JP6506814B2 - 固体撮像装置およびカメラ - Google Patents
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- 第1面および第2面を有する半導体層を含む固体撮像装置であって、
前記第1面と前記第2面との間に配置され、電荷を蓄積する複数の電荷蓄積領域を各々が含む複数の電荷蓄積領域ペアと、
電荷を転送するように前記第1面の側に配置された転送ゲートと、
1つのマイクロレンズが前記複数の電荷蓄積領域ペアのうちの1つの電荷蓄積領域ペアに割り当てられるように前記第2面の側に配置された複数のマイクロレンズと、
前記1つの電荷蓄積領域ペアの前記複数の電荷蓄積領域の間に配置され、前記第2面から前記第1面に向かって延びた分離領域を含む、第1分離部と、
前記複数の電荷蓄積領域ペアの間に配置され、前記第2面から前記第1面に向かって連続的に延びた第2分離部と、を含み、
前記第2面からの前記分離領域の深さは、前記第2面からの前記第2分離部の深さよりも小さい、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 第1面および第2面を有する半導体層を含む固体撮像装置であって、
前記第1面と前記第2面との間に配置され、電荷を蓄積する複数の電荷蓄積領域を各々が含む複数の電荷蓄積領域ペアと、
電荷を転送するように前記第1面の側に配置された転送ゲートと、
1つのマイクロレンズが前記複数の電荷蓄積領域ペアのうちの1つの電荷蓄積領域ペアに割り当てられるように前記第2面の側に配置された複数のマイクロレンズと、
前記1つの電荷蓄積領域ペアの前記複数の電荷蓄積領域の間に配置され、前記第1面から前記第2面に向かって延びた分離領域を含む、第1分離部と、
前記複数の電荷蓄積領域ペアの間に配置され、前記第1面から前記第2面に向かって連続的に延びた第2分離部と、を含み、
前記第1面からの前記分離領域の深さは、前記第1面からの前記第2分離部の深さよりも小さい、
ことを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第1分離部の不純物濃度は、前記第2分離部の不純物濃度より小さい、
ことを特徴とする請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 前記第1分離部の幅は、前記第2分離部の幅より小さい、
ことを特徴する請求項1または2に記載の固体撮像装置。 - 前記1つの電荷蓄積領域ペアの前記複数の電荷蓄積領域は、第1電荷蓄積領域と第2電荷蓄積領域とを含み、前記転送ゲートは、前記第1電荷蓄積領域の電荷を転送する第1転送ゲートと、前記第2電荷蓄積領域の電荷を転送する第2転送ゲートとを含む、
ことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第1分離部および前記第2分離部の各々は、第1導電型の半導体領域を含み、前記1つの電荷蓄積領域ペアの前記複数の電荷蓄積領域は、第2導電型の半導体領域を含む、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記転送ゲートは、第2導電型の半導体領域に電荷を転送する、
ことを特徴とする請求項6に記載の固体撮像装置。 - 前記第2面と前記1つの電荷蓄積領域ペアの前記複数の電荷蓄積領域との間に配置された第1導電型の第1半導体領域を更に含む、
ことを特徴とする請求項6又は7に記載の固体撮像装置。 - 前記第1半導体領域と前記1つの電荷蓄積領域ペアの前記複数の電荷蓄積領域との間に配置された第2導電型の第2半導体領域を更に含む、
ことを特徴とする請求項8に記載の固体撮像装置。 - 前記第1面と前記1つの電荷蓄積領域ペアの前記複数の電荷蓄積領域との間に配置された第1導電型の第3半導体領域を更に含む、
ことを特徴とする請求項9に記載の固体撮像装置。 - 前記半導体層の上に配置され、前記第1半導体領域に接触した膜を更に含む、
ことを特徴とする請求項8乃至10のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記複数のマイクロレンズと前記半導体層との間に配置された第1膜と、前記複数のマイクロレンズと前記第1膜との間に配置された第2膜と、前記第1膜と前記第2膜との間に配置された遮光膜と、を更に含む、
ことを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の固体撮像装置。 - 前記第2分離部は、前記第1面と前記第2面との間に配置された第1分離領域と、前記第1分離領域と前記第1面との間に配置された第2分離領域と、を含む、
ことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第1分離領域の幅は、前記第1面の側が前記第2面の側より大きく、および/または、
前記第2分離領域の幅は、前記第2面の側が前記第1面の側より大きい、
ことを特徴とする請求項13に記載の固体撮像装置。 - 前記分離領域は、前記第1面と前記第2面との間に配置され、前記第1分離部は、前記分離領域と前記第1面との間に配置された第3分離領域を含む、
ことを特徴とする請求項13または14に記載の固体撮像装置。 - 前記第1面からの前記第3分離領域の深さは、前記第2面からの前記分離領域の深さより大きい、
ことを特徴とする請求項15に記載の固体撮像装置。 - 請求項1乃至16のいずれか1項に記載の固体撮像装置と、
前記固体撮像装置からの信号を処理する処理部と、を備え、
前記信号を用いて位相差検出法による焦点検出を行う、
ことを特徴とするカメラ。
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