JP6525763B2 - 試料保持具 - Google Patents
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Description
はそれぞれの配線パターンが反対方向に電流が流れる隣接する配線パターンを有することになる。そのため、折り返し部以外の部分から放出された電磁波のうち方向性のあるものを互いに打ち消し合うことができる。これらの結果、試料の成膜およびエッチングの際に厚みにばらつきが生じてしまうおそれを低減することができる。
ことができる。発熱抵抗体2は、複数の折り返し部を有する線状のパターンであって、セラミック体1の下面のほぼ全面に形成されている。これにより、試料保持具10の上面において熱分布にばらつきが生じることを抑制できる。なお、本実施形態の試料保持具10においては、発熱抵抗体2はセラミック体1の下面に設けられているが、これに限られない。例えば、発熱抵抗体2は、セラミック体1の内部において試料保持面11に平行な面に設けられていてもよい。
の渦巻状部21が並置されており、それぞれの仮想円上の渦巻状部21が電気的に接続されて、仮想円の円周方向に並んでいる。これにより、同様の配線パターンが繰り返されて配置されていることによって、形成される磁場が周方向に均一になる。これにより、試料の成膜およびエッチングの際に、周方向における厚みのばらつきをさらに低減できる。なお、それぞれの仮想円上の渦巻状部21は、任意の場所にて隣り合う仮想円上の渦巻状部21と電気的に接続することができる。
以下では、図1に示した試料保持具10の製造方法の一例について説明する。なお、セラミック体1にアルミナセラミックスを用いた場合を例に説明するが、窒化アルミニウムセラミックス等の他のセラミック材料の場合であっても同様の手法で製造できる。
吸着電極3から試料保持面11までの厚みが0.3mm、セラミック体1の全体の厚みが2mmになるように加工した。その後、上面を所定の表面粗さに加工して、さらに、ブラスト加工機等で上面に溝を形成してセラミック体1を完成させた。
発熱抵抗体:2
吸着電極:3
ベースプレート:4
接合層:5
試料保持具:10
試料保持面:11
Claims (1)
- 一方の主面に試料保持面を有するセラミック体と、該セラミック体の内部における前記試料保持面に平行な面または前記セラミック体の他方の主面に設けられた発熱抵抗体とを備えており、該発熱抵抗体の配線パターンは、前記セラミック体の中心部に中心を有する複数の仮想円の仮想円の円周上に、中央で折り返した二重の方形渦巻状の形状を有する複数の渦巻状部が並置されており、それぞれの前記仮想円上の渦巻状部同士が電気的に接続されているとともに、前記複数の仮想円のうち、外側の前記仮想円の円周上に位置している前記渦巻状部の前記仮想円の円周方向における長さが、内側の前記仮想円の円周上に位置している前記渦巻状部の前記円の円周方向における長さよりも長いことを特徴とする試料保持具。
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JP2015127852A JP6525763B2 (ja) | 2015-06-25 | 2015-06-25 | 試料保持具 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015127852A JP6525763B2 (ja) | 2015-06-25 | 2015-06-25 | 試料保持具 |
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JP6525763B2 true JP6525763B2 (ja) | 2019-06-05 |
Family
ID=57763964
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2015127852A Active JP6525763B2 (ja) | 2015-06-25 | 2015-06-25 | 試料保持具 |
Country Status (1)
Country | Link |
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Families Citing this family (2)
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