JP6529223B2 - Photoelectric parts - Google Patents

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Description

本発明は発光部品に関し、特に放熱マットを有する発光部品に関する。   The present invention relates to a light emitting component, and more particularly to a light emitting component having a heat dissipating mat.

発光ダイオード(Light Emitting Diode、LED)の発光原理は、電子がn型半導体とp型半導体との間で移動するときのエネルギー差により、光の形でエネルギーを放出することにある。発光ダイオードの発光原理と白熱電球の発光原理とが相違していることにより、発光ダイオードを冷光源ともいう。発光ダイオードは、耐久性がよく、寿命が長く、小型軽量で、電気消耗が少ないという利点を有しているので、現在の照明分野では発光ダイオードに大きい期待を寄せ、それを次世代の照明装置とみなしている。発光ダイオードは従来の光源を代わりに使用する傾向にあり、様々な分野に応用されている。例えば、交通信号、バックライト、街路燈、医療設備などに応用されている。   The light emission principle of a light emitting diode (LED) is to emit energy in the form of light due to an energy difference when electrons move between an n-type semiconductor and a p-type semiconductor. The light emitting diode is also referred to as a cold light source because the light emitting principle of the light emitting diode is different from the light emitting principle of the incandescent lamp. Light-emitting diodes have the advantages of high durability, long life, small size and light weight, and low electrical consumption, so light-emitting diodes are highly expected in the current lighting field, which is a next-generation lighting device. I consider it as. Light emitting diodes tend to use conventional light sources instead and are applied in various fields. For example, it is applied to traffic lights, back lights, street lamps, medical equipment and the like.

図1は、従来の発光部品の構造を示す図である。図1に示すとおり、従来の発光部品100は、透明基板10、この透明基板10上に位置する半導体積層12と、この半導体積層12上に位置する少なくとも1つの電極14とを含む。該半導体積層12は少なくとも、上から下へに向かって設けられた第一導電型半導体層120と、活性層122と、第二導電型半導体層124となどを含む。   FIG. 1 is a view showing the structure of a conventional light emitting component. As shown in FIG. 1, the conventional light emitting component 100 includes a transparent substrate 10, a semiconductor laminate 12 located on the transparent substrate 10, and at least one electrode 14 located on the semiconductor laminate 12. The semiconductor stack 12 includes at least a first conductivity type semiconductor layer 120 provided from top to bottom, an active layer 122, a second conductivity type semiconductor layer 124, and the like.

前記発光部品100とほかの部品とを組み合わせることにより、発光装置(Light Emitting apparatus)を更に形成することができる。図2は、従来の発光装置の構造を示す図である。図2に示すとおり、発光装置200は、サブ載置板(sab mount)20と、少なくとも1つの半田(solder)22と、電気接続構造24とを含む。該サブ載置板20は、少なくとも1つの電子回路202を具備する。前記半田22は、前記サブ載置板20上に位置する。この半田22で発光部品100をサブ載置板20上に接着固定させることにより、発光部品100の基板10とサブ載置板20上の電子回路202とを電気接続させる。前記電気接続構造24は、発光部品100の電極14とサブ載置板20上の電子回路202とを電気接続させる。前記サブ載置板20がリードフレーム(lead frame)又は大きいサイズを有するマウンティング基板(mounting substrate)であることにより、発光装置200の電子回路を容易に配置し、その放熱効果を向上させることができる。   A light emitting device (Light Emitting Device) can be further formed by combining the light emitting component 100 with other components. FIG. 2 is a view showing the structure of a conventional light emitting device. As shown in FIG. 2, the light emitting device 200 includes a sub mount 20, at least one solder 22, and an electrical connection structure 24. The sub mounting plate 20 comprises at least one electronic circuit 202. The solder 22 is located on the sub mounting plate 20. By bonding and fixing the light emitting component 100 on the sub mounting plate 20 with the solder 22, the substrate 10 of the light emitting component 100 and the electronic circuit 202 on the sub mounting plate 20 are electrically connected. The electrical connection structure 24 electrically connects the electrode 14 of the light emitting component 100 and the electronic circuit 202 on the sub mounting plate 20. When the sub mounting plate 20 is a lead frame or a mounting substrate having a large size, the electronic circuit of the light emitting device 200 can be easily disposed, and the heat radiation effect can be improved. .

上記の問題を解決するため、本発明は以下のような光電部品を提供する。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides the following photoelectric components.

本発明の光電部品は、第一側と第一側の反対側にある第二側と第一辺縁とを具備する基板と、該第一側に形成される発光ダイオードユニットと、該発光ダイオードユニットに電気接続される第一電極と、該発光ダイオードユニットに電気接続される第二電極と、第一電極と第二電極との間に形成され、かつ発光ダイオードユニットと電気絶縁状態になる放熱マットと、を含む。   The photoelectric component of the present invention comprises a substrate having a first side and a second side and a first side edge opposite to the first side, a light emitting diode unit formed on the first side, and the light emitting diode A heat sink formed between the first electrode electrically connected to the unit, the second electrode electrically connected to the light emitting diode unit, and the first electrode and the second electrode, and electrically insulated from the light emitting diode unit And mat.

従来の発光部品の側面構造を示す図である。It is a figure which shows the side structure of the conventional light emitting component. 従来の発光装置の構造を示す図である。It is a figure which shows the structure of the conventional light-emitting device. 本発明の第一実施例に係る光電部品を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a photoelectric component according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施例に係る光電部品を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing a photoelectric component according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第一実施例に係る光電部品を示す側面図である。FIG. 1 is a side view showing a photoelectric component according to a first embodiment of the present invention. 本発明のほかの実施例に係る光電部品ユニットの構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component unit which concerns on the other Example of this invention. 本発明のほかの実施例に係る光電部品ユニットの構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component unit which concerns on the other Example of this invention. 本発明のほかの実施例に係る光電部品ユニットの構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component unit which concerns on the other Example of this invention. 本発明のほかの実施例に係る光電部品ユニットの構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component unit which concerns on the other Example of this invention. 本発明のほかの実施例に係る光電部品ユニットの構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component unit which concerns on the other Example of this invention. 本発明の第二実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 2nd Example of this invention. 本発明の第二実施例に係る光電部品の構造を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 2nd Example of this invention. 本発明の第二実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 2nd Example of this invention. 本発明の第二実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 2nd Example of this invention. 本発明の第二実施例に係る光電部品の構造を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 2nd Example of this invention. 本発明の第二実施例に係る光電部品の構造を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 2nd Example of this invention. 本発明の第三実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 3rd Example of this invention. 本発明の第三実施例に係る光電部品の構造を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 3rd Example of this invention. 本発明の第三実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 3rd Example of this invention. 本発明の第三実施例に係る光電部品の構造を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 3rd Example of this invention. 本発明の第三実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 3rd Example of this invention. 本発明の第三実施例に係る光電部品の構造を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 3rd Example of this invention. 本発明の第四実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 4th Example of this invention. 本発明の第四実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 4th Example of this invention. 本発明の第四実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 4th Example of this invention. 本発明の第四実施例に係る光電部品の構造を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the photoelectric component which concerns on 4th Example of this invention. 本発明の発光モジュールを示す斜視図である。It is a perspective view which shows the light emitting module of this invention. 本発明の発光モジュールを示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the light emitting module of this invention. 本発明の発光モジュールを示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the light emitting module of this invention. 本発明の光線生成装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the light ray generation apparatus of this invention. 本発明の光線生成装置を示す底面図である。It is a bottom view which shows the light ray generation apparatus of this invention. 本発明の電球を示す分解斜視図である。It is an exploded perspective view showing a light bulb of the present invention.

本発明は発光部品及びその製造方法を公開する。本発明をより詳細に説明するため、以下の実施例と図3A〜図10とを参照しながら説明する。   The present invention discloses a light emitting component and a method of manufacturing the same. In order to explain the invention in more detail, it will be described with reference to the following examples and FIGS. 3A-10.

図3Aと図3Bはそれぞれ、本発明の第一実施例に係る光電部品300を示す平面図と側面図である。光電部品300は一個の基板30を具備する。基板30は、単一な材料で構成された基板に限定されるものではなく、異なる複数の材料で構成された複合式基板であってよい。例えば、基板30は、接着させた第一基板と第二基板とを含むことができる(図示せず)。   FIGS. 3A and 3B are a plan view and a side view, respectively, showing a photoelectric component 300 according to a first embodiment of the present invention. The optoelectronic component 300 comprises one substrate 30. The substrate 30 is not limited to a substrate made of a single material, but may be a composite substrate made of a plurality of different materials. For example, substrate 30 can include a bonded first substrate and a second substrate (not shown).

そして、その基板30上に、延伸状に配置される複数個のマトリックス光電部品ユニットUと、一個の第一接触光電部品ユニットU1と、一個の第二接触光電部品ユニットU2とを形成する。マトリックス光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2の製造方法は、例えば次のとおりである。   Then, on the substrate 30, a plurality of matrix photoelectric component units U arranged in a stretched state, one first contact photoelectric component unit U1, and one second contact photoelectric component unit U2 are formed. The manufacturing method of the matrix photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1, and the second contact photoelectric component unit U2 is, for example, as follows.

まず、従来のエピタキシャル成長方法により、基板30上にエピタキシャル積層を形成する。このエピタキシャル積層は第一半導体層321と、活性層322と、第二半導体層323とを含む。   First, an epitaxial stack is formed on the substrate 30 by a conventional epitaxial growth method. This epitaxial lamination includes a first semiconductor layer 321, an active layer 322, and a second semiconductor layer 323.

次は、図3Bに示すとおり、リソグラフィープロセス技術で一部分のエピタキシャル積層を削除することにより、成長基板上に分離状に配列される複数個の光電部品ユニットUと、一個の第一接触光電部品ユニットU1と、一個の第二接触光電部品ユニットU2とを形成するとともに、少なくとも一個の溝渠Sを形成する。この実施例において、この溝渠Sはリソグラフィープロセス技術で光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2の各第一半導体層321をエッチングして得た露光区域を含み、その露光区域を後に導電配線を形成する基礎にする。   Next, as shown in FIG. 3B, a plurality of photoelectric component units U separately arranged on the growth substrate by removing a part of the epitaxial stack by lithography process technology and one first contact photoelectric component unit While forming U1 and one second contact photoelectric component unit U2, at least one groove 渠 S is formed. In this embodiment, the trench S includes exposed areas obtained by etching the first semiconductor layers 321 of the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 by lithography process technology. The exposure area is later based on forming a conductive wire.

ほかの実施例において、部品全体の光取り出し効率を増加させるため、エピタキシャル積層を移動させるか或いは基板を貼り合わせる技術により、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2のエピタキシャル積層を基板30上に設けることができる。光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2のエピタキシャル積層は加熱又は加圧方法により基板30に直接貼り合せるか、或いは透明接着層(図示せず)により光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2のエピタキシャル積層を基板30に接着させることができる。透明接着層は、有機高分子透明材料、例えばポリイミド(polyimide)、ベンゾシクロブテン(Benzocyclobutane、BCB)、パーフルオロシクロブタンポリマー(perfluorocyclobutane、PFCB)、エポキシ(epoxy)、アクリル樹脂(acrylic resin)、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリカーボネート樹脂(PC)などのような材料又はこれらの組合せを含むか、或いは透明導電酸化金属層、例えば酸化インジウムスズ(ITO)、酸化インジウム(InO)、酸化スズ(SnO)、酸化亜鉛(ZnO)、フッ素ドープ酸化スズ(FTO)、アンチモンドープ酸化スズ(ATO)、酸化スズカドミウム(CTO)、アルミニウムドープ酸化亜鉛(AZO)、ガリウムドープ酸化亜鉛(GZO)などのような材料又はこれらの組合せを含むか、或いは無機絶縁層、例えば酸化アルミニウム(Al)、窒化ケイ素(SiN)、二酸化ケイ素(SiO)、窒化アルミニウム(AlN)、酸化チタン(TiO)、五酸化タンタル(Tantalun Pentoxide、Ta)などのような材料又はこれらの組合せを含むことができる。この実施例において、前記基板30は波長変更材料を含む。 In another embodiment, the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1, and the second contact photoelectric component unit are moved by technology of moving the epitaxial lamination or bonding the substrates to increase the light extraction efficiency of the entire component. An epitaxial stack of U 2 can be provided on the substrate 30. Epitaxial lamination of the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 is directly bonded to the substrate 30 by a heating or pressing method, or the photoelectric component is formed by a transparent adhesive layer (not shown) The epitaxial stack of the unit U, the first contact optoelectronic component unit U1 and the second contact optoelectronic component unit U2 can be adhered to the substrate 30. The transparent adhesive layer is made of an organic polymer transparent material, such as polyimide (benzo), benzocyclobutane (BCB), perfluorocyclobutane (PFCB), epoxy (epoxy), acrylic resin, polyethylene terephthalate A material such as (PET), polycarbonate resin (PC) or a combination thereof or a transparent conductive metal oxide layer such as indium tin oxide (ITO), indium oxide (InO), tin oxide (SnO 2 ), Materials such as zinc oxide (ZnO), fluorine-doped tin oxide (FTO), antimony-doped tin oxide (ATO), tin-cadmium oxide (CTO), aluminum-doped zinc oxide (AZO), gallium-doped zinc oxide (GZO), etc. Include these combinations, or Inorganic insulating layer, for example aluminum oxide (Al 2 O 3), silicon nitride (SiN x), silicon dioxide (SiO 2), aluminum nitride (AlN), titanium oxide (TiO 2), tantalum pentoxide (Tantalun Pentoxide, Ta Materials such as 2 O 5 ) or combinations thereof may be included. In this embodiment, the substrate 30 comprises a wavelength modifying material.

実際の応用において、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2のエピタキシャル積層を基板30上に設ける方法が上記の内容に限定されないことは、この技術分野の通常知識を有する者が容易に理解することができる。この実施例において、基板30の移動回数が異なることにより、第二半導体層323と基板30とが隣接し、第一半導体層321が第二半導体層323上に位置し、中間層が活性層322である構造を形成することができる。   In practical applications, the method of providing the epitaxial lamination of the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 on the substrate 30 is not limited to the above-mentioned contents. It can be easily understood by those who have knowledge. In this embodiment, the second semiconductor layer 323 is adjacent to the substrate 30, the first semiconductor layer 321 is located on the second semiconductor layer 323, and the intermediate layer is the active layer 322 because the number of movements of the substrate 30 is different. Can be formed.

次は、化学気相成長方法(CVD)、物理気相成長方法(PVD)、スパッタリング(sputtering)などの方法により、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2のエピタキシャル積層の一部分の表面とそばの光電部品ユニットUのエピタキシャル積層との間に第一絶縁層361を形成する。この第一絶縁層は、エピタキシャル積層の保護層と隣接する2つの光電部品ユニットUの間の電気絶縁層とにする。次は、蒸着又はスパッタリング方法により、隣接する2つの光電部品ユニットUの第一半導体層321の表面と第二半導体層323の表面との上に、互いに完全に離れている複数個の導電配線構造362を形成する。互いに完全に離れている該複数個の導電配線構造362は、一端が同じ方向に向くように第一半導体層321上に配置され、かつ第一半導体層321により複数個の導電配線構造362が互いに電気接続されている。空間的に互いに離れている各導電配線構造362は隣接するほかの光電部品ユニットUの第二半導体層323上まで延伸され、他端は光電部品ユニットUの第二半導体層323に電気接続されることにより、隣接する2つの光電部品ユニットUの間の電気接続を実現する。   Next, a part of the epitaxial lamination of the first contact optoelectronic component unit U1 and the second contact optoelectronic component unit U2 by methods such as chemical vapor deposition (CVD), physical vapor deposition (PVD), sputtering, etc. The first insulating layer 361 is formed between the surface of the first layer and the epitaxial lamination of the adjacent photoelectric component unit U. This first insulating layer serves as a protective layer of the epitaxial stack and an electrical insulating layer between two adjacent photoelectric component units U. Next, a plurality of conductive wiring structures completely separated from each other on the surface of the first semiconductor layer 321 and the surface of the second semiconductor layer 323 of two adjacent photoelectric component units U adjacent to each other by vapor deposition or sputtering. Form 362. The plurality of conductive wiring structures 362 completely separated from each other are disposed on the first semiconductor layer 321 such that one end faces in the same direction, and the plurality of conductive wiring structures 362 are mutually separated by the first semiconductor layer 321 Electrically connected. Each conductive wiring structure 362 which is spatially separated from each other is extended onto the second semiconductor layer 323 of the other adjacent photoelectric component unit U, and the other end is electrically connected to the second semiconductor layer 323 of the photoelectric component unit U Thereby, the electrical connection between the two adjacent photoelectric component units U is realized.

隣接する2つの光電部品ユニットUを電気接続させる方法が上記の内容に限定されないことは、この技術分野の通常知識を有する者が容易に理解することができる。例えば、導電配線構造の両端を、違う光電部品ユニットの同様又は相違する導電極性を有する半導体層上にそれぞれ接続させることにより、光電部品ユニットUの間を並列又は直列に電気接続させることができる。   Those skilled in the art can easily understand that the method of electrically connecting two adjacent photoelectric component units U is not limited to the above. For example, the photoelectric component units U can be electrically connected in parallel or in series by respectively connecting both ends of the conductive wiring structure on semiconductor layers having different or similar conductive polarities of different photoelectric component units.

図3A〜図3Bに示すとおり、光電部品300は、電子回路において一列に配列されているマトリックスである。光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2の第一半導体層321上に第一電極341を形成するとともに、第二半導体層323上に第二電極342を形成する。第一電極341と第二電極342を形成するステップは、導電配線構造362を形成するステップと共に行うか、或いは違うステップにより別々に行うことができる。第一電極341と第二電極342を形成する材料は、導電配線構造362を形成する材料と同様又は相違する。この実施例において、第二電極342は、多層構造であるとともに/或いは金属反射層(図示せず)を含み、かつその反射率80%より大きい。ほかの実施例において、導電配線構造362は金属反射層であり、かつその反射率80%より大きいことができる。   As shown in FIGS. 3A-3B, the optoelectronic component 300 is a matrix arranged in a row in an electronic circuit. The first electrode 341 is formed on the first semiconductor layer 321 of the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1, and the second contact photoelectric component unit U2, and the second electrode 342 is formed on the second semiconductor layer 323. Do. The step of forming the first electrode 341 and the second electrode 342 may be performed together with the step of forming the conductive wiring structure 362 or may be performed separately in different steps. The material forming the first electrode 341 and the second electrode 342 is the same as or different from the material forming the conductive wiring structure 362. In this embodiment, the second electrode 342 is a multilayer structure and / or includes a metal reflective layer (not shown) and has a reflectivity of greater than 80%. In another embodiment, the conductive interconnect structure 362 is a metal reflective layer and can have a reflectivity of greater than 80%.

次は、図3Bに示すとおり、前記複数個の導電配線構造362と、一部分の第一絶縁層361と、一部分のエピタキシャル積層の側壁との上に第二絶縁層363を形成する。この実施例において、該第一絶縁層361と第二絶縁層363とは、透明絶縁層であることができる。該第一絶縁層361と第二絶縁層363の材料は、酸化物、窒化物又はポリマー(polymer)であることができる。酸化物は、酸化アルミニウム(Al)、二酸化ケイ素(SiO)、酸化チタン(TiO)、五酸化タンタル(Tantalun Pentoxide、Ta)又は酸化アルミニウム(AlO)などのような材料又はこれらの組合せを含み、窒化物は、窒化アルミニウム(AlN)、窒化ケイ素(SiN)などのような材料又はこれらの組合せを含み、ポリマーは、ポリイミド(polyimide)、ベンゾシクロブテン(Benzocyclobutane、BCB)などのような材料又はこれらの組合せを含むことができる。この実施例において、第二絶縁層363は、分布ブラッグ反射器(Distributed Bragg Reflector)であることができる。この実施例において、第二絶縁層363の厚さが第一絶縁層361の厚さより厚い。 Next, as shown in FIG. 3B, a second insulating layer 363 is formed on the plurality of conductive wiring structures 362, a portion of the first insulating layer 361, and a sidewall of a portion of the epitaxial stack. In this embodiment, the first insulating layer 361 and the second insulating layer 363 can be transparent insulating layers. The material of the first insulating layer 361 and the second insulating layer 363 may be an oxide, a nitride or a polymer. The oxide may be aluminum oxide (Al 2 O 3 ), silicon dioxide (SiO 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), tantalum pentoxide (Tantalun Pentoxide, Ta 2 O 5 ) or aluminum oxide (AlO x ), etc. Materials or combinations thereof, wherein the nitride comprises materials such as aluminum nitride (AlN), silicon nitride (SiN x ), etc. or combinations thereof, the polymer is polyimide, benzocyclobutene, Materials such as BCB) etc. or combinations thereof can be included. In this embodiment, the second insulating layer 363 may be a Distributed Bragg Reflector. In this embodiment, the thickness of the second insulating layer 363 is thicker than the thickness of the first insulating layer 361.

最後は、前記第一電極341上に第三電極381を形成し、前記第二電極342上に第四電極382を形成し、電光部品ユニットUの第二半導体層323上に少なくとも1つの第一放熱マット383を形成する。該第一放熱マット383は、第二絶縁層363により電光部品ユニットUの第二半導体層323と電気絶縁状態になる。この実施例において、基板30の表面に垂直に投影される第一放熱マット383の投影は、第一絶縁層361上に位置しない。この実施例において、第一放熱マット383は平坦な表面上に形成される。図3Aに示すとおり、この実施例の光電部品300において、各電光部品ユニットUの第二半導体層323はいずれも第一放熱マット383を具備し、かつこれらの第一放熱マット383は第二絶縁層363により電光部品ユニットUの第二半導体層323と電気絶縁状態になっている。   Finally, a third electrode 381 is formed on the first electrode 341, a fourth electrode 382 is formed on the second electrode 342, and at least one first on the second semiconductor layer 323 of the electro-optical component unit U. A heat dissipation mat 383 is formed. The first heat radiation mat 383 is electrically insulated from the second semiconductor layer 323 of the electro-optical component unit U by the second insulating layer 363. In this embodiment, the projection of the first heat radiation mat 383 projected perpendicularly to the surface of the substrate 30 is not located on the first insulating layer 361. In this embodiment, the first heat dissipating mat 383 is formed on a flat surface. As shown in FIG. 3A, in the photoelectric component 300 of this embodiment, each of the second semiconductor layers 323 of each of the light-emitting component units U has a first heat radiation mat 383 and these first heat radiation mats 383 have a second insulation. The layer 363 electrically insulates from the second semiconductor layer 323 of the electro-optical component unit U.

この実施例において、前記第三電極381、第四電極382及び第一放熱マット383は、同一な製造ステップで形成するか或いは違う製造ステップで別々に形成することができる。この実施例において、前記第三電極381、第四電極382及び第一放熱マット383は、同様な積層構造を有することができる。所定の導電率を維持するため、第一電極341、第二電極342、導電配線構造362、第三電極381、第四電極382及び第一放熱マット383の材料として金属を使うことができる。例えば、金(Au)、銀(Ag)、銅(Cu)、クロム(Cr)、アルミニウム(Al)、プラチナ(Pt)、ニッケル(Ni)、チタン(Ti)、スズ(Sn)などであるか、或いはそれらの合金又はそれらの積層構造であることができる。   In this embodiment, the third electrode 381, the fourth electrode 382, and the first heat dissipating mat 383 may be formed in the same manufacturing step or separately in different manufacturing steps. In this embodiment, the third electrode 381, the fourth electrode 382, and the first heat radiation mat 383 may have the same laminated structure. A metal can be used as a material of the first electrode 341, the second electrode 342, the conductive wiring structure 362, the third electrode 381, the fourth electrode 382, and the first heat radiation mat 383 in order to maintain a predetermined conductivity. For example, gold (Au), silver (Ag), copper (Cu), chromium (Cr), aluminum (Al), platinum (Pt), nickel (Ni), titanium (Ti), tin (Sn), etc. Or their alloys or their laminated structure.

この実施例において、第二半導体層323は上表面と第一表面面積とを有し、第一放熱マット383は第二表面面積を有し、第二表面面積と第一表面面積との比は80〜100%範囲内にある。この実施例において、隣接する2つの第一放熱マット383の辺縁の間には最短距離Dが形成され、最短距離Dは100μmより大きい。   In this embodiment, the second semiconductor layer 323 has an upper surface and a first surface area, the first heat radiation mat 383 has a second surface area, and the ratio of the second surface area to the first surface area is It is in the range of 80 to 100%. In this embodiment, the shortest distance D is formed between the edges of two adjacent first heat radiation mats 383, and the shortest distance D is greater than 100 μm.

この実施例において、図3Cに示すとおり、載置板又は回路部品Pを提供し、かつワイヤボンディング又は半田付けにより、載置板又は回路部品P上に第一載置板電極E1と第二載置板電極E2を形成する。該第一載置板電極E1及び第二載置板電極E2と、光電部品300の第三電極381及び第四電極382とにより、フリップチップ構造を形成する。   In this embodiment, as shown in FIG. 3C, the mounting plate or circuit component P is provided, and the first mounting plate electrode E1 and the second mounting plate are mounted on the mounting plate or circuit component P by wire bonding or soldering. The placing plate electrode E2 is formed. The first mounting plate electrode E1 and the second mounting plate electrode E2 and the third electrode 381 and the fourth electrode 382 of the photoelectric component 300 form a flip chip structure.

この実施例において、第一載置板電極E1を光電部品300の第三電極381と第一放熱マット383に電気接続させ、かつ第二載置板電極E2を第四電極382と第一放熱マット383に電気接続させることにより、フリップチップ構造を形成することができる。この実施例において、前記第一放熱マット383が第一載置板電極E1と第二載置板電極E2に電気接続されていることにより、放熱効果を向上させることができる。この実施例において、直列マトリックスに配列された光電部品300の各光電部品ユニットUが作動するとき、ある程度の電圧差が発生するので、第一放熱マット383と光電部品ユニットUとの間の電気絶縁により、作動時の前記電圧差によっていずれの光電部品ユニットUの間に降伏現象(breakdown)又は電気漏れが発生することを避けることができる。また、基板30の表面に垂直に投影される第一放熱マット383の投影が第一絶縁層361上に位置しないので、溝渠S高さの相違によりワイヤが切断されることを避けるか、或いは第一絶縁層361の絶縁の不充分によって電気漏れ又は短絡が発生することを避けることができる。   In this embodiment, the first mounting plate electrode E1 is electrically connected to the third electrode 381 and the first heat radiation mat 383 of the photoelectric component 300, and the second mounting plate electrode E2 is connected to the fourth electrode 382 and the first heat radiation mat. Electrical connection to 383 can form a flip chip structure. In this embodiment, since the first heat radiation mat 383 is electrically connected to the first placement plate electrode E1 and the second placement plate electrode E2, the heat radiation effect can be improved. In this embodiment, when the respective photoelectric component units U of the photoelectric components 300 arranged in a series matrix operate, a voltage difference occurs to some extent, so that the electrical insulation between the first heat radiation mat 383 and the photoelectric component unit U Thus, it is possible to prevent breakdown or electrical leakage from occurring between any of the photoelectric component units U due to the voltage difference during operation. In addition, since the projection of the first heat radiation mat 383 projected vertically onto the surface of the substrate 30 is not located on the first insulating layer 361, it is possible to prevent the wire from being cut due to the difference in the groove height S or Insufficient insulation of the insulating layer 361 can prevent the occurrence of electrical leakage or short circuit.

図4A〜図4Eは、本発明のほかの実施例に係る光電部品ユニットの構造を示す平面図である。図4A〜図4Eの光電部品ユニットは本発明の第一実施例の光電部品ユニットの変形例であり、その製造方法、使用する材料、符号などは第一実施例と同一するので、ここでは再び説明しない。   4A to 4E are plan views showing the structure of an optoelectronic component unit according to another embodiment of the present invention. The photoelectric component unit shown in FIGS. 4A to 4E is a modification of the photoelectric component unit according to the first embodiment of the present invention, and the manufacturing method, the materials used, the reference numerals and the like are the same as in the first embodiment. I do not explain.

図4Aに示すとおり、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2は、直線に配列されている。この実施例において、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2の第一電極341又は第二電極342は延伸電極3421を更に含む。これにより、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2の電流分布を増加させることができる。この技術分野の通常知識を有する者が容易に理解することができるように、前記延伸電極の形状は図面に示す形状に限定されるものではなく、製品の相違により自由に設けることができる。また、第一接触光電部品ユニットU1に形成される第一放熱マット383の形状は、前記延伸電極の形状によって適当に調節することができる。すなわち、前記導電配線構造362と第一電極341又は第二電極342とは直接接触されず、かつそれらと電気絶縁状態になるように調節することができる。   As shown in FIG. 4A, the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1, and the second contact photoelectric component unit U2 are linearly arranged. In this embodiment, the first electrode 341 or the second electrode 342 of the optoelectronic component unit U, the first contact optoelectronic component unit U1 and the second contact optoelectronic component unit U2 further includes an extension electrode 3421. Thereby, the current distribution of the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1, and the second contact photoelectric component unit U2 can be increased. As can be easily understood by those skilled in the art, the shape of the elongated electrode is not limited to the shape shown in the drawings, but can be freely provided depending on the difference in products. Also, the shape of the first heat radiation mat 383 formed in the first contact photoelectric component unit U1 can be appropriately adjusted according to the shape of the extension electrode. That is, the conductive wiring structure 362 may not be in direct contact with the first electrode 341 or the second electrode 342, and may be adjusted to be in an electrically insulated state.

図4Bは本発明の変形例を示す図である。この実施例において、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2は、上述した実施例の直線に配列されず、環状に連結されており、かつ第一接触光電部品ユニットU1の少なくとも1つの側壁と第二接触光電部品ユニットU2の側壁とが接続されている。また、第一接触光電部品ユニットU1に形成される第一放熱マット383の形状は、前記延伸電極の形状に適当に調節することができる。すなわち、前記導電配線構造362と第一電極341又は第二電極342とは直接接触されず、かつそれらと電気絶縁状態になるように調節することができる。   FIG. 4B is a view showing a modified example of the present invention. In this embodiment, the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 are not arranged in a straight line in the above-described embodiment but are annularly connected, and the first contact photoelectric component At least one side wall of the component unit U1 is connected to the side wall of the second contact photoelectric component unit U2. Further, the shape of the first heat radiation mat 383 formed in the first contact photoelectric component unit U1 can be appropriately adjusted to the shape of the extension electrode. That is, the conductive wiring structure 362 may not be in direct contact with the first electrode 341 or the second electrode 342, and may be adjusted to be in an electrically insulated state.

図4Cは本発明の変形例を示す図である。この実施例において、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2は、環状に連結されている。第一接触光電部品ユニットU1を除き、光電部品ユニットUと第二接触光電部品ユニットU2の第一電極341の幅は、導電配線構造362の幅より狭く、かつそれらが各ユニットの内部まで延伸されることにより、電流分布を増加させる。また、第一接触光電部品ユニットU1に形成される第一放熱マット383の形状は、導電配線構造362の形状と第一電極341又は第二電極342の形状とによって適当に調節することができる。すなわち、前記導電配線構造362と第一電極341又は第二電極342とは直接接触されず、かつそれらと電気絶縁状態になるように調節することができる。   FIG. 4C is a view showing a modified example of the present invention. In this embodiment, the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 are annularly connected. Except for the first contact photoelectric component unit U1, the width of the first electrode 341 of the photoelectric component unit U and the second contact photoelectric component unit U2 is narrower than the width of the conductive wiring structure 362, and they are extended to the inside of each unit Current distribution is increased. In addition, the shape of the first heat radiation mat 383 formed in the first contact photoelectric component unit U1 can be appropriately adjusted by the shape of the conductive wiring structure 362 and the shape of the first electrode 341 or the second electrode 342. That is, the conductive wiring structure 362 may not be in direct contact with the first electrode 341 or the second electrode 342, and may be adjusted to be in an electrically insulated state.

図4Dは本発明の変形例を示す図である。この実施例において、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2は環状に連結されており、かつ光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2の形状は、実際の需要によってそれぞれ調節することができる。すなわち、各自の形状が互いに違うように調節することができる。この実施例には、形状が互いに違う三個の光電部品ユニットUが設けられているが、この技術分野の通常知識を有する者が容易に理解することができるように、光電部品ユニットUの個数、形状、サイズ又は配列方法は、製品の駆動電圧によって適当に調節することができる。また、第一接触光電部品ユニットU1に形成される第一放熱マット383の形状は、導電配線構造362の形状と第一電極341又は第二電極342の形状とによって適当に調節することができる。すなわち、前記導電配線構造362と第一電極341又は第二電極342とは直接接触されず、かつそれらと電気絶縁状態になるように調節することができる。   FIG. 4D is a view showing a modified example of the present invention. In this embodiment, the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 are annularly connected, and the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact The shape of the optoelectronic component unit U2 can be respectively adjusted according to the actual demand. That is, their shapes can be adjusted to be different from each other. In this embodiment, three photoelectric component units U having different shapes are provided, but the number of photoelectric component units U can be easily understood by those skilled in the art. The shape, size or arrangement method can be appropriately adjusted by the drive voltage of the product. In addition, the shape of the first heat radiation mat 383 formed in the first contact photoelectric component unit U1 can be appropriately adjusted by the shape of the conductive wiring structure 362 and the shape of the first electrode 341 or the second electrode 342. That is, the conductive wiring structure 362 may not be in direct contact with the first electrode 341 or the second electrode 342, and may be adjusted to be in an electrically insulated state.

図4Eは本発明の変形例を示す図である。この実施例において、光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2は、W形に連結されている。すなわち、隣接する2つの光電部品ユニットUの連結方向が相違し、かつ4行4列のマトリックスに配列されている。この技術分野の通常知識を有する者が容易に理解することができるとおり、光電部品ユニットUの個数又は配列方法は、製品の駆動電圧によって適当に調節することができる。この実施例において、前記の蛇行形に配列するとき、第一接触光電部品ユニットU1と第二接触光電部品ユニットU2とを同一列上に形成することができるが、第一接触光電部品ユニットU1と第二接触光電部品ユニットU2との位置は、後に行われる外部電子回路との電気接続を考慮しなければならない。したがって、ほかの実施例において、光電部品ユニットUの配列方式を調節することにより、第一接触光電部品ユニットU1と第二接触光電部品ユニットU2とをマトリックスの対角線の両端に位置させることができる。また、第一接触光電部品ユニットU1に形成される第一放熱マット383の形状は、導電配線構造362の形状と第一電極341又は第二電極342の形状とによって適当に調節することができる。すなわち、前記導電配線構造362と第一電極341又は第二電極342とは直接接触されず、かつそれらと電気絶縁状態になるように調節することができる。   FIG. 4E is a view showing a modified example of the present invention. In this embodiment, the optoelectronic component unit U, the first contact optoelectronic component unit U1 and the second contact optoelectronic component unit U2 are connected in a W-shape. That is, the connection directions of the two adjacent photoelectric component units U are different, and are arranged in a 4-by-4 matrix. As can be easily understood by those skilled in the art, the number or arrangement method of the photoelectric component units U can be appropriately adjusted by the driving voltage of the product. In this embodiment, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 can be formed on the same line when arrayed in the meandering shape, but with the first contact photoelectric component unit U1 and The position with the second contact optoelectronic component unit U2 must take into account the electrical connection with the external electronic circuit to be made later. Therefore, in another embodiment, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2 can be positioned at both ends of the diagonal of the matrix by adjusting the arrangement method of the photoelectric component units U. In addition, the shape of the first heat radiation mat 383 formed in the first contact photoelectric component unit U1 can be appropriately adjusted by the shape of the conductive wiring structure 362 and the shape of the first electrode 341 or the second electrode 342. That is, the conductive wiring structure 362 may not be in direct contact with the first electrode 341 or the second electrode 342, and may be adjusted to be in an electrically insulated state.

図5A〜図5Eは、本発明の第二実施例に係る光電部品の製造過程を示す平面図と側面図である。光電部品300`は、本発明の第一実施例の変形例である。図5A〜図5Bは前記の図3A〜図3Bが示した製造方法の継続であり、その製造方法、使用する材料、符号などは第一実施例と同一するので、ここでは再び説明しない。この実施例の平面図において、上述した第一実施例との相違点を明らかに示すため、一部分の部品をかかず、図面の簡素化を図る。この技術分野の通常知識を有する者は、上述した実施例に基づいて本実施例を充分に理解することができる。   5A to 5E are a plan view and a side view showing a manufacturing process of an optoelectronic component according to a second embodiment of the present invention. The photoelectric component 300 'is a modification of the first embodiment of the present invention. FIGS. 5A-5B are continuations of the manufacturing method shown in FIGS. 3A-3B, and the manufacturing method, the materials to be used, the reference numerals and the like are the same as in the first embodiment and will not be described again here. In order to clearly show the difference from the first embodiment described above in the plan view of this embodiment, parts of the parts are not used, and the drawing is simplified. Those skilled in the art can fully understand the present embodiment based on the above-described embodiments.

図5A〜図5Bに示すとおり、基板30上に支持部品44を形成するとともに、それにより基板30の側壁を覆う。この実施例において、支持部品44は透明であり、その材料として、シリコン樹脂、エポキシ樹脂又はほかの材料を使うことができる。この実施例において、前記支持部品44上に導光部品(図示せず)を更に形成することができ、この導光部品の材料として、ガラスを使うことができる。   As shown in FIGS. 5A-5B, the support component 44 is formed on the substrate 30 and thereby covers the sidewalls of the substrate 30. In this embodiment, the support component 44 is transparent, and silicon resin, epoxy resin or other material can be used as its material. In this embodiment, a light guiding component (not shown) can be further formed on the support component 44, and glass can be used as the material of the light guiding component.

次は、前記光電部品の第二絶縁層363上に光学層46を形成するとともに、それにより光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1及び第二接触光電部品ユニットU2を覆う。光学層46の材料は、基礎材料と高反射率材料との混合物を含む。基礎材料としてシリコン樹脂、エポキシ樹脂又はほかの材料を使うことができ、高反射率材料としてTiOを使うことができる。 Next, an optical layer 46 is formed on the second insulating layer 363 of the photoelectric component, thereby covering the photoelectric component unit U, the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2. The material of the optical layer 46 comprises a mixture of base material and high reflectivity material. Silicon resin, epoxy resin or other materials can be used as the base material and TiO 2 can be used as the high reflectivity material.

次は、図5Cに示すとおり、光学層46上に複数個の開口461を形成する。複数個の開口461は、第一接触光電部品ユニットU1と第二接触光電部品ユニットU2の第三電極381と第四電極382の位置に対応し、かつ一部分の第三電極381と第四電極382を露出させる。この実施例において、前記開口461は、光電部品ユニットUの第一放熱マット383の位置にも対応し、かつ一部分の第一放熱マット383を露出させる。   Next, as shown in FIG. 5C, a plurality of openings 461 are formed on the optical layer 46. The plurality of openings 461 correspond to the positions of the third electrode 381 and the fourth electrode 382 of the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2, and a part of the third electrode 381 and the fourth electrode 382 Expose the In this embodiment, the opening 461 also corresponds to the position of the first heat radiation mat 383 of the photoelectric component unit U, and exposes a part of the first heat radiation mat 383.

次は、図5D〜図5Eに示すとおり、第五電極40と第六電極42を形成し、それをそれぞれ第三電極381と第四電極382に電気接続させる。この実施例において、該第五電極40と第六電極42を選択した少なくとも1つの第一放熱マット383に電気接続させることにより、放熱効率を向上させることができる。この実施例において、第五電極40と第六電極42は金属反射層を含む。この実施例において、光学層46は、第三電極381と第五電極40との間と、第四電極382と第六電極42との間とに位置する。この実施例において、光学層46の辺縁は基板30辺縁より大きい。   Next, as shown in FIGS. 5D to 5E, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 are formed and electrically connected to the third electrode 381 and the fourth electrode 382, respectively. In this embodiment, by electrically connecting the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 to at least one selected first heat radiation mat 383, the heat radiation efficiency can be improved. In this embodiment, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 include a metal reflective layer. In this embodiment, the optical layer 46 is located between the third electrode 381 and the fifth electrode 40 and between the fourth electrode 382 and the sixth electrode 42. In this embodiment, the edge of the optical layer 46 is larger than the edge of the substrate 30.

最後は、図5Fに示すとおり、載置板又は回路部品Pを提供し、かつワイヤボンディング又は半田付けにより、載置板又は回路部品P上に第一載置板電極E1と第二載置板電極E2を形成する。該第一載置板電極E1及び第二載置板電極E2と、光電部品300`の第五電極40及び第六電極42とにより、フリップチップ構造を形成する。この実施例において、第五電極40と第六電極42は、基板30の辺縁の外に形成される。この実施例において、基板30の表面に垂直に投影された第五電極40と第六電極42の投影面積は、基板30の面積より大きい。この実施例において、第五電極40と第六電極42の面積を拡大することにより、載置板又は回路部品Pとの連結を容易に行い、位置決めを容易に行うことができる。   Finally, as shown in FIG. 5F, the mounting plate or circuit component P is provided, and the first mounting plate electrode E1 and the second mounting plate are mounted on the mounting plate or circuit component P by wire bonding or soldering. An electrode E2 is formed. The first mounting plate electrode E1 and the second mounting plate electrode E2 and the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 of the photoelectric component 300 ′ form a flip chip structure. In this embodiment, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 are formed outside the edge of the substrate 30. In this embodiment, the projected area of the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 projected perpendicularly to the surface of the substrate 30 is larger than the area of the substrate 30. In this embodiment, by enlarging the area of the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42, connection with the mounting plate or the circuit component P can be easily performed and positioning can be easily performed.

図6A〜図6Fは、本発明の第三実施例に係る光電部品の製造過程を示す平面図と側面図である。光電部品400は、本発明の第二実施例の変形例である。図6A〜図6Bは前記の図5A〜図5Bが示した製造方法の継続であり、その製造方法、使用する材料、符号などは第一実施例と同一するので、ここでは再び説明しない。この実施例の平面図において、上述した第一実施例との相違点を明らかに示すため、一部分の部品をかかず、図面の簡素化を図る。この技術分野の通常知識を有する者は、上述した実施例に基づいて本実施例を充分に理解することができる。   6A to 6F are a plan view and a side view showing a manufacturing process of an optoelectronic component according to a third embodiment of the present invention. The photoelectric component 400 is a modification of the second embodiment of the present invention. FIGS. 6A to 6B are continuations of the manufacturing method shown in FIGS. 5A to 5B, and the manufacturing method, the materials to be used, the reference numerals and the like are the same as those of the first embodiment and therefore will not be described again. In order to clearly show the difference from the first embodiment described above in the plan view of this embodiment, parts of the parts are not used, and the drawing is simplified. Those skilled in the art can fully understand the present embodiment based on the above-described embodiments.

図6A〜図6Bに示すとおり、本実施例は、前記光電部品の基板30上に形成された支持部品44を含み、それにより基板30の側壁を覆う。次は、前記光電部品と支持部品44との上に第二放熱マット48を形成する。この実施例において、第二放熱マット48と第一放熱マット383とは、同一な製造ステップで形成するか或いは違う製造ステップで別々に形成することができる。この実施例において、第二放熱マット48の材料と第一放熱マット383の材料とが同一することができる。この実施例において、第二放熱マット48の材料は、導熱係数>50W/mkである材料であるか或いは絶縁材料であることができる。例えば、金属又はダイヤモンド状カーボン(Diamond−Like Carbon)などである。   As shown in FIGS. 6A-6B, this embodiment includes a support component 44 formed on the substrate 30 of the optoelectronic component, thereby covering the sidewalls of the substrate 30. Next, a second heat dissipating mat 48 is formed on the photoelectric component and the support component 44. In this embodiment, the second heat dissipating mat 48 and the first heat dissipating mat 383 can be formed in the same manufacturing step or separately in different manufacturing steps. In this embodiment, the material of the second heat dissipating mat 48 and the material of the first heat dissipating mat 383 can be the same. In this embodiment, the material of the second heat dissipating mat 48 can be a material having a heat transfer coefficient> 50 W / mk or an insulating material. For example, it is metal or diamond-like carbon (Diamond-Like Carbon).

この実施例において、第二放熱マット48は、支持部品44上に形成される二個の第一部分482と、前記光電部品上に形成されかつ両端が該第一部分482に連結される一個の第二部分481とを含み、かつダンベル状に形成されている。この実施例において、第一部分482の幅は、第一部分482の幅より広い。   In this embodiment, the second heat dissipating mat 48 comprises two first portions 482 formed on the support component 44 and one second formed on the optoelectronic component and connected at both ends to the first portion 482. And includes a portion 481 and is formed in a dumbbell shape. In this embodiment, the width of the first portion 482 is wider than the width of the first portion 482.

この実施例において、第二放熱マット48は、2個の光電部品ユニットUの間に形成され、かつ前記第一放熱マット383に直接に接触されないとともに、該第一放熱マット383に電気接続されていない。この実施例において、第二放熱マット48は、2個の光電部品ユニットUの間の第二絶縁層363上に形成されている。   In this embodiment, the second heat dissipating mat 48 is formed between the two photoelectric component units U and is not directly in contact with the first heat dissipating mat 383 and is electrically connected to the first heat dissipating mat 383. Absent. In this embodiment, the second heat radiation mat 48 is formed on the second insulating layer 363 between the two photoelectric component units U.

次は、図6C〜図6Dに示すとおり、前記光電部品の第二絶縁層363上に光学層46を形成するとともに、それにより複数個の光電部品ユニットU、第一接触光電部品ユニットU1、第二接触光電部品ユニットU2及び前記第二放熱マット48を覆う。光学層46の材料は、基礎材料と高反射率材料との混合物を含む。基礎材料としてシリコン樹脂、エポキシ樹脂又はほかの材料を使うことができ、高反射率材料としてTiOを使うことができる。 Next, as shown in FIG. 6C to FIG. 6D, the optical layer 46 is formed on the second insulating layer 363 of the photoelectric component, and thereby the plurality of photoelectric component units U, the first contact photoelectric component unit U1, the The two-contact photoelectric component unit U2 and the second heat radiation mat 48 are covered. The material of the optical layer 46 comprises a mixture of base material and high reflectivity material. Silicon resin, epoxy resin or other materials can be used as the base material and TiO 2 can be used as the high reflectivity material.

次は、光学層46上に複数個の開口461を形成する。複数個の開口461は、第一接触光電部品ユニットU1と第二接触光電部品ユニットU2の第三電極381と第四電極382の位置に対応し、かつ一部分の第三電極381と第四電極382を露出させる。この実施例において、前記開口461は、光電部品ユニットUの第一放熱マット383の位置にも対応し、かつ一部分の第一放熱マット383を露出させる。   Next, a plurality of openings 461 are formed on the optical layer 46. The plurality of openings 461 correspond to the positions of the third electrode 381 and the fourth electrode 382 of the first contact photoelectric component unit U1 and the second contact photoelectric component unit U2, and a part of the third electrode 381 and the fourth electrode 382 Expose the In this embodiment, the opening 461 also corresponds to the position of the first heat radiation mat 383 of the photoelectric component unit U, and exposes a part of the first heat radiation mat 383.

次は、図6E〜図6Fに示すとおり、第五電極40と第六電極42を形成し、それをそれぞれ第三電極381と第四電極382に電気接続させる。この実施例において、該第五電極40と第六電極42を選択した少なくとも1つの第一放熱マット383と第二放熱マット48に電気接続させることにより、放熱効率を向上させることができる。それにより、本実施例の光電部品400の製造が済む。この実施例において、第五電極40と第六電極42は金属反射層を含む。この実施例において、光学層46は、第三電極381と第五電極40との間と、第四電極382と第六電極42との間とに位置する。この実施例において、光学層46の辺縁は基板30辺縁より大きい。   Next, as shown in FIGS. 6E to 6F, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 are formed and electrically connected to the third electrode 381 and the fourth electrode 382, respectively. In this embodiment, by electrically connecting the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 to at least one of the first heat radiation mat 383 and the second heat radiation mat 48, the heat radiation efficiency can be improved. Thereby, the manufacture of the photoelectric component 400 of the present embodiment is completed. In this embodiment, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 include a metal reflective layer. In this embodiment, the optical layer 46 is located between the third electrode 381 and the fifth electrode 40 and between the fourth electrode 382 and the sixth electrode 42. In this embodiment, the edge of the optical layer 46 is larger than the edge of the substrate 30.

この実施例において、載置板又は回路部品(図示せず)を提供し、かつワイヤボンディング又は半田付けにより、載置板又は回路部品上に第一載置板電極(図示せず)と第二載置板電極(図示せず)とを形成することができる。該第一載置板電極及び第二載置板電極と、光電部品400の第五電極40及び第六電極42とにより、フリップチップ構造を形成する。この実施例において、第五電極40と第六電極42は、基板30の辺縁の外に形成される。この実施例において、基板30の表面に垂直に投影された第五電極40と第六電極42の投影面積は、基板30の面積より大きい。この実施例において、第五電極40と第六電極42の面積を拡大することにより、載置板又は回路部品との連結を容易に行い、かつ位置決めを容易に行うことができる。   In this embodiment, a mounting plate or circuit component (not shown) is provided, and a first mounting plate electrode (not shown) and a second mounting plate or circuit component are mounted on the mounting plate or circuit component by wire bonding or soldering. A mounting plate electrode (not shown) can be formed. The first mounting plate electrode and the second mounting plate electrode and the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 of the photoelectric component 400 form a flip chip structure. In this embodiment, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 are formed outside the edge of the substrate 30. In this embodiment, the projected area of the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 projected perpendicularly to the surface of the substrate 30 is larger than the area of the substrate 30. In this embodiment, by enlarging the area of the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42, connection with the mounting plate or the circuit component can be easily performed and positioning can be easily performed.

図7A〜図7Dは、本発明の第四実施例に係る光電部品の製造流れを示す図である。光電部品400は、本発明の第二実施例の変形例である。図7Aに示すとおり、本実施例は基板(図示せず)を含む。この基板は、単一な材料で構成された基板に限定されるものではなく、異なる複数の材料で構成された複合式基板であってよい。例えば、この基板は接着させた第一基板と第二基板とを含むことができる(図示せず)。   7A to 7D are diagrams showing a manufacturing flow of an optoelectronic component according to a fourth embodiment of the present invention. The photoelectric component 400 is a modification of the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7A, this embodiment includes a substrate (not shown). The substrate is not limited to a substrate made of a single material, but may be a composite substrate made of different materials. For example, the substrate can include a bonded first substrate and a second substrate (not shown).

次は、従来のエピタキシャル成長方法により、基板上にエピタキシャル積層を形成する。このエピタキシャル積層は第一半導体層321と、活性層322と、第二半導体層323とを含む。次は、溝渠Sを形成することにより、一部分の第一半導体層321を露出させる。かつ、該溝渠の側壁に第一絶縁層361を形成することにより、溝渠と、活性層及び第二半導体層323との間の電気絶縁を図る。この実施例において、溝渠S中に金属層を形成することにより、第一延伸電極(図示せず)を形成することができる。次は、該第一延伸電極上に第一電極341に形成するとともに、第二半導体層323上に第二電極342を形成する。この実施例において、第一電極341と第二電極342は多層構造であるとともに/或いは金属反射層(図示せず)を含み、かつその反射率80%より大きい。   Next, an epitaxial stack is formed on the substrate by a conventional epitaxial growth method. This epitaxial lamination includes a first semiconductor layer 321, an active layer 322, and a second semiconductor layer 323. Next, a part of the first semiconductor layer 321 is exposed by forming a trench 渠. And, by forming the first insulating layer 361 on the side wall of the trench, electrical insulation between the trench and the active layer and the second semiconductor layer 323 is achieved. In this embodiment, a first stretched electrode (not shown) can be formed by forming a metal layer in the trench ridge S. Next, the first electrode 341 is formed on the first stretched electrode, and the second electrode 342 is formed on the second semiconductor layer 323. In this embodiment, the first electrode 341 and the second electrode 342 have a multilayer structure and / or include a metal reflection layer (not shown) and have a reflectance of more than 80%.

次は、図7Bに示すとおり、基板上に支持部品44を形成するとともに、それにより基板の側壁を覆う。この実施例において、支持部品44は透明であり、その材料として、シリコン樹脂、エポキシ樹脂又はほかの材料を使うことができる。この実施例において、前記支持部品44上に導光部品(図示せず)を更に形成することができ、この導光部品の材料としてガラスを使うことができる。次は、前記光電部品と支持部品44との上に第二放熱マット48を形成する。この実施例において、第二放熱マット48の材料は、導熱係数>50W/mkである材料、例えば金属であることができる。第二放熱マット48の材料は、絶縁材料、例えばダイヤモンド状カーボン(Diamond−Like Carbon)、ダイヤモンド(Diamond)などであることができる。   Next, as shown in FIG. 7B, the support component 44 is formed on the substrate, thereby covering the side wall of the substrate. In this embodiment, the support component 44 is transparent, and silicon resin, epoxy resin or other material can be used as its material. In this embodiment, a light guiding component (not shown) can further be formed on the support component 44, and glass can be used as the material of the light guiding component. Next, a second heat dissipating mat 48 is formed on the photoelectric component and the support component 44. In this embodiment, the material of the second heat dissipating mat 48 can be a material having a heat transfer coefficient> 50 W / mk, for example, a metal. The material of the second heat dissipating mat 48 may be an insulating material, such as Diamond-Like Carbon, Diamond, or the like.

この実施例において、第二放熱マット48は、支持部品44上に形成される二個の第一部分482と、前記光電部品上に形成されかつ両端が該第一部分482上に連結された一個の第二部分481とを含み、かつダンベル状に形成されている。この実施例において、第一部分482の幅は、第一部分482の幅より広い。   In this embodiment, the second heat dissipating mat 48 comprises two first portions 482 formed on the support component 44 and a first one formed on the optoelectronic component and connected at both ends on the first portion 482. It includes a two-part 481 and is formed in a dumbbell shape. In this embodiment, the width of the first portion 482 is wider than the width of the first portion 482.

この実施例において、第二放熱マット48は、第一電極341と第二電極342との間に形成され、かつ該第一電極341又は第二電極342に直接に接触されないとともに、該第一電極341又は第二電極342に電気接続されてもいない。   In this embodiment, the second heat radiation mat 48 is formed between the first electrode 341 and the second electrode 342 and is not in direct contact with the first electrode 341 or the second electrode 342, and the first electrode It is not electrically connected to the electrode 341 or the second electrode 342 either.

次は、前記光電部品上に光学層46を形成するとともに、それにより第二放熱マット48、第一電極341及び第二電極342を覆う。光学層46の材料は、基礎材料と高反射率材料との混合物を含む。基礎材料としてシリコン樹脂、エポキシ樹脂又はほかの材料を使うことができ、高反射率材料としてTiOを使うことができる。 Next, an optical layer 46 is formed on the photoelectric component, thereby covering the second heat radiation mat 48, the first electrode 341 and the second electrode 342. The material of the optical layer 46 comprises a mixture of base material and high reflectivity material. Silicon resin, epoxy resin or other materials can be used as the base material and TiO 2 can be used as the high reflectivity material.

次は、光学層46上に複数個の開口461を形成する。複数個の開口461は、第一電極341と第二電極342の位置に対応し、かつ一部分の第一電極341と第二電極342を露出させる。   Next, a plurality of openings 461 are formed on the optical layer 46. The plurality of openings 461 correspond to the positions of the first electrode 341 and the second electrode 342 and expose a part of the first electrode 341 and the second electrode 342.

次は、図7Dに示すとおり、第五電極40と第六電極42を形成し、それをそれぞれ第一電極341と第二電極342に電気接続させる。これにより本実施例の光電部品500の製造が済む。この実施例において、該第五電極40と第六電極42を選択した第二放熱マット48に電気接続させることにより、放熱効率を向上させることができる。この実施例において、第五電極40と第六電極42は金属反射層を含む。この実施例において、光学層46は、第一電極341と第五電極40との間と、第二電極342と第六電極42との間とに位置する。この実施例において、光学層46の辺縁は基板30辺縁より大きい。   Next, as shown in FIG. 7D, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 are formed and electrically connected to the first electrode 341 and the second electrode 342, respectively. This completes the manufacture of the photoelectric component 500 of this embodiment. In this embodiment, by electrically connecting the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 to the selected second heat radiation mat 48, the heat radiation efficiency can be improved. In this embodiment, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 include a metal reflective layer. In this embodiment, the optical layer 46 is located between the first electrode 341 and the fifth electrode 40 and between the second electrode 342 and the sixth electrode 42. In this embodiment, the edge of the optical layer 46 is larger than the edge of the substrate 30.

この実施例において、載置板又は回路部品(図示せず)を提供し、かつワイヤボンディング又は半田付けにより、載置板又は回路部品上に第一載置板電極(図示せず)と第二載置板電極(図示せず)とを形成することができる。該第一載置板電極及び第二載置板電極と、光電部品500の第五電極40及び第六電極42とにより、フリップチップ構造を形成する。この実施例において、第五電極40と第六電極42は、基板30の辺縁の外に形成される。この実施例において、基板30の表面に垂直に投影された第五電極40と第六電極42の投影面積は、基板30の面積より大きい。この実施例において、第五電極40と第六電極42の面積を拡大することにより、載置板又は回路部品との連結を容易に行い、かつ位置決めを容易に行うことができる。   In this embodiment, a mounting plate or circuit component (not shown) is provided, and a first mounting plate electrode (not shown) and a second mounting plate or circuit component are mounted on the mounting plate or circuit component by wire bonding or soldering. A mounting plate electrode (not shown) can be formed. The first mounting plate electrode and the second mounting plate electrode, and the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 of the photoelectric component 500 form a flip chip structure. In this embodiment, the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 are formed outside the edge of the substrate 30. In this embodiment, the projected area of the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42 projected perpendicularly to the surface of the substrate 30 is larger than the area of the substrate 30. In this embodiment, by enlarging the area of the fifth electrode 40 and the sixth electrode 42, connection with the mounting plate or the circuit component can be easily performed and positioning can be easily performed.

図8A〜図8Cは本発明の発光モジュールを示す図であり、図8Aはこの発光モジュールを示す斜視図である。発光モジュール600は、載置体502と、光電部品(図示せず)と、複数個のレンズ504、506、508及び510と、2つの電源供給入力端512及び514とを含む。その発光モジュール600は、後述する発光ユニット540に連結される。   8A to 8C are views showing a light emitting module of the present invention, and FIG. 8A is a perspective view showing the light emitting module. The light emitting module 600 includes a mounting body 502, an optoelectronic component (not shown), a plurality of lenses 504, 506, 508 and 510, and two power supply input ends 512 and 514. The light emitting module 600 is connected to a light emitting unit 540 described later.

図8B〜図8Cは、本発明の発光モジュールを示す図であり、そのうち、図8Cは図8BのE区域の拡大図である。載置体502は上載置体503と下載置体501を含み、下載置体501の一表面は上載置体503に接触する。上載置体503にはレンズ504及び508が形成されている。上載置体503には、少なくとも一つの孔515が形成されており、本発明の実施例の光電部品300又はほかの実施例の光電部品(図示せず)は、下載置体501と接触するように該孔515に設けられ、かつ接着剤521に覆われている。接着剤521上にはレンズ508が設けられ、接着剤521の材料はシリコン樹脂、エポキシ樹脂又はほかの材料である。この実施例において、孔515の両側の側壁に反射層519を形成することにより光取り出し効率を増加させ、かつ下載置体501の下表面に金属層517を形成することにより放熱効果を向上させることができる。   8B-8C are views showing a light emitting module according to the present invention, wherein FIG. 8C is an enlarged view of a section E of FIG. 8B. The mounting body 502 includes an upper mounting body 503 and a lower mounting body 501, and one surface of the lower mounting body 501 is in contact with the upper mounting body 503. Lenses 504 and 508 are formed on the upper mounting body 503. At least one hole 515 is formed in the upper mounting body 503, and the photoelectric component 300 of the embodiment of the present invention or the photoelectric component (not shown) of the other embodiment is in contact with the lower mounting body 501. In the hole 515 and covered with an adhesive 521. A lens 508 is provided on the adhesive 521, and the material of the adhesive 521 is silicon resin, epoxy resin or other material. In this embodiment, the light extraction efficiency is increased by forming the reflective layer 519 on the side walls on both sides of the hole 515, and the heat dissipation effect is improved by forming the metal layer 517 on the lower surface of the lower mounting body 501. Can.

図9A〜図9Bは、光線生成装置700を示す図である。この光線生成装置700は、発光モジュールと600と、発光ユニット540と、発光モジュールと600に所定の電流を提供する電源供給システム(図示せず)と、電源供給システム(図示せず)を制御する制御部品(図示せず)とを含む。光線生成装置700は、照明装置であることができる。例えば、街路燈、車燈又は室内照明装置であるか、或いは交通信号標識又は平面表示装置のバックライトモジュールのバックライトである。   9A-9B are diagrams showing a light beam generator 700. FIG. The light beam generating apparatus 700 controls a light emitting module 600, a light emitting unit 540, a power supply system (not shown) for providing a predetermined current to the light emitting module 600, and a power supply system (not shown) And a control part (not shown). The light beam generator 700 can be a lighting device. For example, it is a street lamp, a car or a room lighting device, or a traffic signal sign or a backlight of a backlight module of a flat display.

図10は電球を示す図である。電球800は、カバー921と、レンズ922と、照明モジュール924と、フレーム925と、放熱器926と、挿入部927と、金口928とを含む。該照明モジュール924は、載置体923と、載置体923上に載置される本発明の実施例の少なくとも一個の光電部品300又はほかの実施例の光電部品(図示せず)とを含む。   FIG. 10 is a view showing a light bulb. The light bulb 800 includes a cover 921, a lens 922, a lighting module 924, a frame 925, a radiator 926, an insertion portion 927, and a metal port 928. The lighting module 924 includes a mounting body 923 and at least one photoelectric component 300 according to an embodiment of the present invention or another photoelectric component (not shown) mounted on the mounting unit 923. .

具体的に、基板30はエピタキシャル成長及び/又は載置の基礎になる。基板の種類は、導電基板、不導電基板、透明基板又は不透明基板を選択することができる。導電基板の材料は、ゲルマニウム(Ge)、ヒ化ガリウム(GaAs)、リン化インジウム(InP)、炭化ケイ素(SiC)、ケイ素(Si)、アルミン酸リチウム(LiAlO)、酸化亜鉛(ZnO)、窒化ガリウム(GaN)、窒化アルミニウム(AlN)、金属であることができる。透明基板の材料は、サファイア(Sapphire)、アルミン酸リチウム(LiAlO)、酸化亜鉛(ZnO)、窒化ガリウム(GaN)、ガラス、ダイヤモンド、CVDダイヤモンド、ダイヤモンド状カーボン(Diamond−Like Carbon、DLC)、スピネル(spinel、MgAl)、酸化アルミニウム(Al)、酸化ケイ素(SiO)、リチウムガレート(LiGaO)であることができる。 Specifically, substrate 30 provides the basis for epitaxial growth and / or placement. The type of substrate can be a conductive substrate, a nonconductive substrate, a transparent substrate or an opaque substrate. The material of the conductive substrate is germanium (Ge), gallium arsenide (GaAs), indium phosphide (InP), silicon carbide (SiC), silicon (Si), lithium aluminate (LiAlO 2 ), zinc oxide (ZnO), It can be gallium nitride (GaN), aluminum nitride (AlN), metal. The material of the transparent substrate is sapphire (Sapphire), lithium aluminate (LiAlO 2 ), zinc oxide (ZnO), gallium nitride (GaN), glass, diamond, CVD diamond, diamond-like carbon (DLC), It can be spinel (spinel, MgAl 2 O 4 ), aluminum oxide (Al 2 O 3 ), silicon oxide (SiO x ), lithium gallate (LiGaO 2 ).

エピタキシャル積層(図示せず)は、第一半導体層321と、活性層322と、第二半導体層323とを含む。第一半導体層321と第二半導体層323は、例えばクラッド層(cladding layer)、制限層(confinement layer)、単層構造又は多層構造であることができる。該第一半導体層321と第二半導体層323との種類、極性又は不純物は相違する。種類として、p型、n型、i型のうちいずれかの2種を組み合わせたことを選択することができ、かつ電子と正孔(Electron hole)をそれぞれ提供して、この電子と正孔が活性層322中で反応して発光するようにする。第一半導体層321、活性層322及び第二半導体層323の材料は、III−V族半導体材料を含むことができる。例えば、AlInGa(1−x−y)N又はAlInGa(1−x−y)Pであり、かつこの化学式において、0≦x、y≦1、(x+y)≦1である。活性層322の材料により、エピタキシャル積層は、波長の範囲が610nm〜650nmの間にある赤光、波長の範囲が530nm〜570nmの間にある青光又は波長が400nmより小さい赤外線を発する。 The epitaxial lamination (not shown) includes a first semiconductor layer 321, an active layer 322, and a second semiconductor layer 323. The first semiconductor layer 321 and the second semiconductor layer 323 may have, for example, a cladding layer, a confinement layer, a single layer structure, or a multilayer structure. The type, polarity or impurity of the first semiconductor layer 321 and the second semiconductor layer 323 are different. As the type, it is possible to select that any two of p-type, n-type and i-type are combined, and provide electrons and holes (Electron holes), respectively. The light is reacted in the active layer 322 to emit light. The material of the first semiconductor layer 321, the active layer 322, and the second semiconductor layer 323 can include a group III-V semiconductor material. For example, Al x In y Ga (1-x-y) N or Al x In y Ga (1-x-y) P, and in this chemical formula, 0 ≦ x, y ≦ 1, (x + y) ≦ 1. It is. Depending on the material of the active layer 322, the epitaxial stack emits red light whose wavelength range is between 610 nm and 650 nm, blue light whose wavelength range is between 530 nm and 570 nm, or infrared light whose wavelength is less than 400 nm.

本発明のほかの実施例において、光電部品300、300`、400、500は、エピタキシャル原物又は発光ダイオードであり、この発光光線の周波数スペクトルは、半導体の単層又は多層中の物理又は化学要素を変更することにより調節することができる。単層又は多層半導体の材料は、アルミニウム(Al)、ガリウム(Ga)、インジウム(In)、リン(P)、窒素(N)、亜鉛(Zn)、酸素(O)で構成された組から選択することができる。活性層322の構造は、例えば、シングルヘテロ構造(single heterostructure、SH)、ダブルヘテロ構造(double heterostructure、DH)、両側ダブルヘテロ構造(double−side double heterostructure、DDH)又は多層量子井戸構造(multi−quantun well、MQW)である。或いは、活性層322の量子井戸の対数を調節することにより発光光線の波長を変更することができる。   In another embodiment of the invention, the optoelectronic component 300, 300 ', 400, 500 is an epitaxial source or a light emitting diode, the frequency spectrum of the emitted light being a physical or chemical element in a single layer or multilayer of a semiconductor. It can be adjusted by changing. The material of the single layer or multilayer semiconductor is selected from the group consisting of aluminum (Al), gallium (Ga), indium (In), phosphorus (P), nitrogen (N), zinc (Zn) and oxygen (O) can do. The structure of the active layer 322 may be, for example, a single heterostructure (SH), a double heterostructure (DH), a double-side double heterostructure (DDH) or a multilayer quantum well structure (multi- Quantun well, MQW). Alternatively, the wavelength of the emitted light can be changed by adjusting the logarithm of the quantum well of the active layer 322.

本発明の実施例において、第一半導体層321と基板30との間に緩衝層(buffer layer、図示せず)を更に形成することができる。この緩衝層を二種の材料の間の設けることにより、基板30の材料システムから第一半導体層321の材料システムへの過渡を実現することができる。発光ダイオードの構造において、緩衝層は、二種の材料の間の結晶格子が合わないことを低減する材料層になる。また、緩衝層により、二種の材料、又は離れている二個の単層、多層又は構造を貼り合せることができる。緩衝層の材料は、例えば有機材料、無機材料、金属、半導体などから選択することができる。緩衝層の構造は、反射層、導熱層、導電層、オーミック接触(ohmic contact)層、変形防止層、応力除去(stress release)層、応力調節(stress adjustment)層、ボンディング(bonding)層、波長変更層、機械的固定構造などになることができる。この実施例において、その緩衝層の材料は、窒化アルミニウム又は窒化ガリウムから選択し、かつスパッタリング又は原子層堆積装置(Atomic Layer Deposition、ALD)の方法でその緩衝層を形成することができる。   In an embodiment of the present invention, a buffer layer (not shown) may be further formed between the first semiconductor layer 321 and the substrate 30. By providing this buffer layer between the two materials, a transition from the material system of the substrate 30 to the material system of the first semiconductor layer 321 can be realized. In the construction of a light emitting diode, the buffer layer is a material layer which reduces the mismatch of the crystal lattice between the two materials. Also, the buffer layer can be used to bond two materials or two single layers, multiple layers or structures separated. The material of the buffer layer can be selected, for example, from organic materials, inorganic materials, metals, semiconductors and the like. The structure of the buffer layer is a reflective layer, a heat conductive layer, a conductive layer, an ohmic contact layer, an anti-deformation layer, a stress release layer, a stress adjustment layer, a bonding layer, a wavelength It can be a change layer, a mechanical fastening structure, etc. In this embodiment, the material of the buffer layer is selected from aluminum nitride or gallium nitride, and the buffer layer can be formed by the method of sputtering or atomic layer deposition (ALD).

第二半導体層323上には接触層(図示せず)を更に形成することができる。接触層は、活性層322が形成されない第二半導体層323の一側に形成される。具体的に、その接触層は、光学層、電気層、又はそれらの組み合わせであることができる。光学層は、活性層から来るか或いは活性層に入射される電磁波又は光線を変更することができる。この「変更」とは、電磁波又は光線の少なくとも一種の光学特性を変更することをいう。この光学特性は、周波数、波長、強度、通量、高率、色温度、演色性(rendering index)、ライトフィールド(light field)、画角(angle of view)などを含むが、これらに限定されるものではない。電気層は、接触層のいずれかの一組とその対向側との間の電圧、抵抗、電流、電気容量のうち少なくとも1つの数値、密度、分布が変化するようにするか或いは変化の趨勢が出るようにする。接触層を構成する材料は、酸化物、導電酸化物、透明酸化物、50%以上の透明率を有する酸化物、金属、透光金属、50%又はその以上の透過率を有する金属、有機物、無機物、蛍光物、燐光物、セラミックス、半導体、不純物含有半導体、無不純物半導体のうちの少なくとも一種を含むことができる。ある応用おいて、接触層の材料は、酸化インジウムスズ、酸化スズカドミウム、酸化スズアンチモン、酸化インジウム亜鉛、酸化亜鉛アルミニウム、酸化亜鉛スズのうちの少なくとも一種であることができる。透光金属を採用する場合、その厚さが0.005〜0.6μmであることが好ましい。   A contact layer (not shown) may further be formed on the second semiconductor layer 323. The contact layer is formed on one side of the second semiconductor layer 323 where the active layer 322 is not formed. Specifically, the contact layer can be an optical layer, an electrical layer, or a combination thereof. The optical layer can alter the electromagnetic waves or rays coming from or incident on the active layer. This "modification" refers to modifying at least one optical characteristic of an electromagnetic wave or a light beam. This optical property includes, but is limited to, frequency, wavelength, intensity, mass, high rate, color temperature, rendering index, light field, angle of view, etc. It is not a thing. The electrical layer is such that at least one of the voltage, resistance, current, and capacitance values, density, distribution between any one pair of contact layers and the opposite side thereof changes, or the trend of change is Get out. The material constituting the contact layer is an oxide, a conductive oxide, a transparent oxide, an oxide having a transparency of 50% or more, a metal, a translucent metal, a metal having a transmittance of 50% or more, an organic substance, It may contain at least one of an inorganic substance, a fluorescent substance, a phosphor, a ceramic, a semiconductor, an impurity-containing semiconductor, and an impurity-free semiconductor. In certain applications, the material of the contact layer can be at least one of indium tin oxide, tin cadmium oxide, tin antimony oxide, indium zinc oxide, zinc aluminum oxide, zinc tin oxide. When a translucent metal is employed, its thickness is preferably 0.005 to 0.6 μm.

以上、これらの発明の実施例を図面により詳述してきたが、実施例はこの発明の例示にしか過ぎないものであるため、この発明は実施例の構成にのみ限定されるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があってもこの発明に含まれることは勿論である。また、例えば、各実施例に複数の構成が含まれている場合には、特に記載がなくとも、これらの構成の可能な組合せが含まれることは勿論である。また、複数の実施例や変形例が示されている場合には、特に記載がなくとも、これらに跨がった構成の組合せのうちの可能なものが含まれることは勿論である。また、図面に描かれている構成については、特に記載がなくとも、含まれることは勿論である。更に、「等」の用語がある場合には、同等のものを含むという意味で用いられている。また、「ほぼ」「約」「程度」などの用語がある場合には、常識的に認められる範囲や精度のものを含むという意味で用いられている。   Although the embodiments of the invention have been described in detail with reference to the drawings, the embodiments are merely examples of the invention, and the invention is not limited to the configurations of the embodiments. Needless to say, even if there are design changes and the like within the scope of the present invention, they are included in the present invention. Further, for example, in the case where each embodiment includes a plurality of configurations, it goes without saying that possible combinations of these configurations are included even if there is no particular description. In addition, in the case where a plurality of examples and modifications are shown, it is needless to say that possible combinations of configurations across these are included even if there is no description in particular. Further, it goes without saying that the configuration depicted in the drawings is included even if there is no particular description. Furthermore, the term "etc" is used in the sense that it includes the equivalent. Moreover, when there is a term such as "approximately", "about", "degree", etc., it is used in the sense that it includes the range and accuracy that are accepted as common sense.

100、200、300、300`、400、500 光電部品
10 透明基板
12 半導体積層
14、E1、E2 電極
30 基板
U 光電部品ユニット
U1 第一接触光電部品ユニット
U2 第二接触光電部品ユニット
321 第一半導体層
322 活性層
323 第二半導体層
S 溝渠
3421 延伸電極
361 第一絶縁層
362 導電配線構造
363 第二絶縁層
341 第一電極
342 第二電極
381 第三電極
382 第四電極
383 第一放熱マット
P 載置板又は回路部品
40 第五電極
42 第六電極
44 支持部品
46 光学層
461 開口
48 第二放熱マット
482 第一部分
481 第二部分
600 発光モジュール
501 下載置体
502 載置体
503 上載置体
504、506、508、510 レンズ
512、514 電源供給入力端
515 孔
519 反射層
521 接着剤
540 発光ユニット
600 発光モジュール
700 光線生成装置
800 電球
921 カバー
923 載置体
922 レンズ
924 照明モジュール
925 フレーム
926 放熱器
927 挿入部
928 金口
100, 200, 300, 300`, 400, 500 photoelectric components 10 transparent substrate 12 semiconductor lamination 14, E1, E2 electrode 30 substrate U photoelectric component unit U1 first contact photoelectric component unit U2 second contact photoelectric component unit 321 first semiconductor Layer 322 Active layer 323 Second semiconductor layer S Groove 3421 Stretched electrode 361 First insulating layer 362 Conductive wiring structure 363 Second insulating layer 341 First electrode 342 Second electrode 381 Third electrode 382 Fourth electrode 383 First heat release mat P Mounting plate or circuit part 40 fifth electrode 42 sixth electrode 44 supporting part 46 optical layer 461 opening 48 second heat radiation mat 482 first part 481 second part 600 light emitting module 501 lower mounting body 502 mounting body 503 upper mounting body 504 , 506, 508, 510 lens 512, 514 power supply Force end 515 hole 519 reflective layer 521 adhesive 540 emitting unit 600 emitting module 700 mounting beam generator 800 bulbs 921 cover 923 mounting body 922 lens 924 lighting module 925 frame 926 radiators 927 insertion portion 928 ferrule

Claims (10)

光電部品であって、
第一側と第二側を有する基板と、
前記基板の前記第一側に位置する第一光電部品ユニットと、
前記基板の前記第一側に位置する第二光電部品ユニットと、
前記基板の前記第一側に位置し、かつ前記第一光電部品ユニットと前記第二光電部品ユニットとの間に位置する第三光電部品ユニットとを含み、
前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット、前記第三光電部品ユニットがそれぞれ第一半導体層、第二半導体層、および前記第一半導体層と前記第二半導体層との間に形成される活性層を含み、
前記光電部品はさらに、
前記第一光電部品ユニットの前記第一半導体層の上、前記第二光電部品ユニットの前記第一半導体層の上、及び前記第三光電部品ユニットの前記第一半導体層の上にそれぞれ形成され、かつ前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット及び前記第三光電部品ユニットにそれぞれ電気接続される複数個の第一電極と、
前記第一光電部品ユニットの前記第二半導体層の上、前記第二光電部品ユニットの前記第二半導体層の上、及び前記第三光電部品ユニットの前記第二半導体層の上にそれぞれ形成され、かつ前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット及び前記第三光電部品ユニットにそれぞれ電気接続される複数個の第二電極と、
前記第三光電部品ユニットの前記第二半導体層の上、及び前記第三光電部品ユニットの前記第二電極の上に形成される放熱マットと、
前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット及び前記第三光電部品ユニットの中の隣接する二つの間にそれぞれ形成される複数個の導電配線構造であって、それぞれ前記第一半導体層上に位置する一端と前記第二半導体層上に位置する他端とを備えることで、前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット及び前記第三光電部品ユニットの中の隣接する二つに電気接続される複数個の導電配線構造と、
前記第一光電部品ユニットの前記第一電極の上、及び前記第三光電部品ユニットの前記放熱マットの上に位置する第五電極と、
前記第二光電部品ユニットの前記第一電極及び前記第二電極の上に位置する第六電極とを含み、
前記第五電極は、前記第一光電部品ユニットに位置する前記第一電極によって、前記第一光電部品ユニットに電気接続され、
前記第六電極は、前記第二光電部品ユニットに位置する前記第二電極によって、前記第二光電部品ユニットに電気接続される、光電部品。
A photoelectric component,
A substrate having a first side and a second side,
A first photoelectric component unit located on the first side of the substrate;
A second photoelectric component unit located on the first side of the substrate;
A third photoelectric component unit located on the first side of the substrate and between the first photoelectric component unit and the second photoelectric component unit;
The first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit are respectively formed between the first semiconductor layer, the second semiconductor layer, and the first semiconductor layer and the second semiconductor layer. Active layer, and
The photoelectric component is further
Formed on the first semiconductor layer of the first optoelectronic component unit, on the first semiconductor layer of the second optoelectronic component unit, and on the first semiconductor layer of the third optoelectronic component unit; And a plurality of first electrodes electrically connected to the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit,
Formed on the second semiconductor layer of the first optoelectronic component unit, on the second semiconductor layer of the second optoelectronic component unit, and on the second semiconductor layer of the third optoelectronic component unit; And a plurality of second electrodes electrically connected to the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit, and
A heat radiation mat formed on the second semiconductor layer of the third photoelectric component unit and on the second electrode of the third photoelectric component unit;
A plurality of conductive wiring structures respectively formed between two adjacent ones of the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit, which are respectively formed on the first semiconductor layer To the adjacent two of the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit by providing one end located on the second semiconductor layer and the other end located on the second semiconductor layer A plurality of electrically conductive wiring structures to be electrically connected;
A fifth electrode located on the first electrode of the first photoelectric component unit and on the heat dissipation mat of the third photoelectric component unit;
And a sixth electrode located on the first electrode and the second electrode of the second photoelectric component unit,
The fifth electrode is electrically connected to the first photoelectric component unit by the first electrode located in the first photoelectric component unit,
The photoelectric component, wherein the sixth electrode is electrically connected to the second photoelectric component unit by the second electrode located in the second photoelectric component unit.
前記第光電部品ユニットと前記第三光電部品ユニットとの間に位置する一つまたは複数個の第四光電部品ユニットをさらに含み、
前記複数個の導電配線構造は互いに完全に離れており、
前記複数個の導電配線構造は、前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット、前記第三光電部品ユニット、及び前記一つまたは複数個の第四光電部品ユニットの中の隣接する二つの間にそれぞれ形成されることで、前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット、前記第三光電部品ユニット、及び前記一つまたは複数個の第四光電部品ユニットに電気接続される、請求項1に記載の光電部品。
It further includes one or more fourth photoelectric component units located between the second photoelectric component unit and the third photoelectric component unit,
The plurality of conductive wiring structures are completely separated from one another,
The plurality of conductive wiring structures include two adjacent ones of the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, the third photoelectric component unit, and the one or more fourth photoelectric component units. The first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, the third photoelectric component unit, and the one or more fourth photoelectric component units are electrically connected by being respectively formed between the Item 1. The photoelectric component according to item 1.
前記放熱マットは前記第五電極に電気接続される、請求項1に記載の光電部品。   The optoelectronic component of claim 1, wherein the heat dissipating mat is electrically connected to the fifth electrode. 前記第二半導体層は第一表面面積を有し、
前記第三光電部品ユニットの前記第二半導体層の上に形成された前記放熱マットは、第二表面面積を有し、
前記第二表面面積と前記第一表面面積の比は80〜100%である、請求項1に記載の光電部品。
The second semiconductor layer has a first surface area,
The heat dissipating mat formed on the second semiconductor layer of the third photoelectric component unit has a second surface area,
The optoelectronic component according to claim 1, wherein the ratio of the second surface area to the first surface area is 80 to 100%.
前記光電部品はさらに、
前記第一光電部品ユニットの前記第一電極の上に形成され、かつ前記第一電極と前記第五電極との間に位置して、前記第一光電部品ユニットの前記第一電極及び前記第五電極に電気接続される第三電極と、
前記第二光電部品ユニットの前記第二電極の上に形成され、かつ前記第二電極と前記第六電極との間に位置して、前記第二光電部品ユニットの前記第二電極及び前記第六電極に電気接続される第四電極とを含み、
前記第三電極、前記第四電極及び前記放熱マットが同じ金属積層構造を有する、請求項1に記載の光電部品。
The photoelectric component is further
The first electrode and the fifth electrode of the first photoelectric component unit are formed on the first electrode of the first photoelectric component unit and located between the first electrode and the fifth electrode. A third electrode electrically connected to the electrode;
The second electrode and the sixth electrode of the second photoelectric component unit are formed on the second electrode of the second photoelectric component unit and located between the second electrode and the sixth electrode. And a fourth electrode electrically connected to the electrode;
The optoelectronic component according to claim 1, wherein the third electrode, the fourth electrode, and the heat dissipation mat have the same metal laminated structure.
前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット及び前記第三光電部品ユニットの一部の表面上に位置する第一絶縁層及び第二絶縁層をさらに含み、
前記複数個の導電配線構造の何れかが前記第一絶縁層と前記第二絶縁層との間に位置し、
前記第二絶縁層の厚さが前記第一絶縁層の厚さより大きい、請求項1に記載の光電部品。
It further includes a first insulating layer and a second insulating layer located on a surface of a part of the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit,
One of the plurality of conductive wiring structures is located between the first insulating layer and the second insulating layer;
The optoelectronic component according to claim 1, wherein the thickness of the second insulating layer is greater than the thickness of the first insulating layer.
前記光電部品はさらに、
透明材料を含む支持部品を含み、
前記支持部品は前記基板の前記第二側に形成され、かつ前記基板の側壁を覆い、
前記基板が波長変換材料を含む、請求項1に記載の光電部品。
The photoelectric component is further
Including supporting parts comprising transparent material,
The support component is formed on the second side of the substrate and covers the sidewall of the substrate,
The optoelectronic component of claim 1, wherein the substrate comprises a wavelength converting material.
前記光電部品の平面図において、前記基板の表面に対する前記第五電極及び前記第六電極の垂直な投影面積が前記基板の前記表面の面積より大きい、請求項7に記載の光電部品。   The photoelectric component according to claim 7, wherein the projected area of the fifth electrode and the sixth electrode perpendicular to the surface of the substrate is larger than the area of the surface of the substrate in the plan view of the photoelectric component. 前記光電部品の平面図において、前記第五電極または前記第六電極の一方側が前記基板の前記側壁よりも前記光電部品の最も外側に接近して位置する、請求項7に記載の光電部品。   The photoelectric component according to claim 7, wherein in the plan view of the photoelectric component, one side of the fifth electrode or the sixth electrode is positioned closer to the outermost side of the photoelectric component than the side wall of the substrate. 前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット及び前記第三光電部品ユニットの間に位置し、かつ前記第一光電部品ユニット、前記第二光電部品ユニット及び前記第三光電部品ユニットの周りを覆い、かつTiOを含む光学層をさらに含み、
前記光電部品の側面図において、前記光学層は前記支持部品に接触する第二辺縁を有し、
かつ、前記光電部品の平面図において、前記光学層の前記第二辺縁の周の長さが前記基板の辺縁の周の長さより大きい、請求項7に記載の光電部品。
Located between the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit, and around the first photoelectric component unit, the second photoelectric component unit, and the third photoelectric component unit And further comprising an optical layer comprising TiO 2 ,
In a side view of the optoelectronic component, the optical layer has a second edge contacting the support component,
And, in a plan view of the photoelectric component, the outer circumference of a larger length, the photoelectric component according to claim 7 of the second side outer length of circumference edge of the substrate of the edge of the optical layer.
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