JP6537405B2 - 真空冷却装置 - Google Patents
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Description
2 処理槽
3 チラー
4 チラー運転制御装置
5 冷水槽
6 冷水循環配管
7 被冷却物
8 チラー入口温度計測装置
9 真空配管
10 熱交換器
11 水槽温度計測装置
12 外気温計測装置
Claims (3)
- 被冷却物を収容する処理槽と、処理槽内の気体を排出する真空発生装置を持ち、処理槽内部を減圧することで、処理槽内に収容した被冷却物の冷却を行う真空冷却装置であって、処理槽と真空発生装置を結ぶ真空経路の途中に熱交換器を設け、熱交換器にはチラーで冷却した冷水を供給するようにしている真空冷却装置において、
熱交換器からチラーへ戻す冷却用水の温度を検出するチラー入口温度計測装置、チラー設置部における外気温を検出する外気温計測装置、チラー入口温度計測装置と外気温計測装置で計測した値に基づいてチラーの運転を制御するチラー運転制御装置を設けておき、
チラー運転制御装置は、チラー入口温度計測装置で計測したチラー入口温度の計測値が、「デマンド値変更中のチラー入口低下温度+デマンド移行完了後の必要チラー入口温度+調整値」によって算出したデマンド運転開始チラー入口温度より低くなった場合、チラーの出力をデマンド値に制限するチラーデマンド制御を行うものであることを特徴とする真空冷却装置。 - 請求項1に記載の真空冷却装置において、熱交換器からチラーへ戻す冷却用水の温度を検出するチラー入口温度計測装置に替えて、チラーへ戻す冷却用水をためておく冷水槽での冷却用水の温度を検出する水槽温度計測装置を設け、チラー運転制御装置には水槽温度計測装置で計測した水槽温度を供給するようにしておき、
チラー運転制御装置は、水槽温度計測装置で計測した水槽温度の計測値が、「デマンド値変更中の水槽低下温度+デマンド移行完了後の必要水槽温度+調整値」によって算出したデマンド運転開始水槽温度より低くなった場合、チラーの出力をデマンド値に制限するチラーデマンド制御を行うものであることを特徴とする真空冷却装置。 - 請求項1又は2に記載の真空冷却装置において、デマンド値変更中のチラー入口低下温度又はデマンド値変更中の水槽低下温度は、外気温に対するチラー能力のテーブルを用意しておき、循環水量と所定処理量に対するチラー能力により算出するものであることを特徴とする真空冷却装置。
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