JP6519979B2 - Defect inspection apparatus and defect inspection method - Google Patents
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Description
本発明は、所定の内容物を充填可能な容器を対象として、漏洩に関する欠陥部分の有無を検査する欠陥検査装置、及び、この欠陥検査装置を用いて容器の検査を行う欠陥検査方法に関し、特に、容器の内部圧力を外部圧力よりも高くすることにより欠陥部分の有無を検査する欠陥検査装置及び欠陥検査方法に関する。 The present invention relates to a defect inspection apparatus for inspecting the presence or absence of a defect related to leakage for a container which can be filled with predetermined contents, and a defect inspection method for inspecting a container using the defect inspection apparatus, particularly The present invention relates to a defect inspection apparatus and a defect inspection method for inspecting the presence or absence of a defect by making the internal pressure of a container higher than the external pressure.
従来、内容物の漏洩防止、劣化防止、安全性の確保等が要求される食品、薬品、化粧品などは、容器に密閉されてきた。また、前記容器に対して、ピンホールやクラックなどの欠陥(リーク)を検出するために、欠陥検査が行われてきた。
このような欠陥検査の技術分野においては、検査精度や検査効率などの向上を目的として、様々な技術が提案されている。
Conventionally, food, medicine, cosmetics and the like, which are required to prevent the leakage of contents, to prevent deterioration, to secure safety, etc., have been sealed in a container. In addition, defect inspection has been performed on the container in order to detect defects (leakage) such as pinholes and cracks.
In the technical field of such defect inspection, various techniques have been proposed for the purpose of improving inspection accuracy and inspection efficiency.
例えば、欠陥検査の対象をパウチとし、内部に空間を有する箱形の規制部材の中にパウチを挿入し、パウチの内部に加圧気体を供給し、加圧気体の供給経路の内圧又は流量を測定することにより、パウチにおけるリークの有無を判定する装置が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
また、他の技術としては、例えば、所定の間隔で平行に配置された二枚の板材である規制部材の間にパウチを挿入し、加圧気体を封入して膨張したパウチの内圧を測定し、複数のパウチの内圧に差があるときに、内圧の低いパウチにリークがあると判定する装置が提案されている(例えば、特許文献2参照)。
For example, the object of defect inspection is a pouch, and the pouch is inserted in a box-shaped regulating member having a space inside, the pressurized gas is supplied to the inside of the pouch, and the internal pressure or flow rate of the pressurized gas supply path is An apparatus has been proposed which determines the presence or absence of a leak in a pouch by measurement (see, for example, Patent Document 1).
As another technique, for example, a pouch is inserted between two regulation members which are plate members arranged in parallel at a predetermined interval, and a pressurized gas is enclosed to measure the internal pressure of the expanded pouch. An apparatus has been proposed which determines that a pouch with a low internal pressure leaks when there is a difference in the internal pressure of a plurality of pouches (see, for example, Patent Document 2).
しかしながら、上述した特許文献1、2に記載の検査装置(以下、従来の検査装置という)においては、次のような問題があった。
従来の検査装置は、飲料などの内容物が充填されるパウチを対象とし、パウチに存在するピンホールなどの欠陥部の検出を検査の目的としている。
パウチには、例えば、二枚のラミネートシートを重ね合わせ、四辺を熱溶着によってシールした、平袋と呼ばれる形状のものがある。また、パウチには、図27(i)、(ii)に示すように、底部52に折り込み部53aがあるスタンディングパウチ51aや、側部54に折り込み部53bがあるガセットパウチ51bなどがある。
ここで、従来の検査装置では、平袋のパウチを検査対象としているが、スタンディングパウチ51aやガセットパウチ51bについても、平袋と同様に、欠陥部の有無を検査することが望ましい。
ところが、従来の検査装置を用いてスタンディングパウチ51aなどを検査したとき、これらのパウチ51a、51bに存在する欠陥部を検出できない場合があった。
However, the inspection apparatus described in
The conventional inspection apparatus is directed to a pouch filled with a content such as a beverage, and the object of the inspection is to detect a defect such as a pinhole present in the pouch.
The pouch has, for example, a shape called a flat bag in which two laminated sheets are stacked and sealed at four sides by heat welding. Further, as shown in FIGS. 27 (i) and 27 (ii), the pouch includes a standing
Here, in the conventional inspection apparatus, a flat bag pouch is to be inspected, but it is desirable to inspect the presence or absence of a defective portion also for the standing
However, when the standing
例えば、図28(i)に示すように、スタンディングパウチ51aを規制部材(同図においては、二枚の板状の部材)の間に挿入し、スタンディングパウチ51aの内部に加圧気体を封入したとする。
これにより、スタンディングパウチ51aは膨張するが、折り込み部53aでは折り目55の周囲が重なり合って密着した状態となる。特に、規制部材の間隔が狭いときには、このような重なりが顕著に現れる。
そして、折り込み部53aの密着部分である接触表面部に欠陥部があると、スタンディングパウチ51aに封入された気体は、欠陥部から外部へ漏洩しなくなる。そうすると、スタンディングパウチ51aの内圧が低下しないため、欠陥部を検出できないという問題があった。
For example, as shown in FIG. 28 (i), the standing
As a result, the standing
Then, if there is a defective portion on the contact surface portion which is a close contact portion of the folded
また、スタンディングパウチ51aに気体を封入したときに、内圧を高くしすぎると、図28(ii)に示すように、折り込み部53aが膨出して外側へ飛び出してしまい、バックリングと呼ばれる変形が生じてしまうことがある。
このような変形は、折り込み部53aの縁部における熱溶着の剥離の原因ともなるため、回避すべきである。
ただし、こうした変形を避けるためにスタンディングパウチ51aの内圧を下げてしまうと、欠陥部から外部へ漏洩する気体の量が減少し、検査精度の低下を招くことになる。
そこで、スタンディングパウチ51aの内圧を一定値以上に高めつつ、バックリングの発生を防止可能な技術の提案が求められていた。
Further, when the internal pressure is increased too much when the gas is sealed in the standing
Such deformation should be avoided because it also causes peeling of the thermal welding at the edge of the folded
However, if the internal pressure of the standing
Therefore, there has been a demand for a technique that can prevent the occurrence of buckling while raising the internal pressure of the standing
さらに、上述した二つの問題は、いずれも折り込み部に関するものであるが、例えば、パウチの正面側のシートや背面側のシートに欠陥部がある場合に、これらの欠陥部を検出できないときがあった。
例えば、図28(i)に示すように、二枚の規制部材の間にスタンディングパウチ51aを挿入して加圧気体を封入したとき、スタンディングパウチ51aの正面側のシートと背面側のシートは、それぞれ規制部材の内側面に接触する。そして、正面側シートと背面側シートは、加圧気体により、規制部材の内側面に向かう方向に押圧される。
そうすると、それら正面側シート又は背面側シートのうち、規制部材の内側面に接触している部分である接触表面部に欠陥部があった場合、欠陥部が規制部材の内側面によって閉塞された状態となることから、スタンディングパウチ51aの内部の加圧気体が欠陥部から外部へ漏洩しなくなる。
これにより、スタンディングパウチ51aの内圧が低下しないため、従来の検査装置では、欠陥部を検出できないという問題があった。
なお、この問題は、スタンディングパウチ51aだけでなく、平袋のパウチやガセットパウチ51bにおいても同様に生じ得る。
Furthermore, although the two problems described above all relate to the folding portion, for example, when there is a defective portion in the sheet on the front side or the sheet on the back side of the pouch, there are times when these defective portions can not be detected. The
For example, as shown in FIG. 28 (i), when the standing
Then, when there is a defective portion in the contact surface portion which is a portion in contact with the inner side surface of the regulating member among the front side sheet or the rear side sheet, the defective portion is blocked by the inner side surface of the regulating member As a result, the pressurized gas inside the standing
As a result, the internal pressure of the standing
This problem may occur not only in the standing
本発明は、上記事情に鑑み提案されたものであり、被検査物である袋状容器の折り込み部に存在する欠陥部や、当該袋状容器の正面側シート又は背面側シート、又は被検査物であるカップ状容器の底部に存在する欠陥部についても確実に検出可能とするとともに、バックリングと呼ばれる変形が袋状容器の折り込み部又はカップ状容器の底部に生じる事態を回避しつつ検査精度の向上を可能とする欠陥検査装置及び欠陥検査方法の提供を目的とする。
The present invention has been proposed in view of the above circumstances, and a defective portion existing in a folded portion of a bag-like container which is an inspection object, a front side sheet or a back side sheet of the bag-like container , or an inspection object The defect which exists in the bottom of the cup-shaped container can be detected with certainty, while the deformation called buckling is avoided at the bottom of the folded-in portion of the bag-like container or the bottom of the cup-like container . An object of the present invention is to provide a defect inspection apparatus and a defect inspection method which can be improved.
上記目的を達成するため、本発明の欠陥検査装置は、被検査物の内部に対して気体を供給する気体供給手段と、被検査物における欠陥部の有無を検出する手段とを備えた欠陥検査装置であって、被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、接触表面部と被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を備え、通気性確保手段は、接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さRa=1.4μm〜10μmの粗面を有し、接触表面部は、被検査物の凹部であり、通気性確保手段は、凹部に接触する位置に、凹部に押し当てられて配置され、被検査物は、カップ状容器であり、凹部は、カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である構成としてある。 In order to achieve the above object, a defect inspection apparatus according to the present invention includes a gas supply unit that supplies a gas to the inside of an inspection object, and a defect inspection unit that includes a unit that detects the presence or absence of a defect in the inspection object. The apparatus is an outer surface of the contact surface portion and the inspection object when the contact surface portion is a portion of the surface of the inspection object which is in contact with another member or a portion where the surfaces of the inspection object are in contact with each other. preparedness breathable securing means for the space is communicated or contact, breathable securing means, the surface in contact with the contact surface portion, have a rough surface of the arithmetic average roughness Ra = 1.4μm~10μm, The contact surface portion is a concave portion of the object to be inspected, the air permeability ensuring means is disposed in contact with the concave portion and pressed against the concave portion, the object to be inspected is a cup-shaped container, and the concave portion is a cup It is configured to be a bottom recessed toward the inside of the container .
また、本発明の欠陥検査方法は、被検査物の内部に対して気体を供給する陽圧工程と、被検査物における欠陥部の有無を検出する検出工程とを有した欠陥検査方法であって、被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、接触表面部と被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を、接触表面部に接触させる接触工程を有し、通気性確保手段は、接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さRa=1.4μm〜10μmの粗面を有し、接触表面部は、被検査物の凹部であり、通気性確保手段は、凹部に接触する位置に、凹部に押し当てられて配置され、被検査物は、カップ状容器であり、凹部は、カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である方法としてある。 The defect inspection method of the present invention is a defect inspection method including a positive pressure step of supplying a gas to the inside of the inspection object and a detection step of detecting the presence or absence of a defect in the inspection object. When a portion of the surface of the object to be in contact with another member or a portion of the surface of the object to be in contact is the contact surface portion, the contact surface portion and the space outside the object to be inspected There is a contacting step of contacting the contact surface portion with air permeability securing means for communicating or contacting, and the air permeability securing means comprises an arithmetic mean roughness Ra = 1.4 μm to 10 μm on the surface contacting the contact surface portion. of rough surfaces possess, contact surface portion is a concave portion of the object to be inspected, breathable securing means, to a position in contact with the recess, is arranged pressed against the recess, the inspection object is a cup-shaped container And the recess is the bottom recessed towards the inside of the cup-like container It is as a method.
本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法によれば、被検査物である袋状容器の折り込み部や当該袋状容器の正面側又は背面側のシートにおける接触表面部、又は被検査物であるカップ状容器の底部に通気性確保手段を接触させる構成としたので、接触表面部に存在する欠陥部についても確実に検出できる。
また、接触表面部である袋状容器の折り込み部又はカップ状容器の底部に対して通気性確保手段を押し当てることにより、バックリングと呼ばれる変形が生じる事態を回避できる。
そして、このようにしてバックリングの発生が防止されることから、被検査物である袋状容器又はカップ状容器の内圧を欠陥検査に適した圧力にまで高めることができ、検査精度の向上を図ることができる。
According to the defect inspection apparatus and the defect inspection method of the present invention, the folded portion of the bag-like container which is the inspection object, the contact surface portion of the sheet on the front side or the back side of the bag-like container , or the cup which is the inspection object Since the air permeability ensuring means is brought into contact with the bottom of the container, it is possible to reliably detect the defective portion existing on the contact surface.
Further, by pressing the air-permeable securing means against the folded portion of the bag-like container which is the contact surface portion or the bottom of the cup-like container, it is possible to avoid the occurrence of deformation called buckling.
And since the occurrence of buckling is prevented in this way, the internal pressure of the bag-like container or the cup-like container which is the inspection object can be increased to a pressure suitable for defect inspection, and the inspection accuracy is improved. Can be
本発明の欠陥検査装置は、飲料などの内容物を充填可能な容器を被検査物とし、内容物の漏洩の原因となるピンホールやクラックなどの欠陥部(リーク)が被検査物に存在するか否かを検査する装置である。また、本発明の欠陥検査装置は、被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分又は当該被検査物の表面同士が接触する部分を接触表面部としたときに、接触表面部と当該被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を備えたことを特徴としている。
以下、本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法の具体的な実施形態について、図1〜図24を参照して説明する。
The defect inspection apparatus of the present invention uses a container capable of being filled with contents such as a beverage as an inspection object, and a defect (leakage) such as a pinhole or a crack which causes leakage of the contents exists in the inspection object It is an apparatus which checks whether it is. Further, in the defect inspection apparatus according to the present invention, when a portion of the surface of the inspection object to be in contact with another member or a portion of the inspection object to be in contact with each other is a contact surface portion It is characterized in that it has ventilating means for communicating or contacting with the space outside the object to be inspected.
Hereinafter, specific embodiments of the defect inspection apparatus and the defect inspection method of the present invention will be described with reference to FIGS.
[欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第一実施形態]
(I)欠陥検査装置
本実施形態の欠陥検査装置は、被検査物の内部の圧力を外部の圧力よりも高くしたときに、被検査物の内部から欠陥部を通って外部に漏れ出た気体を検知することで、欠陥部の有無を検出するものである。
図1に示すように、本実施形態の欠陥検査装置10Aは、チャンバ11、気体供給手段12、吸着手段13、排気手段14、気体検出手段20、折込部用通気性確保手段30、表面用通気性確保手段40を備えている。
[First Embodiment of Defect Inspection Device and Defect Inspection Method]
(I) Defect Inspection Device The defect inspection device of the present embodiment is a gas that leaks from the inside of the inspection object through the defect part to the outside when the pressure inside the inspection object is higher than the external pressure. By detecting the presence or absence of a defect.
As shown in FIG. 1, the
ここで、チャンバ11は、直方体状の箱体であって、内部には、被検査物50を収納可能な大きさを有する中空の収納空間111が形成されている。
このチャンバ11は、直方体状の下半部を形成するチャンバ本体112と上半部を形成するチャンバ蓋113を有し、これらチャンバ本体112とチャンバ蓋113は、分離可能となっている。
チャンバ本体112は、上面部に開口を有する浅底でトレイ状の部材であって、開口が上向きとなるように、所定の水平面(例えば、当該チャンバ11を収納するための筐体の内部の底面など)に載置固定されている。
チャンバ蓋113は、下面部に開口を有する浅底でトレイ状の部材であって、開口が下を向いた状態で、開口をチャンバ本体112の上面部の開口に対向させながら、チャンバ蓋113をチャンバ本体112の上に載置することにより、これらチャンバ本体112とチャンバ蓋113との間に中空の収納空間111を形成するようになっている。
Here, the
The
The
The
チャンバ蓋113の上方には、チャンバ蓋113を上昇又は下降させるためのチャンバ開閉手段114が備えられている。
チャンバ開閉手段114は、例えば、エアシリンダなどで構成することができ、エアシリンダの軸の端部にチャンバ蓋113の上面部を接続し、この軸を昇降させることにより、チャンバ蓋113を上昇又は下降させる。
A chamber opening / closing means 114 for raising or lowering the
The chamber opening / closing means 114 can be constituted by, for example, an air cylinder or the like, and the upper end of the
チャンバ本体112は、矩形板状の底部115と、底部115の周縁から上方に向かって立設された側壁117とを有している。
また、チャンバ蓋113は、矩形板状の上板部116と、上板部116の周縁から下方に向かって立設された側壁118とを有している。
チャンバ本体112の側壁117の上面とチャンバ蓋113の側壁118の下面との一方又は双方には、チャンバ11の内部を密封状態にするための気密性保持部材119が配置されている。気密性保持部材119には、例えば、パッキンなどを用いることができる。
このような気密性保持部材119が配置されていることにより、チャンバ本体112の上にチャンバ蓋113を載置した状態、例えば、図1に示す状態においては、チャンバ11の内部の収納空間111を密封状態に保つことができる。
The
Further, the
An airtight holding
By disposing the airtight holding
チャンバ11の収納空間111には、被検査物50が収納される。
被検査物50は、飲料、食料品、化粧品、化学製品などを内容物として充填可能な容器である。ただし、本実施形態においては、容器の代表例としてパウチ51を被検査物50とする。
パウチ51は、ポリプロピレンやポリエステルなどの合成樹脂で形成されたフィルムとアルミ箔とを積層加工(ラミネート加工)し、この加工で得られたラミネートシート(シート56)を袋状に形成した容器である。
The
The
The
パウチ51は、種々の形状のものが市販されている。
代表的なものとして、例えば、矩形状の二枚のシート56を積層するように重ね合わせ、縁部を所定の幅で熱溶着したもの(平袋)がある。
また、二枚のシート56を重ね合わせるとともに、これら二枚のシート56の内部に向かって「く」の字状に折り曲げられた折り込み部53aが底部52に設けられたスタンディングパウチ51aがある(図27(i)、図2参照)。折り込み部53aは、二枚のシート56の端部同士をつなぐ襠(まち)として機能する凹部である。スタンディングパウチ51aは、折り込み部53aが設けられた底部52を広げることにより、自立可能となる。
さらに、パウチ51には、折り込み部53bが側部54に設けられたガセット(gusset)パウチ51bがある(図27(ii)参照)。ガセットパウチ51bは、凹部である折り込み部53bが設けられた側部54を広げることにより、内容積を増やすことができる。
また、パウチ51には、スパウト57を設けたものがある(図27(ii)参照)。スパウト57は、硬質プラスチックなどで形成された円筒形状の成形品である。スパウト57は、通常、パウチ51の上縁部58の中央部分に設けられており、内容物を充填するときの注入口や内容物を吸い込むときの吸入口として機能する。
The
A typical example is one in which two rectangular sheets 56 are stacked so as to be stacked, and the edges are heat-welded with a predetermined width (flat bag).
In addition, there is a standing
Furthermore, in the
Further, the
このように、パウチ51は、形状で分類したときに、平袋、スタンディングパウチ51a、ガセットパウチ51bなどの種類があり、さらにスパウト57を設けたものもある。本実施形態の欠陥検査装置10Aは、それらいずれのパウチ51についても被検査物50とすることができる。
ただし、欠陥検査装置10Aを用いて検査を行うとき、パウチ51は、図2に示すように、上縁部58にスパウト57を設けず、かつ、上縁部58に熱溶着を施さずに(あるいは、上縁部58の右端部と左端部のみを熱溶着し)、上部開口59を設けた状態にして、チャンバ11の内部に収納(セット)される。
As described above, when the
However, when performing inspection using
気体供給手段12は、被検査物50の内部に検査用の気体を供給するための陽圧手段である。
気体供給手段12は、気体供給源121と、供給管122と、気体供給ノズル123と、ノズル駆動手段124と、バルブ125と、付勢部材126とを備えている。
気体供給源121は、清浄な空気を所定の気圧まで圧縮して供給する。気体供給源121には、例えば、オイルレスコンプレッサーや送風機などを用いることができる。なお、清浄な空気とは、フィルターなどにより、ほこり等が除去された空気をいう。
供給管122は、気体供給源121から供給された気体をチャンバ11の内部に収納された被検査物50へ送るための配管である。
The gas supply means 12 is a positive pressure means for supplying a gas for inspection to the inside of the
The
The gas supply source 121 compresses clean air to a predetermined pressure and supplies it. As the gas supply source 121, for example, an oilless compressor or a blower can be used. In addition, clean air means air from which dust etc. were removed by the filter etc.
The supply pipe 122 is a pipe for feeding the gas supplied from the gas supply source 121 to the
気体供給ノズル123は、供給管122を通って送られてきた気体を被検査物50の内部へ送り込むためのものである。
この気体供給ノズル123は、チャンバ11の外部であって側壁117、118の近傍に設けられている。
また、気体供給ノズル123には、気体を通すための貫通孔が穿設されている。貫通孔の一方の端部開口は、供給管122に接続されており、他方の端部開口は、チャンバ11に向かって開放している。
さらに、気体供給ノズル123には、チャンバ11に対向する面に管状部127が突設されている。管状部127は、内部に貫通孔が穿設されており、被検査物50の上部開口59に差し込まれることで、供給管122から送られてきた気体を被検査物50の内部へ供給する。
The
The
Further, the
Furthermore, a
ノズル駆動手段124は、気体供給ノズル123をチャンバ11に向かう方向、あるいは、チャンバ11から離間する方向へ移動させる。ノズル駆動手段124には、例えば、エアシリンダなどを用いることができる。
バルブ125は、供給管122の途中又は端部に設けられており、供給管122の内部を流れる気体の流れを制御する。
付勢部材126は、気体供給ノズル123を上方へ付勢する。付勢部材126には、例えば、コイルばねなどを用いることができる。
The nozzle drive means 124 moves the
The valve 125 is provided in the middle or at the end of the supply pipe 122 and controls the flow of gas flowing inside the supply pipe 122.
The biasing
吸着手段13は、チャンバ11の収納空間111に収納された被検査物50の上部開口59を開閉する。
この吸着手段13は、貫通孔131、132と、真空ホース(図示せず)と、真空ポンプ(図示せず)を備えている。
貫通孔131は、チャンバ本体112の側壁117a(チャンバ本体112の底部115の上にパウチ51を載置したときにパウチ51の上縁部58が載置される側壁117a)において、側壁117aの上面から下面に向かって穿設された孔である。
貫通孔132は、チャンバ蓋113の側壁118a(チャンバ蓋113の側壁118のうち、チャンバ本体112の側壁117aの上方に位置する側壁118a)において、側壁118aの下面から上面に向かって穿設された孔である。
真空ポンプは、真空ホースにより、チャンバ本体112の貫通孔131の内部と、チャンバ蓋113の貫通孔132の内部とに接続され、それぞれの貫通孔131、132の内部を真空状態にする。
The adsorption means 13 opens and closes the
The adsorption means 13 includes through
The through
The through
The vacuum pump is connected to the inside of the through
このような構成を備えた吸着手段13は、具体的には、次のような手順で使用される。
チャンバ11の収納空間111には、被検査物50が収納される。このとき、被検査物50であるパウチ51の上縁部58は、チャンバ本体112の側壁117aとチャンバ蓋113の側壁118aとの間に挟み込まれた状態とする。つまり、チャンバ本体112の側壁117aに形成された貫通孔131の上部開口と、チャンバ蓋113の側壁118aに形成された貫通孔132の下部開口との間に、パウチ51の上縁部58が位置するようにする。
そして、真空ポンプを駆動させて貫通孔131、132の内部を真空状態にすると、パウチ51を構成する二枚のシート56のうち、下側に位置するシート56aの上縁部58がチャンバ本体112の貫通孔131の上部開口に真空吸着され、上側に位置するシート56bの上縁部58がチャンバ蓋113の貫通孔132の下部開口に真空吸着される。
Specifically, the suction unit 13 having such a configuration is used in the following procedure.
The
When the vacuum pump is driven to evacuate the through
次いで、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を上方へ移動させると、パウチ51の上側シート56bの上縁部58がチャンバ蓋113の貫通孔132に真空吸着した状態で持ち上がる。一方、パウチ51の下側シート56aの上縁部58は、チャンバ本体112の貫通孔131に真空吸着した状態で固定される。これにより、パウチ51は、上部開口59が開いた状態となる。
Next, when the chamber opening / closing means 114 is driven to move the
続いて、パウチ51の上部開口59に対して気体供給ノズル123の管状部127を挿入する。そして、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を下降させる。これにより、パウチ51の上側シート56bの上縁部58がチャンバ蓋113の貫通孔132に真空吸着された状態で下降し、パウチ51の上部開口59が、気体供給ノズル123の管状部127を挟み込んだ状態で閉口する。
Subsequently, the
排気手段14は、チャンバ11の収納空間111にある気体を外部へ逃がすためのものである。
例えば、チャンバ11の収納空間111に収納された被検査物50が陽圧となって膨張したときに、排気手段14は、チャンバ11の収納空間111にある気体を外部へ逃がす。
The exhaust means 14 is for releasing the gas in the
For example, when the
気体検出手段20は、被検査物50の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部に漏洩したことを検出する手段である。
気体検出手段20には、種々の装置を用いることができるが、一例として、漏洩した気体の量を測定する気体検出装置21を用いることができる。
気体検出装置21は、図3に示すように、チャンバ11の収納空間111に連通している検出気体収納部211と、検出気体収納部211に連通している気体検出部212とを備えている。
The gas detection means 20 is a means for detecting that the gas enclosed in the inside of the
Although various apparatuses can be used for the gas detection means 20, the gas detection apparatus 21 which measures the quantity of the leaked gas can be used as an example.
As shown in FIG. 3, the gas detection device 21 includes a detection
気体検出装置21は、次のように動作する。被検査物50の内部に封入されている気体が被検査物50の欠陥部から外部へ漏洩すると、チャンバ11の収納空間111の内部の気体が、検出気体収納部211へ移動する。このとき、被検査物50の欠陥部から漏洩した気体の量と、チャンバ11の収納空間111から検出気体収納部211へ移動する気体の量は同じである。
次いで、チャンバ11の収納空間111から移動してきた気体が検出気体収納部211に収納されると、検出気体収納部211の内部の気体が、気体検出部212へ移動する。このとき、チャンバ11の収納空間111から検出気体収納部211へ移動してきた気体の量と、検出気体収納部211から気体検出部212へ移動する気体の量は同じである。
そして、気体検出部212において、気体が移動してきたことを検知する。検知には、例えば、圧力計や流量計などを用いることができる。これにより、被検査物50に欠陥部があることを検出できる。
なお、気体検出部212には、検出気体収納部211から移動してきた気体を検知すると電気信号を出力する信号出力手段(図示せず)と、出力された電気信号を入力して、被検査物50における欠陥部の有無を判定するコンピュータなどからなる判定手段(図示せず)とを備えることができる。
The gas detection device 21 operates as follows. When the gas sealed in the inside of the
Next, when the gas moved from the
Then, the gas detection unit 212 detects that the gas has moved. For example, a pressure gauge or a flow meter can be used for detection. Thereby, it can be detected that the
The gas detection unit 212 receives signal output means (not shown) for outputting an electrical signal when the gas moved from the detection
また、気体検出装置21においては、被検査物50の欠陥部から気体が漏洩すると、漏洩した気体の量に応じて、かつ、気体が漏洩した直後に、チャンバ11の収納空間111の中の気体が検出気体収納部211へ移動する。実際には、チャンバ11の収納空間111の中の気体が、チャンバ11と検出気体収納部211とを接続するチューブ213の内部に進入し、チューブ213の内部の気体が、検出気体収納部211の内部に流入する。
さらに、チューブ213の内部の気体が検出気体収納部211の内部に流入すると、検出気体収納部211の内部の気体が、検出気体収納部211と気体検出部212とを接続するチューブ214の内部に進入し、チューブ214の内部の気体が、気体検出部212の内部に流入する。
これら気体の移動は、瞬時に行われるので、短時間で検査結果を得ることができる。
Further, in the gas detection device 21, when the gas leaks from the defect portion of the
Furthermore, when the gas inside the tube 213 flows into the inside of the detection
The movement of these gases is performed instantaneously, so that test results can be obtained in a short time.
折込部用通気性確保手段30は、チャンバ11の収納空間111に収納された被検査物50の折り込み部53a、53bの表面を、被検査物50の外側にある空間(チャンバ11の収納空間111)に連通又は接触させるための通気性確保手段である。
折込部用通気性確保手段30は、通気性確保部材31と、部材駆動手段32とを備えている。
The air
The folded portion air
通気性確保部材31は、被検査物50の折り込み部53a、53bに対して外側から押し当てられる部材であって、次の三つの機能を有している。
第一の機能は、折り込み部53a、53bを広げる機能である。
第二の機能は、折り込み部53a、53bの表面とチャンバ11の内部の収納空間111とを連通又は接触させる機能である。
第三の機能は、折り込み部53a、53bが外側へ膨出してバックリングと呼ばれる変形が生じる事態を防止する機能である。
The air
The first function is a function of expanding the
The second function is to make the surfaces of the
The third function is a function to prevent the occurrence of deformation called buckling which causes the
第一の機能は、チャンバ11の収納空間111に収納された被検査物50が気体の封入によって膨張し、折り込み部53a、53bが折り目55の周囲で重なり合って密着した状態(すなわち、被検査物50の表面のうち折り込み部53a、53bの表面同士が接触した状態)となっている場合において(図28(i)参照)、重なり合った部分を接触表面部としたときに、接触表面部である重なり部分の間隙に通気性確保部材31を挿入することで、折り込み部53a、53bを押し広げる機能である。
The first function is that the
この機能により、折り込み部53a、53bに存在する欠陥部を検出できるようにする。
例えば、通気性確保部材31を押し当てておらず、折り込み部53a、53bの折り目55の周囲が重なり合って密着している状態では、重なり合っている部分である接触表面部がチャンバ11の収納空間111に露出していないため、接触表面部に欠陥部があったとしても、被検査物50の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部の収納空間111に漏洩しないので、気体検出手段20が漏洩を検知できず、欠陥部を検出することができない。
これに対し、通気性確保部材31を押し当てて折り込み部53a、53bを広げた状態では、被検査物50の内部に封入された気体が、折り込み部53a、53bに存在する欠陥部を通って外部の収納空間111に漏洩可能となる。これにより、気体検出手段20は、漏洩を検知することで、欠陥部を検出できる。
By this function, it is possible to detect a defective portion present in the folded
For example, in a state where the air
On the other hand, in the state where the air-
ただし、通気性確保部材31の表面が凹凸のほとんど無い平坦な面であった場合、通気性確保部材31を折り込み部53a、53bに押し当てると、折り込み部53a、53bに存在する欠陥部に対しても通気性確保部材31が押し当てられるので、欠陥部が外側から閉塞される。特に、被検査物50の内部には加圧気体が封入されており、内圧が高い陽圧状態となっていることから、内圧によって被検査物50の折り込み部53a、53bが通気性確保部材31の表面に向かって押圧されることで、通気性確保部材31による欠陥部の閉塞状態が保持される。
そうすると、通気性確保部材31が折り込み部53a、53bを押し広げたとしても、折り込み部53a、53bに存在する欠陥部を通って加圧気体が外部の収納空間111に漏洩しなくなるので、気体検出手段20が欠陥部を検出できなくなる。
However, in the case where the surface of the air
Then, even if the air-
そこで、通気性確保部材31には、上述した第二の機能を備えることとした。すなわち、折り込み部53a、53bの表面とチャンバ11の収納空間111とを連通又は接触させる機能を、通気性確保部材31に備えることとした。
この機能を実現するための具体的な構成として、通気性確保部材31は、通気部33を有している。
通気部33は、通気性確保部材31が折り込み部53a、53bを押し広げている状態において、折り込み部53a、53bの表面とチャンバ11の収納空間111とを通気可能に連通させ、あるいは、それらを直接接触させるものである。
Therefore, the air
As a specific configuration for realizing this function, the air
The venting
通気部33の具体例としては、例えば、図4、図5に示すように、板状の通気性確保部材31の表面に形成された複数の溝部331がある。
溝部331は、通気性確保部材31の表面を平面視したときに線状又は曲線状に形成された凹状部分である。
溝部331は、通気性確保部材31の表面において複数形成されている。これら複数の溝部331は、平行に配置されていてもよく、あるいは、平行でなくてもよい。平行でない場合、複数の溝部331同士は、交差していてもよく、あるいは、交差していなくてもよい。交差している場合、交差する箇所は、複数箇所であってもよく、あるいは、一箇所であってもよい。一箇所の場合、複数の溝部331は、一点から放射状に延びた形状としてもよい。
As a specific example of the ventilation | gas_flowing
The
A plurality of
また、複数の溝部331が線状で平行に配置されている場合、これら溝部331の長手方向は、図4に示すように、通気性確保部材31の幅方向であってもよく、あるいは、図5に示すように、通気性確保部材31の長手方向(部材駆動手段32によって通気性確保部材31が移動する方向と同じ方向)であってもよい。さらに、溝部331の長手方向は、通気性確保部材31の上面端辺に対して斜め方向であってもよい。
さらに、溝部331の断面形状は、例えば、図4、図5に示すように、V字状とすることができる。ただし、溝部331の断面形状は、V字状に限るものではなく、例えば、U字状や凵の字状などであってもよい。
When a plurality of
Furthermore, the cross-sectional shape of the
通気部33の他の具体例としては、例えば、図6に示すように、多孔質の材料で形成された通気性確保部材31の細孔332が挙げられる。
また、通気部33のさらに他の具体例としては、例えば、図7に示すように、板状の基部333の側面に突設された複数の棒状部334の各間に位置する棒状部間空間部335が挙げられる。
さらに、通気部33の他の具体例としては、例えば、サンドブラストによって通気性確保部材31の表面を加工したときの表面の凹凸形状のうちの凹部が挙げられる。
また、通気部33の他の具体例としては、例えば、通気性確保部材31の表面に梨地加工を施したときの梨地である凹凸形状の凹部が挙げられる。
As another specific example of the
Further, as still another specific example of the
Furthermore, as another specific example of the ventilation | gas_flowing
Moreover, as another specific example of the ventilation | gas_flowing
これらの形状のうちのいずれかの形状を有する通気部33を備えた通気性確保部材31は、被検査物50の折り込み部53a、53bを押し広げるとともに、折り込み部53a、53bに存在する欠陥部を通って漏洩してきた気体を、通気部33を通って、チャンバ11の収納空間111へ排出することができる。
具体的に、通気部33は、次のように機能する。
通気性確保部材31は、被検査物50の折り込み部53a、53bを押し広げるときに、折り込み部53a、53bの外側面に接触する。ただし、通気性確保部材31は、通気部33を備えているために、通気性確保部材31の表面の全体が折り込み部53a、53bの外側面に接触するのではなく、通気部33が形成されていない部分のみが接触し、通気部33が形成されている部分は接触しないようになる。
また、図4〜図7に示すように、通気性確保部材31の表面においては、通気部33が密に、あるいは、広い範囲で形成されている。このため、通気性確保部材31の表面のうち、通気部33が形成されていないごく一部のみが、折り込み部53a、53bの外側面に接触するようになる。
そうすると、折り込み部53a、53bの外側面においては、通気性確保部材31に接触している面積が小さくなる。よって、折り込み部53a、53bに存在する欠陥部が通気性確保部材31によって閉塞される可能性が非常に小さくなる。
これにより、被検査物50の内部に封入された加圧気体が欠陥部を通って外部に漏洩可能となり、漏洩した気体がチャンバ11の収納空間111に移動可能となる。よって、気体検出手段20は、漏洩を検知でき、欠陥部を検出できる。
The air
Specifically, the
The air
Moreover, as shown in FIGS. 4-7, in the surface of the air
In this case, the area in contact with the air
As a result, the pressurized gas sealed inside the
なお、図7に示す棒状部334は、断面が六角形に形成されているが、六角形に限るものではなく、四角形や円形など、任意の形状に形成することができる。
また、図7においては、棒状部334の数を五本としているが、五本に限るものではなく、任意の数だけ設けることができる。
さらに、棒状部334は、周面の全体が被検査物50の折り込み部53a、53bに接触するのではなく、六角形状の斜面部など、折り込み部53a、53bに接触しない箇所がある。この箇所は、折り込み部53a、53bに接触しないので、通気部33として機能する。
加えて、棒状部334の周面において周方向に溝部を設け、当該溝部を通気部33とすることもできる。
Although the rod-
Further, although the number of rod-
Furthermore, in the rod-
In addition, a groove may be provided in the circumferential direction on the circumferential surface of the rod-
また、通気部33は、折り込み部53a、53bの表面とチャンバ11の収納空間111とを連通又は接触させるものであるが、連通と接触は、次の点で相違する。
例えば、通気性確保部材31の介在によって折り込み部53a、53bの表面とチャンバ11の収納空間111とが離間しており、通気部33がそれら折り込み部53a、53bの表面と収納空間111とを通気可能につなげているとき、通気部33は、それらを連通させている。一方、通気部33の一例として図7に示した棒状部間空間部335のように、チャンバ11の収納空間111との境界が必ずしも明確でなく、収納空間111の一部と捉えることが可能な通気部33については、当該通気部33が折り込み部53a、53bの表面に接触することにより、折り込み部53a、53bの表面と収納空間111とを直接接触させている。
つまり、通気部33が収納空間111の一部と捉えられない場合には、連通という表現を用い、一方、通気部33が収納空間111の一部と捉えられる場合には、接触という表現を用いる。ただし、いずれの場合においても、通気部33は、折り込み部53a、53bの表面とチャンバ11の収納空間111とを通気可能につなげる役割を果たすものである。
Moreover, although the ventilation | gas_flowing
For example, the surfaces of the
That is, when the
さらに、通気性確保部材31は、第三の機能を備えている。第三の機能とは、パウチ51の折り込み部53a、53bが外側へ膨出してバックリングと呼ばれる変形が生じる事態を防止する機能をいう。
チャンバ11の収納空間111に収納されたパウチ51の内部に気体が封入されて陽圧になると、折り込み部53a、53bが外側へ膨出してバックリングと呼ばれる変形が生じることがある。
そこで、折り込み部53a、53bに対して外側から通気性確保部材31を押し当てることにより、折り込み部53a、53bの膨出を抑制し、バックリングの発生を防止するものである。
そして、このようにバックリングの発生を防止できることから、パウチ51の内部の気圧を所望の気圧にまで高めることができ、欠陥部から外部へ漏洩する気体の量を十分確保できる。これにより、気体検出手段20は、欠陥部での漏洩を確実に検知できる。よって、欠陥検査の精度を高めることができる。
Furthermore, the air
When a gas is sealed inside the
Therefore, by pressing the air
And since the occurrence of buckling can be prevented as described above, the air pressure inside the
なお、図1においては、通気性確保部材31が、被検査物50の底部52に設けられた折り込み部53aに対向する位置に配置されている。ただし、折り込み部53bが側部54に設けられたガセットパウチ51bを被検査物50とする場合には、折り込み部53bに対向する位置に、通気性確保部材31を配置させる。
In FIG. 1, the air
部材駆動手段32は、通気性確保部材31をチャンバ11に向かう方向、あるいは、チャンバ11から離間する方向へ移動させる。
部材駆動手段32には、例えば、エアシリンダなどを用いることができる。
The member driving means 32 moves the air
For example, an air cylinder or the like can be used as the member driving means 32.
表面用通気性確保手段40は、チャンバ11の内部に収納された被検査物50の表面を、被検査物50の外側にあるチャンバ11の収納空間111に連通又は接触させるための通気性確保手段である。
表面用通気性確保手段40は、チャンバ11の内側面のうち被検査物50の下側シート56aの表面又は上側シート56bの表面が接触する部分に設けられている。具体的には、例えば、被検査物50が載置されるチャンバ本体112の底部115の上面に、表面用通気性確保手段40が設けられている。また、気体の封入によって膨張した被検査物50の表面が接触する部分、例えば、チャンバ蓋113の上板部116の下面に、表面用通気性確保手段40が設けられている。
なお、図1に示す表面用通気性確保手段40は、チャンバ11とは別体で、板状又はシート状に形成された部材である。この表面用通気性確保手段40は、チャンバ本体112の底部115の上面とチャンバ蓋113の上板部116の下面のそれぞれに配置されている。ただし、チャンバ本体112の底部115の上面に設けられる表面用通気性確保手段40は、チャンバ本体112の一部として、底部115の上面に直接形成されていてもよい。また、チャンバ蓋113の上板部116の下面に設けられる表面用通気性確保手段40は、チャンバ蓋113の一部として、上板部116の下面に直接形成されていてもよい。
The surface air
The surface air
The surface air permeability ensuring means 40 shown in FIG. 1 is a member formed separately from the
これら表面用通気性確保手段40は、少なくとも被検査物50が接触する面である被検査物接触面41に、通気部42が形成されている。
通気部42は、表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41に被検査物50の表面が接触している状態において、被検査物50の表面のうち被検査物接触面41に接触している部分を接触表面部としたときに、接触表面部とチャンバ11の収納空間111とを連通又は接触させるためのものである。
In the surface air
In the state where the surface of the
通気部42の具体例としては、例えば、図8に示すように、板状又はシート状の表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41に形成された複数の溝部43が挙げられる。
溝部43は、被検査物接触面41を平面視したときに、直線状又は曲線状に形成された凹状部分である。
溝部43は、被検査物接触面41において複数形成されている。これら複数の溝部43は、平行に配置されていてもよく、あるいは、平行でなくてもよい。平行でない場合、複数の溝部43同士は、交差していてもよく、あるいは、交差していなくてもよい。交差している場合、交差する箇所は、複数箇所であってもよく、あるいは、一箇所であってもよい。一箇所の場合、複数の溝部43は、一点から放射状に延びた形状としてもよい。
また、線状又は曲線状の溝部43の長さは、長い方がよく、特に、線状等の一方の端部が表面用通気性確保手段40の一の端辺に達し、線状等の他方の端部が当該表面用通気性確保手段40における他の端辺に達していることが望ましい。このような長さとすることにより、膨張した被検査物50の表面によって溝部43のすべてが覆い隠されることがなくなるので、被検査物50の表面とチャンバ11の収納空間111とを連通させることができ、被検査物50の欠陥部から漏洩した気体を気体検出手段20にて検出させることができる。
As a specific example of the
The
A plurality of
In addition, the length of the linear or
さらに、図8に示す溝部43は、断面形状がV字状となっているが、V字状に限るものではなく、例えば、凵の字状であってもよく(図9参照)、あるいは、U字状などであってもよい。
また、複数の溝部43の各間には突状部分44が形成されるが(図8、図9参照)、突状部分44の断面形状は、図8に示すように三角形状であってもよく、あるいは、図9に示すように矩形状であってもよい。また、突状部分44の断面形状は、例えば、台形状、多角形状、半円形状、アーチ型などであってもよい。ただし、表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41と被検査物50の表面との接触面積をできる限り小さくすることが好ましいことから、突状部分44の突状先端部の形状は、∧の字状あるいは半円形状であることが望ましい。
Furthermore, although the
In addition, although a projecting
また、通気部42の他の具体例としては、例えば、図10に示すように、表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41に、放物線状に突出した凸部45を複数形成し、これら複数の凸部45の各間に位置する凹状部46を通気部42とすることができる。
さらに、通気部42の他の具体例としては、例えば、図11に示すように、多孔質の材料で形成された表面用通気性確保手段40の細孔47が挙げられる。
また、通気部42の他の具体例としては、例えば、サンドブラストによって表面用通気性確保手段40の表面を加工したときの表面の凹凸形状のうちの凹部が挙げられる。
さらに、通気部42の他の具体例としては、例えば、表面用通気性確保手段40の表面に梨地加工を施したときの梨地である凹凸形状の凹部が挙げられる。
なお、通気部42が溝部43や凹状部46などである場合、これら通気部42の幅や深さは、通気部42に接触した被検査物50の表面が当該通気部42に進入する程度に応じて決めるのが望ましい。すなわち、チャンバ11の内部に収納された被検査物50に気体が封入されて膨張し、被検査物50の表面が表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41に接触して通気部42の内部へ進入しようとしたときに、通気部42の内側面と被検査物50の表面との間に空間が確保されるような程度で、一つの通気部42の幅や深さを決めるのが望ましい。
Further, as another specific example of the
Furthermore, as another specific example of the
Moreover, as another specific example of the
Furthermore, as another specific example of the
When the
これらの形状のうちのいずれかの形状を有する通気部42を備えた表面用通気性確保手段40は、被検査物50の表面に存在する欠陥部を通って外部に漏洩してきた気体を、通気部42を通して、チャンバ11の収納空間111へ排出することができる。
具体的に、通気部42は、次のように機能する。
チャンバ11の収納空間111に収納された被検査物50は、下側シート56aの表面が、チャンバ本体112の底部115の上面に配置された表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41に接触する。また、被検査物50の内部に気体が封入されると、被検査物50が膨張し、表面がチャンバ蓋113の上板部116の下面に配置された表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41に接触する。ここで、これら表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41には通気部42が形成されているため、被検査物50の表面の全体に被検査物接触面41が接触するのではなく、通気部42が形成されている部分では、被検査物50の表面に接触しないようになる。
しかも、図8〜図11に示すように、被検査物接触面41においては、複数の通気部42が密に、かつ、広い範囲で形成されている。これにより、被検査物接触面41のうち、通気部42が形成されていないごく一部のみが、被検査物50の表面に接触するようになる。
そうすると、被検査物50の表面においては、被検査物接触面41に接触している面積が小さくなることから、被検査物50の表面に存在する欠陥部が表面用通気性確保手段40によって閉塞される可能性が非常に小さくなる。
このため、欠陥部を通って加圧気体が外部に漏洩可能となり、気体がチャンバ11の収納空間111に移動可能となることから、気体検出手段20は、欠陥部での漏洩を検知でき、欠陥部を検出できる。
The surface breathability ensuring means 40 provided with the
Specifically, the
The
Moreover, as shown in FIG. 8 to FIG. 11, in the inspection
Then, on the surface of the
Therefore, the pressurized gas can leak to the outside through the defect portion, and the gas can move to the
(II)欠陥検査方法
次に、本実施形態の欠陥検査方法について、図12〜図21を参照して説明する。
本実施形態の欠陥検査方法は、上記の構成を備えた欠陥検査装置10Aを用いて、被検査物50における欠陥部の有無を検査する方法である。
なお、図12〜図21においては、説明の便宜上、気体供給手段12と気体検出手段20の図示を省略してある。
また、この欠陥検査方法においては、スタンディングパウチ51aを被検査物50とした場合について説明する。
(II) Defect Inspection Method Next, a defect inspection method according to the present embodiment will be described with reference to FIGS.
The defect inspection method of the present embodiment is a method of inspecting the presence or absence of a defect in the
In FIGS. 12 to 21, the gas supply means 12 and the gas detection means 20 are omitted for the sake of convenience of the description.
Moreover, in this defect inspection method, the case where the standing
まず、チャンバ11の収納空間111に被検査物50であるスタンディングパウチ51aが収納されていない状態の欠陥検査装置10Aを用意する。
このとき、チャンバ本体112の上には、チャンバ蓋113が載置されているものとする。
First, the
At this time, the
次に、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を上方へ移動させる。これにより、チャンバ蓋113がチャンバ本体112から離間して上方へ持ち上がり、チャンバ11の収納空間111が当該チャンバ11の外部と連通し、チャンバ本体112の内部がオープンな状態となる。
また、チャンバ蓋113が上方へ持ち上がることにより、気体供給手段12の気体供給ノズル123がチャンバ蓋113から受けていた下方向への押圧が解除される。このため、気体供給ノズル123は、付勢部材126による付勢により、所定の高さだけ上方へ持ち上がる。
Next, the chamber opening / closing means 114 is driven to move the
In addition, when the
次いで、ノズル駆動手段124を駆動させることにより、気体供給ノズル123をチャンバ11から離間する方向(水平方向)へ移動させる。
続いて、部材駆動手段32を駆動させることにより、折込部用通気性確保手段30の通気性確保部材31をチャンバ11から離間する方向(水平方向)へ移動させる。
これらの工程を経ることにより、チャンバ本体112の上方には、気体供給ノズル123と通気性確保部材31が位置しておらず、かつ、チャンバ蓋113がチャンバ本体112から距離を置いて上方に位置するようになる。これにより、チャンバ本体112の底部115の上方が開放した状態となる(図12参照)。
Next, the
Subsequently, by driving the member driving means 32, the air
By going through these steps, the
チャンバ本体112の底部115の上面上には、表面用通気性確保手段40が付設されている。表面用通気性確保手段40の上面である被検査物接触面41の上に、被検査物50が載置される。
このとき、被検査物50であるスタンディングパウチ51a(以下、単にパウチ51という)を水平状態に保ち、パウチ51を構成する二枚のシート56のうち下側に位置するシート56を下側シート56aとしたときに、下側シート56aの表面が表面用通気性確保手段40の被検査物接触面41に対向した状態で、当該パウチ51が被検査物接触面41の上に載置される。
また、パウチ51の上縁部58は、チャンバ本体112の側壁117a(側壁117のうち、気体供給ノズル123に近い方の側壁117a)の上面上に載置される。このとき、チャンバ本体112の側壁117aに穿設されている貫通孔131の上部開口が、パウチ51の上縁部58によって閉塞されるようにする。
On the upper surface of the
At this time, the standing
Further, the
次いで、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を下方へ移動させる(図13参照)。これにより、チャンバ本体112の上にチャンバ蓋113が載置される。
続いて、吸着手段13の真空ポンプ(図示せず)を駆動させる。これにより、チャンバ本体112の貫通孔131の内部が真空状態となり、パウチ51の下側シート56aの上縁部58が真空吸着される。また、チャンバ蓋113の貫通孔132の内部が真空状態となり、パウチ51の上側シート56bの上縁部58が真空吸着される。
ここで、チャンバ本体112の側壁117aの上面には、パウチ51の下側シート56aの上縁部58と気体供給ノズル123の管状部127の下半部が収まる形状の凹部16aが形成されている(図14参照)。また、チャンバ蓋113の側壁118aの下面には、パウチ51の上側シート56bの上縁部58と気体供給ノズル123の管状部127の上半部が収まる形状の凹部16bが形成されている。
そして、チャンバ本体112の凹部16aにおいてパウチ51の下側シート56aの上縁部58が収まる部分のうち、気体供給ノズル123の管状部127の下半部が収まる部分の近傍(図14においては、気体供給ノズル123の管状部127の下半部が収まる部分の右側方及び左側方)には、貫通孔131の上面開口が形成されている。また、チャンバ蓋113の凹部16bにおいてパウチ51の上側シート56bの上縁部58が収まる部分のうち、気体供給ノズル123の管状部127の上半部が収まる部分の近傍(図14においては、気体供給ノズル123の管状部127の上半部が収まる部分の右側方及び左側方)には、貫通孔132の下面開口が形成されている。さらに、チャンバ本体112の凹部16aのうち気体供給ノズル123の管状部127の下半部が収まる部分と、チャンバ蓋113の凹部16bのうち気体供給ノズル123の管状部127の上半部が収まる部分とで形成される、ほぼ円形状の開口を第一開口16cとする。
Then, the chamber opening / closing means 114 is driven to move the
Subsequently, the vacuum pump (not shown) of the suction unit 13 is driven. As a result, the inside of the through
Here, on the upper surface of the
Then, in the
そして、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を上昇させる(図15参照)。これにより、チャンバ蓋113がチャンバ本体112から離間して上方へ持ち上がる。
このとき、パウチ51の下側シート56aの上縁部58は、チャンバ本体112の貫通孔131に真空吸着されているので、上方へは移動せず、チャンバ本体112の側壁117aの上面上に固定される。
一方、パウチ51の上側シート56bの上縁部58は、チャンバ蓋113の貫通孔132に真空吸着されているので、チャンバ蓋113の上昇に伴って、上方へ移動する。
これにより、パウチ51の下側シート56aの上縁部58と上側シート56bの上縁部58が離間して、パウチ51の上部開口59が大きく開いた状態となる。
Then, the chamber opening / closing means 114 is driven to raise the chamber lid 113 (see FIG. 15). As a result, the
At this time, the
On the other hand, since the
As a result, the
次いで、ノズル駆動手段124を駆動させることにより、気体供給ノズル123をチャンバ11に近づける方向(水平方向)へ移動させる(図16参照)。これにより、気体供給ノズル123に形成された管状部127がパウチ51の上部開口59の内部に挿入される。
Subsequently, the
続いて、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を下降させる(図17参照)。
このとき、チャンバ蓋113の下降に伴って当該チャンバ蓋113の側壁118aも下降するが、側壁118aの下方には気体供給ノズル123の管状部127が位置していることから、側壁118aは、気体供給ノズル123の管状部127を押し下げながら下降する。これにより、気体供給ノズル123の全体が、付勢部材126による上方向への付勢の方向とは反対の方向である下方へ押し下げられる。
Subsequently, the chamber opening / closing means 114 is driven to lower the chamber lid 113 (see FIG. 17).
At this time, the
下降したチャンバ蓋113は、チャンバ本体112の上に載置される。
そして、気体供給ノズル123の管状部127は、パウチ51の上部開口59の内部に挿入された状態で、パウチ51の下側シート56aの上縁部58と上側シート56bの上縁部58との間に挟み込まれる。また、パウチ51の下側シート56aの上縁部58と上側シート56bの上縁部58は、チャンバ本体112の側壁117aの上面とチャンバ蓋113の側壁118aの下面との間に挟まれた状態となる。
The lowered
The
さらに、気体供給ノズル123の管状部127が挿入されたパウチ51の上部開口59が閉塞することで、当該パウチ51が密封状態となる。
ただし、ここでは、チャンバ本体112に対してチャンバ蓋113を完全に閉鎖せず、パウチ51を密封状態で保持できる程度に閉鎖する。これは、パウチ51の内部に気体を供給可能とするとともに、その後に折込部用通気性確保手段30の通気性確保部材31をチャンバ11の収納空間111に進入させるためである。
このようなチャンバ蓋113の閉鎖を実現するため、チャンバ本体112の側壁117の上面に設けられた気密性保持部材119(パッキン)とチャンバ蓋113の側壁118の下面に設けられた気密性保持部材119(パッキン)の潰ししろを厚くしておくとよい。
Furthermore, when the
However, here, the
In order to realize such closing of the
次いで、気体供給手段12のバルブ125(図1参照)を開にするなどして、気体供給源121から排出された加圧気体を、気体供給ノズル123の管状部127を通して、パウチ51の内部に供給する(図18参照)。
これにより、パウチ51は、陽圧となって膨張する。
また、パウチ51は、膨張に伴って、折り込み部53aの端部(折り込み部53aと下側シート56aとの繋がり部分と、折り込み部53aと上側シート56bとの繋がり部分)が上下方向に広がって、開いた状態となる。そして、これら折り込み部53aと下側シート56aとの繋がり部分と、折り込み部53aと上側シート56bとの繋がり部分との距離を、通気性確保部材31の厚み(上下方向の高さ)よりも高くしておく。
Then, the valve 125 (see FIG. 1) of the gas supply means 12 is opened and the pressurized gas discharged from the gas supply source 121 is introduced into the
Thereby, the
In the
続いて、部材駆動手段32を駆動させることにより、折込部用通気性確保手段30の通気性確保部材31をチャンバ11に近づける方向(水平方向)へ移動させる(図19参照)。そして、チャンバ11の側壁117、118の間に形成された、通気性確保部材31を通すための第二開口16d(図18、図20参照)に通気性確保部材31を通して、収納空間111へ進入させる。さらに、通気性確保部材31を、重なり合った折り込み部53aの合間に進入させ、折り込み部53aの外側面に接触させた状態で配置する接触工程を行う。
これにより、折り込み部53aは、重なり合って密着していた外側面同士が離間して押し広げられた状態となる。
Subsequently, by driving the member driving means 32, the air
As a result, the folded
そして、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を下方向へ押圧し、チャンバ本体112に対してチャンバ蓋113を完全に閉鎖させる。このとき、チャンバ本体112の気密性保持部材119とチャンバ蓋113の気密性保持部材119とを潰して、チャンバ11を密封状態にする。
Then, the chamber opening / closing means 114 is driven to press the
さらに、気体供給源121(図1参照)から排出された加圧気体を、気体供給ノズル123の管状部127を通して、パウチ51の内部にさらに供給する陽圧工程を行う(図21参照)。
これにより、パウチ51に欠陥部があるときは、パウチ51の内部に供給された気体が欠陥部を通ってチャンバ11の収納空間111へ漏洩する。
また、パウチ51の折り込み部53aに欠陥部があるときは、パウチ51の内部に供給された気体が、欠陥部を通り、折込部用通気性確保手段30の通気性確保部材31の通気部33を通って、チャンバ11の収納空間111へ漏洩する。
Further, a positive pressure process of supplying the pressurized gas discharged from the gas supply source 121 (see FIG. 1) further to the inside of the
Thus, when the
Further, when the folded
さらに、内部が陽圧となったパウチ51においては、下側シート56aの表面がチャンバ本体112に設けられた表面用通気性確保手段40の上面に接しており、また、上側シート56bの表面がチャンバ蓋113に設けられた表面用通気性確保手段40の下面に接する。
これにより、パウチ51の下側シート56a及び上側シート56bにおいて表面用通気性確保手段40に接触している部分を接触表面部とした場合において、接触表面部に欠陥部があるときは、パウチ51の内部に供給された気体が、欠陥部を通り、表面用通気性確保手段40の通気部42を通って、チャンバ11の収納空間111へ漏洩する。
そして、気体検出手段20は、漏洩を検知し、パウチ51に欠陥部があることを検出する検出工程を行う。
Furthermore, in the
Thereby, when a portion in contact with the surface air permeability ensuring means 40 in the
And the gas detection means 20 detects a leak, and performs the detection process which detects that the
このように、本実施形態の欠陥検査方法を実施することにより、被検査物50における欠陥部の有無を検査することができる。
また、チャンバ11の収納空間111に収納された被検査物50であるパウチ51の内部に気体を封入したときに、パウチ51の折り込み部53aが折り目55の周囲で重なり合って密着することがあるが、折り込み部53aの密着部分である接触表面部の外側から折込部用通気性確保手段30の通気性確保部材31を押し当てることにより、折り込み部53aを押し広げることができる。
そして、折り込み部53aに欠陥部がある場合でも、通気性確保部材31に通気部33が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部33を通ってチャンバ11の収納空間111に排出されることから、欠陥部での漏洩を気体検出手段20によって検知できる。
Thus, the presence or absence of a defect in the
In addition, when gas is sealed in the inside of the
And, even when there is a defective portion in the folded
さらに、パウチ51の下側シート56a又は上側シート56bにおいて表面用通気性確保手段40と接触する接触表面部に欠陥部がある場合でも、表面用通気性確保手段40に通気部42が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部42を通ってチャンバ11の収納空間111に排出されることから、欠陥部での漏洩を気体検出手段20によって検知できる。
Furthermore, even when there is a defective portion in the contact surface portion of the
しかも、パウチ51の折り込み部53aに対しては、外側から通気性確保部材31が押し当てられるため、パウチ51が陽圧になっても、折り込み部53aが外側へ膨出せず、バックリングと呼ばれる変形が生じない。このため、パウチ51の内部の気圧を所望の気圧にまで高めることができ、欠陥部から漏洩する気体の量を十分確保できるので、気体検出手段20が漏洩を確実に検知でき、これにより欠陥検査の精度を高めることができる。
また、チャンバ11は、被検査物50の全体を収容するため、被検査物50の全体に対して、欠陥部の有無を検査できる。
In addition, since the air-
Moreover, since the
なお、本実施形態の欠陥検査方法においては、スタンディングパウチ51aを被検査物50とした場合について説明したが、被検査物50は、スタンディングパウチ51aに限るものではなく、ガセットパウチ51bや平袋のパウチ51であってもよい。
In the defect inspection method of the present embodiment, the case where the standing
(III)気体検出手段
図1に示した欠陥検査装置10Aは、図3に示した構成を有する気体検出装置21を気体検出手段20として備えている。
ただし、気体検出手段20は、気体検出装置21に限るものではなく、例えば、図22に示した構成を有する光学的検出手段22を用いることができる。
(III) Gas Detection Means The
However, the gas detection means 20 is not limited to the gas detection device 21. For example, the optical detection means 22 having the configuration shown in FIG. 22 can be used.
(光学的検出手段)
光学的検出手段22は、検出気体収納部211から押し出された気体を、シュリーレン法を用いて検出する手段である。
具体的に、光学的検出手段22は、光源221と、第一レンズ222と、第二レンズ223と、ノズル224と、ナイフエッジ225と、観察手段226とを備えている。
光源221は、光を出射する。
第一レンズ222は、光源221からの光を平行光束にする。
第二レンズ223は、平行光束を集光する。
ノズル224は、検出気体収納部211から押し出された気体を検出用気体として平行光束へ送る。
ナイフエッジ225は、光源像を部分的に遮る。
観察手段226は、光源像を結像し、平行光束における屈折の分布を観察する。
このような構成を備えた光学的検出手段22を気体検出手段20として用いることにより、検出気体収納部211から押し出された気体を、平行光束における屈折率の分布として可視化し、精度よく検出することができる。
(Optical detection means)
The optical detection means 22 is a means for detecting the gas pushed out from the detection
Specifically, the optical detection means 22 includes a light source 221, a first lens 222, a second lens 223, a nozzle 224, a knife edge 225, and an observation means 226.
The light source 221 emits light.
The first lens 222 collimates the light from the light source 221 into a parallel light flux.
The second lens 223 condenses the parallel luminous flux.
The nozzle 224 sends the gas pushed out from the detection
The knife edge 225 partially blocks the light source image.
The observation means 226 forms an image of the light source and observes the distribution of refraction in the parallel light flux.
By using the optical detection means 22 having such a configuration as the gas detection means 20, the gas pushed out from the detection
ここで、検出用気体は、光学的検出手段22の内部の雰囲気と屈折率が異なる気体を用いるものとする。 Here, as the detection gas, a gas having a refractive index different from that of the atmosphere inside the optical detection means 22 is used.
また、検出用気体は、温調されることによって、光学的検出手段22の内部の雰囲気と屈折率が異なるようにするとよい。
温調は、ヒータなどの加熱手段、あるいは、ペルチェ装置や水冷装置などの冷却手段を、検出気体収納部211に設けることで実現できる。
温調することにより、検出用気体の屈折率と光学的検出手段22の内部の雰囲気の屈折率との差を容易に大きくすることができるので、検出性能を向上させることができる。
また、例えば、被検査物50の内部に供給される気体と、チャンバ11の収納空間111の気体と、検出気体収納部211の内部の気体は、いずれも空気を用いることができる。空気とすることにより、ヘリウムなどの高価な気体を使用しなくても済むので、ランニング費用のコストダウンを図ることができる。
なお、光学的検出手段22は、シュリーレン法を行う構成としてあるが、これに限定されるものではなく、たとえば、シャドウグラフ法やマッハツェンダー法などを行う構成としてもよい。
In addition, the temperature of the detection gas may be controlled so that the atmosphere and the refractive index inside the optical detection means 22 are different.
Temperature control can be realized by providing a heating unit such as a heater or a cooling unit such as a Peltier device or a water cooler in the detected
By adjusting the temperature, the difference between the refractive index of the detection gas and the refractive index of the atmosphere inside the optical detection means 22 can be easily increased, so that the detection performance can be improved.
Further, for example, air can be used as the gas supplied to the inside of the
The optical detection means 22 is configured to perform the Schlieren method, but is not limited to this. For example, the optical detection means 22 may be configured to perform the shadow graph method, the Mach-Zehnder method, or the like.
(ダイアフラム)
検出気体収納部211には、仕切り部材として、ダイアフラムを設けることができる。
ダイアフラムは、検出気体収納部211を上流側と下流側とに分ける仕切り用の板材であって、可撓性を有するものである。ダイアフラムは、チャンバ11の収納空間111からの気体が検出気体収納部211の上流側に流入すると、ほぼ同じ容積に応じて下流側に変形する。
ダイアフラムを設けることにより、検出気体収納部211及び気体検出部212に封入させる気体とチャンバ11の収納空間111の気体とを異ならせることができる。例えば、前者の気体を二酸化炭素とし、後者の気体を通常の空気とすることができる。
これら二酸化炭素と空気は、ダイアフラムによって仕切られるので、検出気体収納部211の内部で二酸化炭素の濃度が低下せず、屈折率が変動するといった不具合を回避することができる。
(Diaphragm)
The detection
The diaphragm is a partition plate for dividing the detection
By providing the diaphragm, the gas sealed in the detection
Since the carbon dioxide and the air are separated by the diaphragm, it is possible to avoid the problem that the concentration of carbon dioxide does not decrease inside the detection
また、ダイアフラムを設けることにより、検出気体収納部211及び気体検出部212に封入されている気体とチャンバ11の収納空間111の気体とが異なる場合であっても、混ざり合うことを防止できる。よって、気体の選定の自由度を大きくすることができ、使い勝手などを向上させることができる。
なお、仕切り部材としては、ダイアフラムの他にも、例えば、蛇腹状のシート(図示せず)などを用いてもよい。
Further, by providing the diaphragm, even when the gas enclosed in the detection
In addition to the diaphragm, for example, a bellows-like sheet (not shown) may be used as the partition member.
(IV)実施例
以下、具体的な実施例を挙げて、本発明をより詳細に説明する。
(IV) Examples Hereinafter, the present invention will be described in more detail by way of specific examples.
(IV-1)実施例1
欠陥検査装置として、図1に示した構成を備える欠陥検査装置10Aを用意した。
また、気体検出手段20としては、図22に示した構成を備える光学的検出手段22(シュレーリン装置)を用いた。
(IV-1) Example 1
As a defect inspection apparatus, a
Moreover, as the gas detection means 20, the optical detection means 22 (Shrelin apparatus) provided with the structure shown in FIG. 22 was used.
折込部用通気性確保手段30の通気性確保部材31には、厚さ5mmのアルミニウム製の板材(アルミ A5052P(JIS規格 H4000))を用いた。
この通気性確保部材31を二枚用意した。二枚のうちの一枚は、表面に通気部33を加工せず、表面の粗さを算術平均粗さRa=0.2μmとした。他の一枚は、表面に梨地加工を施し、梨地である凹凸形状の凹部を通気部33とし、表面の粗さをRa=10μmとした。
チャンバ本体112の底部115の上面上に設けられた表面用通気性確保手段40の上面とチャンバ蓋113の上板部116の下面に設けられた表面用通気性確保手段40の下面との間隔は、7mmとした。
An aluminum plate material (aluminum A5052P (JIS standard H4000)) having a thickness of 5 mm was used as the air
Two sheets of this
The distance between the upper surface of the surface air permeability ensuring means 40 provided on the upper surface of the
被検査物50は、サンプルとして、スタンディングパウチ51aを用意した。
また、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aには、疑似不良として、直径が100μmのピンホールを一箇所に形成した。
The to-
Further, in the folded
これら欠陥検査装置10Aと被検査物50とを用意した後、前述した「(II)欠陥検査方法」の内容で、実験を行った。
また、次の三つの場合について、それぞれ実験を行った。
(i)通気性確保部材31をスタンディングパウチ51aの折り込み部53aに押し込まなかった場合(図23に示す「通気性確保部材31の押し込み無し」)
(ii)表面の粗さがRa=0.2μmである通気性確保部材31をスタンディングパウチ51aの折り込み部53aに押し込んだ場合(図23に示す「通気性確保部材31の押し込み有り(表面未加工 Ra=0.2μm)」)
(iii)表面の粗さがRa=10μmである通気性確保部材31をスタンディングパウチ51aの折り込み部53aに押し込んだ場合(図23に示す「通気性確保部材31の押し込み有り(表面梨地加工 Ra=10μm)」)
これら(i)〜(iii)のいずれにおいても、気体供給手段12から被検査物50の内部に供給される気体を空気とし、圧力を10kPaとした。
After preparing the
In addition, experiments were conducted for the following three cases.
(I) When the air
(Ii) When the air
(Iii) When the air
In any of these (i) to (iii), the gas supplied from the gas supply means 12 to the inside of the
実験の結果を図23に示す。
同図に示すように、(i)の場合は、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに存在する欠陥部(ピンホール)が、検出されなかった。
これは、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aにおいて、折り目55の周囲が積層して密着し、積層した折り込み部53aにおいてピンホールが閉塞し、スタンディングパウチ51aの内部に封入された気体がピンホールから漏洩できない状態となったためであると考えられる。
The results of the experiment are shown in FIG.
As shown in the figure, in the case of (i), a defect (pinhole) present in the folded
This is because in the
(ii)の場合も、欠陥部(ピンホール)が、検出されなかった。
これは、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに通気性確保部材31が押し込まれたために、折り目55の周囲を広げることができ、折り込み部53a同士の密着を解消できたものの、折り込まれた通気性確保部材31の表面の粗さが細かいことから、通気性確保部材31の表面と折り込み部53aの表面とが密着し、通気性確保部材31の表面によってピンホールが閉塞し、スタンディングパウチ51aの内部に封入された気体がピンホールから外部に漏洩できない状態となったためであると考えられる。
Also in the case of (ii), no defect (pinhole) was detected.
This is because the air
(iii)の場合は、欠陥部(ピンホール)が検出された。
これは、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに通気性確保部材31を押し込むことで、折り目55の周囲の密着状態を解消するとともに、押し込まれた通気性確保部材31の表面の粗さが粗いために、通気性確保部材31の表面が凹凸形状をなし、凹凸形状のうちの凹状部分が通気部33となって折り込み部53aの表面と密着しないことで、ピンホールの閉塞を回避し、スタンディングパウチ51aの内部に封入された気体がピンホールを通って外部の収納空間111に漏洩できたためであると考えられる。
In the case of (iii), a defect (pinhole) was detected.
This is because the air
(IV-2)実施例2
欠陥検査装置として、図1に示した構成を備える欠陥検査装置10Aを用意した。また、気体検出手段20としては、図22に示した構成を備える光学的検出手段22(シュレーリン装置)を用いた。
チャンバ本体112の底部115の上面上に設けられた表面用通気性確保手段40の上面とチャンバ蓋113の上板部116の下面に設けられた表面用通気性確保手段40の下面との間隔は、7mmとした。
(IV-2) Example 2
As a defect inspection apparatus, a
The distance between the upper surface of the surface air permeability ensuring means 40 provided on the upper surface of the
折込部用通気性確保手段30の通気性確保部材31には、厚さ5mmのアルミニウム製の板材(アルミ A5052P(JIS規格 H4000))を用いた。
この通気性確保部材31を四枚用意した。四枚のうちの一枚は、表面に通気部33を加工せず、表面の粗さを算術平均粗さRa=0.2μmとした。他の一枚は、表面にサンドブラスト加工を施し、表面の粗さをRa=1.4μmとし、表面の凹凸形状の凹部を通気部33とした。また、他の一枚は、エッチングによる梨地加工を表面に施し、表面の粗さをRa=4.6μmとし、梨地である凹凸形状の凹部を通気部33とした。さらに、他の一枚は、エッチングによる梨地加工を表面に施し、表面の粗さをRa=10μmとし、梨地である凹凸形状の凹部を通気部33とした。
なお、四枚の通気性確保部材31のそれぞれの表面粗さは、株式会社東京精密製の表面粗さ・輪郭形状測定機(サーフコム2000SD3(サーフコムは登録商標))を用いて測定した。
An aluminum plate material (aluminum A5052P (JIS standard H4000)) having a thickness of 5 mm was used as the air
Four sheets of this
The surface roughness of each of the four air
被検査物50は、サンプルとして、スタンディングパウチ51aを用意した。
また、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aには、疑似不良として、直径が100μmのピンホールを一箇所に形成した。
The to-
Further, in the folded
これら欠陥検査装置10Aと被検査物50とを用意した後、前述した「(II)欠陥検査方法」の内容で、実験を行った。
また、この実験では、上述した四枚の通気性確保部材31を予め用意しておき、一枚ずつ欠陥検査装置10Aに取り付けて当該実験を行った。そして、四枚の通気性確保部材31のそれぞれについて欠陥部(ピンホール)を検出できたか否かを検証した。
なお、四枚の通気性確保部材31のいずれを用いる場合においても、気体供給手段12から被検査物50の内部に供給される気体を空気とし、圧力を10kPaとした。
After preparing the
Moreover, in this experiment, the air
In addition, also when using any of the four air
実験の結果を図24に示す。
同図(i)に示すように、表面粗さRa=0.2μmの通気性確保部材31を用いた場合は、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに存在する欠陥部(ピンホール)が、検出されなかった。
これは、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに通気性確保部材31が押し込まれたために、折り目55の周囲を広げることができ、折り込み部53a同士の密着を解消できたものの、折り込まれた通気性確保部材31の表面の粗さが細かいことから、通気性確保部材31の表面と折り込み部53aの表面とが密着し、通気性確保部材31の表面によってピンホールが閉塞し、スタンディングパウチ51aの内部に封入された気体がピンホールから外部に漏洩できない状態となったためであると考えられる。
The results of the experiment are shown in FIG.
As shown in (i) of the figure, in the case of using the air
This is because the air
一方、同図(ii)〜(iv)に示すように、表面粗さRa=1.4μm、Ra=4.6μm、Ra=10μmの通気性確保部材31をそれぞれ用いた場合は、いずれも欠陥部(ピンホール)が検出された。
これは、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに通気性確保部材31を押し込むことで、折り目55の周囲の密着状態を解消するとともに、押し込まれた通気性確保部材31の表面の粗さが粗いために、通気性確保部材31の表面が凹凸形状をなし、凹凸形状のうちの凹状部分が通気部33となって折り込み部53aの表面と密着しないことで、ピンホールの閉塞を回避し、スタンディングパウチ51aの内部に封入された気体がピンホールを通って外部の収納空間111に漏洩できたためであると考えられる。
この実験の結果から、通気性確保部材31の表面粗さは、少なくともRa=1.4μm以上あればよいことがわかった。
On the other hand, as shown in the figures (ii) to (iv), when the air
This is because the air
From the results of this experiment, it was found that the surface roughness of the air
[欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第二実施形態]
次に、本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第二の実施形態について、図25を参照して説明する。
同図は、本実施形態の欠陥検査装置の構成を示す正面図である。
本実施形態は、第一実施形態と比較して、被検査物が相違するとともに、被検査物の相違にもとづく欠陥検査装置の構成が相違する。すなわち、第一実施形態では、被検査物が、上縁部に開口を有するパウチであったのに対し、本実施形態では、被検査物が、上縁部を含むすべての縁部を熱溶着した密封パウチである点で相違する。また、第一実施形態では、欠陥検査装置が、気体供給手段を備えた構成であったのに対し、本実施形態では、欠陥検査装置が、チャンバの収納空間を真空にするための真空手段を備えており、気体供給手段を備えていない点で相違する。さらに、気体検出手段には圧力計やヘリウムリークディテクタを用いることができる。ヘリウムリークディテクタを用いる場合、密封パウチの内部に予めヘリウムを充填しておく。他の構成要素は第一実施形態と同様である。
したがって、図25において、図1と同様の構成部分については同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
Second Embodiment of Defect Inspection Device and Defect Inspection Method
Next, a second embodiment of the defect inspection apparatus and defect inspection method of the present invention will be described with reference to FIG.
The figure is a front view which shows the structure of the defect inspection apparatus of this embodiment.
The present embodiment is different from the first embodiment in the inspection object and in the configuration of the defect inspection apparatus based on the difference of the inspection object. That is, in the first embodiment, the object to be inspected is a pouch having an opening at the upper edge, whereas in the present embodiment, the object to be inspected thermally welds all the edges including the upper edge. It differs in that it is a sealed pouch. In the first embodiment, the defect inspection apparatus includes the gas supply unit, whereas in the present embodiment, the defect inspection apparatus includes a vacuum unit for evacuating the storage space of the chamber. It differs in that it is equipped and does not have gas supply means. Furthermore, a pressure gauge or a helium leak detector can be used as the gas detection means. When using a helium leak detector, the inside of the sealed pouch is pre-filled with helium. Other components are the same as in the first embodiment.
Therefore, in FIG. 25, the same components as in FIG. 1 will be assigned the same reference numerals and detailed explanations thereof will be omitted.
図25に示すように、本実施形態の欠陥検査装置10Bは、チャンバ11、排気手段14、気体検出手段20、折込部用通気性確保手段30、表面用通気性確保手段40、真空手段15を備えている。
ここで、真空手段15は、チャンバ11の収納空間111を真空状態にすることで相対的に被検査物50の内部を陽圧にするための陽圧手段である。
真空手段15は、真空ポンプ151と、真空配管152と、バルブ153とを備えている。
真空ポンプ151は、真空配管152によりチャンバ11の収納空間111に接続されており、収納空間111の内部を真空状態する。
バルブ153は、真空配管152の途中又は端部に設けられており、真空ポンプ151による収納空間111の内部の気体の排出を制御する。
As shown in FIG. 25, the defect inspection apparatus 10B of the present embodiment includes the
Here, the vacuum means 15 is a positive pressure means for relatively making the inside of the
The vacuum unit 15 includes a vacuum pump 151, a vacuum pipe 152, and a valve 153.
The vacuum pump 151 is connected to the
The valve 153 is provided in the middle or at the end of the vacuum pipe 152, and controls the discharge of gas inside the
折込部用通気性確保手段30は、チャンバ11の収納空間111に収納された被検査物50の折り込み部53a、53bの表面を、被検査物50の外側にある空間(チャンバ11の収納空間111)に連通又は接触させるための通気性確保手段である。
折込部用通気性確保手段30は、通気性確保部材31を備えている。通気性確保部材31は、チャンバ本体112の側壁117に固定されている。つまり、折込部用通気性確保手段30は、部材駆動手段を備えていない。これは、チャンバ11の収納空間111を真空状態にした後に、真空状態を保持しながら、収納空間111に通気性確保部材31を進入させることが困難だからである。
The air
The folded portion air
欠陥検査装置10Bを用いて行われる欠陥検査の対象は、すべての縁部が熱溶着によってシールされた密封パウチ51cである。
密封パウチ51cは、平袋、スタンディングパウチ51a、ガセットパウチ51bのいずれであってもよい。また、スパウト57が取り付けられているものであってもよく、あるいは、取り付けられていないものであってもよい。
The target of the defect inspection performed using the defect inspection apparatus 10B is a sealed pouch 51c in which all the edges are sealed by heat welding.
The sealed pouch 51c may be any of a flat bag, a standing
欠陥検査装置10Bを用いて行われる欠陥検査方法は、次の手順で実行される。
なお、ここでは、スタンディングパウチ51aを密封パウチ51cとしたものを被検査物50とする。
The defect inspection method performed using the defect inspection apparatus 10B is performed in the following procedure.
In addition, what made the standing
チャンバ11の収納空間111に被検査物50が収納されていない状態の欠陥検査装置10Bを用意する。
このとき、チャンバ本体112の上には、チャンバ蓋113が載置されているものとする。
チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を上昇させる。これにより、チャンバ蓋113がチャンバ本体112から離間して上方へ持ち上がり、チャンバ11の収納空間111が当該チャンバ11の外部と連通し、チャンバ本体112の内部が露出したオープンな状態となる。
The defect inspection apparatus 10B in a state in which the
At this time, the
The chamber opening / closing means 114 is driven to raise the
次いで、チャンバ本体112の底部115の上面上に設けられた表面用通気性確保手段40の上に、被検査物50(密封パウチ51cであるスタンディングパウチ51a)を載置する。
このとき、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに対して通気性確保部材31を挿入した状態で、スタンディングパウチ51aを表面用通気性確保手段40の上に載置する。これにより、通気性確保部材31がスタンディングパウチ51aの折り込み部53aに接触した状態で配置される(接触工程)。
Next, the inspection object 50 (a standing
At this time, the standing
続いて、チャンバ開閉手段114を駆動させてチャンバ蓋113を下降させる。これにより、チャンバ本体112の上にチャンバ蓋113が載置される。そして、チャンバ11の収納空間111が密封状態となる。
Subsequently, the chamber opening / closing means 114 is driven to lower the
そして、真空手段15の真空ポンプ151を駆動させる。これにより、チャンバ本体112の収納空間111が真空状態となり(陽圧工程)、スタンディングパウチ51aが膨張する。
このとき、スタンディングパウチ51aの下側シート56aの表面がチャンバ本体112の表面用通気性確保手段40の上面に接しており、また、スタンディングパウチ51aの上側シート56bの表面がチャンバ蓋113の表面用通気性確保手段40の下面に接する。
また、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aにおいては、通気性確保部材31が挿入されているため、折り目55の周囲が重ならず、広がった状態となる。
Then, the vacuum pump 151 of the vacuum unit 15 is driven. As a result, the
At this time, the surface of the
Further, in the folded
さらに、真空手段15の真空ポンプ151を駆動させて、収納空間111の圧力(真空度)を所定の圧力にまで低下させた後、バルブ153を閉にする。これにより、スタンディングパウチ51aに欠陥部がある場合、陽圧となったスタンディングパウチ51aの内部の気体が、欠陥部から外部の収納空間111へ漏洩する。
この漏洩を気体検出手段20が検出することにより、スタンディングパウチ51aに欠陥部があることを検出できる(検出工程)。
Furthermore, after the vacuum pump 151 of the vacuum means 15 is driven to reduce the pressure (vacuum degree) of the
The gas detection means 20 detects the leak to detect that the standing
また、スタンディングパウチ51aが陽圧により膨張して折り込み部53aの折り目55の周囲が密着するときの当該密着部分である接触表面部に欠陥部がある場合でも、接触表面部に通気性確保部材31が接触して配置され、折り込み部53a同士が密着しないため、スタンディングパウチ51aの内部の気体が、欠陥部を通って外部に漏洩可能となる。そして、配置された通気性確保部材31には、通気部33が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部33を通ってチャンバ11の収納空間111に排出される。これにより、欠陥部での漏洩を気体検出手段20によって検知できる。
Further, even when there is a defective portion on the contact surface portion which is a close contact portion when the standing
さらに、スタンディングパウチ51aの下側シート56a又は上側シート56bに欠陥部がある場合でも、表面用通気性確保手段40に通気部42が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部42を通ってチャンバ11の収納空間111に排出されるので、欠陥部での漏洩を気体検出手段20によって検知できる。
しかも、スタンディングパウチ51aの折り込み部53aに対しては、外側から通気性確保部材31が押し当てられるため、チャンバ11の収納空間111が真空状態になったとしても、折り込み部53aが外側へ膨出せず、バックリングと呼ばれる変形が生じない。これにより、パウチ51の内部の陽圧状態を維持することができ、欠陥部から漏洩する気体の量を十分確保できるので、気体検出手段20が欠陥部での漏洩を確実に検知でき、よって、欠陥検査の精度を高めることができる。
Furthermore, even when there is a defect in the
In addition, since the air-
なお、本実施形態の欠陥検査方法においては、スタンディングパウチ51aを被検査物50とした場合について説明したが、被検査物50は、スタンディングパウチ51aに限るものではなく、ガセットパウチ51bや平袋のパウチ51であってもよい。
In the defect inspection method of the present embodiment, the case where the standing
[欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第三実施形態]
次に、本発明の欠陥検査装置及び欠陥検査方法の第三の実施形態について、図26を参照して説明する。
同図は、本実施形態の欠陥検査装置の構成を示す正面図である。
本実施形態は、第一実施形態と比較して、被検査物が相違するとともに、被検査物の相違にもとづいて欠陥検査装置の構成が相違する。すなわち、第一実施形態では、被検査物がパウチであったのに対し、本実施形態では、被検査物がカップ状容器である。また、第一実施形態では、欠陥検査装置がパウチを被検査物として検査可能な構成を備えていたのに対し、本実施形態では、欠陥検査装置が、カップ状容器を被検査物として検査可能な構成を備えている点で相違する。他の構成要素は第一実施形態と同様である。
したがって、図26において、図1と同様の構成部分については同一の符号を付して、詳細な説明を省略する。
[Third Embodiment of Defect Inspection Device and Defect Inspection Method]
Next, a third embodiment of the defect inspection apparatus and defect inspection method of the present invention will be described with reference to FIG.
The figure is a front view which shows the structure of the defect inspection apparatus of this embodiment.
The present embodiment differs from the first embodiment in the inspection object and in the configuration of the defect inspection apparatus based on the difference in the inspection object. That is, in the first embodiment, the inspection object is a pouch, whereas in the present embodiment, the inspection object is a cup-shaped container. In the first embodiment, the defect inspection apparatus is configured to inspect the pouch as an inspection object, whereas in the present embodiment, the defect inspection apparatus can inspect the cup-shaped container as the inspection object. It differs in that it has the following configuration. Other components are the same as in the first embodiment.
Therefore, in FIG. 26, the same components as in FIG. 1 will be assigned the same reference numerals and detailed explanations thereof will be omitted.
図26に示すように、本実施形態の欠陥検査装置10Cは、チャンバ11、気体供給手段12、気体検出手段20、底部用通気性確保手段60を備えている。
ここで、チャンバ11は、中空で直方体状の箱体であって、被検査物50であるカップ状の紙容器70を収納可能な形状に形成されている。
気体供給手段12は、チャンバ11に収納された紙容器70の内部に対して気体を供給する。
As shown in FIG. 26, a defect inspection apparatus 10C of the present embodiment includes a
Here, the
The gas supply means 12 supplies gas to the inside of the
底部用通気性確保手段60は、チャンバ11の内部底面と紙容器70の底部71の下面との間に設けられる板状の部材である。
底部用通気性確保手段60は、紙容器70の底部71におけるバックリングの発生又は外側への変形を防止する機能と、紙容器70の底部71の下面を紙容器70の外側にある収納空間111に連通又は接触させる機能とを備えている。
前者の機能は、底部用通気性確保手段60の上面が紙容器70の底部71の下面に接触すること、及び、底部用通気性確保手段60の上面のうち紙容器70の底部71の下面に接触する部分が水平であることにより、発揮される。
すなわち、紙容器70は、内部に気体が封入されると、紙容器70の内部に向かって凹んだ形状の凹部である底部71が下方へ向かって膨出しようとするが、下方には底部用通気性確保手段60が配置されており、しかも、底部71の下面が底部用通気性確保手段60に接触していることから、底部71は、下方へ膨出することができない。
また、底部用通気性確保手段60の上面のうち紙容器70の底部71の下面に接触する部分が水平であるため、底部用通気性確保手段60の上面に接している底部71も水平に保たれる。
これらにより、底部用通気性確保手段60は、紙容器70の底部71におけるバックリングの発生又は外側への変形を防止する機能を発揮できる。
The bottom portion air permeability ensuring means 60 is a plate-like member provided between the inner bottom surface of the
The bottom portion breathability securing means 60 has a function to prevent the occurrence of buckling or the outward deformation of the bottom portion 71 of the
The former function is that the upper surface of the bottom air permeability ensuring means 60 is in contact with the lower surface of the bottom 71 of the
That is, when the gas is sealed in the inside of the
In addition, since the portion of the upper surface of the bottom portion breathability ensuring means 60 contacting the lower surface of the bottom portion 71 of the
By these, the bottom air permeability ensuring means 60 can exhibit the function of preventing the occurrence of buckling in the bottom 71 of the
後者の機能は、底部用通気性確保手段60が通気部61を備えることにより、発揮される。
通気部61は、紙容器70の底部71の下面を紙容器70の外側にある収納空間111に連通又は接触させるための形状に形成された部分である。
通気部61の形状は、第一実施形態における折込部用通気性確保手段30の通気部33の形状(例えば、図4〜図7に示された通気部33の形状)と同様の形状とすることができる。
紙容器70の底部71の下方に底部用通気性確保手段60を配置したとき、紙容器70の底部71の下面は、他の部材(底部用通気性確保手段60)と接触する接触表面部となる。
そうすると、底部71にピンホールなどの欠陥部があるときに、底部用通気性確保手段60の上面が欠陥部を閉塞し、当該紙容器70の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部に漏洩することができず、気体検出手段20が欠陥部での漏洩を検出できない。
そこで、底部用通気性確保手段60に通気部61を備えることとした。
これにより、紙容器70の底部71の下面が通気部61を通って紙容器70の外側にある収納空間111に通気可能に連通するので、当該紙容器70の内部に封入された気体が欠陥部を通って外部に漏洩することができ、気体が通気部61を通ってチャンバ11の収納空間111に排出されるので、気体検出手段20が欠陥部での漏洩を検出できる。
The latter function is exhibited by providing the ventilation portion 61 to the bottom air permeability ensuring means 60.
The ventilation portion 61 is a portion formed in a shape for communicating or contacting the lower surface of the bottom portion 71 of the
The shape of the ventilation portion 61 is the same as the shape of the
When the bottom air permeability ensuring means 60 is disposed below the bottom 71 of the
Then, when there is a defect such as a pinhole at the bottom 71, the upper surface of the air permeability ensuring means 60 for the bottom closes the defect, and the gas sealed inside the
Therefore, the ventilation portion 61 is provided in the bottom portion ventilation securing means 60.
As a result, the lower surface of the bottom 71 of the
なお、本実施形態の欠陥検査方法、すなわち、欠陥検査装置10Cを用いて被検査物50の欠陥部の有無を検査する方法は、第一実施形態の欠陥検査方法と同様であるため、ここでの説明は、省略する。
The defect inspection method of the present embodiment, that is, the method of inspecting the presence or absence of a defect in the
このように、本実施形態の欠陥検査装置及び欠陥検査方法によれば、被検査物50が紙容器70の場合でも、紙容器70における欠陥部の有無を検査できる。
また、紙容器70の底部71に欠陥部がある場合でも、底部用通気性確保手段60に通気部61が形成されているため、欠陥部から外部へ漏洩してきた気体が通気部61を通ってチャンバ11の収納空間111に排出されるので、欠陥部での漏洩を気体検出手段20によって検知できる。
As described above, according to the defect inspection apparatus and the defect inspection method of the present embodiment, even when the
Even when there is a defect in the bottom 71 of the
さらに、紙容器70の底部71に対しては、下方から底部用通気性確保手段60が押し当てられるため、紙容器70の内部に気体が供給された場合でも、底部71が外側へ膨出せず、バックリングと呼ばれる変形が生じない。これにより、紙容器70の内部の陽圧状態を維持することができ、欠陥部から漏洩する気体の量を十分確保できるので、気体検出手段20が欠陥部での漏洩を確実に検知でき、よって欠陥検査の精度を高めることができる。
Furthermore, since the bottom air permeability ensuring means 60 is pressed against the bottom 71 of the
以上、本発明の欠陥検査装置について、好ましい実施形態を示して説明したが、本発明に係る欠陥検査装置は、上述した実施形態にのみ限定されるものではなく、本発明の範囲で種々の変更実施が可能であることは言うまでもない。
例えば、本発明の欠陥検査装置が検査の対象とする被検査物は、多様な形状に対応できる。形状に特に制限はないが、例えば、フィルム状、コップ状、カップ状、筒状、袋状などがある。また、被検査物を構成する材料としては、例えば、プラスチック、紙、金属などがある。さらに、用途としては、タンク、フィルム、蓋、容器などがあり、特に、空容器に用いることが好適である。
As mentioned above, although the preferable embodiment was shown and demonstrated about the defect inspection apparatus of this invention, the defect inspection apparatus which concerns on this invention is not limited only to embodiment mentioned above, A various change in the range of this invention It goes without saying that implementation is possible.
For example, the inspection object to be inspected by the defect inspection apparatus of the present invention can correspond to various shapes. The shape is not particularly limited, and examples thereof include a film, a cup, a cup, a cylinder, and a bag. Moreover, as a material which comprises a to-be-tested object, there exist plastic, paper, a metal etc., for example. Furthermore, the application includes a tank, a film, a lid, a container and the like, and in particular, it is suitable to use for an empty container.
また、気体供給手段の代わりに、被検査物内に液化窒素を滴下する手段と、被検査物の上部開口を挟むようにして閉じる閉止手段とを設けることができる。これにより、密閉状態の被検査物の内部で液化窒素が気化し、被検査物の内部を陽圧とすることができる。
さらに、上述した各実施形態においては、被検査物の欠陥部からの気体の漏洩を検知する欠陥検査装置について説明したが、本発明は、このような検知を行う欠陥検査装置への適用に限るものではなく、例えば、特許文献1、2に開示されている検査装置、すなわち、被検査物の内圧を測定し、この内圧の低下を検知する検査装置などに対しても適用できる。
Further, instead of the gas supply means, means for dropping liquefied nitrogen into the object to be inspected and closing means for closing the upper opening of the object to be inspected can be provided. As a result, liquefied nitrogen is vaporized inside the sealed inspection object, and the inside of the inspection object can be made to have a positive pressure.
Furthermore, in each embodiment mentioned above, although the defect inspection apparatus which detects the leak of the gas from the defect part of a to-be-inspected object was demonstrated, this invention is limited to the application to the defect inspection apparatus which performs such detection. For example, the present invention can be applied to an inspection apparatus disclosed in
10A、10B、10C 欠陥検査装置
12 気体供給手段(陽圧手段)
20 気体検出手段(検出手段)
30 折込部用通気性確保手段
31 通気性確保部材
33 通気部
331 溝部(凹状部分)
332 細孔
40 表面用通気性確保手段
42 通気部
43 溝部(凹状部分)
46 凹状部
47 細孔
50 被検査物
51(51a〜51c) パウチ(袋状容器)
53a、53b 折り込み部
60 底面用通気性確保手段
61 通気部
70 紙容器
71 底部
10A, 10B, 10C
20 Gas detection means (detection means)
30 Permeability securing means 31 for the folded portion
332
46 concave portion 47
53a, 53b Perforated portion 60 Bottom surface ventilation means 61
Claims (2)
前記被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は前記被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、
前記接触表面部と前記被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を備え、
前記通気性確保手段は、前記接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さRa=1.4μm〜10μmの粗面を有し、
前記接触表面部は、前記被検査物の凹部であり、
前記通気性確保手段は、前記凹部に接触する位置に、前記凹部に押し当てられて配置され、
前記被検査物は、カップ状容器であり、
前記凹部は、前記カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である
ことを特徴とする欠陥検査装置。 A defect inspection apparatus comprising: gas supply means for supplying a gas to the inside of an inspection object; and means for detecting the presence or absence of a defect in the inspection object,
When a portion of the surface of the inspection object in contact with another member or a portion of the inspection object in contact with each other is a contact surface portion,
A venting device for communicating or contacting the contact surface portion with the space outside the object to be inspected ;
Said vent ensuring means, the surface in contact with said contact surface portion, have a rough surface of the arithmetic average roughness Ra = 1.4μm~10μm,
The contact surface portion is a recess of the inspection object,
The air permeability ensuring means is disposed to be pressed against the recess at a position contacting the recess,
The inspection object is a cup-shaped container,
The defect inspection device according to claim 1, wherein the recess is a bottom portion recessed toward the inside of the cup-shaped container .
前記被検査物の表面のうち他の部材と接触する部分、又は前記被検査物の表面同士が接触する部分を、接触表面部としたときに、
前記接触表面部と前記被検査物の外側の空間とを連通又は接触させるための通気性確保手段を、前記接触表面部に接触させる接触工程を有し、
前記通気性確保手段は、前記接触表面部に接触する表面に、算術平均粗さRa=1.4μm〜10μmの粗面を有し、
前記接触表面部は、前記被検査物の凹部であり、
前記通気性確保手段は、前記凹部に接触する位置に、前記凹部に押し当てられて配置され、
前記被検査物は、カップ状容器であり、
前記凹部は、前記カップ状容器の内部に向かって凹んだ底部である
ことを特徴とする欠陥検査方法。 A defect inspection method comprising: a positive pressure step of supplying a gas to the inside of an inspection object; and a detection step of detecting the presence or absence of a defect in the inspection object,
When a portion of the surface of the inspection object in contact with another member or a portion of the inspection object in contact with each other is a contact surface portion,
It has a contacting step in which the contact surface portion is brought into contact with the contact surface portion, with a ventilation securing means for bringing the contact surface portion into communication or contact with the space outside the inspection object .
Said vent ensuring means, the surface in contact with said contact surface portion, have a rough surface of the arithmetic average roughness Ra = 1.4μm~10μm,
The contact surface portion is a recess of the inspection object,
The air permeability ensuring means is disposed to be pressed against the recess at a position contacting the recess,
The inspection object is a cup-shaped container,
The defect inspection method , wherein the concave portion is a bottom portion recessed toward the inside of the cup-shaped container .
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