JP6544687B2 - 液滴検出装置及び液滴検出方法 - Google Patents
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を用いて距離(l)を算出し、距離(l)を基に位置を算出するとしてもよい。この場合には、反射信号の伝搬経路の一部の長さが液滴を循環する経路の長さ(d×(1+π/2))に設定された演算式を用いて位置を算出することで、距離(l)から求まる液滴位置の検出結果の精度が向上する。
を解くことにより、時間差ΔTを基に距離lを算出する。
によって表され、時間差ΔT2は、下記演算式(3);、
によって表される。
L=l1+l2+d …(4)
と、演算式(2)及び演算式(3)とを解くことにより、液滴Dpの直径dと距離l1,l2を求めることができる。そして、これらの直径d及び距離l1,l2を基に液滴Dpの量及び位置を算出することができる。また、データ処理部13Aは、液滴Dpの位置が既知の場合には、液滴Dpの量及び特性を同時に算出することができるし、液滴Dpの量が既知の場合には、液滴Dpの位置及び特性を同時に算出することができる。
Claims (6)
- 圧電基板上に弾性表面波を励振させるための励振電極が設けられ、前記圧電基板上で液滴を搬送する弾性波デバイスと、
前記励振電極に所定周波数の交流電気信号を設定された時間幅で印加する電源回路部と、
前記励振電極における前記交流電気信号の反射信号を測定する検出回路部と、
前記検出回路部によって測定された前記反射信号と前記交流電気信号との時間差を検出し、前記時間差を基に前記圧電基板上の液滴の位置を算出する演算回路部とを備え、
前記演算回路部は、前記反射信号の伝搬経路を、前記液滴と前記圧電基板の界面の反対側の表面と、前記液滴と前記圧電基板の界面とを経由して前記液滴を循環する経路に設定した演算式を用いることにより、前記時間差から前記位置を算出する、
液滴検出装置。 - 前記電源回路部は、前記交流電気信号を発生させる交流信号生成回路と、前記時間幅のパルス信号を繰り返し発生させるパルス信号生成回路と、前記パルス信号に前記交流電気信号を重畳させる合成回路とを有する、
請求項1記載の液滴検出装置。 - 前記パルス信号生成回路は、前記パルス信号の時間幅を可変に設定可能に構成されている、
請求項2記載の液滴検出装置。 - 前記演算回路部は、前記弾性表面波の前記圧電基板上の伝搬速度(VSAW)、前記励振電極の前記液滴の搬送方向の幅(i)、前記励振電極の前記液滴側の先端と前記液滴の前記励振電極側の先端との距離(l)、前記液滴の直径(d)、及び前記液滴中の縦波の伝搬速度(Vl)と、前記時間差(Δt)との間の下記の演算式(1);
を用いて前記距離(l)を算出し、前記距離(l)を基に前記位置を算出する、
請求項1〜3のいずれか1項に記載の液滴検出装置。 - 前記弾性波デバイスは、前記圧電基板の表面に発生した前記弾性表面波が伝搬する伝搬面に液相を介して配置された搬送路プレートをさらに含む、
請求項1〜4のいずれか1項に記載の液滴検出装置。 - 圧電基板上に弾性表面波を励振させるための励振電極が設けられ、前記圧電基板上で液滴を搬送する弾性波デバイスを用いた液滴位置を検出する方法であって、
前記励振電極に所定周波数の交流電気信号を設定された時間幅で印加し、
前記励振電極における前記交流電気信号の反射信号を測定し、
測定した前記反射信号と前記交流電気信号との時間差を検出し、前記反射信号の伝搬経路を、前記液滴と前記圧電基板の界面の反対側の表面と、前記液滴と前記圧電基板の界面とを経由して前記液滴を循環する経路に設定した演算式を用いることにより、前記時間差から前記圧電基板上の液滴の位置を算出する、
液滴検出方法。
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