') is similar to (x, y) in equation (1) after replacing (x ', y') with (x ', y'). For example, it may be determined by calculation of linear interpolation. Then, after calculation, the coordinates (x ', y') of d (x ', y') may be converted to (x, y).

なお、上述した例では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置が、回転角θで回転していないｘ，ｙ座標系に換算された位置（ｘ，ｙ）で定義しているが、これに限るものではない。ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系での座標（ｘ’，ｙ’）で定義しても良い。かかる場合には、照射量演算工程において、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、実施の形態１と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。   In the example described above, the position at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is set is defined as the position (x, y) converted to the x, y coordinate system that is not rotating at the rotation angle θ But it is not limited to this. It may be defined by coordinates (x ', y') in the x ', y' coordinate system obtained by rotating the x, y coordinate system counterclockwise by the angle?. In such a case, after (x, y) of equation (1) is replaced with (x ′, y ′) in the dose calculation step, it can be obtained by, for example, calculation of linear interpolation similar to the first embodiment. Just do it. Then, after calculation, the coordinates (x ', y') of d (x ', y') may be converted to (x, y).

以上のように、実施の形態４によれば、実施の形態１と同様の効果が得られる。さらに、図形パターンが回転していた場合でも、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。   As described above, according to the fourth embodiment, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Furthermore, even when the graphic pattern is rotating, it is possible to eliminate the need to define the dose information for each fine size.

実施の形態５．
上述した実施の形態２では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、矩形枠４０の分割位置等を設定する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態５では、直交座標系の座標軸方向に平行でない少なくとも１つの図形パターンを一群のグループとする場合について説明する。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態２と同様である。 Embodiment 5
In the second embodiment described above, the division position of the rectangular frame 40 is set along the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system in the horizontal (x direction) and vertical (y direction) directions. It is not limited. In the fifth embodiment, a case will be described where at least one figure pattern that is not parallel to the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system is made into a group. The contents other than the points particularly described below are the same as in the second embodiment.

図２３は、実施の形態５における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２３において、描画データ変換装置３００内に、さらに、回転角設定部１１が追加された点以外は、図１０と同様である。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。   FIG. 23 is a conceptual diagram showing the configuration of a drawing data conversion apparatus according to the fifth embodiment. 23 is the same as FIG. 10 except that a rotation angle setting unit 11 is further added to the drawing data conversion device 300. The functions such as rotation angle setting unit 11, division setting unit 10, dose amount setting unit 12, drawing data creation unit 14, control unit 16, group processing unit 19, and rectangular frame setting unit 20 are configured by hardware such as an electric circuit. It may be configured by software such as a program that executes these functions. Alternatively, it may be configured by a combination of hardware and software. Information input to and output from rotation angle setting unit 11, division setting unit 10, dose amount setting unit 12, drawing data creation unit 14, control unit 16, group processing unit 19, and rectangular frame setting unit 20 It is stored in the memory 18 each time.

ここで、図２３では、実施の形態５を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態２と同様である。   Here, FIG. 23 describes the configuration necessary to explain the fifth embodiment. The drawing data conversion apparatus 300 may generally have other necessary configurations. For example, as in the second embodiment, an input device such as a mouse or a keyboard, a monitor device, an external interface circuit, or the like may be connected.

図２４は、実施の形態５における図形パターン群とドーズ量定義位置とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。図２４（ａ）には、連続して繋がる図形パターン群の一例が示されている。図２４（ａ）の例は、図１１（ｃ）に示した連続して繋がる図形パターン群が角度θだけ回転した状態と同じ構成を示している。実施の形態５では、かかる連続して繋がる図形パターン群を１つのグループとして、グループ毎にドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。   FIG. 24 is a diagram for describing a graphic pattern group, a dose definition position, and an example of a data format with dose modulation amount in the fifth embodiment. FIG. 24A shows an example of a graphic pattern group connected continuously. The example of FIG. 24 (a) shows the same configuration as the state in which the continuously connected graphic pattern group shown in FIG. 11 (c) is rotated by an angle θ. In the fifth embodiment, a dose amount (or dose modulation amount (rate)) map is created for each group, with such continuously connected graphic pattern groups as one group.

グループ処理工程として、グループ処理部１９は、記憶装置３４０から複数の図形パターンの図形情報が定義されるＣＡＤデータを読み出し、ＣＡＤデータに定義された複数の図形パターンを連続して繋がる図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する。連続して繋がる図形パターン群が１つしか無い場合には、１つのグループが作成される。例えば、図２４（ａ）に示す連続して繋がる一群の図形パターン群を１つのグループとしてグループ化する。   As a group processing step, the group processing unit 19 reads CAD data in which graphic information of a plurality of graphic patterns is defined from the storage device 340, and a plurality of graphic patterns defined in the CAD data are continuously connected. Into at least one group. If there is only one graphic pattern group connected continuously, one group is created. For example, the group of graphic patterns connected in series as shown in FIG. 24A is grouped as one group.

矩形枠設定工程として、矩形枠設定部２０は、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定する。矩形枠は、例えば、図形パターン群の外接矩形を用いると好適である。但し、これに限るものではなく、図２４（ａ）に示すように、矩形枠４０は、外接矩形よりも若干大きい枠であっても良い。例えば、後述する分割線を所定のグリッドに合わせて設定する場合に、矩形枠４０自体をかかるグリッドに合わせて設定してもよい。実施の形態５では、実施の形態２と同様、図２４（ｂ）に示すように、かかる矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２として用いる。矩形枠設定部２０は、矩形枠４０（マップ）のｘ’方向サイズをＷｍ、ｙ’方向サイズをｈｍで定義する。また、矩形枠設定部２０は、矩形枠４０に取り囲まれた当該グループの図形パターン群のうち最初（例えば左端）の図形パターンの基準位置（例えば左下角）から矩形枠４０（マップ）の基準位置（例えば左下角）までのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する。 In the rectangular frame setting step, the rectangular frame setting unit 20 sets, for each group, a rectangular frame surrounding the graphic pattern group of the group. The rectangular frame is preferably, for example, a circumscribed rectangle of a graphic pattern group. However, the present invention is not limited to this, and as shown in FIG. 24A, the rectangular frame 40 may be a frame slightly larger than the circumscribed rectangle. For example, when dividing lines to be described later are set according to a predetermined grid, the rectangular frame 40 itself may be set according to the grid. In the fifth embodiment, as shown in FIG. 24B, the rectangular frame 40 is used as the dose amount (or dose modulation amount (rate)) map 32 as in the second embodiment. The rectangular frame setting unit 20 defines the size of the rectangular frame 40 (map) in the x 'direction as Wm and the size in the y' direction as hm. In addition, the rectangular frame setting unit 20 sets the reference position of the rectangular frame 40 (map) from the reference position (for example, lower left corner) of the first (for example, left end) graphic pattern group of the group surrounded by the rectangular frame 40 Define the offset amounts (x off , y off ) up to (eg, lower left corner).

回転角設定工程として、回転角設定部１１は、矩形枠４０が設定された後、矩形枠４０の回転角θを設定する。よって、図２４（ａ）に示す矩形枠４０付きの図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報と、回転角θとが定義されることになる。   In the rotation angle setting step, the rotation angle setting unit 11 sets the rotation angle θ of the rectangular frame 40 after the rectangular frame 40 is set. Therefore, the pattern data (drawing data) of the figure pattern group with the rectangular frame 40 shown in FIG. 24A includes the graphic information of the figure pattern group and the dose (or dose modulation amount (rate)) map of the rectangular frame 40 The dose information to be 32 and the rotation angle θ are defined.

分割設定工程として、分割設定部１０は、グループ毎に、設定された回転角θに応じてｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に変換し、矩形枠４０のｘ’方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ’方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｘ’座標からｘ，ｙ座標系でのｘ座標に換算したｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｙ’座標からｘ，ｙ座標系でのｙ座標に換算したｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。 In the division setting step, the division setting unit 10 converts the x, y coordinate system counterclockwise by the angle θ according to the set rotation angle θ for each group into x ′, y ′ coordinate systems, The division number ndivx in the x 'direction of the rectangular frame 40 and the division number ndivy in the y' direction are set. In addition, each divided coordinate is set. When the division number ndivx = m, the coordinate x 1 to the coordinate x m in the x direction converted from the x 'coordinate in the x', y 'coordinate system to the x coordinate in the x, y coordinate system (division x coordinate Set). Similarly, when the division number ndivy = n, the coordinates y 1 to the coordinates y n in the y direction converted from y 'coordinates in the x', y 'coordinate system to y coordinates in the x, y coordinate system Set the division y coordinate). When not dividing, the division number ndivx and the division number ndivy in the y direction may be set to zero. Alternatively, in the case of not dividing, the division setting process may be omitted. The way of division may be the same as the contents described in FIGS. At that time, the figure pattern may be read as the rectangular frame 40.

ドーズ量設定工程として、ドーズ量設定部１２は、グループ毎に、当該矩形枠４０の４つの角部のｘ座標ｘ０，ｘｍ＋１を含むｘ座標ｘ０，ｘ１，・・・，ｘｍ，ｘｍ＋１と、４つの角部のｙ座標ｙ０，ｙｎ＋１を含むｘ座標ｙ０，ｙ１，・・・，ｙｎ，ｙｎ＋１との組み合わせによる各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定する。分割しない場合には、４つの角部の各位置におけるドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を設定すればよい。 As the dose setting process, the dose setting unit 12, for each group, x-coordinate x 0, x 1, including the x coordinate x 0, x m + 1 of the four corners of the rectangular frame 40, · · ·, x m , X m + 1 and the x coordinates y 0 , y 1 ,..., Y n , y n +1 including the y coordinates y 0 , y n +1 of the four corners, at each position (or dose modulation amount) Set (Rate)). If division is not to be performed, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) at each position of the four corner portions may be set.

図２４（ｃ）の例では、図１２と同様、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図２４（ｃ）に示すドーズ変調量付きデータフォーマットは、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが追加された点以外は、図１２と同様である。 In the example of FIG. 24C, as in FIG. 12, in addition to the four corners of the rectangular frame 40, each dividing line dividing the rectangular frame 40 in the x and y directions and each side of the rectangular frame 40 The dose amount (or the dose modulation amount (rate)) at each intersection point of each of the and the division lines is defined. The data format with dose modulation amount shown in FIG. 24C is the same as that of FIG. 12 except that an expression code (code rot ) indicating rotation information and a rotation angle θ are added.

描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、グループ毎に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報の一部となる図形パターン群の回転角を示す回転情報と、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。なお、図２４（ｃ）の例では、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが、他の図形情報と分離されてドーズ量情報よりも前に定義されているが、これに限るものではなく、ドーズ量情報の前或いは後に、回転情報が他の図形情報と連続して定義されても良い。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。 In the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 forms, for each group, rotation information indicating a rotation angle of a graphic pattern group which is a part of graphic information of the graphic pattern group constituting the group, and the group Graphic information of a graphic pattern group, and dose information indicating a set dose (or dose modulation amount (rate)) at positions of four corner portions of the rectangular frame 40 before or after the graphic information is defined. Creates pattern data (drawing data) according to a data format that is continuously defined. In the example of FIG. 24C, the expression code (code rot ) indicating the rotation information and the rotation angle θ are separated from other graphic information and defined before the dose information, but The rotation information may be defined continuously with other graphic information before or after the dose information. The created pattern data (drawing data) is output to the storage device 342 and stored.

以上のように、実施の形態５では、１つの矩形パターン（グループ：連続して繋がる図形パターン群）について、回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θが図１２の構成について追加された。よって、図２４（ｃ）に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１＋４＋１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋１＋１＋２＋Ｎ・（３×２＋２×２）＝（３２＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１０Ｎ）バイトで定義できる。 As described above, in the fifth embodiment, a single-byte expression code (code rot ) indicating a rotation angle and a 4-byte figure pattern are shown for one rectangular pattern (group: graphic pattern group connected continuously). Is added for the configuration of FIG. Therefore, in the data format of m times in the x direction and n times in the y direction shown in FIG. It can be defined by x2) = (32 + 2 mn + 7 m + 7 n + 10 N) bytes.

また、実施の形態５の照射量演算工程において、まず、照射量演算部１１３は、回転角θを用いて、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置（ｘ，ｙ）の座標を換算し、座標（ｘ’，ｙ’）を得る。その上で、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ’，ｙ’）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）の計算手法は、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。   Further, in the irradiation amount calculating step of the fifth embodiment, first, the irradiation amount calculating unit 113 rotates the x, y coordinate system counterclockwise by the rotation angle θ and rotates the x ′, y ′ coordinates. The coordinates of the position (x, y) at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is set is converted into the system to obtain the coordinates (x ′, y ′). Then, using the dose information defined in the drawing data, calculate the dose (or dose modulation rate (ratio)) d (x ', y') at the desired position (x ', y') Do. The calculation method of dose amount (or dose modulation amount (rate)) d (x ', y') is similar to (x, y) in equation (1) after replacing (x ', y') with (x ', y'). For example, it may be determined by calculation of linear interpolation. Then, after calculation, the coordinates (x ', y') of d (x ', y') may be converted to (x, y).

なお、上述した例では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置が、回転角θで回転していないｘ，ｙ座標系に換算された位置（ｘ，ｙ）で定義しているが、これに限るものではない。ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系での座標（ｘ’，ｙ’）で定義しても良い。かかる場合には、照射量演算工程において、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、実施の形態２と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。   In the example described above, the position at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is set is defined as the position (x, y) converted to the x, y coordinate system that is not rotating at the rotation angle θ But it is not limited to this. It may be defined by coordinates (x ', y') in the x ', y' coordinate system obtained by rotating the x, y coordinate system counterclockwise by the angle?. In such a case, after (x, y) of equation (1) is replaced with (x ', y') in the dose calculation step, it can be obtained, for example, by calculation of linear interpolation similar to the second embodiment. Just do it. Then, after calculation, the coordinates (x ', y') of d (x ', y') may be converted to (x, y).

以上のように、実施の形態５によれば、実施の形態２と同様の効果が得られる。さらに、図形パターン群（グループ）が回転していた場合でも、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。   As described above, according to the fifth embodiment, the same effect as that of the second embodiment can be obtained. Furthermore, even when the figure pattern group (group) is rotating, it is possible to eliminate the need to define the dose amount information for each fine size.

実施の形態６．
上述した実施の形態２では、連続して繋がる図形パターン群を矩形枠４０で取り囲み、１つのグループとしてドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態６では、少なくとも１つの連続して繋がる図形パターン群（グループ）が含まれるセル単位で、内部の図形パターン群（グループ）毎のドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。同時に、セル単位で、内部の図形パターン群（グループ）毎に並ぶ、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報が定義されるデータフォーマットの描画データを作成する場合について説明する。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態２と同様である。 Sixth Embodiment
In the second embodiment described above, although the case where the graphic pattern group connected continuously is surrounded by the rectangular frame 40 and the dose amount (or dose modulation amount (rate)) map is created as one group, it is limited thereto It is not a thing. In the sixth embodiment, a dose amount (or dose modulation amount (rate)) map for each figure pattern group (group) inside is created in a cell unit including at least one continuously connected figure pattern group (group). Do. At the same time, a case will be described where drawing data of a data format in which dose amount information indicating a dose amount (or a dose modulation amount (rate)) is defined, arrayed for each internal graphic pattern group (group) in cell units. . The contents other than the points particularly described below are the same as in the second embodiment.

図２５は、実施の形態６における描画データ変換装置の構成を示す概念図である。図２５において、描画データ変換装置３００内に、さらに、セル設定部２１、及び回転角設定部１１が追加された点以外は、図１０と同様である。セル設定部２１、回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０といった機能は、電気回路等のハードウェアで構成されてもよいし、これらの機能を実行するプログラム等のソフトウェアで構成されてもよい。或いは、ハードウェアとソフトウェアの組み合わせにより構成されてもよい。セル設定部２１、回転角設定部１１、分割設定部１０、ドーズ量設定部１２、描画データ作成部１４、制御部１６、グループ処理部１９、及び矩形枠設定部２０に入出力される情報および演算中の情報はメモリ１８にその都度格納される。   FIG. 25 is a conceptual diagram showing a configuration of a drawing data conversion device in the sixth embodiment. 25 is the same as FIG. 10 except that a cell setting unit 21 and a rotation angle setting unit 11 are further added to the drawing data conversion apparatus 300 in FIG. The functions such as the cell setting unit 21, the rotation angle setting unit 11, the division setting unit 10, the dose amount setting unit 12, the drawing data creation unit 14, the control unit 16, the group processing unit 19, and the rectangular frame setting unit 20 Hardware, or software such as a program for executing these functions. Alternatively, it may be configured by a combination of hardware and software. Information input to and output from cell setting unit 21, rotation angle setting unit 11, division setting unit 10, dose amount setting unit 12, drawing data creation unit 14, control unit 16, group processing unit 19, and rectangular frame setting unit 20 The information being calculated is stored in the memory 18 each time.

ここで、図２５では、実施の形態６を説明する上で必要な構成を記載している。描画データ変換装置３００にとって、通常、必要なその他の構成を備えていても構わない。例えば、マウスやキーボード等の入力装置、モニタ装置、及び外部インターフェース回路等が接続されていても構わない点は、実施の形態２と同様である。   Here, FIG. 25 describes the configuration necessary to describe the sixth embodiment. The drawing data conversion apparatus 300 may generally have other necessary configurations. For example, as in the second embodiment, an input device such as a mouse or a keyboard, a monitor device, an external interface circuit, or the like may be connected.

図２６は、実施の形態６におけるセルと図形パターン群とドーズ量定義位置との一例とを説明するための図である。図２６には、連続して繋がる図形パターン群の一例が示されている。図２６の例は、図１１（ｃ）に示した連続して繋がる図形パターン群を１つのグループとして矩形枠４０で取り囲み、かかるグループを含むセル４２を示している。実施の形態６では、かかるグループ（及びそれを取り囲む矩形枠４０）を内部に含むセル毎に、セル４２内のグループのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２を作成する。   FIG. 26 is a diagram for explaining an example of the cell, the graphic pattern group, and the dose definition position in the sixth embodiment. FIG. 26 shows an example of graphic pattern groups connected continuously. The example of FIG. 26 shows the cells 42 including such groups by surrounding the continuously connected graphic pattern groups shown in FIG. 11C as one group with the rectangular frame 40. In the sixth embodiment, the dose amount (or dose modulation amount (rate)) map 32 of the group in the cell 42 is created for each cell including the group (and the rectangular frame 40 surrounding it) inside.

なお、図２６の例では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、矩形枠４０が設定されているので、回転情報は必ずしも必要ではない。よって、図２６の例について描画データを作成する場合には、図２５に示した回転角設定部１１を省略しても構わない。   In the example of FIG. 26, since the rectangular frame 40 is set along the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system in the horizontal (x direction) and vertical (y direction) directions, the rotation information is not necessarily required. Therefore, when drawing data is created for the example of FIG. 26, the rotation angle setting unit 11 shown in FIG. 25 may be omitted.

グループ処理工程と矩形枠設定工程との内容は実施の形態２と同様である。但し、矩形枠設定部２０は、オフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する必要はない。 The contents of the group processing step and the rectangular frame setting step are the same as in the second embodiment. However, the rectangular frame setting unit 20 does not have to define the offset amount (x off , y off ).

セル設定工程として、セル設定部２１は、矩形枠４０が設定された後、矩形枠４０に取り込まれる図形全体を含むセル４２（セル領域）を設定する。セル４２は矩形で領域構成されると好適である。また、セル領域の原点から矩形枠の原点までのオフセット量が定義される。具体的には、セル設定部２１は、セル４２に取り囲まれた当該矩形枠４０の基準位置（例えば左下角）からセル４２（マップ）の基準位置（例えば左下角）までのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）を定義する。よって、セル４２内の図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、矩形枠４０（セル内のグループ）毎に、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報とが定義されることになる。 In the cell setting process, after the rectangular frame 40 is set, the cell setting unit 21 sets a cell 42 (cell area) including the entire graphic captured in the rectangular frame 40. It is preferable that the cell 42 be configured as a rectangular area. In addition, an offset amount from the origin of the cell area to the origin of the rectangular frame is defined. Specifically, the cell setting unit 21 sets the offset amount (x off ) from the reference position (for example, lower left corner) of the rectangular frame 40 surrounded by the cells 42 to the reference position (for example, lower left corner) of the cell 42 (map). , Y off ). Therefore, the pattern data (drawing data) of the figure pattern group in the cell 42 includes the graphic information of the figure pattern group and the dose amount of the rectangular frame 40 (or the dose modulation amount (or dose modulation amount) for each rectangular frame 40 (group in the cell). Rate)) The dose information to be the map 32 is defined.

分割設定工程として、分割設定部１０は、セル４２毎に、かつ矩形枠４０毎に、矩形枠４０のｘ方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。以降の分割設定工程の内容は実施の形態２と同様である。また、ドーズ量設定工程の内容は実施の形態２と同様である。   In the division setting step, the division setting unit 10 sets the division number ndivx in the x direction of the rectangular frame 40 and the division number ndivy in the y direction for each cell 42 and for each rectangular frame 40. In addition, each divided coordinate is set. The contents of the division setting process thereafter are the same as in the second embodiment. Further, the contents of the dose amount setting process are the same as in the second embodiment.

図２７は、実施の形態６におけるドーズ変調量付きデータフォーマットの一例を示す図である。図２７に示すデータフォーマットでは、同一セル内であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＣｅｌｌｓｔａｒｔ）が最初に追加された点、各３バイトのオフセット量（ｘｏｆｆ，ｙｏｆｆ）が図形パターン群と矩形枠４０とのオフセット量ではなく、矩形枠４０とセル４２との間のオフセット量である点、同一セル内の最後であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＣｅｌｌｅｎｄ）が最後に追加された点、及び、同一セル内の図形パターン群を構成する図形パターン１〜Ｎについて各３バイトの図形パターンの座標（Ｘ，Ｙ）及び各２バイトのｘ、ｙ方向のサイズ（Ｗ，Ｈ）までを１つのグループとして、グループ毎に１バイトの表現コード（ｃｏｄｅＦＩＧ）が最初に追加された点、以外は図１２と同様である。 FIG. 27 is a diagram showing an example of a data format with dose modulation amount according to the sixth embodiment. In the data format shown in FIG. 27, a 1-byte expression code (code Cellstart ) indicating that it is in the same cell is added first, and the offset amount (x off , y off ) of each 3-byte is a figure pattern group The 1 byte expression code (code Cellend ) indicating that it is the last in the same cell is added to the point that it is the offset between the rectangular frame 40 and the cell 42, not the offset between the frame and the rectangular frame 40 The coordinates (X, Y) of each 3-byte graphic pattern and the size (W, H) of each 2-byte pattern in the x and y directions for the graphic points 1 to N constituting the graphic pattern group in the same cell 12) is the same as FIG. 12 except that up to 1) is a group, a 1-byte expression code (code FIG ) is first added to each group. .

描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、セル毎に、当該セルを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。   In the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 determines, for each cell, the position of the four corners of the rectangular frame 40 before or after the graphic information of the graphic pattern group constituting the cell and the graphic information are defined. Pattern data (drawing data) is created in accordance with a data format in which the set dose amount (or dose modulation amount (rate)) indicating the set dose amount is continuously defined. The created pattern data (drawing data) is output to the storage device 342 and stored.

よって、図２７に示すセル内に１つのグループが配置され、かつ当該グループが、ｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つのセルについて、１＋１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋Ｎ・（１＋３×２＋２×２）＋１＝（２５＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１１Ｎ）バイトで定義できる。   Therefore, in the case where one group is arranged in the cell shown in FIG. 27 and the group concerned is the data format of m times of division in x direction and n times of division in y direction, 1 + 1 + 2 × 2 + 3 × 2 + 2 × 2 + 3 × for one cell. It can be defined by (m + n) + 2 x (m + 2) (n + 2) + N (1 + 3 x 2 + 2 x 2) + 1 = (25 + 2 mn + 7 m + 7 n + 11 N) bytes.

以上のように、実施の形態６によれば、少なくとも１つの図形パターンで構成されるグループを内部に配置するセル毎にドーズ量情報を定義できる。その他、実施の形態２と同様の効果を発揮できる。   As described above, according to the sixth embodiment, the dose information can be defined for each cell in which a group formed of at least one figure pattern is disposed. Other effects similar to those of the second embodiment can be exhibited.

実施の形態７．
上述した実施の形態６では、水平（ｘ方向）、及び垂直（ｙ方向）方向の直交座標系の座標軸方向に沿って、セル４２を設定する場合について説明したが、これに限るものではない。実施の形態７では、直交座標系の座標軸方向に平行でないセルを設定する場合について説明する。描画データ変換装置３００の構成は図２５と同様である。以下、特に説明する点以外の内容は実施の形態６と同様である。 Embodiment 7
In the sixth embodiment described above, the cell 42 is set along the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system in the horizontal (x direction) and vertical (y direction) directions, but the present invention is not limited to this. In the seventh embodiment, a case will be described in which cells not parallel to the coordinate axis direction of the orthogonal coordinate system are set. The configuration of the drawing data conversion apparatus 300 is the same as that shown in FIG. The contents other than the points particularly described below are the same as in the sixth embodiment.

図２８は、実施の形態７におけるセルと図形パターン群とドーズ変調量付きデータフォーマットの一例とを説明するための図である。図２８（ａ）には、図２６に示したセル４０、セル４２内部の矩形枠４０、及び矩形枠４０で取り囲まれた図形パターン群が角度θだけ回転した状態と同じ構成を示している。実施の形態７では、セル４２単位で、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップを作成する。   FIG. 28 is a diagram for describing a cell, a graphic pattern group, and an example of a data format with dose modulation amount in the seventh embodiment. FIG. 28 (a) shows the same configuration as in the state where the graphic pattern group surrounded by the cell 40, the cell 42 shown in FIG. 26, and the rectangular frame 40 shown in FIG. 26 is rotated by an angle θ. In the seventh embodiment, a dose amount (or dose modulation amount (rate)) map is created for each cell 42.

グループ処理工程と矩形枠設定工程とが実施される。グループ処理工程と矩形枠設定工程との内容は実施の形態６（実施の形態２）と同様である。次に、セル設定工程が実施される。セル設定工程の内容は実施の形態６と同様である。セル４２を設定する場合に、セル内部の矩形枠４０の回転角と同様の回転角で回転させた矩形を用いてセルを設定する。   A group processing step and a rectangular frame setting step are performed. The contents of the group processing step and the rectangular frame setting step are the same as in the sixth embodiment (second embodiment). Next, a cell setting process is performed. The contents of the cell setting step are the same as in the sixth embodiment. When setting the cell 42, the cell is set using a rectangle rotated at the same rotation angle as the rotation angle of the rectangular frame 40 inside the cell.

回転角設定工程として、回転角設定部１１は、セル４２が設定された後、セル４２の回転角θを設定する。よって、図２８（ａ）に示すセル４２内の図形パターン群のパターンデータ（描画データ）は、図形パターン群の図形情報と、矩形枠４０をドーズ量（或いはドーズ変調量（率））マップ３２とするドーズ量情報と、セル４２の回転角θとが定義されることになる。   In the rotation angle setting step, the rotation angle setting unit 11 sets the rotation angle θ of the cell 42 after the cell 42 is set. Therefore, the pattern data (drawing data) of the figure pattern group in the cell 42 shown in FIG. 28A includes the figure information of the figure pattern group and the dose amount (or dose modulation amount (rate)) map 32 of the rectangular frame 40. The dose information to be taken into consideration and the rotation angle θ of the cell 42 are defined.

分割設定工程として、分割設定部１０は、セル４２単位で、セル内部のグループ毎に、設定された回転角θに応じてｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に変換し、矩形枠４０のｘ’方向の分割数ｎｄｉｖｘとｙ’方向の分割数ｎｄｉｖｙを設定する。また、各分割座標を設定する。分割数ｎｄｉｖｘ＝ｍである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｘ’座標からｘ，ｙ座標系でのｘ座標に換算したｘ方向の座標ｘ１〜座標ｘｍ（分割ｘ座標）を設定する。同様に、分割数ｎｄｉｖｙ＝ｎである場合には、ｘ’，ｙ’座標系でのｙ’座標からｘ，ｙ座標系でのｙ座標に換算したｙ方向の座標ｙ１〜座標ｙｎ（分割ｙ座標）を設定する。分割しない場合には、分割数ｎｄｉｖｘとｙ方向の分割数ｎｄｉｖｙをゼロに設定すればよい。或いは、分割しない場合には、分割設定工程を省略しても良い。分割の仕方は、図４〜図６で説明した内容と同様で構わない。その際、図形パターンを矩形枠４０と読み替えればよい。 In the division setting step, the division setting unit 10 rotates the x, y coordinate system counterclockwise by an angle θ according to the set rotation angle θ for each group in the cell in units of cells 42, x ′, Converting to the y ′ coordinate system, the division number ndivx in the x ′ direction of the rectangular frame 40 and the division number ndivy in the y ′ direction are set. In addition, each divided coordinate is set. When the division number ndivx = m, the coordinate x 1 to the coordinate x m in the x direction converted from the x 'coordinate in the x', y 'coordinate system to the x coordinate in the x, y coordinate system (division x coordinate Set). Similarly, when the division number ndivy = n, the coordinates y 1 to the coordinates y n in the y direction converted from y 'coordinates in the x', y 'coordinate system to y coordinates in the x, y coordinate system Set the division y coordinate). When not dividing, the division number ndivx and the division number ndivy in the y direction may be set to zero. Alternatively, in the case of not dividing, the division setting process may be omitted. The way of division may be the same as the contents described in FIGS. At that time, the figure pattern may be read as the rectangular frame 40.

ドーズ量設定工程の内容は、実施の形態６（実施の形態２）と同様である。   The contents of the dose amount setting step are the same as in the sixth embodiment (second embodiment).

図２８の例では、図２７と同様、矩形枠４０の４つの角部の他に、さらに、矩形枠４０をｘ，ｙ方向に分割する各分割線と矩形枠４０の各辺とのそれぞれの交点および分割線同士の各交点でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を定義する。図２８に示すドーズ変調量付きデータフォーマットは、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが追加された点以外は、図２７と同様である。 In the example of FIG. 28, similarly to FIG. 27, in addition to the four corners of the rectangular frame 40, each of the dividing lines for dividing the rectangular frame 40 in the x and y directions and each side of the rectangular frame 40 The dose amount (or dose modulation amount (rate)) at each intersection point of the intersection points and the division lines is defined. The data format with dose modulation amount shown in FIG. 28 is the same as FIG. 27 except that a representation code (code rot ) indicating rotation information and a rotation angle θ are added.

描画データ作成工程として、描画データ作成部１４は、セル単位で（セル毎に）、かつセル内部のグループ毎に、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報の一部となる図形パターン群の回転角を示す回転情報と、当該グループを構成する図形パターン群の図形情報と、図形情報が定義される前或いは後に、矩形枠４０の４つの角部の位置での設定されたドーズ量（或いはドーズ変調量（率））を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従ってパターンデータ（描画データ）を作成する。なお、図２８の例では、回転情報を示す表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）と回転角θが、他の図形情報と分離されてドーズ量情報よりも前に定義されているが、これに限るものではなく、ドーズ量情報の前或いは後に、回転情報が他の図形情報と連続して定義されても良い。作成されたパターンデータ（描画データ）は記憶装置３４２に出力され、格納される。 In the drawing data generation step, the drawing data generation unit 14 generates a graphic pattern group which is a part of graphic information of graphic patterns constituting the group in each cell (for each cell) and for each group in the cell. Before or after the rotation information indicating the rotation angle, the graphic information of the graphic pattern group constituting the group, and the graphic information is defined, the set dose amount at the position of the four corner portions of the rectangular frame 40 (or Pattern data (drawing data) is created according to a data format in which dose information indicating a dose modulation amount (rate) is continuously defined. In the example of FIG. 28, the expression code (code rot ) indicating the rotation information and the rotation angle θ are separated from other graphic information and defined before the dose information, but the invention is limited thereto. Instead, rotation information may be defined continuously with other graphic information before or after the dose information. The created pattern data (drawing data) is output to the storage device 342 and stored.

以上のように、実施の形態７では、１つの矩形パターン（グループ：連続して繋がる図形パターン群）について、回転角であることを示す１バイトの表現コード（ｃｏｄｅｒｏｔ）、図形パターンの４バイトの回転角θが図２７の構成について追加された。よって、図２８に示すｘ方向分割ｍ回及びｙ方向分割ｎ回のデータフォーマットでは、１つのセルについて、１＋１＋４＋１＋２×２＋３×２＋２×２＋３×（ｍ＋ｎ）＋２×（ｍ＋２）（ｎ＋２）＋Ｎ・（１＋３×２＋２×２）＋１＝（３０＋２ｍｎ＋７ｍ+７ｎ＋１１Ｎ）バイトで定義できる。 As described above, in the seventh embodiment, a single-byte expression code (code rot ) indicating a rotation angle and a 4-byte figure pattern are shown for one rectangular pattern (group: graphic pattern group connected continuously). Is added for the configuration of FIG. Therefore, in the data format of m times in the x direction and n times in the y direction shown in FIG. 28, 1 + 1 + 4 + 1 + 2 x 2 + 3 x 2 + 2 x 2 3 x It can be defined by x 2 + 2 x 2) + 1 = (30 + 2 mn + 7 m + 7 n + 11 N) bytes.

また、実施の形態７の照射量演算工程において、まず、照射量演算部１１３は、回転角θを用いて、ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系に、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置（ｘ，ｙ）の座標を換算し、座標（ｘ’，ｙ’）を得る。その上で、描画データに定義されたドーズ量情報を用いて、所望する位置（ｘ’，ｙ’）でのドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）を演算する。ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））ｄ（ｘ’，ｙ’）の計算手法は、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。   In addition, in the dose calculation process of the seventh embodiment, first, the dose calculation unit 113 rotates the x, y coordinate system counterclockwise by the angle θ using the rotation angle θ, x ′, y ′ coordinates. The coordinates of the position (x, y) at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is set is converted into the system to obtain the coordinates (x ′, y ′). Then, using the dose information defined in the drawing data, calculate the dose (or dose modulation rate (ratio)) d (x ', y') at the desired position (x ', y') Do. The calculation method of dose amount (or dose modulation amount (rate)) d (x ', y') is similar to (x, y) in equation (1) after replacing (x ', y') with (x ', y'). For example, it may be determined by calculation of linear interpolation. Then, after calculation, the coordinates (x ', y') of d (x ', y') may be converted to (x, y).

なお、上述した例では、ドーズ量（或いはドーズ変調量（率））が設定された位置が、回転角θで回転していないｘ，ｙ座標系に換算された位置（ｘ，ｙ）で定義しているが、これに限るものではない。ｘ，ｙ座標系を反時計回りに角度θ回転させたｘ’，ｙ’座標系での座標（ｘ’，ｙ’）で定義しても良い。かかる場合には、照射量演算工程において、式（１）の（ｘ，ｙ）を（ｘ’，ｙ’）と読み替えた上で、実施の形態２と同様の例えば１次補間の計算によって求めればよい。そして、演算後に、ｄ（ｘ’，ｙ’）の座標（ｘ’，ｙ’）を（ｘ，ｙ）に換算すればよい。   In the example described above, the position at which the dose amount (or dose modulation amount (rate)) is set is defined as the position (x, y) converted to the x, y coordinate system that is not rotating at the rotation angle θ But it is not limited to this. It may be defined by coordinates (x ', y') in the x ', y' coordinate system obtained by rotating the x, y coordinate system counterclockwise by the angle?. In such a case, after (x, y) of equation (1) is replaced with (x ', y') in the dose calculation step, it can be obtained, for example, by calculation of linear interpolation similar to the second embodiment. Just do it. Then, after calculation, the coordinates (x ', y') of d (x ', y') may be converted to (x, y).

以上のように、実施の形態７によれば、実施の形態６と同様の効果が得られる。さらに、図形パターン群（グループ）が回転していた場合でも、ドーズ量情報を微細なサイズ毎に定義する必要を無くすことができる。   As described above, according to the seventh embodiment, the same effect as that of the sixth embodiment can be obtained. Furthermore, even when the figure pattern group (group) is rotating, it is possible to eliminate the need to define the dose amount information for each fine size.

以上、具体例を参照しつつ実施の形態について説明した。しかし、本発明は、これらの具体例に限定されるものではない。上述した例では、マルチビーム方式の描画装置１００について説明したが、これに限るものではない。シングルビームを用いたラスタ（ガウシアンビーム）方式の描画装置用の描画データについても適用できる。   The embodiments have been described above with reference to specific examples. However, the present invention is not limited to these specific examples. In the example described above, the multi-beam drawing apparatus 100 has been described, but the present invention is not limited to this. The present invention is also applicable to drawing data for a raster (Gaussian beam) drawing apparatus using a single beam.

また、装置構成や制御手法等、本発明の説明に直接必要しない部分等については記載を省略したが、必要とされる装置構成や制御手法を適宜選択して用いることができる。例えば、描画装置１００を制御する制御部構成については、記載を省略したが、必要とされる制御部構成を適宜選択して用いることは言うまでもない。   In addition, although descriptions are omitted for parts that are not directly necessary for the description of the present invention, such as the device configuration and control method, the required device configuration and control method can be appropriately selected and used. For example, although the description of the control unit configuration for controlling the drawing apparatus 100 is omitted, it goes without saying that the necessary control unit configuration is appropriately selected and used.

その他、本発明の要素を具備し、当業者が適宜設計変更しうる全ての描画データの作成方法、描画装置及び方法は、本発明の範囲に包含される。   In addition, all drawing data creation methods, drawing apparatuses and methods that include the elements of the present invention and whose design can be appropriately changed by those skilled in the art are included in the scope of the present invention.

１０ 分割設定部
１１ 回転角設定部
１２ ドーズ量設定部
１３ ドーズ量設定部
１４ 描画データ作成部
１６ 制御部
１８ メモリ
１９ グループ処理部
２０ 矩形枠設定部
２１ セル設定部
２２ 固定サイズメッシュ設定部
３０，３３ 図形パターン
３２ マップ
４０，４１ 矩形枠
４２ セル
４４ メッシュ領域
１００ 描画装置
１０１，３４０ 試料
１０２ 電子鏡筒
１０３ 描画室
１０５ ＸＹステージ
１１０ 制御計算機
１１１ メモリ
１１２ ショットデータ生成部
１１３ 照射量演算部
１１４ 描画制御部
１２０ 制御回路
１４０，１４２，３４０，３４２ 記憶装置
１５０ 描画部
１６０ 制御部
２００ 電子ビーム
２０１ 電子銃
２０２ 照明レンズ
２０３ マルチビーム成形プレート
２０４ ブランキングプレート
２０５ 縮小レンズ
２０６ 制限アパーチャ部材
２０７ 対物レンズ
２０８ 偏向器
３００ 描画データ変換装置 10 division setting unit 11 rotation angle setting unit 12 dose amount setting unit 13 dose amount setting unit 14 drawing data creation unit 16 control unit 18 memory 19 group processing unit 20 rectangular frame setting unit 21 cell setting unit 22 fixed size mesh setting unit 30, 33 graphic pattern 32 map 40, 41 rectangular frame 42 cell 44 mesh area 100 drawing device 101, 340 sample 102 electronic lens barrel 103 drawing room 105 XY stage 110 control calculator 111 memory 112 shot data generation unit 113 irradiation amount calculation unit 114 drawing control Unit 120 Control circuit 140, 142, 340, 342 Storage device 150 Drawing unit 160 Control unit 200 Electron beam 201 Electron gun 202 Illumination lens 203 Multi beam forming plate 204 Blanking plate 205 Reduction lens 206 Limiting aperture member 207 Object lens 208 deflector 300 drawing data converter

Claims (9)

荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に前記図形パターンの各角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成することを特徴とする描画データの作成方法。 In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing a figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Data in which graphic information of a graphic pattern and dose information indicating the dose amount or the dose modulation ratio at each corner of the graphic pattern are continuously defined before or after the graphic information is defined A method of creating drawing data, comprising: creating the drawing data according to a format. 荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備え、
前記図形情報には、複数の図形パターンの図形情報が定義され、
前記複数の図形パターンの図形情報を入力し、前記複数の図形パターンを連続する図形パターン群毎に少なくとも１つのグループにグループ化する工程をさらに備え、
前記矩形枠を設定する際、グループ毎に、当該グループの図形パターン群を取り囲む矩形枠を設定し、
前記ドーズ量或いはドーズ変調率を設定する際、グループ毎に、当該矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定し、
グループ毎に、当該グループの図形パターン群の図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に当該矩形枠の４つの角部の位置でのドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成することを特徴とする描画データの作成方法。 In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing at least one figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Inputting graphic information of at least one graphic pattern, and setting a rectangular frame surrounding the at least one graphic pattern;
Setting a dose amount or a dose modulation rate at each of four corner portions of the rectangular frame;
The graphic information of the at least one graphic pattern, and the dosage information indicating the set dose or the dose modulation rate at the positions of the four corners of the rectangular frame before or after the graphic information is defined Creating the drawing data according to a continuously defined data format;
Equipped with
Graphic information of a plurality of graphic patterns is defined in the graphic information,
The method further comprises the step of inputting figure information of the plurality of figure patterns, and grouping the plurality of figure patterns into at least one group for each series of figure patterns,
When setting the rectangular frame, for each group, set a rectangular frame surrounding the graphic pattern group of the group,
When setting the dose amount or the dose modulation rate, for each group, set the dose amount or the dose modulation rate at the position of the four corners of the rectangular frame,
A data format in which, for each group, graphic information of a graphic pattern group of the group and dose information at positions of four corner portions of the rectangular frame are continuously defined before or after the graphic information is defined. portrayal method of creating data characterized in that to create the drawing data in accordance with. 荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備え、
前記ドーズ量情報は、さらに、前記矩形枠をｘ方向とｙ方向のうちの少なくとも１つの方向に分割する分割線と前記矩形枠のいずれかの辺との交点でのドーズ量或いはドーズ変調率を示すことを特徴とする描画データの作成方法。 In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing at least one figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Inputting graphic information of at least one graphic pattern, and setting a rectangular frame surrounding the at least one graphic pattern;
Setting a dose amount or a dose modulation rate at each of four corner portions of the rectangular frame;
The graphic information of the at least one graphic pattern, and the dosage information indicating the set dose or the dose modulation rate at the positions of the four corners of the rectangular frame before or after the graphic information is defined Creating the drawing data according to a continuously defined data format;
Equipped with
The dose information further includes a dose or a dose modulation rate at an intersection point of a dividing line dividing the rectangular frame in at least one of the x direction and the y direction and any side of the rectangular frame. how to create portrayal data characterized by exhibiting. 荷電粒子ビームを用いて試料に図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
図形パターンの図形情報を入力し、前記図形パターンの一部に矩形枠を設定する工程と、
前記図形パターンの残部を含む領域に固定サイズの複数のメッシュ領域を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記複数のメッシュ領域にそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第１のドーズ量情報と、前記固定サイズの複数のメッシュ領域に設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示す第２のドーズ量情報と、が連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備えたことを特徴とする描画データの作成方法。 In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing a figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Inputting graphic information of a graphic pattern, and setting a rectangular frame on a part of the graphic pattern;
Setting a plurality of mesh areas of fixed size in the area including the remaining part of the figure pattern;
Setting a dose amount or a dose modulation rate at each of four corner portions of the rectangular frame;
Setting a dose amount or a dose modulation rate to each of the plurality of mesh regions;
Graphic information of the graphic pattern, and first dose information indicating a set dose or dose modulation rate at positions of four corner portions of the rectangular frame before or after the graphic information is defined; Creating the drawing data according to a data format in which a dose amount or a second dose amount information indicating a dose modulation rate set in the plurality of mesh areas of fixed size is continuously defined;
A method of creating drawing data, comprising: 前記データフォーマットには、さらに、前記図形パターンの回転角を示す回転情報が定義されることを特徴とする請求項１記載の描画データの作成方法。   The method according to claim 1, wherein rotation information indicating a rotation angle of the figure pattern is further defined in the data format. 荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
を備え、
前記矩形枠が設定された後、前記矩形枠の回転角を設定する工程をさらに備えたことを特徴とする描画データの作成方法。 In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing at least one figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Inputting graphic information of at least one graphic pattern, and setting a rectangular frame surrounding the at least one graphic pattern;
Setting a dose amount or a dose modulation rate at each of four corner portions of the rectangular frame;
The graphic information of the at least one graphic pattern, and the dosage information indicating the set dose or the dose modulation rate at the positions of the four corners of the rectangular frame before or after the graphic information is defined Creating the drawing data according to a continuously defined data format;
Equipped with
After the rectangular frame is set, how to create drawing image data shall be the further comprising a step of setting the rotation angle of the rectangular frame. 前記データフォーマットには、さらに、前記矩形枠の回転角を示す回転情報が定義されることを特徴とする請求項６記載の描画データの作成方法。 The method according to claim 6 , wherein rotation information indicating a rotation angle of the rectangular frame is further defined in the data format. 荷電粒子ビームを用いて試料に少なくとも１つの図形パターンを描画する描画装置に入力されるための描画データの作成方法において、
少なくとも１つの図形パターンの図形情報を入力し、前記少なくとも１つの図形パターンを取り囲む矩形枠を設定する工程と、
前記矩形枠の４つの角部の位置でのそれぞれのドーズ量或いはドーズ変調率を設定する工程と、
前記少なくとも１つの図形パターンの図形情報と、前記図形情報が定義される前或いは後に、前記矩形枠の４つの角部の位置での設定されたドーズ量或いはドーズ変調率を示すドーズ量情報とが連続して定義されるデータフォーマットに従って前記描画データを作成する工程と、
前記矩形枠が設定された後、前記矩形枠に取り込まれる図形全体を含むセル領域を設定する工程と、
を備え、
前記データフォーマットには、さらに、前記セル領域の原点から前記矩形枠の原点までのオフセット量が定義されることを特徴とする描画データの作成方法。 In a method of creating drawing data to be input to a drawing apparatus for drawing at least one figure pattern on a sample using a charged particle beam,
Inputting graphic information of at least one graphic pattern, and setting a rectangular frame surrounding the at least one graphic pattern;
Setting a dose amount or a dose modulation rate at each of four corner portions of the rectangular frame;
The graphic information of the at least one graphic pattern, and the dosage information indicating the set dose or the dose modulation rate at the positions of the four corners of the rectangular frame before or after the graphic information is defined Creating the drawing data according to a continuously defined data format;
After the rectangular frame is set, setting a cell area including the entire figure captured in the rectangular frame ;
Equipped with
Wherein the data format is further a method for creating portrayal data you characterized in that the offset amount from the origin of the cell region to the origin of the rectangular frame is defined. 前記セル領域が設定された後、前記セル領域の回転角を設定する工程をさらに備え、
前記データフォーマットには、さらに、前記セル領域の回転角を示す回転情報が定義されることを特徴とする請求項８記載の描画データの作成方法。
After the cell area is set, the method further includes the step of setting the rotation angle of the cell area,
9. The method according to claim 8 , wherein rotation information indicating a rotation angle of the cell area is further defined in the data format.
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