JP6528161B1 - Reflector for discharge lamp, and light emitting apparatus and exposure apparatus using the same - Google Patents
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Abstract
【課題】位置決め精度の高い、放電灯用のリフレクタを提供する。【解決手段】放電灯70が配設される、開口23を有する椀状の反射面22と、反射面22の開口23側の端部に形成された、少なくとも1つの角部28を有する鍔部16とでリフレクタ10を構成する。そして、角部28の開口23側の端面における、端縁34と反射面22の開口23との間に、反射面22の底部から開口23に向かう方向と同方向の段差34を形成する。【選択図】図2An object of the present invention is to provide a reflector for a discharge lamp with high positioning accuracy. SOLUTION: A bowl-shaped reflection surface 22 having an opening 23, in which a discharge lamp 70 is disposed, and a ridge part having at least one corner 28 formed at an end on the opening 23 side of the reflection surface 22 A reflector 10 is composed of 16. Then, a step 34 in the same direction as the direction from the bottom of the reflecting surface 22 to the opening 23 is formed between the edge 34 and the opening 23 of the reflecting surface 22 at the end face on the opening 23 side of the corner 28. [Selected figure] Figure 2
Description
本発明は、例えば、露光装置等に用いられる多灯式の照明装置に使用される放電灯用のリフレクタに関する。 BACKGROUND OF THE INVENTION Field of the Invention The present invention relates to a reflector for a discharge lamp used in, for example, a multi-lamp illumination device used in an exposure apparatus and the like.
従前より、複数の放電灯を使用した照明装置が露光装置等に用いられている。(例えば、特許文献1)。 Conventionally, illumination devices using a plurality of discharge lamps have been used for exposure devices and the like. (For example, patent document 1).
特許文献1に係る照明装置では、放電灯と組み合わせて用いられるリフレクタの開口端側の角部を支持枠部材に当接させることによって当該リフレクタの正確な位置決めを行い、その結果、放電灯の点灯位置が所定の場所に位置決めできるようになっている。 In the lighting device according to Patent Document 1, accurate positioning of the reflector is performed by bringing the corner portion on the opening end side of the reflector used in combination with the discharge lamp into contact with the support frame member, and as a result, lighting of the discharge lamp The position can be positioned at a predetermined place.
しかしながら、上述した従前からの位置決め手法では、位置決め精度に限界があることがわかった。なぜならば、一般にリフレクタは金型を用いて製造されており、この金型の合わせ面がリフレクタの開口端側における角部の側面に対応する位置に設けられることが多いことから、リフレクタにおけるこの「開口端側における角部の側面」(図12における矢印を参照)にバリが出てしまう。このため、このバリの大きさがそのままリフレクタに組み合わされた放電灯の位置の公差となっている。 However, it has been found that the conventional positioning method described above has a limit in positioning accuracy. This is because, in general, the reflector is manufactured using a mold, and the mold mating surface is often provided at a position corresponding to the side surface of the corner on the opening end side of the reflector. A burr comes out on the side surface of the corner on the open end side (see the arrow in FIG. 12). For this reason, the size of the burr directly becomes the tolerance of the position of the discharge lamp combined with the reflector.
本発明は、前述した問題に鑑みてなされたものであり、その目的は、位置決め精度の高い、放電灯用のリフレクタ、およびそれを用いた発光装置を提供することにある。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and an object thereof is to provide a reflector for a discharge lamp having high positioning accuracy, and a light emitting device using the same.
本発明の一局面によれば、
放電灯が配設される、開口を有する椀状の反射面と、
前記反射面の前記開口側の端部に形成された、少なくとも1つの角部を有する鍔部とを備えるリフレクタであって、
前記角部の前記開口側の端面における、端縁と前記反射面の前記開口との間には、前記反射面の底部から前記開口に向かう方向と同方向の段差が形成されており、
前記段差は、前記方向に直交する平面で見たとき、前記鍔部における前記角部の外形を規定する下辺から右辺に至る線状に形成されており、
前記角部の前記開口側の前記端面において、前記段差を挟んで前記開口側の前記端面の高さが、前記角部の前記端縁側の前記端面の高さに比べて高いことを特徴とするリフレクタが提供される。
According to one aspect of the invention,
A bowl-shaped reflecting surface having an opening, in which a discharge lamp is disposed;
A reflector having at least one corner formed at an end on the opening side of the reflecting surface;
A step is formed in the same direction as the direction from the bottom of the reflection surface toward the opening, between the edge of the end of the corner on the opening side and the opening of the reflection surface.
The step is formed in a line extending from the lower side to the right side which defines the outer shape of the corner portion in the ridge portion when viewed in a plane orthogonal to the direction .
In the end face on the opening side of the corner, the height of the end face on the opening side across the step is higher than the height of the end face on the end edge side of the corner. A reflector is provided .
好適には、前記段差の端縁は、直線状に形成されている。 Preferably, the edge of the step is formed in a straight line.
好適には、前記段差の端縁は、円弧状に形成されている。 Preferably, an edge of the step is formed in an arc shape.
本発明の他の局面によれば、
上述したリフレクタと、放電灯とを備える発光装置が提供される。
さらに、本発明の他の局面によれば、
上述した発光装置を備える、露光装置が提供される。
According to another aspect of the invention,
There is provided a light emitting device comprising the above-described reflector and a discharge lamp.
Furthermore, according to another aspect of the present invention,
An exposure apparatus is provided that includes the light emitting device described above.
本発明のように、反射面の開口端側における角部における、当該角部の端縁と開口端との間に段差を形成することにより、リフレクタの角部の側面にバリが形成される場合であっても、側面よりも内側(反射面の開口側)に形成される段差34の面にはバリを生じさせないようにできる。
In the case where a burr is formed on the side surface of the corner of the reflector by forming a step between the edge of the corner and the opening end at the corner on the opening end side of the reflecting surface as in the present invention Even in this case, it is possible to prevent burrs on the surface of the
このようにバリがなく、高い寸法精度で形成できる段差面を当り面として使用することにより、リフレクタおよび放電灯の位置決め精度をより高めることができる。 The positioning accuracy of the reflector and the discharge lamp can be further enhanced by using a stepped surface which can be formed with high dimensional accuracy without burrs as a contact surface.
(リフレクタ10の構造)
本発明が適用されたリフレクタ10について、図面を用いて説明する。図1は本実施形態に係るリフレクタ10を示す斜視図であり、図2は同じリフレクタ10を示す正面図である。また、図3は本実施形態に係るリフレクタ10を示す背面図であり、図4は同じリフレクタ10を示す平面図である。
(Structure of reflector 10)
The
リフレクタ10は、大略、本体部12と、頸部14と、鍔部16と、給電部18とを備えている。
The
本体部12は、内側に凹所20を有する椀状の部分であり、凹所20の内面は、このリフレクタ10に組み合わせて使用される放電灯70から放出される光の一部を反射させる椀状の反射面22となっている。本実施形態において、反射面22は回転放物面で規定されているが、反射面22の形状はこれに限定されるものではなく、回転楕円面であってもよいし、他の回転面であってもよく、また、多数のファセット(小領域)で反射面22を構成してもよい。なお、反射面22を規定する回転放物面の回転軸をリフレクタ10の中心軸CLという。
The
また、放電灯70から放出される光の一部は、上述のように反射面22で反射した後、開口23から外部へ放出され、残りの光は反射面22で反射することなく当該開口23から直接外部へ放出される。
In addition, a part of the light emitted from the
頸部14は、本体部12の底部から突設された略円柱状の部分であり、その中央部に放電灯70を取り付ける放電灯挿設孔24が形成されている。この放電灯挿設孔24は、本体部12における反射面22の底部に接続している。つまり、反射面22の底部と外部とは、放電灯挿設孔24を介して互いに連通している。
The
鍔部16は、本体部12における開口23側の端部に形成された、中心軸CLと略直交する方向に張り出した部分である。本実施形態では、鍔部16の外形は略四角形に形成されている(特に、図2を参照)。具体的いうと、この略四角形は、3つの角部28と、1つの湾曲部30とで構成されている。
The
なお、本実施形態のように、3つの角部28と1つの湾曲部30とで略四角形の鍔部16を構成するのはあくまで一例であり、少なくとも1つの角部28があればどのような形態で鍔部16を構成してもよい。
As in the present embodiment, it is merely an example that the substantially
本実施形態における鍔部16を構成する3つの角部28のうちのひとつ(図2における右下の角部28)に注目すると、図5に示すように、当該角部28における開口23側の端面である開口端面33には、角部28における端縁32と、反射面22の開口23との間に、リフレクタ10の中心軸CL(反射面22の底部から開口23に向かう方向の軸)と同方向の段差34が形成されている。なお、「同方向」とは、中心軸CLと段差34とが完全に平行である状態のみならず、中心軸CLと段差34との間で多少の角度を有している場合も含む意味である。
Focusing on one (the lower
また、この段差34における端縁36は、リフレクタ10の中心軸CLに直交する平面でみたとき(図2を参照)、リフレクタ10における鍔部16の外形を規定する図中下辺38から図中右辺40に至る直線状に形成されている。
Further, when viewed from a plane perpendicular to the central axis CL of the reflector 10 (see FIG. 2), the
給電部18は、リフレクタ10に組み合わせた放電灯70における一方の電極(反射面22側に位置する電極)に給電するための給電線を通す部分であり、給電部本体42と、給電線挿通孔44とを有している。
The feeding
給電部本体42は、本体部12の外面(反射面22が形成されているのと反対側の面)に形成されており、その内部と給電線挿通孔44とが互いに連通している。
The feeding portion
給電線挿通孔44は、給電部本体42の内部と、リフレクタ10の反射面22の内側とを互いに連通する孔である。
The feed
上述したリフレクタ10と組み合わせて発光装置60を構成する放電灯70は、図6に示すように、発光管部72と、当該発光管部72から延出する一対のシール部74とを有している。発光管部72および一対のシール部74は、石英ガラスで一体的に形成されている。さらに、発光管部72内には、シール部74によって密閉された内部空間76が形成されている。
The
放電灯70の各シール部74内には、埋設されたモリブデン製の箔78と、一端が箔78の一方端部に接続されているとともに他端が内部空間76内に配置されたタングステン製の一対の電極80と、一端が箔78の他方端部に接続されているとともに他端がシール部74から外部へ延出する一対のリード棒82とがそれぞれ設けられている。また、内部空間76には、所定量の水銀84およびハロゲン(例えば臭素)が封入されている。
In each
放電灯70に設けられた一対のリード棒82に所定の高電圧を印加すると、発光管部72の内部空間76に設けられた一対の電極80間で開始したグロー放電がアーク放電に移行し、このアークによって蒸発および励起された水銀84によって光(主に紫外線)が放射される。
When a predetermined high voltage is applied to the pair of
(リフレクタ10の位置決め方法)
次に、所定の位置に放電灯70を組み合わせた状態で、発光装置台100に対してリフレクタ10を位置決めする方法について、簡単に説明する。
(Positioning method of reflector 10)
Next, a method of positioning the
複数の発光装置60(リフレクタ10と放電灯70とが互いに組み合わされた状態のもの。以下同じ。)を正しい位置に設置するための発光装置台100は、図7に示すように、リフレクタ10を取り付けるための取付孔102が複数形成されている。また、図8に示すように、当該取付孔102の底部には、リフレクタ10における鍔部16の開口端面33を当接させることによって発光装置台100に対するリフレクタ10の中心軸CL方向の位置を決めるための位置決め面104が形成されている。なお、複数の発光装置60を発光装置台100に組み込むことにより、露光装置が構成される。
As shown in FIG. 7, the light emitting device stand 100 for installing the plurality of light emitting devices 60 (in a state where the
さらに、この位置決め面104の隅部(図中左下部)には、発光装置台100に対するリフレクタ10の中心軸CLに直交する方向の位置決めをするための位置決め凸部106が形成されている。この位置決め凸部106は、リフレクタ10の段差34の高さと同じかやや低い寸法で位置決め面104から凸設されている。
Further, at a corner (lower left portion in the figure) of the
上述のようにリフレクタ10における鍔部16の開口端面33を位置決め面104に当接させた後、図9に示すように、リフレクタ10を含む発光装置60を位置決め凸部106が形成されている図中左下方に移動させていく。そして、位置決め凸部106がリフレクタ10の角部28に形成された段差34に当接するまでリフレクタ10を移動させることにより、発光装置台100に対するリフレクタ10の位置決めが完了する。
After bringing the
位置決め凸部106がリフレクタ10の段差34に当接しているときのリフレクタ10や放電灯70の位置を予め正確な位置に設定しておくことにより、リフレクタ10の角部28の端縁(側面)32にバリが形成される場合であっても、端縁(側面)32よりも内側(反射面22の開口23側)に形成される段差34の面にはバリを生じさせないようにできるので、高い寸法精度で形成できる段差34を当り面として使用することにより、リフレクタ10および放電灯70の位置決め精度をより高めることができる。
By setting the positions of the
つまり、本実施形態に係る、段差34を有するリフレクタ10を有する発光装置60と、位置決め凸部106を有する発光装置台100とを用いることにより、当該位置決め凸部106がリフレクタ10の角部28に形成された段差34に当接するまでリフレクタ10を移動させる、放電灯70(リフレクタ10)の位置決め方法を実施できる。
That is, by using the
また、発光装置台100に対して、万一、段差34が形成されていない従来の発光装置が装着された場合、位置決め凸部106が干渉して当該発光装置を正しく位置決めできず光軸がずれてしまうことにより、露光面における照度が不足するおそれがある。このように、段差34を有するリフレクタ10を含む発光装置60と、位置決め凸部106を有する発光装置台100とを組み合わせて用いることにより、誤って予定外の発光装置を使用して露光不良等の不具合が生じるのを回避できる。
In addition, if a conventional light emitting device in which the
(変形例1)
上述した実施形態では、段差34における端縁36は直線状に形成されていたが、これに変えて、図10に示すように、当該端縁36を鍔部16の外形を規定する図中下辺38から図中右辺40に至る円弧状に形成してもよい。
(Modification 1)
In the embodiment described above, the
このように円弧状に形成した場合であっても、当該リフレクタ10を発光装置台100の所定の位置に位置決めする際に、位置決め凸部106を円弧状の段差34の所定位置に当接させることにより、リフレクタ10および放電灯70を正確な位置に位置決めできる。
Even when the
(変形例2)
また、図11に示すように、リフレクタ10における鍔部16を4つの角部28で構成し、さらに、段差34を形成しない残り3つの角部28の開口端面33にそれぞれ当接凸部50を形成してもよい。
(Modification 2)
Further, as shown in FIG. 11, the
このように当接凸部50を3つ形成することにより、発光装置台100における取付孔102の位置決め面104に対して、リフレクタ10における鍔部16の開口端面33という「面」ではなく、3つの「点」で位置決めできるので、この位置決め面104に対するリフレクタ10の中心軸CL方向の位置をより精度よく決めることができる。
By forming three contact
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は、上記した説明ではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 It should be understood that the embodiments disclosed herein are illustrative and non-restrictive in every respect. The scope of the present invention is indicated not by the above description but by the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the claims.
10…リフレクタ
12…本体部、14…頸部、16…鍔部、18…給電部、20…凹所、22…反射面、23…開口、24…放電灯挿設孔、28…角部、30…湾曲部、32…(角部28の)端縁、33…開口端面、34…段差、36…(段差34の)端縁、38…(鍔部16の外形を規定する)下辺、40…(鍔部16の外形を規定する)右辺、42…給電部本体、44…給電線挿通孔、50…当接凸部、60…発光装置
70…放電灯、72…発光管部、74…シール部、76…内部空間、78…箔、80…電極、82…リード棒、84…水銀
100…発光装置台、102…取付孔、104…位置決め面、106…位置決め凸部
CL…(リフレクタ10の)中心軸
DESCRIPTION OF
Claims (5)
前記反射面の前記開口側の端部に形成された、少なくとも1つの角部を有する鍔部とを備えるリフレクタであって、
前記角部の前記開口側の端面における、端縁と前記反射面の前記開口との間には、前記反射面の底部から前記開口に向かう方向と同方向の段差が形成されており、
前記段差は、前記方向に直交する平面で見たとき、前記鍔部における前記角部の外形を規定する下辺から右辺に至る線状に形成されており、
前記角部の前記開口側の前記端面において、前記段差を挟んで前記開口側の前記端面の高さが、前記角部の前記端縁側の前記端面の高さに比べて高いことを特徴とする
リフレクタ。 A bowl-shaped reflecting surface having an opening, in which a discharge lamp is disposed;
A reflector having at least one corner formed at an end on the opening side of the reflecting surface;
A step is formed in the same direction as the direction from the bottom of the reflection surface toward the opening, between the edge of the end of the corner on the opening side and the opening of the reflection surface.
The step is formed in a line extending from the lower side to the right side which defines the outer shape of the corner portion in the ridge portion when viewed in a plane orthogonal to the direction .
In the end face on the opening side of the corner, the height of the end face on the opening side across the step is higher than the height of the end face on the end edge side of the corner. Reflector.
請求項1に記載のリフレクタ。 The reflector according to claim 1 , wherein an edge of the step is formed in a straight line.
請求項1に記載のリフレクタ。 The reflector according to claim 1 , wherein an edge of the step is formed in an arc shape.
放電灯とを備える
発光装置。 A reflector according to any one of claims 1 to 3 ;
A light emitting device comprising a discharge lamp.
An exposure apparatus comprising the light emitting device according to claim 4 .
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