JP6519488B2 - Method of manufacturing optical fiber base material - Google Patents

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  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)

Description

本発明は、光ファイバ母材の製造方法に関する。   The present invention relates to a method of manufacturing an optical fiber preform.

炉体内に炉心管が配置され、炉体と炉心管との間の空間にガスを供給する供給口と排気する排気口と、炉心管内にガスを供給する供給口と排気する排気口とがそれぞれ設けられて、炉心管内に多孔質母材を収容して焼結を行う光ファイバ母材の焼結炉が知られている（例えば、特許文献１参照）。   A core tube is disposed in the furnace body, and a supply port for supplying gas to the space between the furnace body and the core tube and an exhaust port for exhausting gas, and a supply port for supplying gas to the core tube and an exhaust port for exhausting gas There is known an optical fiber preform sintering furnace which is provided and performs sintering by housing a porous preform in a core tube (see, for example, Patent Document 1).

特開２００２−６８７７０号公報JP 2002-68770 A

上記のような光ファイバ母材の焼結炉では、炉心管を組み立てたときのずれや、炉心管フランジ面の精度などによって、炉心管の気密性が変化することが考えられる。炉心管の気密性が悪い場合は、炉体側の汚染されたガスが炉心管内に漏れて入るおそれがある。この汚染されたガスが炉心管内に入った状態で光ファイバ母材の焼結を行った場合、金属汚染等により汚染された光ファイバ母材となるおそれがある。そして、汚染された光ファイバ母材から線引きされた光ファイバは、不良品となるレベルまで伝送損失値が大きくなるおそれがある。   In the sintering furnace of the optical fiber base material as described above, it is considered that the airtightness of the core tube changes due to the deviation when assembling the core tube, the accuracy of the core tube flange surface, and the like. If the tightness of the core tube is poor, the contaminated gas on the furnace body side may leak into the core tube. If this contaminated gas is sintered in the core tube in a state where it enters the core tube, there is a possibility that it becomes an optical fiber preform contaminated by metal contamination or the like. Then, the optical fiber drawn from the contaminated optical fiber base material may have a large transmission loss value to a level at which it becomes a defective product.

そこで、本発明の目的は、光ファイバ母材から線引きされた光ファイバが、不良品となるレベルまで伝送損失値が大きくなることを防ぐことができる光ファイバ母材の製造方法を提供することにある。   Therefore, an object of the present invention is to provide a method of manufacturing an optical fiber preform that can prevent the optical fiber drawn from the optical fiber preform from increasing in transmission loss value to a level at which the optical fiber becomes defective. is there.

本発明の一態様に係る光ファイバ母材の製造方法は、炉体内に炉心管が配置され、前記炉体と前記炉心管との間の空間にガスを供給する第一供給口と、前記空間からガスを排気する第一排気口と、前記炉心管内にガスを供給する第二供給口と、前記炉心管からガスを排気する第二排気口と、を備える焼結炉を用いて、前記炉心管内に多孔質母材を収容して焼結を行う光ファイバ母材の製造方法であって、
前記第一供給口からヘリウムガスを供給するとともに、前記第二供給口からヘリウム以外のガスを供給し、前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定する第一工程と、
前記炉心管内に前記多孔質母材を収容して焼結を行う第二工程と、
前記第一工程で測定した前記ヘリウムガス濃度と、前記第二工程で焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求める第三工程と、
を含み、
前記第一工程、前記第二工程、および前記第三工程を実施して前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求めてから、
前記第一工程を実施して前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度が前記基準値範囲内であることを少なくとも一回確認して、以降、前記第二工程を実施して光ファイバ母材を製造する。 In a method of manufacturing an optical fiber preform according to one aspect of the present invention, a core tube is disposed in a reactor body, and a first supply port for supplying gas to a space between the furnace body and the core tube; Using a sintering furnace provided with a first exhaust port for exhausting gas from the furnace, a second supply port for supplying gas into the core tube, and a second exhaust port for exhausting gas from the core tube; A method of manufacturing an optical fiber base material in which a porous base material is contained in a tube and sintered,
A first step of supplying helium gas from the first supply port and supplying gas other than helium from the second supply port, and measuring helium gas concentration in exhaust gas exhausted from the second exhaust port; ,
A second step of containing the porous base material in the core tube and sintering it;
Based on the relationship between the helium gas concentration measured in the first step and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the optical fiber base material sintered in the second step, the reference value range of the helium gas concentration is The third step to be sought
Including
After performing the said 1st process, the said 2nd process, and the said 3rd process and calculating | requiring the standard value range of the said helium gas concentration,
The first step is performed, and it is confirmed at least once that the helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the second exhaust port is within the reference value range, and thereafter the second step is performed. The optical fiber preform is manufactured.

本発明によれば、光ファイバ母材から線引きされた光ファイバが、不良品となるレベルまで伝送損失値が大きくなることを防ぐことができる光ファイバ母材を製造することができる。   According to the present invention, it is possible to manufacture an optical fiber preform that can prevent an optical fiber drawn from an optical fiber preform from having a large transmission loss value to a level at which the optical fiber becomes a defective product.

本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法で使用される装置の概略構成図である。It is a schematic block diagram of the apparatus used with the manufacturing method of the optical fiber preform concerning this embodiment. 測定開始からの経過時間と測定されたヘリウムガス濃度との関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between the elapsed time from the measurement start, and the measured helium gas concentration. 測定開始１０分後のヘリウムガス濃度が経時的に増加する傾きと、それぞれの焼結炉で焼結した光ファイバ母材から得られた光ファイバの伝送損失値の増加量との関係の一例を示すグラフである。An example of the relationship between the inclination with which the helium gas concentration increases with time 10 minutes after the measurement start and the increase in the transmission loss value of the optical fiber obtained from the optical fiber base material sintered in each sintering furnace FIG. 測定開始１０分後のヘリウムガス濃度と、それぞれの焼結炉で焼結した光ファイバ母材から得られた光ファイバの伝送損失値の増加量との関係の一例を示すグラフである。It is a graph which shows an example of the relationship between the helium gas concentration 10 minutes after a measurement start, and the increase amount of the transmission loss value of the optical fiber obtained from the optical fiber preform sintered by each sintering furnace.

［本発明の実施形態の説明］
最初に本発明の実施形態を列記して説明する。
本発明の実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法は、
（１） 炉体内に炉心管が配置され、前記炉体と前記炉心管との間の空間にガスを供給する第一供給口と、前記空間からガスを排気する第一排気口と、前記炉心管内にガスを供給する第二供給口と、前記炉心管からガスを排気する第二排気口と、を備える焼結炉を用いて、前記炉心管内に多孔質母材を収容して焼結を行う光ファイバ母材の製造方法であって、
前記第一供給口からヘリウムガスを供給するとともに、前記第二供給口からヘリウム以外のガスを供給し、前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定する第一工程と、
前記炉心管内に前記多孔質母材を収容して焼結を行う第二工程と、
前記第一工程で測定した前記ヘリウムガス濃度と、前記第二工程で焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求める第三工程と、
を含み、
前記第一工程、前記第二工程、および前記第三工程を実施して前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求めてから、
前記第一工程を実施して前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度が前記基準値範囲内であることを少なくとも一回確認して、以降、前記第二工程を実施して光ファイバ母材を製造する。 Description of the embodiment of the present invention
First, embodiments of the present invention will be listed and described.
A method of manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention,
(1) A core tube is disposed in a reactor body, a first supply port for supplying gas to a space between the furnace body and the core tube, a first exhaust port for exhausting gas from the space, and the core Using a sintering furnace provided with a second supply port for supplying gas into the pipe and a second exhaust port for exhausting gas from the core pipe, the porous base material is accommodated in the core pipe and sintering is performed. A method of manufacturing an optical fiber preform,
A first step of supplying helium gas from the first supply port and supplying gas other than helium from the second supply port, and measuring helium gas concentration in exhaust gas exhausted from the second exhaust port; ,
A second step of containing the porous base material in the core tube and sintering it;
Based on the relationship between the helium gas concentration measured in the first step and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the optical fiber base material sintered in the second step, the reference value range of the helium gas concentration is The third step to be sought
Including
After performing the said 1st process, the said 2nd process, and the said 3rd process and calculating | requiring the standard value range of the said helium gas concentration,
The first step is performed, and it is confirmed at least once that the helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the second exhaust port is within the reference value range, and thereafter the second step is performed. The optical fiber preform is manufactured.

上記（１）の光ファイバ母材の製造方法によれば、第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定することで炉心管の気密性がわかる。炉心管の気密性と、炉心管によって焼結した光ファイバ母材から線引きされる光ファイバの伝送損失値とは関連する。よって、光ファイバの伝送損失値が正常な範囲内となる、ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求めることができる。
上記のように求められた基準値範囲を利用し、多孔質母材の焼結を行う前に、予め上記ヘリウムガス濃度が基準値範囲内であることを少なくとも一回確認することで、炉心管の気密性を確認できる。
したがって、以降、気密性を確認した炉心管で焼結を行うことにより、光ファイバ母材から線引きされた光ファイバが、不良品となるレベルまで伝送損失値が大きくなることを防ぐことができる。 According to the method of manufacturing an optical fiber preform of (1), the airtightness of the core tube can be known by measuring the concentration of helium gas in the exhaust gas exhausted from the second exhaust port. The tightness of the core tube and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the optical fiber preform sintered by the core tube are related. Therefore, the reference value range of the helium gas concentration in which the transmission loss value of the optical fiber is within the normal range can be determined.
By using the standard value range determined as described above, it is confirmed in advance at least once that the helium gas concentration is within the standard value range before sintering the porous base material. You can check the air tightness of
Therefore, it is possible to prevent the transmission loss value from increasing to a level at which the optical fiber drawn from the optical fiber preform becomes defective by performing sintering in the core tube whose airtightness has been confirmed.

（２） （１）の光ファイバ母材の製造方法において、前記第三工程は、
前記第一工程において測定したヘリウムガス濃度が経時的に増加する傾きと、前記第二工程で焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、前記基準値範囲を求める。
ヘリウムガス濃度が経時的に増加する傾きと、焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、基準値範囲を求めることができる。 (2) In the method of producing an optical fiber preform according to (1), the third step is
The reference value is based on the relationship between the inclination that the helium gas concentration measured in the first step increases with time and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the optical fiber base material sintered in the second step. Find the range.
The reference value range can be determined based on the relationship between the inclination with which the helium gas concentration increases with time and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the sintered optical fiber base material.

（３） （１）の光ファイバ母材の製造方法において、前記第三工程は、
前記第一工程において前記第一供給口からヘリウムガスを供給し始めてから一定時間経過した後に前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度と、前記第二工程で焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失との関係に基づいて、前記基準値範囲を求める。
第一供給口からヘリウムガスを供給し始めてから一定時間経過した後に第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度と、焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、基準値範囲を求めることができる。 (3) In the method of producing an optical fiber preform according to (1), the third step is
The helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the second exhaust port after a predetermined time has elapsed since the supply of the helium gas from the first supply port in the first step, and the light sintered in the second step The reference value range is determined based on the relationship with the transmission loss of the optical fiber drawn from the fiber base material.
Helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the second exhaust port after a predetermined time has elapsed since the supply of the helium gas from the first supply port, and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the sintered optical fiber base material The reference value range can be determined based on the relationship between

（４） （１）から（３）のいずれか一の光ファイバ母材の製造方法において、前記第一工程、前記第二工程、および前記第三工程を実施して前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求めてから、
前記炉心管を組み替えた直後に、前記第一工程を実施してヘリウムガス濃度が前記基準値範囲内であることを少なくとも一回確認して、以降、前記第二工程を実施する。
炉心管を組み替えた直後に、ヘリウムガス濃度が基準値範囲内であることを確認するので、炉心管を組み替えたときのずれによる気密性の悪化を予め検知することができる。 (4) In the method of manufacturing an optical fiber preform according to any one of (1) to (3), the first step, the second step, and the third step are performed to obtain a reference value of the helium gas concentration. After finding the range,
Immediately after reassembling the core tube, the first step is performed to confirm at least once that the helium gas concentration is within the reference value range, and thereafter the second step is performed.
Immediately after reassembling the core tube, it is confirmed that the helium gas concentration is within the reference value range, so that it is possible to detect in advance the deterioration of air tightness due to a gap when replacing the core tube.

［本発明の実施形態の詳細］
本発明の実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法の具体例を、以下に図面を参照しつつ説明する。
なお、本発明はこれらの例示に限定されるものではなく、特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。 Details of the Embodiment of the Present Invention
A specific example of a method of manufacturing an optical fiber preform according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.
The present invention is not limited to these exemplifications, but is shown by the claims, and is intended to include all modifications within the meaning and scope equivalent to the claims.

図１は、本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法で使用する焼結炉の一例を示す概略構成図である。
図１に示すように、焼結炉１００は、炉体７内に、炉心管３（以下、第一炉心管という）が配置され、第一炉心管３内に第二炉心管４が第一炉心管３と同軸状に配置されて構成されている。第一炉心管３と第二炉心管４との間には空間（以下、中間室という）１０が画成されている。 FIG. 1 is a schematic configuration view showing an example of a sintering furnace used in the method of manufacturing an optical fiber base material according to the present embodiment.
As shown in FIG. 1, in the sintering furnace 100, the furnace core tube 3 (hereinafter referred to as a first furnace core tube) is disposed in the furnace body 7, and the second furnace core tube 4 is The core tube 3 and the core tube 3 are arranged coaxially. A space (hereinafter referred to as an intermediate chamber) 10 is defined between the first core tube 3 and the second core tube 4.

ＳｉＯ２粒子からなる多孔質母材１は、出発棒である支持棒２を、第二炉心管４の貫通部４ａ、第一炉心管３の貫通部３ａおよび炉体７の貫通部７ａを通して、第二炉心管４の中心部に吊り下げ支持される。第一炉心管３および第二炉心管４は、ともに高純度のカーボンで作られた円筒状の側壁部材が複数個に分割して多段に積重ねられて、その上下が円板状の蓋と底部材で封止されて構成されている。第一炉心管３および第二炉心管４の複数個の側壁部材同士の接合箇所を接合部３ｂ，４ｂとする。なお、第一炉心管３および第二炉心管４は、石英の分割構造で構成してもよい。 The porous base material 1 made of SiO 2 particles passes the support rod 2 as a starting rod through the penetration portion 4 a of the second core tube 4, the penetration portion 3 a of the first core tube 3 and the penetration portion 7 a of the furnace body 7. It is suspended and supported at the center of the second core tube 4. In the first core tube 3 and the second core tube 4, both cylindrical side wall members made of high purity carbon are divided into a plurality of pieces and stacked in multiple stages, and the top and bottom of the disk-shaped lid and bottom It is sealed by material. Junctions between the plurality of side wall members of the first core tube 3 and the second core tube 4 are referred to as junctions 3b and 4b. The first core tube 3 and the second core tube 4 may have a quartz divided structure.

第一炉心管３の外側には、加熱ヒータ５が配置され、加熱ヒータ５の外側を断熱材６で覆って外部への熱放散を遮蔽している。炉体７は、ステンレス等の耐食性に優れた金属で形成され、第一炉心管３および第二炉心管４を含む構成部材の全体を囲い、外囲気から完全に封止する。   A heater 5 is disposed outside the first core tube 3 and the outside of the heater 5 is covered with a heat insulating material 6 to shield heat dissipation to the outside. The furnace body 7 is formed of a metal having excellent corrosion resistance such as stainless steel, and entirely encloses the components including the first core tube 3 and the second core tube 4 and completely seals it from the atmosphere.

第二炉心管４には、供給口１１ａからガスを供給するガス供給管１１と、第二炉心管４内のガスを排気口１２ａから排気するガス排気管１２とがそれぞれ独立して連結されている。中間室１０には、供給口１３ａからガスを供給するガス供給管１３と中間室１０内のガスを排気口１４ａから排気するガス排気管１４とがそれぞれ独立して連結されている。炉体７には、供給口１５ａからガスを供給するガス供給管１５と、炉体内のガスを排気口１６ａから排気するガス排気管１６がそれぞれ独立して連結されている。   A gas supply pipe 11 for supplying gas from the supply port 11a and a gas exhaust pipe 12 for exhausting the gas in the second core pipe 4 from the exhaust port 12a are independently connected to the second core pipe 4 respectively. There is. In the intermediate chamber 10, a gas supply pipe 13 for supplying a gas from the supply port 13a and a gas exhaust pipe 14 for exhausting the gas in the intermediate chamber 10 from the exhaust port 14a are connected independently. A gas supply pipe 15 for supplying a gas from a supply port 15a and a gas exhaust pipe 16 for exhausting a gas in the furnace body from an exhaust port 16a are independently connected to the furnace body 7, respectively.

各ガス排気管（ガス排気管１２、ガス排気管１４、ガス排気管１６）には、排ガス処理を行うスクラバー１７に連結されている。ガス排気管１２には、スクラバー１７との間にヘリウムガス濃度を測定するヘリウムリークディテクタ１８が設けられている。   Each gas exhaust pipe (gas exhaust pipe 12, gas exhaust pipe 14, gas exhaust pipe 16) is connected to a scrubber 17 that performs exhaust gas treatment. The gas exhaust pipe 12 is provided with a helium leak detector 18 which measures the helium gas concentration between the gas exhaust pipe 12 and the scrubber 17.

焼結時には、第二炉心管４内の空間である炉心室８には、ガス供給管１１から、母材１の焼結処理用のガスが供給される。この焼結処理用ガスには、例えば、ガラスの透明化に有利なヘリウムガスとＳｉＣｌ４またはＣｌ２などの腐食性ガスが含まれる。なお、母材１の屈折率調整のために高温で分解するＣＦ４、ＳＦ６、ＳｉＦ４等のフッ素化合物ガスが供給されてもよい。供給ガスとしては、上記の例に限定されるものではなく、母材の製造プロセスによって異なる種類のガスが使用される。 At the time of sintering, the gas for the sintering process of the base material 1 is supplied from the gas supply pipe 11 to the core chamber 8 which is a space in the second core tube 4. The sintering process gas includes, for example, helium gas which is advantageous for making the glass transparent, and a corrosive gas such as SiCl 4 or Cl 2 . Note that a fluorine compound gas such as CF 4 , SF 6 or SiF 4 that decomposes at a high temperature may be supplied to adjust the refractive index of the base material 1. The feed gas is not limited to the above example, and different types of gases are used depending on the process of producing the base material.

焼結時には、炉体７と第一炉心管３との間の空間である炉体室９に、加熱ヒータ５および断熱材６が酸化による劣化を起こさないように、窒素またはアルゴンガス等の不活性ガスがガス供給管１５から供給され、ガス排気管１６へ排気される。   At the time of sintering, in the furnace chamber 9, which is a space between the furnace body 7 and the first core tube 3, the heating heater 5 and the heat insulating material 6 do not cause deterioration due to oxidation. The active gas is supplied from the gas supply pipe 15 and exhausted to the gas exhaust pipe 16.

第一炉心管３と第二炉心管４との間に形成される中間室１０は、第二炉心管４の炉心室８と炉体７の空間である炉体室９とを遮断する。焼結時には、中間室１０内に不活性ガスとして、例えばヘリウムガスがガス供給管１３から供給され、ガス排気管１４へ排気される。そして、中間室１０内の圧力は、炉心室８および炉体室９の圧力より、多少低い圧力になるように調整される。   The intermediate chamber 10 formed between the first core tube 3 and the second core tube 4 shuts off the core chamber 8 of the second core tube 4 and the furnace chamber 9 which is the space of the furnace body 7. At the time of sintering, for example, helium gas is supplied from the gas supply pipe 13 as an inert gas into the intermediate chamber 10 and exhausted to the gas exhaust pipe 14. Then, the pressure in the intermediate chamber 10 is adjusted to be slightly lower than the pressure in the core chamber 8 and the furnace chamber 9.

以上のように、炉心管を二重構造にして、中間室１０の圧力を炉心室８の圧力より低くなるように設定すれば、焼結時に、気密性が悪い箇所から中間室１０内に漏れたガスは、排気口１４ａから排気されると共に、圧力が高い炉心室８に漏れることを防ぐことができる。また、中間室１０の圧力を炉体室９の圧力より低くなるように設定すれば、焼結時に、気密性が悪い箇所から中間室１０内に漏れたガスは、排気口１４ａから排気されると共に、圧力が高い炉体室９に漏れることを防ぐことができる。   As described above, if the core tube has a double structure and the pressure in the intermediate chamber 10 is set to be lower than the pressure in the core chamber 8, leaks into the intermediate chamber 10 from a portion with poor airtightness during sintering. The exhaust gas is exhausted from the exhaust port 14 a and can prevent the pressure from leaking to the core chamber 8 having a high pressure. Further, if the pressure in intermediate chamber 10 is set lower than the pressure in furnace chamber 9, the gas leaking into the intermediate chamber 10 from the portion with poor airtightness is exhausted from the exhaust port 14a during sintering. In addition, the pressure can be prevented from leaking into the furnace chamber 9 having a high pressure.

炉心室８、炉体室９、中間室１０の各室内の圧力を圧力計により計測して、各室内の圧力が上記のような圧力差となるように、ガスの供給流量や排気流量を調整して調整することが考えられる。   The pressure in each chamber of the core chamber 8, furnace chamber 9, and intermediate chamber 10 is measured by a pressure gauge, and the gas supply flow rate and exhaust flow rate are adjusted so that the pressure in each chamber becomes the pressure difference as described above. It is possible to adjust it.

しかしながら、圧力計は各ガス供給管（１１，１３，１５）などに設置されるので、圧力計で計測された圧力は、上記各室内の実際の圧力とずれてしまう。このため、計測された炉心管（第一炉心管３、第二炉心管４）内外の圧力差が所定の範囲であっても、汚染されたガスが炉心室８内に漏れて、焼結した光ファイバ母材から得られる光ファイバの伝送損失が増加するおそれがある。   However, since the pressure gauges are installed in the gas supply pipes (11, 13, 15) or the like, the pressure measured by the pressure gauges deviates from the actual pressure in the respective chambers. For this reason, even if the pressure difference inside and outside the measured core tube (first core tube 3 and second core tube 4) is within a predetermined range, the contaminated gas leaks into the core chamber 8 and is sintered. The transmission loss of the optical fiber obtained from the optical fiber preform may be increased.

焼結炉１００は、前述のように、第一炉心管３および第二炉心管４は、複数個の側壁部材による多段構成となっており、側壁部材同士の接合箇所である接合部３ｂ，４ｂが複数存在する。これらの接合箇所全ての気密性を完全に保つことは困難であり、組み立てたときのずれや、炉心管フランジ面の精度などによって、炉心管の気密性が変化する。   In the sintering furnace 100, as described above, the first core tube 3 and the second core tube 4 have a multistage configuration of a plurality of side wall members, and the joint portions 3b and 4b are joint portions between the side wall members. There are multiple It is difficult to completely maintain the airtightness of all these joints, and the airtightness of the core tube changes depending on the displacement at the time of assembly, the accuracy of the core tube flange surface, and the like.

以上の考察により、発明者らは、炉心管の更新などで、炉心管を組み替えた後に、この炉心管の気密性が所定の水準を満たしていれば、安定して所定の範囲内の伝送損失値の光ファイバが得られる光ファイバ母材を製造できることをつきとめた。   According to the above consideration, the inventors stably replace the core tube by, for example, renewing the core tube, and if the airtightness of the core tube satisfies a predetermined level, the transmission loss within the predetermined range is stably achieved. It was found that an optical fiber preform could be manufactured from which an optical fiber of value could be obtained.

以下に、本実施形態に係る光ファイバ母材１の製造方法を、図１で示した焼結炉１００を使用した例で詳細に説明する。以下の製造方法は、光ファイバ母材１から線引きされた光ファイバが、不良品となるレベルまで伝送損失が大きくならないように、第二炉心管４の気密性を予め確認してから光ファイバ母材１を製造できる方法である。   Hereinafter, a method of manufacturing the optical fiber preform 1 according to the present embodiment will be described in detail using an example using the sintering furnace 100 shown in FIG. In the following manufacturing method, the airtightness of the second core tube 4 is confirmed in advance so that the transmission loss does not increase to a level at which the optical fiber drawn from the optical fiber preform 1 becomes a defective product. This is a method by which the material 1 can be manufactured.

（第一工程）
図１に示すように、第二炉心管４の炉心室８内に多孔質母材１を収容する。この多孔質母材１を焼結する前に、第一工程を実施する。第一工程実施中は、焼結炉１００は昇温せずに室温の状態とする。
炉体室９に供給口１５ａからヘリウムガスを供給する。同時に、炉心室８に供給口１１ａからヘリウム以外のガス（例えば、窒素ガス、アルゴンガス、酸素ガス等）を供給する。また同時に、中間室１０内に供給口１３ａからヘリウム以外のガス（例えば、窒素ガス、アルゴンガス、酸素ガス等）を供給する。 (First step)
As shown in FIG. 1, the porous preform 1 is accommodated in the core chamber 8 of the second core tube 4. Before sintering the porous base material 1, the first step is performed. During the first step, the sintering furnace 100 is at room temperature without raising the temperature.
Helium gas is supplied to the furnace chamber 9 from the supply port 15a. At the same time, gas other than helium (for example, nitrogen gas, argon gas, oxygen gas, etc.) is supplied to the core chamber 8 from the supply port 11a. At the same time, a gas other than helium (eg, nitrogen gas, argon gas, oxygen gas, etc.) is supplied into the intermediate chamber 10 from the supply port 13a.

上記のようにして、各供給口（１１ａ、１３ａ、１５ａ）からのガス供給を所定時間（例えば、４０分程度）続け、ガス排気管１２の途中に設けられたヘリウムリークディテクタ１８を用いて、炉心室８の排気口１２ａから排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定する。このヘリウムガス濃度の測定方法としては、例えば、ＪＩＳ規格Ｚ２３３１ヘリウム漏れ試験方法に規定された吸込み法（スニッファー法）を用いる。   As described above, the gas supply from each supply port (11a, 13a, 15a) is continued for a predetermined time (for example, about 40 minutes), and the helium leak detector 18 provided in the middle of the gas exhaust pipe 12 is used. The helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the exhaust port 12a of the core chamber 8 is measured. As a measurement method of this helium gas concentration, for example, a suction method (sniffer method) defined in JIS standard Z2331 helium leak test method is used.

なお、炉心室８内に多孔質母材１を収容せずに、焼結炉１００を昇温（例えば、焼結温度まで昇温）して、第一工程を実施してもよい。この場合は、供給口１１ａおよび供給口１３ａから供給するガスは、炉心管がカーボンの場合は酸素ガスを使用すると燃焼するので、酸素以外のガスを使用する。焼結炉１００を昇温した場合は、焼結温度での第二炉心管４の気密性に近い状態で、排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定できる。   The first step may be performed by raising the temperature of the sintering furnace 100 (for example, raising the temperature to a sintering temperature) without housing the porous base material 1 in the core chamber 8. In this case, since the gas supplied from the supply port 11a and the supply port 13a burns when oxygen gas is used when the core tube is carbon, gas other than oxygen is used. When the temperature of the sintering furnace 100 is raised, the helium gas concentration in the exhaust gas can be measured in a state close to the airtightness of the second core tube 4 at the sintering temperature.

（第二工程）
加熱ヒータ５により、焼結温度まで焼結炉１００内を昇温させる。炉心室８に供給口１１ａから焼結処理用のガス（例えば、ヘリウムガスとＳｉＣｌ４またはＣｌ２などの腐食性ガスを含むガス）を供給し、焼結処理を実施する。なお、さらにＣＦ４、ＳＦ６、ＳｉＦ４等のフッ素化合物ガスを供給してもよい。 (Second step)
The interior of the sintering furnace 100 is heated to the sintering temperature by the heater 5. A gas for the sintering process (for example, a gas containing helium gas and a corrosive gas such as SiCl 4 or Cl 2 ) is supplied to the core chamber 8 from the supply port 11 a to carry out the sintering process. Further, a fluorine compound gas such as CF 4 , SF 6 or SiF 4 may be supplied.

上記焼結処理中は、炉体室９に、窒素またはアルゴンガス等の不活性ガスを供給口１５ａから供給する。また、中間室１０に、不活性ガス（例えば、ヘリウムガス）を供給口１３ａから供給する。
焼結処理中は、例えば（中間室１０内から、或いは各室（炉心室８、炉体室９、中間室１０）から）排気するガスの流量、或いは（中間室１０内、或いは各室（炉心室８、炉体室９、中間室１０）内に）供給するガスの流量を調整するなどにより、中間室１０内の圧力が、炉心室８および炉体室９の圧力より、低い圧力になるように調整する。 During the sintering process, the furnace chamber 9 is supplied with an inert gas such as nitrogen or argon gas from the supply port 15a. In addition, an inert gas (for example, helium gas) is supplied to the intermediate chamber 10 from the supply port 13a.
During the sintering process, for example, the flow rate of the gas to be exhausted (from the inside of the intermediate chamber 10 or from each chamber (core chamber 8, furnace chamber 9, and intermediate chamber 10)) The pressure in the intermediate chamber 10 is lower than the pressure in the core chamber 8 and the furnace chamber 9 by adjusting the flow rate of the gas supplied into the core chamber 8, the furnace chamber 9, and the intermediate chamber 10). Adjust to become

（第三工程）
第二工程を実施し、焼結して透明化された光ファイバ母材１を線引きする。この線引きで得られた光ファイバに対して、伝送損失値を測定する。
第一工程の測定で得られたヘリウムガス濃度と、上記測定で得られた伝送損失値との関係に基づいて、ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求める。 (Third step)
The second step is carried out, and the sintered and transparentized optical fiber preform 1 is drawn. The transmission loss value is measured for the optical fiber obtained by this drawing.
Based on the relationship between the helium gas concentration obtained in the measurement of the first step and the transmission loss value obtained in the above measurement, a reference value range of the helium gas concentration is determined.

以下、ヘリウムガス濃度の基準値範囲の具体的な求め方について説明する。
第一工程において、ヘリウムガスは所定の流量で炉心室８に徐々に漏れていくものと考えられるので、例えば図２に示すように、時間が経過するに連れてヘリウムリークディテクタ１８で測定されるヘリウムガス濃度は増加していく。例えば、異なる焼結炉（或いは、炉心管を組み替える前後の焼結炉）では、炉心室８に漏れるヘリウムガスの流量が異なることが考えられ、図２の特性は、測定する焼結炉によって変化する。 Hereinafter, a specific method of determining the reference value range of the helium gas concentration will be described.
In the first step, helium gas is considered to gradually leak into the core chamber 8 at a predetermined flow rate, so as shown in FIG. 2, for example, it is measured by the helium leak detector 18 as time passes. Helium gas concentration will increase. For example, in different sintering furnaces (or sintering furnaces before and after replacing the core tube), the flow rate of helium gas leaking into the core chamber 8 is considered to be different, and the characteristics of FIG. 2 vary depending on the sintering furnace to be measured Do.

（基準値範囲の求め方１）
第一工程の測定中に、ヘリウムガス濃度が経時的に増加する傾き（以下、適宜「傾き」と略記する）を求め、その焼結炉１００内で、第二工程で焼結した光ファイバ母材１から得られた光ファイバの伝送損失値を求める。
例えば具体例として、炉心室８に漏れるヘリウムガスの流量（漏れ流量）が異なる５つの条件の焼結炉ａ（最も低い漏れ流量のものであり、この漏れ流量を１倍とする）、ｂ（２倍の漏れ流量）、ｃ（３．５倍の漏れ流量）、ｄ（８倍の漏れ流量）、ｅ（１３倍の漏れ流量）を用いて、第一工程の測定開始１０分後の「傾き」と、それぞれの焼結炉ａ〜ｅで得られた光ファイバの伝送損失値を求めた。この際、炉心管室８、炉体室９、中間室１０に供給するガスの流量は同じとした。漏れ流量が少ない１倍、２倍、３．５倍の３つの条件の焼結炉ａ〜ｃから得られた光ファイバの伝送損失値は、一般的に正常とされる範囲内の低い値（焼結炉ａ〜ｃとも同じ値）であった。これに対して、漏れ流量が多い焼結炉ｄ、ｅでは、焼結炉ａ〜ｃに比べて光ファイバの伝送損失値が増加した。焼結炉ａ〜ｃの伝送損失値に対する増加量（ｄＢ／ｋｍ）を縦軸とし、各焼結炉における上記「傾き」の値（ｐｐｍ／ｍｉｎ）を横軸としたグラフを図３に示す。光ファイバの伝送損失値が正常である範囲として、例えば光ファイバの伝送損失の増加量が０．００５ｄＢ／ｋｍ以下の範囲とする。図３の例では、伝送損失の増加量が０．００５ｄＢ／ｋｍ以下となる、「傾き」の範囲（基準値範囲）は、０〜５２００ｐｐｍ／ｍｉｎ程度である。
以上のようにして、ヘリウムガス濃度が経時的に増加する傾きに対して、基準値範囲を求めることができる。なお、伝送損失の増加量は０．００５ｄＢ／ｋｍ以外でも良く、製造する光ファイバの種類に応じて適宜設定して良い。 (How to determine the standard value range 1)
During the measurement of the first step, the inclination (hereinafter abbreviated as “inclination” as appropriate) in which the concentration of helium gas increases with time is determined, and the optical fiber mother sintered in the second step in the sintering furnace 100 The transmission loss value of the optical fiber obtained from the material 1 is determined.
For example, as a specific example, the sintering furnace a of five conditions with different flow rates (leakage flow rates) of helium gas leaking into the core chamber 8 (the one with the lowest leakage flow rate, this leakage flow rate being 1), b (b Using 2 times leak flow), c (3.5 times leak flow), d (8 times leak flow), e (13 times leak flow), 10 minutes after the start of measurement of the first step The transmission loss value of the optical fiber obtained in each of the sintering furnaces a to e was determined. At this time, the flow rate of the gas supplied to the core tube chamber 8, the furnace chamber 9, and the intermediate chamber 10 is the same. The transmission loss values of the optical fibers obtained from the sintering furnaces a to c under the three conditions of low leakage flow rates of 1x, 2x and 3.5x are generally low values within the normally normal range ( The sintering furnaces a to c had the same value). On the other hand, in the sintering furnaces d and e having a large leak flow rate, the transmission loss value of the optical fiber was increased as compared with the sintering furnaces a to c. The increase amount (dB / km) with respect to the transmission loss value of sintering furnace ac is made into a vertical axis | shaft, and the graph which made the horizontal axis a value (ppm / min) of said "inclination" in each sintering furnace is shown in FIG. . As a range in which the transmission loss value of the optical fiber is normal, for example, the increase amount of the transmission loss of the optical fiber is in the range of 0.005 dB / km or less. In the example of FIG. 3, the range (reference value range) of the “inclination” in which the increase amount of the transmission loss is 0.005 dB / km or less is about 0 to 5200 ppm / min.
As described above, the reference value range can be determined with respect to the inclination of the helium gas concentration increasing with time. The amount of increase in transmission loss may be other than 0.005 dB / km, and may be appropriately set according to the type of optical fiber to be manufactured.

（基準値範囲の求め方２）
第一工程において、ヘリウムガスを供給し始めてから一定時間経過した後（例えば、１０分後）にヘリウムガス濃度を測定し、その焼結炉１００内で、第二工程で焼結した光ファイバ母材１から得られた光ファイバの伝送損失値を求める。
例えば具体例として、上記の「基準値範囲の求め方１」と同じ５つの条件の焼結炉ａ〜ｅを用いて、第一工程の測定開始１０分後のヘリウムガス濃度と、それぞれの焼結炉で得られた光ファイバの伝送損失値を求めた。上記の「基準値範囲の求め方１」と同様に、漏れ流量が多いｄ、ｅの焼結炉では、１倍、２倍、３．５倍の３つの条件の焼結炉ａ〜ｃに比べて光ファイバの伝送損失値が増加した。焼結炉ａ〜ｃの伝送損失値に対する増加量を縦軸とし、各焼結炉における第一工程の測定開始１０分後のヘリウムガス濃度の値を横軸としたグラフを図４に示す。図４において、光ファイバの伝送損失値が正常である範囲を、例えば図３の例と同様に光ファイバの伝送損失の増加量が０．００５ｄＢ／ｋｍ以下の範囲とする。図４の例では、伝送損失の増加量が０．００５ｄＢ／ｋｍ以下となる、第一工程の測定開始１０分後のヘリウムガス濃度の範囲（基準値範囲）は、０〜３１４００ｐｐｍ程度である。
以上のようにして、第一工程の測定開始から一定時間経過した後のヘリウムガス濃度に対して、基準値範囲を求めることができる。 (How to determine the standard value range 2)
In the first step, the helium gas concentration is measured after a predetermined time has elapsed (for example, after 10 minutes) after the supply of the helium gas is started, and the optical fiber mother sintered in the second step in the sintering furnace 100 The transmission loss value of the optical fiber obtained from the material 1 is determined.
For example, as specific examples, using the sintering furnaces a to e under the same five conditions as the above-mentioned "Method 1 for determination of reference value range", the helium gas concentration 10 minutes after the measurement start of the first step and the respective sintering The transmission loss value of the optical fiber obtained in the furnace was determined. As in the above-mentioned “How to determine the reference value range 1”, in the sintering furnaces of d and e having a large leakage flow rate, sintering furnaces a to c of three conditions of 1 ×, 2 × and 3.5 × The transmission loss value of the optical fiber increased compared to the above. FIG. 4 shows a graph in which the amount of increase relative to the transmission loss value of the sintering furnaces a to c is taken on the vertical axis, and the value of the helium gas concentration 10 minutes after the measurement start of the first step in each sintering furnace is taken on the horizontal axis. In FIG. 4, the range in which the transmission loss value of the optical fiber is normal is, for example, the range in which the amount of increase in the transmission loss of the optical fiber is 0.005 dB / km or less as in the example of FIG. In the example of FIG. 4, the range (reference value range) of the helium gas concentration 10 minutes after the measurement start of the first step is about 0 to 31400 ppm, at which the increase amount of the transmission loss is 0.005 dB / km or less.
As described above, the reference value range can be determined for the helium gas concentration after a predetermined time has elapsed from the start of measurement in the first step.

以上の第一工程、第二工程、および第三工程を実施してヘリウムガス濃度の基準値範囲を求める。そして、少なくとも一回、第一工程を実施して、排気口１２ａから排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定し、上記基準値範囲内であるか否かを確認する。   The above first step, second step and third step are carried out to determine the reference value range of the helium gas concentration. Then, the first step is carried out at least once to measure the helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the exhaust port 12a, and to confirm whether or not it is within the above-mentioned reference value range.

ヘリウムガス濃度が基準値範囲である場合は、測定した焼結炉１００を使用して、以降、第二工程の実施による光ファイバ母材１の製造を繰り返し実施する。すなわち、焼結炉１００において、ヘリウムガス濃度が基準値範囲であることが確認できれば、多孔質母材１を一本焼結する毎にあらためて第一工程を実施して確認する必要はない。一方、ヘリウムガス濃度が基準値範囲でない場合、すなわち、伝送損失値が不良となる範囲であった場合は、測定した焼結炉１００は使用しないようにする。または、炉心管を組み替えてから改めて第一工程を実施し、ヘリウムガス濃度が基準値範囲であることが確認できれば、第二工程の実施による光ファイバ母材１の製造を行う。   When the helium gas concentration is in the reference value range, the manufacturing of the optical fiber preform 1 by the implementation of the second step is repeatedly performed thereafter using the measured sintering furnace 100. That is, in the sintering furnace 100, if it can be confirmed that the helium gas concentration is within the reference value range, it is not necessary to carry out the first step again for confirmation each time the porous base material 1 is sintered. On the other hand, when the helium gas concentration is not within the reference value range, that is, when the transmission loss value is within a range that causes a defect, the measured sintering furnace 100 is not used. Alternatively, after the core tube is replaced, the first step is performed again, and if it can be confirmed that the helium gas concentration is within the reference value range, the optical fiber preform 1 is manufactured by the second step.

なお、上記基準値範囲内であるか否かの確認は、焼結炉１００の炉心管（第一炉心管３或いは第二炉心管４、またはその両方）を組み替えた直後に実施すれば、炉心管を組み替えたときのずれによる気密性の悪化を予め検知することができる。   It should be noted that confirmation of whether or not within the above standard value range is carried out immediately after reassembling the core tube (the first core tube 3 and / or the second core tube 4 of the sintering furnace 100). It is possible to detect in advance the deterioration of air tightness due to the displacement when replacing the pipe.

以上、詳述した本実施形態の光ファイバ母材の製造方法によれば、排気口（第二排気口）１２ａから排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度から第二炉心管（炉心管）４の気密性がわかる。第二炉心管（炉心管）４の気密性と、焼結した光ファイバ母材１から線引きされる光ファイバの伝送損失値とは関連する。よって、光ファイバの伝送損失値が正常な範囲内となる、ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求めることができる。   According to the method of manufacturing an optical fiber preform of the present embodiment described in detail above, the second core tube (core tube) 4 is obtained from the helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the exhaust port (second exhaust port) 12a. The air tightness of The airtightness of the second core tube (core tube) 4 and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the sintered optical fiber preform 1 are related. Therefore, the reference value range of the helium gas concentration in which the transmission loss value of the optical fiber is within the normal range can be determined.

上記のように求められた基準値範囲を利用し、多孔質母材１の焼結を行う前に、予め排気口１２ａから排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度が基準値範囲内であることを少なくとも一回確認する。このことで、第二炉心管（炉心管）４の気密性が、光ファイバの伝送損失値が正常な範囲内となる所定の水準になっているか否かを判断できる。
したがって、第二炉心管（炉心管）４の気密性が上記所定の水準になっていれば、以降、気密性を確認した第二炉心管（炉心管）４で焼結を行うことにより、光ファイバ母材１から線引きされた光ファイバが、不良品となるレベルまで伝送損失値が大きくなることを防ぐことができる。 Before the sintering of the porous base material 1 is performed using the reference value range obtained as described above, the helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the exhaust port 12a in advance is within the reference value range Check at least once. This makes it possible to determine whether the airtightness of the second core tube (core tube) 4 is at a predetermined level at which the transmission loss value of the optical fiber falls within the normal range.
Therefore, if the air tightness of the second core tube (core tube) 4 is at the above-mentioned predetermined level, light is subsequently produced by sintering in the second core tube (core tube) 4 whose airtightness is confirmed. The optical fiber drawn from the fiber preform 1 can prevent the transmission loss value from increasing to a level at which it becomes a defective product.

また、上記の基準値範囲は、ヘリウムガス濃度が経時的に増加する傾きと、焼結した光ファイバ母材１から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、求めることができる。或いは、供給口（第一供給口）１５ａからヘリウムガスを供給し始めてから一定時間経過した後に排気口（第二排気口）１２ａから排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度と、焼結した光ファイバ母材１から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、上記基準値範囲を求めることができる。   Further, the above-mentioned reference value range can be obtained based on the relationship between the inclination with which the helium gas concentration increases with time and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the sintered optical fiber preform 1. Alternatively, the helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the exhaust port (second exhaust port) 12a after a predetermined time has elapsed since the supply of the helium gas from the supply port (first supply port) 15a has started, and the sintered light The reference value range can be determined based on the relationship with the transmission loss value of the optical fiber drawn from the fiber preform 1.

なお、上記の説明では、炉心管が二重構造となっている焼結炉１００を使用したが、本実施形態に係る光ファイバ母材の製造方法は、炉心管が二重構造となっていない焼結炉に対しても適用できる。   In the above description, the sintering furnace 100 in which the core tube has a double structure is used, but in the method of manufacturing the optical fiber preform according to the present embodiment, the core tube does not have a double structure. It is applicable also to a sintering furnace.

１ 光ファイバ母材（多孔質母材）
２ 支持棒
３ 第一炉心管
４ 第二炉心管（炉心管）
５ 加熱ヒータ
６ 断熱材
７ 炉体
８ 炉心室
９ 炉体室（空間）
１０ 中間室
１１，１３，１５ ガス供給管
１１ａ 供給口（第二供給口）
１３ａ 供給口
１５ａ 供給口（第一供給口）
１２，１４，１６ ガス排気管
１２ａ 排気口（第二排気口）
１４ａ 排気口
１６ａ 排気口（第一排気口）
１７ スクラバー
１８ ヘリウムリークディテクタ 1 Optical fiber matrix (porous matrix)
2 support rod 3 first core tube 4 second core tube (core tube)
5 heating heater 6 heat insulating material 7 furnace body 8 core chamber 9 furnace chamber (space)
10 Intermediate chamber 11, 13, 15 Gas supply pipe 11a Supply port (second supply port)
13a supply port 15a supply port (first supply port)
12, 14 and 16 gas exhaust pipe 12a exhaust port (second exhaust port)
14a exhaust port 16a exhaust port (first exhaust port)
17 Scrubber 18 Helium leak detector

Claims (4)

炉体内に炉心管が配置され、前記炉体と前記炉心管との間の空間にガスを供給する第一供給口と、前記空間からガスを排気する第一排気口と、前記炉心管内にガスを供給する第二供給口と、前記炉心管からガスを排気する第二排気口と、を備える焼結炉を用いて、前記炉心管内に多孔質母材を収容して焼結を行う光ファイバ母材の製造方法であって、
前記第一供給口からヘリウムガスを供給するとともに、前記第二供給口からヘリウム以外のガスを供給し、前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度を測定する第一工程と、
前記炉心管内に前記多孔質母材を収容して焼結を行う第二工程と、
前記第一工程で測定した前記ヘリウムガス濃度と、前記第二工程で焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求める第三工程と、
を含み、
前記第一工程、前記第二工程、および前記第三工程を実施して前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求めてから、
前記第一工程を実施して前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度が前記基準値範囲内であることを少なくとも一回確認して、以降、前記第二工程を実施して光ファイバ母材を製造する、光ファイバ母材の製造方法。 A core tube is disposed in a reactor body, and a first supply port for supplying gas to a space between the furnace body and the core tube, a first exhaust port for exhausting gas from the space, and a gas in the core tube An optical fiber in which a porous base material is accommodated in the core tube and sintered using a sintering furnace provided with a second supply port for supplying hydrogen and a second exhaust port for exhausting gas from the core tube A method of manufacturing a base material,
A first step of supplying helium gas from the first supply port and supplying gas other than helium from the second supply port, and measuring helium gas concentration in exhaust gas exhausted from the second exhaust port; ,
A second step of containing the porous base material in the core tube and sintering it;
Based on the relationship between the helium gas concentration measured in the first step and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the optical fiber base material sintered in the second step, the reference value range of the helium gas concentration is The third step to be sought
Including
After performing the said 1st process, the said 2nd process, and the said 3rd process and calculating | requiring the standard value range of the said helium gas concentration,
The first step is performed, and it is confirmed at least once that the helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the second exhaust port is within the reference value range, and thereafter the second step is performed. Of producing an optical fiber preform, and a method of producing an optical fiber preform. 前記第三工程は、
前記第一工程において測定したヘリウムガス濃度が経時的に増加する傾きと、前記第二工程で焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失値との関係に基づいて、前記基準値範囲を求める、請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方法。 The third step is
The reference value is based on the relationship between the inclination that the helium gas concentration measured in the first step increases with time and the transmission loss value of the optical fiber drawn from the optical fiber base material sintered in the second step. The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the range is determined. 前記第三工程は、
前記第一工程において前記第一供給口からヘリウムガスを供給し始めてから一定時間経過した後に前記第二排気口から排気された排気ガス中のヘリウムガス濃度と、前記第二工程で焼結した光ファイバ母材から線引きした光ファイバの伝送損失との関係に基づいて、前記基準値範囲を求める、請求項１に記載の光ファイバ母材の製造方法。 The third step is
The helium gas concentration in the exhaust gas exhausted from the second exhaust port after a predetermined time has elapsed since the supply of the helium gas from the first supply port in the first step, and the light sintered in the second step The method of manufacturing an optical fiber preform according to claim 1, wherein the reference value range is determined based on a relationship with a transmission loss of an optical fiber drawn from a fiber preform. 前記第一工程、前記第二工程、および前記第三工程を実施して前記ヘリウムガス濃度の基準値範囲を求めてから、
前記炉心管を組み替えた直後に、前記第一工程を実施してヘリウムガス濃度が前記基準値範囲内であることを少なくとも一回確認して、以降、前記第二工程を実施する、請求項１から請求項３のいずれか一項に記載の光ファイバ母材の製造方法。 After performing the said 1st process, the said 2nd process, and the said 3rd process and calculating | requiring the standard value range of the said helium gas concentration,
Immediately after reassembling the core tube, the first step is performed to confirm at least once that the helium gas concentration is within the reference value range, and thereafter, the second step is performed. A method of manufacturing an optical fiber preform according to any one of claims 1 to 3.
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