JP6529843B2 - インプリント用のテンプレート製造装置及びテンプレート製造方法 - Google Patents
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Description
図1に示すように、実施の一形態に係るテンプレート製造装置1は、テンプレートWに液状の撥液材を塗布する塗布部10と、テンプレートWを搬送する搬送部20と、塗布後のテンプレートWを洗浄する洗浄部30と、各部を制御する制御部40とを備えている。
被塗布物となるテンプレートWについて図2を参照して説明する。図2に示すように、テンプレートWは、主面51aを有する基体51と、基体51の主面51a上に設けられた凸部52とを具備している。
図3に示すように、塗布部10は、供給ヘッド11に加え、テンプレートWを処理するための処理室12と、未処理のテンプレートWが置かれるステージ13と、ステージ13上のテンプレートWを撮像する撮像部14と、供給ヘッド11をY軸方向に移動させるY軸移動機構15と、Y軸移動機構15を供給ヘッド11と共にZ軸方向に移動させる一対のZ軸移動機構16A及び16Bと、一対のZ軸移動機構16A及び16BをX軸方向に移動させる一対のX軸移動機構17A及び17Bとを備えている。
図4に示すように、塗布部10のコーティング工程において、供給ヘッド11は、所定の高さを維持しつつ、各移動機構15、17A及び17Bにより、テンプレートWの主面51a上の塗布経路A1(図4中の太い矢印線参照)に沿って移動しつつ、ステージ13上のテンプレートWの主面51aに液状の撥液材を連続して供給する。
液状の撥液材11aが塗布された塗布済のテンプレートWは搬送部20により塗布部10から洗浄部30に搬送される(図1参照)。洗浄部30は、溶剤による洗浄を行う場合、まずテンプレートWを回転させず、図7に示すように、第1の供給ヘッド31をテンプレートWの主面51aの中央、すなわち凸部52の端面中央に対向させ、第1の供給ヘッド31からテンプレートWの凸部52の端面中央に溶剤を供給する。このときの流量は例えば1L/min以上である。その供給開始から所定時間(例えば15秒)後、洗浄部30は、回転機構33によりテンプレートWの中心を回転中心として水平面内でのテンプレートWの回転を開始させる。このとき、第1の供給ヘッド31はテンプレートWの主面51aに溶剤を供給し続けている。これにより、テンプレートWの表面が清浄にされる。
図8に示すように、インプリント工程において、前述の撥液層53が形成されたテンプレートWは、凸部52上の凹凸パターン52aが被処理物(例えば半導体基板)61上の液状の被転写物(例えば光硬化性樹脂)62に向けられ、被処理物61上の液状の被転写物62に押し付けられる。このとき、液状の被転写物62は凸部52の端面と被処理物61との間からはみ出すが、撥液層53が凸部52の側面に形成されているため、はみ出した液状の被転写物62は撥液層53により弾かれる。すなわち、撥液層53は液状の被転写物62を弾く機能を有するため、液状の被転写物62が凸部52の側面に付着することが抑制され、凸部52の側面に沿って盛り上がることが抑えられる。
図9は、洗浄用溶剤の種類に依存する撥液層の撥液性の判定結果である。
前述の実施形態においては、一例として、撥液層53を凸部52の側面の全面及びその側面につながる主面51aの一部に形成しているが、これに限るものではない。例えば、凸部52上の凹凸パターン52aを避けて少なくとも凸部52の側面に撥液層53を形成すれば良く、凸部52の側面に加え、凸部52の端面の一部あるいは主面51aにおける凸部52以外の全面に撥液層53を形成することも可能である。さらに、凸部52の側面に加え、凸部52の端面の一部及び主面51aにおける凸部52以外の全面に撥液層53を形成することも可能である。また、凸部52の側面における被転写物62と接触する部分に撥液層53を形成すれば良く、凸部52の側面の一部だけに撥液層53を形成することも可能である。
11 供給ヘッド
13 ステージ
15 Y軸移動機構
17A X軸移動機構
17B X軸移動機構
30 洗浄部
40 制御部
51 基体
51a 主面
52 凸部
52a 凹凸パターン
62 被転写物
W テンプレート
Claims (10)
- 主面を有する基体と、前記主面上に設けられた凸部とを有し、この凸部における端面に、液状の被転写物に押し付けられる凹凸パターンが形成されたテンプレートを支持するステージと、
前記ステージ上の前記テンプレートに前記液状の被転写物を弾く液状の撥液材を供給する供給ヘッドと、
前記ステージ及び前記供給ヘッドを前記ステージに沿う方向に相対移動させる移動機構と、
前記供給ヘッドが前記凹凸パターンを避けて少なくとも前記凸部の側面に前記液状の撥液材を塗布するように前記供給ヘッド及び前記移動機構を制御する制御部と、
前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに液体を供給する洗浄部と、
を備え、
前記液状の撥液材は、前記テンプレートの表面と反応する撥液成分と、前記テンプレートの表面と反応する非撥液成分と、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含み、
前記液体は、前記非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤であることを特徴とするインプリント用のテンプレート製造装置。 - 前記制御部は、前記供給ヘッドが前記凸部の周囲の前記主面上に前記液状の撥液材を供給し、前記凸部の側面に前記液状の撥液材を塗布するように前記供給ヘッド及び前記移動機構を制御することを特徴とする請求項1に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。
- 前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤は、フッ素系溶剤であり、
前記フッ素系の揮発性溶剤は、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤よりも揮発性が高い溶剤であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。 - 前記フッ素系の揮発性溶剤は、フッ素系不活性液体であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。
- 前記洗浄部は、
前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに前記液体を供給する供給ヘッドと、
前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートを水平面内で回転させる回転機構と、
を具備し、
前記制御部は、前記供給ヘッドが前記液体を供給し始めてから、前記回転機構が前記テンプレートを回転させるように前記供給ヘッド及び前記回転機構を制御することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載のインプリント用のテンプレート製造装置。 - 主面を有する基体と、前記主面上に設けられた凸部とを有し、この凸部における端面に、液状の被転写物に押し付けられる凹凸パターンが形成されたテンプレートを支持する工程と、
支持された前記テンプレートの前記凹凸パターンを避けて少なくとも前記凸部の側面に、前記液状の被転写物を弾く液状の撥液材を塗布する工程と、
前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに液体を供給する工程と、
を有し、
前記液状の撥液材は、前記テンプレートの表面と反応する撥液成分と、前記テンプレートの表面と反応する非撥液成分と、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤とを含み、
前記液体は、前記非撥液成分を溶かすフッ素系の揮発性溶剤であることを特徴とするインプリント用のテンプレート製造方法。 - 前記液状の撥液材を塗布する工程では、前記凸部の周囲の前記主面上に前記液状の撥液材を供給し、前記凸部の側面に前記液状の撥液材を塗布することを特徴とする請求項6に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。
- 前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤は、フッ素系溶剤であり、
前記フッ素系の揮発性溶剤は、前記撥液成分を溶かす揮発性溶剤よりも揮発性が高い溶剤であることを特徴とする請求項6又は請求項7に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。 - 前記フッ素系の揮発性溶剤は、フッ素系不活性液体であることを特徴とする請求項6から請求項8のいずれか一項に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。
- 前記液体を供給する工程では、前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートに前記液体を供給し始めてから、前記液状の撥液材が塗布された前記テンプレートを水平面内で回転させることを特徴とする請求項6から請求項9のいずれか一項に記載のインプリント用のテンプレート製造方法。
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