JP6499499B2 - 光波回路およびその製造方法 - Google Patents
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Description
図4は、本発明の第1の実施形態にかかる光波回路に使用される領域分割波長版の製造工程を示す図である。図4(a)及び(b)は、本発明の第1の実施形態にかかる領域分割波長板の各製造工程を示し、図4(c)は、製造された領域分割波長板の上面図を示している。
図6は、本発明の第2の実施形態にかかる光波回路に使用される領域分割波長板600を示す図である。また、図7は、図6に記載の領域分割波長板600を光波回路700に形成された溝に挿入する様子を示す図である。領域分割波長板600は、ガラス基板601上に光導波路用位相差パターンとなる配向膜602が形成され、90度の偏波方向を有する領域と、0度の偏波方向を有する領域とが、ストライプ状に配列されている。また、光導波路用位相差パターン602のピッチ方向両側に、アライメント用位相差パターンとなるアライメント用配向膜603が形成される。
第1及び代の実施形態の光波回路これらを利用した例として、デジタルコヒーレント用受信光波回路や、偏波ビームスプリッタ(PBS)アレイなどが挙げられる。PBSとしては、例えば、図2のようにY分岐カプラとλ/2と0の位相差またはY分岐カプラと+λ/4、−λ/4の位相差を付与し、再度2×2MMIカプラに結合させることで実現される。また、全体の回路構成や、空間回路構成に応じては、偏波をTE、TMに分けたのち、どちらか一方を、90°偏波回転させ、その後は同一偏波として処理することも求められる。そのような用途では、本発明の領域分割波長板を2枚挿入し、一方を偏波ビームスプリッタとして機能させ、一方は片方の偏波に位相を0、片方の偏波に位相をλ/2付与することで実現できる。なお、位相差0の配向には、配厚膜を形成しないなどすることで、本発明と同様に実現できる。
102、202、204、205、207、208、302a〜302h、532、702 光導波路
103 光波回路
104、212、433 溝
105、212、213、303 波長板
203 Y分岐カプラ
206 2×2MMI
411、501 ガラス基板
412、502 光配向膜
413 ストライプ状メタルマスク
530、700 光波回路
534 重合性液晶
410、500 領域分割波長版
521 溝位置調整用ガラス板
603 アライメント用配向膜
603 アライメント用光導波路
Claims (5)
- ガラス基板上に光配向膜を塗布するステップと、
前記光配向膜の第1の領域を第1の偏光方向に配向し、前記光配向膜の第2の領域を第2の偏光方向に配向するステップであって、前記第1の領域と前記第2の領域とは、分割してストライプ状に配置される、ステップと、
前記光配向膜が配向された前記ガラス基板を、上面に光導波路が形成された光波回路の、前記光導波路の光軸と直交する方向に、前記光導波路上面から前記光導波路のコアを横断する深さまで形成された溝に挿入するステップであって、前記光導波路のピッチは、前記第1の領域と前記第2の領域とのピッチと一致する、ステップと、
前記溝に、重合性液晶を充填するステップと、
前記重合性液晶にUV光を照射して、前記重合性液晶を硬化させるステップと
を備えたことを特徴とする光波回路の製造方法。 - 前記ガラス基板を前記溝に挿入するステップは、
前記ガラス基板を、溝位置調整用ガラスに仮固定するステップと、
前記溝位置調整用ガラスに仮固定された前記ガラス基板を、前記溝に挿入するステップと、
前記溝位置調整用ガラスを動かして、前記溝の内壁に、前記ガラス基板の前記光配向膜が塗布されていない面を密着させるステップと
を備えたことを特徴とする請求項1に記載の光波回路の製造方法。 - 前記ガラス基板には、アライメント用配向膜がさらに形成され、
前記光波回路には、前記アライメント用配向膜のピッチに合わせた位置にアライメント用光導波路がさらに形成され、
前記ガラス基板を前記溝に挿入するステップは、前記アライメント用光導波路の入力部に所定の偏光を入力し、前記アライメント用光導波路の出射部において所定の偏光子を介して受光した光が最大または最小強度となるように前記ガラス基板の前記溝の長手方向の位置を調整してアライメント調整を行うステップをさらに含むことを特徴とする請求項1又は2に記載の光波回路の製造方法。 - 基板上面に光導波路を備える光波回路であって、
前記光導波路の光軸と直交する方向に、前記光導波路上面から前記光導波路のコアを横断する深さを有する溝と、
前記溝に挿入される、光配向膜が塗布されたガラス基板であって、前記光配向膜の第1の領域の配向方向を第1の偏光方向とし、前記光配向膜の第2の領域の配向方向を第2の偏光方向とし、前記第1の領域と前記第2の領域との配置は、分割されたストライプ状であって、前記第1の領域と前記第2の領域とのピッチが、前記光導波路のピッチと一致した、ガラス基板と、
前記溝に充填された重合性液晶であって、紫外線硬化性の重合性液晶と
を備えることを特徴とする光波回路。 - 前記ガラス基板の前記光配向膜が塗布されていない面側は、前記溝の内壁に密着され、前記ガラス基板の前記光配向膜が塗布されている面側には、前記重合性液晶が充填されることを特徴とする請求項4に記載の光波回路。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP6499499B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109725378B (zh) * | 2018-02-13 | 2020-03-10 | 华为技术有限公司 | 保护膜、切割保护膜的方法和装置 |
JP7468406B2 (ja) * | 2021-02-26 | 2024-04-16 | 株式会社島津製作所 | フーリエ変換赤外分光光度計 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3854077B2 (ja) * | 2000-10-18 | 2006-12-06 | 日本電信電話株式会社 | 導波路型光素子及びその作製方法 |
JP3701618B2 (ja) * | 2001-08-24 | 2005-10-05 | 日本電信電話株式会社 | 導波路型光素子及びその作製方法 |
US6928200B2 (en) * | 2002-10-07 | 2005-08-09 | Intel Corporation | Ultra-thin polarization mode converters based on liquid crystal materials |
JP5868339B2 (ja) * | 2013-01-30 | 2016-02-24 | 日本電信電話株式会社 | 波長板装填光導波路 |
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Publication number | Publication date |
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JP2016206307A (ja) | 2016-12-08 |
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A621 | Written request for application examination |
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