JP6488635B2 - シンチレータパネル及び放射線検出器 - Google Patents
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Description
「1」 フレキシブル基板上に蛍光体を配置したシンチレータパネルにおいて、フレキシブル基板と蛍光体の間に熱膨張吸収層を設け、熱膨張吸収層の線膨張係数が蛍光体の熱膨張係数より大きく、熱膨張吸収層とフレキシブル基板の接する面は供に有機物を含む事を特徴とするシンチレータパネル。
「2」 前記蛍光体の光出射面及び側面、フレキシブル樹脂基板の側面と裏面の一部まで防湿保護層におおわれていることを特徴とする「1」のシンチレータパネル。
「3」 前記熱膨張吸収層の厚みが1μm以上100μm以下である「1」または「2」のシンチレータパネル。
「4」 前記熱膨張吸収層にフィラーが含有されている事を特徴とする「1」から「3」のいずれかに記載のシンチレータパネル。
「5」 蛍光体層が、ヨウ化セシウムとタリウムを含む添加剤を原材料として、気相法により形成されたものであることを特徴とする「1」に記載のシンチレータパネル。
「6」 フレキシブル基板が、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、セルロースアセテート、ポリアミド、ポリイミド、ポリエーテルイミド、エポキシ、ポリアミドイミド、ビスマレイイミド、フッ素樹脂、アクリル、ポリウレタン、アラミド、ナイロン、ポリカーボネート、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルサルフォン、ポリサルフォン、ポリエーテルエーテルケトン、液晶ポリマーから選ばれる樹脂、炭素繊維強化樹脂から選ばれる少なくとも1種から構成されるものあるいは、薄膜ガラス表面が樹脂層でコートされたものであること「1」に記載のシンチレータパネル。
「7」 熱膨張吸収層が、ポリウレタン、塩化ビニル共重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニル−アクリロニトリル共重合体、ブタジエン−アクリロニトリル共重合体、ポリアミド樹脂、ポリビニルブチラール、ポリエステル、セルロース誘導体(ニトロセルロース等)、スチレン−ブタジエン共重合体、各種の合成ゴム系樹脂、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、尿素樹脂、メラミン樹脂、フェノキシ樹脂、シリコーン樹脂、アクリル樹脂、尿素ホルムアミド樹脂から選ばれる少なくとも1種のポリマーを含むことを特徴とする「1」に記載のシンチレータ―パネル。
「8」 前記シンチレータパネルがラインセンサに用いられることを特徴とする「1」から「7」いずれかに記載の放射線検出器。
「9」 前記シンチレータパネルと複数のセンサを組み合わせて使用する事を特徴とする「1」から「7」のいずれかに記載の放射線検出器。
本発明において、「シンチレータ」とは、X線等の入射された放射線のエネルギーを吸収して、波長が300〜800nmの電磁波、すなわち、可視光線を中心に電磁波(光)を発光する蛍光体をいう。
シンチレータパネル10は、フレキシブル基板を支持体12として用いる。支持体12の一面には蛍光体層13が蒸着により設けられ、蛍光体層面とされる。
本発明では、支持体12と蛍光体層13との間に特定の線膨張係数を有する熱膨張吸収層17を設ける。図1に示す例では、熱膨張吸収層17は、支持体12表面に設けられ、その表面に反射層15が設けられているが、本発明はこの限りでない。
本発明において基板とは、シンチレータパネルの構成要素において、蛍光体層を保持するために、支持体の役割を果たす部材を指す。
基板を構成する材料としては、例えば、(1)炭素繊維強化プラスチック(CFRP:Carbon Fiber Reinforced Plastics)、(2)カーボン(アモルファスカーボン、木炭及び紙を炭化処理して固めたもの等)、(3)プラスチック、(4)ガラス、(5)金属、(6)上記(1)〜(5)の材料を薄く形成し発泡樹脂でサンドイッチしたもの等を使用することができる。これらは単独で用いても積層して用いてもよい。
当該基板には、易接着層、反射層、光吸収層、導電層、反り防止層、平滑層等の機能層を設けてもよい。
フレキシブル基板上に蛍光体を蒸着する際、熱によって支持体が変形しないよう、ガラス転移移点は100℃以上であることが好ましい。具体的には、ポリイミドを含有する樹脂フイルムが好適である。
フレキシブル基板の少なくとも蛍光体層が蒸着される面に反射層を有することが好ましい。反射層を設けることによって、蛍光体の発光を非常に効率よく取り出すことが出来、輝度が飛躍的に向上する。
反射層を構成する材料としては、アルミニウム、銀、白金、パラジウム、金、銅、鉄、ニッケル、クロム、コバルト、ステンレス等の金属材料を含有していることが好ましい。中でも反射率、耐食性の観点からアルミニウムもしくは銀を主成分としていることが特に好ましい。また、このような金属薄膜を2層以上形成するようにしても良い。
支持体と反射層の密着性を向上させるために、支持体と反射層の間に中間層を設けることが好ましい。中間層を構成する材料としては、一般的な易接着性のポリマーの他、反射層とは異なる異種金属層を設けても良い。異種金属層としては、例えば、ニッケル、コバルト、クロム、パラジウム、チタン、ジルコニウム、モリブデンおよびタングステンの中から選ばれる少なくとも1種類の金属を用いることが好ましく、中でもニッケル、クロムを単独、もしくは混合して使用することがさらに好ましい。
本発明では、反射率向上のため、SiO2、TiO2等の金属酸化物からなる増反射層を設けても良い。
光散乱粒子としては、例えば、TiO2(アナターゼ型、ルチル型)、MgO、PbCO3・Pb(OH)2、BaSO4、Al2O3、M(II)FX(但し、M(II)はBa、Sr及びCaの各原子から選ばれる少なくとも一種の原子であり、XはCl原子又はBr原子である。)、CaCO3、ZnO、Sb2O3、SiO2、ZrO2、リトポン(BaSO4・ZnS)、珪酸マグネシウム、塩基性珪硫酸塩、塩基性燐酸鉛、珪酸アルミニウム等の白色顔料を使用する事が出来る。これらの白色顔料は隠蔽力が強く、屈折率が大きいため、光を反射し、屈折させることによりシンチレータの発光を容易に散乱し、得られる放射線像変換パネルの感度を顕著に向上させることができる。
酸化チタンの結晶構造としては、ルチル型、アナターゼ型どちらでも使用できるが、樹脂の屈折率との比率が大きく、高輝度を達成できる点からルチル型が好ましい。
蛍光体層を形成する材料としては、種々の蛍光体材料が知られているが、ヨウ化セシウム(CsI)は、X線から可視光に対する変更率が比較的高く、蒸着によって容易に蛍光体を柱状結晶構造に形成出来るため、光ガイド効果により結晶内での発光光の散乱が抑えられ、蛍光体層の厚さを厚くすることが可能であることから、好ましい。
蛍光体の一定の面指数を有する面のX線回折スペクトルに基づく配向度は、層厚方向の位置に係わらず、80〜100%の範囲内であることが好ましい。例えば、タリウム賦活ヨウ化セシウム(CsI:Tl)における面指数は、(100)、(110)、(111)、(200)、(211)、(220)、(311)等のうちのいずれかであり得るが、(200)であることが好ましい(面指数については、X線解析入門(東京化学同人)42〜46頁参照)。
蛍光体柱状結晶の形成方法としては、公知の方法を採用でき、基板の表面に、空隙率が蛍光体層よりも低い値を示す下地層を形成する工程、及び下地層の表面に蛍光体を気相堆積法により形成する工程を含む態様の製造方法であることが好ましい。
本発明では、フレキシブル基材から構成される支持体と蛍光体層との間に、熱膨張吸収層を設けられている。
また、熱膨張吸収層にはフィラーが含まれていてもよい。フィラーを加えることで、熱膨張吸収層の線膨張指数を調整することができる。
また、熱膨張吸収層の厚みは、1μm以上100μm以下であることが好ましく、1μm以上60μm以下がさらに好ましい。この範囲にあれば、熱がかかった時の反りに伴う応力を緩和できる。熱膨張吸収層には、蛍光体(シンチレータ)が発光する光の散乱の防止し、鮮鋭性等を向上させるために顔料や染料を含有されても良い。
前記蛍光体の光出射面及び側面、フレキシブル基板の側面と裏面一部が防湿保護層におおわれていることが好ましい。
防湿保護層は、主に、蛍光体の保護を目的とするものである。具体的には、例えば、蛍光体がヨウ化セシウム(CsI)である場合、CsIは、吸湿性が高く露出したままにしておくと空気中の水蒸気を吸湿して潮解してしまうため、これを防止することを目的として、防湿保護層が設けられる。また、この保護層は、シンチレータパネルの蛍光体から放出される物質(例えばハロゲンイオン)などを遮断し、シンチレータ層と受光素子の接触により生じる受光素子側の腐食を防止する機能も有する。
また、別の態様の保護層として、蛍光体層上にホットメルト樹脂も使用できる。ホットメルト樹脂はシンチレータパネルと平面受光素子面との接着も兼ねることができる。
蛍光体の柱状結晶の先端を含む部分には、光学補償層が形成されていることが望ましい。
複数の光電変換素子等の部分には、それらによる表面の凹凸を平坦化するための平坦化層が、アクリル樹脂などの透明な樹脂等が塗布されて形成されている。
本発明に係るシンチレータパネルは、上記支持体の表面に、熱膨張吸収層を設け、さらに蛍光体層を形成する。
反射層を支持体上に形成する方法としては、蒸着、スパッタ、あるいは、金属箔の貼り合わせ等、特に制約は無いが、密着性の観点からスパッタが最も好ましい。本発明において塗布型反射層は、少なくとも光散乱粒子、バインダー、溶剤を含有する組成物を、塗布、乾燥して形成する事が出来る。塗布方式については、特に制約は無いが、例えば、グラビア、ダイ、コンマ、バー、ディップ、スプレー、スピン等の一般的な方式を用いる事が出来る。
真空容器32の内部の底面付近には、支持体34に垂直な中心線を中心とした円の円周上の互いに向かい合う位置に蒸発源38a,38bが配置されている。この場合において、支持体34と蒸発源38a,38bとの間隔は100〜1500mmとされるのが好ましく、より好ましくは200〜1000mmである。また、支持体34に垂直な中心線と蒸発源38a,38bとの間隔は100〜1500mmとされるのが好ましく、より好ましくは200〜1000mmである。
まず、支持体ホルダ35に支持体34を取付ける。また、真空容器32の底面付近において、支持体34に垂直な中心線を中心とした円の円周上に蒸発源38a,38bを配置する。次に、るつぼやボート等に、2つ以上の蛍光体母体化合物(CsI:賦活剤なし)と、賦活剤(TlI)を充填し、蒸発源にセットする。
シンチレータパネルの製造において、蛍光体層が形成された支持体は、製品サイズよりも大きい支持体に製品サイズよりも大きい蛍光体層を形成した後、支持体と共に製品サイズに断裁されることが好ましい。蛍光体層を形成した支持体から、複数枚の蛍光体層付支持体ごとに切り出すことで、生産性の向上を図ることができる。
本発明に係る保護層は前記した通りであり、蛍光体層の柱状結晶の結晶割れなどの損傷を防止する損傷防止性や、防湿性をより高めるための層である。
図3は、保護層形成に用いられる、装置の一態様の模式断面図であり、シンチレータパネル42の蛍光体層122表面にポリパラキシリレン膜からなる保護層を形成する例である。
まず、蒸着室53のターンテーブル53c上にシンチレータパネル42の蛍光体層122を上向きにして設置する。
本発明に係る放射線検出器は、前記したシンチレータパネルを、ラインセンサとして用いたものである。このような放射線検出器は、入射した放射線を光に変換するシンチレータと、シンチレータが変換した光を電気信号に変換する光検出器を備える。かかる放射線検出器は、被検査物を透過した所定の放射線を検出する装置である。このような放射線検出器によれば、放射線像を取得でき、放射線像に基づいて、所定の処理(例えば、重み付け減算や重ね合せ等)が施された処理画像を作成することで、ベルトコンベア等で搬送される被検査物の非破壊検査(すなわち、インラインでの非破壊検査)において、異物の検出、成分分布の計測、重量の計測等を高い精度で実現することができる。
塗布前に真空脱泡処理を行う必要があり、脱泡時の真空圧は、後記する真空貼りあわせの雰囲気より低い圧力で行うことが望ましい。
以下、実施例を挙げて本発明を詳細に説明するが、本発明はこれらに限定されない。
(熱膨張吸収層を有する支持体の作製)
厚さ125μm、幅1m、長さ100mのポリイミドフィルム(宇部興産製ユーピレックス-125S、線膨張係数 20ppm/K)の上に、グラビアコーターを用いて、メチルエチルケトンに溶解したポリエステル樹脂(東洋紡製バイロン200)溶液を塗布、乾燥することにより熱膨張吸収層3.0μm(乾燥膜厚)を設けた。その後、断裁することにより熱膨張吸収層が形成された支持体を作製した。この熱膨張吸収層の線膨張係数は130 ppm/Kであった。
熱膨張吸収層を有する支持体表面に蛍光体(CsI:0.003Tl、CsI1モルに対し、0.003モルのTl)を、蒸着装置を使用して蒸着させ、蛍光体層を形成した。すなわち、この蛍光体原料(CsIとTlI)を蒸着材料として抵抗加熱ルツボ(ボート)に充填し、また回転する基板ホルダの金属製の枠に第一の支持体を設置し、支持体と蒸発源との間隔を400mmに調節した。
シンチレータパネルを図5に示したレーザ断裁装置(YAG−UV)の支持台上に支持体を上にして設置し、20mm×200mmのサイズに断裁し、短冊状のシンチレータパネルを形成した。
上記短冊状のシンチレータパネルを配置したポリカーボネートをCVD装置の蒸着室に入れ、ポリパラキシリレンの原料が昇華した蒸気中に露出させておくことにより、短冊状シンチレータパネルに10μmの厚さのポリパラキシリレンからなる防湿保護層を形成した。
実施例1の(熱膨張吸収層を有する支持体の作製)において、厚さ125μmのポリイミドフィルム(宇部興産製UPILEX−125S)上に下記の手順にて熱膨張吸収層にフィラーを添加した。
実施例2の(フィラー入り熱膨張吸収層を有する支持体の作製)において、フィラー入り熱膨張吸収層の上層にさらに実施例1のポリエステル樹脂による熱膨張吸収層を塗布により形成し、積層させた熱膨張吸収層を作製した以外は、実施例1と同様にして本発明のシンチレータパネルを形成した。この積層熱膨張吸収層の線膨張係数は100 ppm/Kであった。
熱膨張吸収層を形成することなく、実施例1で使用したポリイミドフィルム(宇部興産製ユーピレックス-125S、線膨張係数 20ppm/K)を支持体をとして使用した以外は実施例1と同様にして本発明のシンチレータパネルを得た。
得られた、シンチレータパネルについて、反り、クラックの発生を確認した。
反りは平面に短冊状のシンチレータパネルを平滑板上に置いたときの端部の浮きの平均値を測定した。
結果を、あわせて表1に示す。
12 支持体
13 蛍光体層
14 保護層
15 反射層
17 熱膨張吸収層
Claims (7)
- フレキシブル基板上に蛍光体を配置したシンチレータパネルにおいて、ポリイミド樹脂フィルムから構成されるフレキシブル基板と、ヨウ化セシウムを含む蛍光体の間にポリエステル樹脂から構成される熱膨張吸収層を設け、熱膨張吸収層の線膨張係数が蛍光体の熱膨張係数より大きく、熱膨張吸収層とフレキシブル基板の接する面はともに有機材料から構成されることを特徴とするシンチレータパネル。
- 前記蛍光体の光出射面及び側面、フレキシブル樹脂基板の側面と裏面一部が防湿保護層におおわれていることを特徴とする請求項1に記載のシンチレータパネル。
- 前記熱膨張吸収層の厚みが1μm以上100μm以下であることを特徴とする請求項1または2に記載のシンチレータパネル。
- 前記熱膨張吸収層にフィラーが含有されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のシンチレータパネル。
- 蛍光体層が、ヨウ化セシウムとタリウム化合物を含む添加剤を原材料とする、柱状結晶構造を有することを特徴とする請求項1に記載のシンチレータパネル。
- 請求項1〜5のいずれかに記載のシンチレータパネルを、ラインセンサとして用いたことを特徴とする放射線検出器。
- 前記シンチレータパネルと複数のセンサを組み合わせて使用することを特徴とする請求項6に記載の放射線検出器。
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