JP6513885B1 - 光集積回路、並びにこれを用いた光フェーズドアレイ及びLiDARセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の他の態様によると、前記バス導波路及び前記複数の導波ラインは、互いに同一の構成を有する複数の要素部分が縦続接続されて構成される部分を含み、前記要素部分のそれぞれは、前記バス導波路の一部と、前記バス導波路の前記一部に設けられた前記位相シフタと、前記バス導波路の前記一部に設けられて前記バス導波路の前記一部を伝搬する光の一部を抽出する前記光カプラの一つと、前記光カプラの当該一つが抽出した光を伝搬する前記導波ラインの一部と、を含み、前記要素部分のそれぞれにおいて、当該要素部分に含まれる前記バス導波路の前記一部と前記導波ラインの前記一部とは、当該要素部分に含まれる前記位相シフタに通電しない状態において互いに同じ光路長を有し、且つ、前記要素部分のそれぞれが備える前記バス導波路の前記一部どうしが接続されることにより前記複数の前記要素部分が縦続接続されており、前記位相シフタは、隣接する前記光カプラを接続する直線状の前記バス導波路の部分に形成されている。
本発明の他の態様によると、前記バス導波路は、複数の第1要素部分を含み、前記導波ラインは、一つ又は複数の第2要素部分を含み、前記第1要素部分は、それぞれ、前記基板の平面に沿った第1の方向(X方向)に伝搬する光を受ける当該第1要素部分の光入力部と、前記第1の方向(X方向)へ光を出力する当該第1要素部分の光出力部とが、前記第1の方向に第1所定距離LAを隔て、且つ前記第1の方向に直交する前記基板の平面に沿った第2の方向(Y方向)に第2所定距離dを隔てて配置されており、且つ前記第1要素部分の光入力部に前記光カプラが設けられており、前記第2要素部分は、それぞれ、光の伝搬方向に沿って上流の第1端部と光の伝搬に沿って下流の第2端部とが、前記第1の方向(X方向)に第1所定距離LAを隔て、且つ前記第2の方向(Y方向)に第3所定距離qを隔てて配置されており、前記バス導波路は、複数の前記第1要素部分が縦続接続されて構成され、前記導波ラインは、一つの前記第2要素部分で構成されるか、又は複数の前記第2要素部分が縦続接続されて構成されている。
本発明の他の態様によると、前記光カプラは、エバネセントカプラであり、前記第1要素部分の光入力部を含む当該第1要素部分の一部と、一の前記導波ラインの端部を含む当該導波ラインの一部とが、前記第2の方向に第4所定距離gを隔てて配されることにより構成される。
本発明の他の態様によると、前記バス導波路の光入力端から、複数の前記導波ラインの光出力端に至るそれぞれの光経路に含まれる、前記第1要素部分の数と前記第2要素部分の数の合計は、それぞれの前記光経路において互いに同じである。
本発明の他の態様によると、前記導波ラインのそれぞれは一つ又は複数の前記第2要素部分に加えて一つ又は複数の付加的な導波路を含み、前記導波ラインのそれぞれが含む前記付加的な導波路の、光路長の合計及び前記第1の方向に沿った距離の合計は、複数の前記導波ラインにおいてそれぞれ互いに同じである。
本発明の他の態様によると、前記第1要素部分と前記第2要素部分とは、同じ光路長を持つ。
本発明の他の態様によると、前記第1要素部分は、それぞれ光の伝搬方向に所定の角度の変化を与える2つの曲がり導波路と、前記第1の方向に対し当該所定の角度をもって延在して当該2つの曲がり導波路を接続する斜め導波路と、を含み、前記第2要素部分は、光の伝搬方向を90°変換する2つの曲がり導波路と、前記第1の方向に延在する直線導波路と、を含む。
本発明の他の態様によると、縦続接続された複数の前記第1要素部分のうち最後の前記第1要素部分には、当該最後の前記第1要素部分の光出力部につなげて設けられた前記光カプラを介して、一つの前記第2要素部分で構成される前記導波ラインが接続される。
本発明の他の態様によると、一つの前記第1要素部分と、一つの前記導波ラインの端部を含む前記第2要素部分と、をそれぞれ含む複数の第3要素部分を含み、複数の前記第3要素部分に含まれるそれぞれの前記第1要素部分が互いに縦続接続されることにより複数の前記第3要素部分が縦続接続され、且つ、前記複数の第3要素部分に含まれるそれぞれの前記第2要素部分に一つ又は複数の他の前記第2要素部分が縦続接続されている。
本発明の他の態様によると、前記位相シフタは、それぞれ、前記バス導波路の一部に設けられたヒータにより構成され、前記ヒータは、同じ電流を通電したときに互いに同じ温度となるように、長さ、幅、及び厚さを含むサイズ、並びに形状が、互いに同じとなるように構成されている。
本発明の他の態様によると、前記基板は、Si3N4、Si、SiON、LiNbO3、LiTaO3、及びSiCのいずれかで構成される。
本発明の他の態様は、上記いずれかの光集積回路を備える光フェーズドアレイである。
本発明の他の態様によると、前記光フェーズドアレイは、基板上に設けられた、それぞれがその長さ方向に沿ってその幅又は厚さが周期的に変化する複数の摂動導波路により構成され、前記光集積回路が出力する光のそれぞれを当該基板の表面から空間へ出力するアンテナアレイを備える。
本発明の他の態様によると、上記いずれかの光フェーズドアレイを備えるLiDARセンサである。
本発明の他の態様は、入力光を分岐して構成される所定の数の光チャネルを備える、光集積回路の設計方法である。前記設計方法は、前記光集積回路の要素部分を構成するステップを含む。前記要素部分を構成する前記ステップでは、前記要素部分を、入力光が伝搬するバス導波路の一部と、前記バス導波路の前記一部に設けられて前記バス導波路の前記一部を伝搬する光の一部を抽出する光カプラと、前記バス導波路の前記一部に設けられた位相シフタであって、隣接する前記光カプラを接続する直線状の前記バス導波路の部分に形成された位相シフタと、前記光カプラが抽出した光を伝搬する導波ラインの一部と、を含み、且つ、前記バス導波路の前記一部と前記導波ラインの前記一部とが、前記位相シフタに通電しない状態において互いに同じ光路長を有する、よう構成する。また、前記設計方法は、前記要素部分のそれぞれが備える前記バス導波路の前記一部どうしを接続して前記所定の数に応じた数の前記要素部分を縦続接続することにより、前記所定の数の前記光チャネルを構成するステップを含む。
p=d−q (2)
LA=a+2r (3)
q=2r+c (4)
そして、第2要素部分204a−1の経路長SLは、次式で与えられる。
SL=a+c+πr (5)
f=rα (6)
SB=e+h+2rα+D (7)
LB=LA−e−h (8)
Δ=r(1−cosα) (11)
Lu=LB−2u=LB−2r・sinα (12)
u=r・sinα (13)
SB(LB,d,r)=2rα(LB,d,r)
+D(LB,d,r)+e+h (16)
SL(LB,d,r)=a+πr+c
=L+e+h+d−p−(4−π)r (17)
となる。
SB(LB,d,r)=SL(LB,d,r) (18)
とするには、
2rα(LB,d,r)+D(LB,d,r)
=LB+d−p−(4−π)r (19)
であればよいことがわかる。
与えられるパラメータ:
光出力端210a等の配列間隔P=2μm;
曲がり導波路604等の曲率半径r=20μm;
光カプラを構成する直線導波路616の長さe(光カプラ220aの結合距離)=2μm;
光カプラ220aにおける導波路間の間隔(結合ギャップ)g=0.4μm;
直線導波路618の長さh=10μm;
直線導波路610の長さc=0;
算出したパラメータ:
Y方向距離d=42μm;
X方向距離LB=42.458μm;
角度α=72.9°;
斜め導波路624の長さD=14.376μm;
直線導波路608の長さa=14.458μm。
この光集積回路110は、バス導波路202の光入力端230から導波ライン204a、204b、204c、204dのそれぞれの光出力端210a、210b、210c、210dまでの光の経路長又は光路長が互いに等しくなるように構成されている。したがって、位相シフタ222a等が無通電状態である場合、光出力端210a、210b、210c、210dにおける隣接チャネル間の位相差は、ゼロである。
Claims (16)
- 基板上に形成された光導波路により構成される光集積回路であって、
入力光が伝搬するバス導波路と、
前記バス導波路上に配された、当該バス導波路を伝搬する光の一部をそれぞれ抽出する複数の光カプラと、
前記複数の光カプラが抽出した光をそれぞれ伝搬する複数の導波ラインと、
前記バス導波路に沿って隣接する前記光カプラの間の当該バス導波路上にそれぞれ設けられた位相シフタと、
を備え、
前記複数の光カプラは、前記バス導波路に沿って縦続接続されており、且つ、
同一の前記基板上において、前記バス導波路の光入力端から前記光カプラのそれぞれを介して前記導波ラインのそれぞれの光出力端に至るまでの光路長が、前記位相シフタのいずれにも通電しない状態において互いに等しくなるように構成されており、
前記位相シフタは、隣接する前記光カプラを接続する直線状の前記バス導波路の部分に形成されている、
光集積回路。 - 前記バス導波路及び前記複数の導波ラインは、互いに同一の構成を有する複数の要素部分が縦続接続されて構成される部分を含み、
前記要素部分のそれぞれは、
前記バス導波路の一部と、
前記バス導波路の前記一部に設けられた前記位相シフタと、
前記バス導波路の前記一部に設けられて前記バス導波路の前記一部を伝搬する光の一部を抽出する前記光カプラの一つと、
前記光カプラの当該一つが抽出した光を伝搬する前記導波ラインの一部と、
を含み、
前記要素部分のそれぞれにおいて、当該要素部分に含まれる前記バス導波路の前記一部と前記導波ラインの前記一部とは、当該要素部分に含まれる前記位相シフタに通電しない状態において互いに同じ光路長を有し、且つ、
前記要素部分のそれぞれが備える前記バス導波路の前記一部どうしが接続されることにより前記複数の前記要素部分が縦続接続されており、
前記位相シフタは、隣接する前記光カプラを接続する直線状の前記バス導波路の部分に形成されている、
請求項1に記載の光集積回路。 - 前記バス導波路は、複数の第1要素部分を含み、
前記導波ラインは、一つ又は複数の第2要素部分を含み、
前記第1要素部分は、それぞれ、前記基板の平面に沿った第1の方向に伝搬する光を受ける当該第1要素部分の光入力部と、前記第1の方向へ光を出力する当該第1要素部分の光出力部とが、前記第1の方向に第1所定距離を隔て、且つ前記第1の方向に直交する前記基板の平面に沿った第2の方向に第2所定距離を隔てて配置されており、且つ前記第1要素部分の光入力部に前記光カプラが設けられており、
前記第2要素部分は、それぞれ、光の伝搬方向に沿って上流の第1端部と光の伝搬に沿って下流の第2端部とが、前記第1の方向に第1所定距離を隔て、且つ前記第2の方向に第3所定距離を隔てて配置されており、
前記バス導波路は、複数の前記第1要素部分が縦続接続されて構成され、
前記導波ラインは、一つの前記第2要素部分で構成されるか、又は複数の前記第2要素部分が縦続接続されて構成されている、
請求項1に記載の光集積回路。 - 前記光カプラは、エバネセントカプラであり、前記第1要素部分の光入力部を含む当該第1要素部分の一部と、一の前記導波ラインの端部を含む当該導波ラインの一部とが、前記第2の方向に第4所定距離を隔てて配されることにより構成される、
請求項3に記載の光集積回路。 - 前記バス導波路の光入力端から、複数の前記導波ラインの光出力端に至るそれぞれの光経路に含まれる、前記第1要素部分の数と前記第2要素部分の数の合計は、それぞれの前記光経路において互いに同じである、
請求項3又は4に記載の光集積回路。 - 前記導波ラインのそれぞれは一つ又は複数の前記第2要素部分に加えて一つ又は複数の付加的な導波路を含み、
前記導波ラインのそれぞれが含む前記付加的な導波路の、光路長の合計及び前記第1の方向に沿った距離の合計は、複数の前記導波ラインにおいてそれぞれ互いに同じである、
請求項3ないし5のいずれか一項に記載の光集積回路。 - 前記第1要素部分と前記第2要素部分とは、同じ光路長を持つ、
請求項3ないし6のいずれか一項に記載の光集積回路。 - 前記第1要素部分は、それぞれ光の伝搬方向に所定の角度の変化を与える2つの曲がり導波路と、前記第1の方向に対し当該所定の角度をもって延在して当該2つの曲がり導波路を接続する斜め導波路と、を含み、
前記第2要素部分は、光の伝搬方向を90°変換する2つの曲がり導波路と、前記第1の方向に延在する直線導波路と、を含む、
請求項3ないし7のいずれか一項に記載の光集積回路。 - 縦続接続された複数の前記第1要素部分のうち最後の前記第1要素部分には、当該最後の前記第1要素部分の光出力部につなげて設けられた前記光カプラを介して、一つの前記第2要素部分で構成される前記導波ラインが接続される、
請求項3ないし8のいずれか一項に記載の光集積回路。 - 一つの前記第1要素部分と、一つの前記導波ラインの端部を含む前記第2要素部分と、をそれぞれ含む複数の第3要素部分を含み、
複数の前記第3要素部分に含まれるそれぞれの前記第1要素部分が互いに縦続接続されることにより複数の前記第3要素部分が縦続接続され、且つ、
前記複数の第3要素部分に含まれるそれぞれの前記第2要素部分に一つ又は複数の他の前記第2要素部分が縦続接続されることにより構成される、
請求項3ないし9のいずれか一項に記載の光集積回路。 - 前記位相シフタは、それぞれ、前記バス導波路の一部に設けられたヒータにより構成され、
前記ヒータは、同じ電流を通電したときに互いに同じ温度となるように、長さ、幅、及び厚さを含むサイズ、並びに形状が、互いに同じとなるように構成されている、
請求項1ないし10のいずれか一項に記載の光集積回路。 - 前記基板は、Si3N4、Si、SiON、LiNbO3、LiTaO3、及びSiCのいずれかで構成される、
請求項1ないし11のいずれか一項に記載の光集積回路。 - 請求項1ないし12のいずれか一項に記載の光集積回路を備える光フェーズドアレイ。
- 基板上に設けられた、それぞれがその長さ方向に沿ってその幅又は厚さが周期的に変化する複数の摂動導波路により構成され、前記光集積回路が出力する光のそれぞれを当該基板の表面から空間へ出力するアンテナアレイを備える、請求項13に記載の光フェーズドアレイ。
- 請求項13又は14に記載の光フェーズドアレイを備えるLiDARセンサ。
- 入力光を分岐して構成される所定の数の光チャネルを備える、光集積回路の設計方法であって、
前記光集積回路の要素部分を構成するステップであって、
前記要素部分を、
入力光が伝搬するバス導波路の一部と、
前記バス導波路の前記一部に設けられて前記バス導波路の前記一部を伝搬する光の一部を抽出する光カプラと、
前記バス導波路の前記一部に設けられた位相シフタであって、隣接する前記光カプラを接続する直線状の前記バス導波路の部分に形成された位相シフタと、
前記光カプラが抽出した光を伝搬する導波ラインの一部と、
を含み、且つ、
前記バス導波路の前記一部と前記導波ラインの前記一部とが、前記位相シフタに通電しない状態において互いに同じ光路長を有する、
よう構成するステップと、
前記要素部分のそれぞれが備える前記バス導波路の前記一部どうしを接続して前記所定の数に応じた数の前記要素部分を縦続接続することにより、前記所定の数の前記光チャネルを構成するステップと、
を有する、
光集積回路の設計方法。
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Cited By (1)
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Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6219471B1 (en) * | 1999-01-15 | 2001-04-17 | Lucent Technologies Inc. | Optical device having equal length waveguide paths |
JP2017161591A (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | 株式会社豊田中央研究所 | 屈折率制御素子、光位相シフタ、光スイッチ、及び屈折率制御素子の製造方法 |
JP2017187649A (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 株式会社豊田中央研究所 | 光フェーズドアレイ、及び光アンテナ |
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Patent Citations (4)
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---|---|---|---|---|
US6219471B1 (en) * | 1999-01-15 | 2001-04-17 | Lucent Technologies Inc. | Optical device having equal length waveguide paths |
JP2017161591A (ja) * | 2016-03-07 | 2017-09-14 | 株式会社豊田中央研究所 | 屈折率制御素子、光位相シフタ、光スイッチ、及び屈折率制御素子の製造方法 |
JP2017187649A (ja) * | 2016-04-06 | 2017-10-12 | 株式会社豊田中央研究所 | 光フェーズドアレイ、及び光アンテナ |
JP2018010118A (ja) * | 2016-07-13 | 2018-01-18 | 日本放送協会 | 光偏向装置 |
Non-Patent Citations (2)
Title |
---|
KWONG ET AL.: "On-chip silicon optical phased array for two-dimensional beam steering", OPTICS LETTERS, vol. 39, no. 4, JPN6018046381, 15 February 2014 (2014-02-15), US, pages 941 - 944, XP001587903, ISSN: 0003926467, DOI: 10.1364/OL.39.000941 * |
YAACOBI ET AL.: "Integrated phased array for wide-angle beam steering", OPTICS LETTERS, vol. 39, no. 15, JPN6018026219, 1 August 2014 (2014-08-01), US, pages 4575 - 4578, XP055497363, ISSN: 0003926466, DOI: 10.1364/OL.39.004575 * |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2023500599A (ja) * | 2019-10-29 | 2023-01-10 | ウェイモ エルエルシー | 光信号ルーティングデバイスおよびシステム |
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