JP6521500B2 - 高スループット走査型偏向器及びその製造方法 - Google Patents
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Description
12 電子ビーム
50 試料支持台
52 試料
60 対物レンズ
63,64 磁極片
100 走査型電子顕微鏡
110,130 電極
120 磁気偏向器組立体
140 コントローラ
202A,202B コイルユニット
302A,302B,304A,304B コイルユニット
214,215 コネクタ
320‐1,320‐2 コイル
321‐1,321‐2 ターン
400 ウェーハ画像化システム
Claims (14)
- 一次電子ビームを走査させるよう構成される磁気偏向器組立体(120)であって、
前記磁気偏向器組立体は、前記一次電子ビームを一方向でウェーハ上に走査するための少なくとも1つの磁気偏向器を含み、
前記少なくとも1つの磁気偏向器は、1対のコイルユニット(302A,302B;304A,304B)を形成する少なくとも2組のコイルを有し、
前記少なくとも2組のコイル中のターン(321‐1,321‐2)の数は、8以下であり、
コイルを形成するワイヤ又はコイルを形成する導体の断面の最大寸法は、0.2mm以下であり、
各コイルユニットは、2つ以上のコイルを含み、
各コイルユニット中の前記2つ以上のコイルは、前記2つ以上のコイルを形成する複数のワイヤ(320‐1,320‐2)を含む多ワイヤ式ストリングによって形成され、
前記多ワイヤ式ストリングの各ワイヤ(320‐1,320‐2)は、前記2つ以上のコイルに電流を供給するために、第1のコネクタ(214)及び第2のコネクタ(215)に接続されている、磁気偏向器組立体。 - 前記磁気偏向器組立体は、ウェーハ画像化システムのためのアップグレードキットを提供するように適用されている、請求項1に記載の磁気偏向器組立体。
- 各多ワイヤ式ストリングのワイヤの本数は、2〜10である、請求項1又は2に記載の磁気偏向器組立体。
- 前記磁気偏向器組立体は、軟磁性材料によって包囲されている、請求項1〜3のうちいずれか一項に記載の磁気偏向器組立体。
- 前記軟磁性材料は、フェライトである、請求項4に記載の磁気偏向器組立体。
- 前記磁気偏向器組立体は、一ステージに1〜6個の磁気偏向器を含み、各磁気偏向器は、1対のコイルユニットを有し、前記1対のコイルユニットの各々のターンの数は、8以下であり、前記コイルを形成するワイヤ又は前記コイルを形成する導体の断面の最大寸法は、0.2mm以下である、請求項1〜5のうちいずれか一項に記載の磁気偏向器組立体。
- 前記コイルを形成するワイヤ又は前記コイルを形成する導体は、エッチング、導電性箔のパターニング、スクリーン印刷、被覆層蒸着、及びこれらの組み合わせから成る群から選択されたプロセスによって形成される、請求項1〜6のうちいずれか一項に記載の磁気偏向器組立体。
- 前記磁気偏向器は、少なくとも1枚のプリント回路板によって提供される、請求項1〜7のうちいずれ一項に記載の磁気偏向器組立体。
- ウェーハを画像化するよう構成されたウェーハ画像化システムであって、
電子ビームをもたらすようになったエミッタチップを有するエミッタと、
前記電子ビームを前記ウェーハ上に集束させるよう構成された対物レンズと、
前記エミッタチップと前記対物レンズとの間に設けられた少なくとも1つの集光レンズと、
前記ウェーハの画像を発生させるよう前記電子ビームを前記ウェーハ上に走査させるための請求項1〜8のうちいずれか一項に記載の磁気偏向器組立体(120)と、を含む、システム。 - 前記磁気偏向器組立体は、光軸に沿う方向に互いに離れて位置する少なくとも2つのステージを含む、請求項9記載のシステム。
- 前記エミッタは、冷電界エミッタ又は熱支援型冷電界エミッタである、請求項9又は10に記載のシステム。
- 前記磁気偏向器は、前記対物レンズ内に設けられている、請求項9〜11のうちいずれか一項に記載のシステム。
- ウェーハの画像を発生させるために電子ビームを前記ウェーハ上で走査させる磁気偏向器組立体を製造する方法であって、
少なくとも2組のコイルを用意するステップであって、前記少なくとも2組のコイルのターンの数は、8以下であり、コイルを形成するワイヤ又はコイルを形成する導体の断面の最大寸法は、0.2mm以下である、ステップと、
前記少なくとも2組のコイルで1対のコイルユニットを形成するステップであって、各コイルユニットは、2つ以上のコイルを含み、各コイルユニットの前記2つ以上のコイルは、前記2つ以上のコイルを形成する多ワイヤ式ストリングによって形成され、前記多ワイヤ式ストリングの各ワイヤ(320‐1,320‐2)は、前記2つ以上のコイルに電流を供給するために、第1のコネクタ(214)及び第2のコネクタ(215)に接続されている、ステップと、
前記1対のコイルユニットから、一方向に前記電子ビームを前記ウェーハ上に走査させるための少なくとも1つの磁気偏向器を形成するステップと、を含む方法。 - 前記コイルを形成するワイヤ又は前記コイルを形成する導体は、エッチング、導電性箔のパターニング、スクリーン印刷、被覆層蒸着、及びこれらの組み合わせから成る群から選択されたプロセスによって形成される、請求項13に記載の方法。
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