JP6485286B2 - シリコン単結晶の製造方法 - Google Patents
シリコン単結晶の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6485286B2 JP6485286B2 JP2015166585A JP2015166585A JP6485286B2 JP 6485286 B2 JP6485286 B2 JP 6485286B2 JP 2015166585 A JP2015166585 A JP 2015166585A JP 2015166585 A JP2015166585 A JP 2015166585A JP 6485286 B2 JP6485286 B2 JP 6485286B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- single crystal
- silicon single
- silicon
- growing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 142
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 103
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 103
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 103
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 31
- 239000000155 melt Substances 0.000 claims description 65
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 44
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 23
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 23
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 14
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims description 10
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 5
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 claims description 5
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 239000000047 product Substances 0.000 description 24
- 238000001556 precipitation Methods 0.000 description 17
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 5
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 5
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 4
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 2
- 239000012467 final product Substances 0.000 description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 2
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
2 シリコン単結晶
2a ネック部
2b ショルダー部
2c ボディー部
2d テール部
3 シリコン融液
10 チャンバー
10A メインチャンバー
10B プルチャンバー
11 断熱材
12 石英ルツボ
13 サセプタ
14 回転支持軸
15 ヒータ
16 熱遮蔽体
17 単結晶引き上げ用ワイヤー
18 ワイヤー巻き取り機構
19A ガス吸気口
19B ガス排気口
20A バルブ
20B バルブ
21 真空ポンプ
30 磁場印加装置
31A,31B 電磁石コイル
32 支持台
33 昇降機構
34 制御部
Claims (4)
- 石英ルツボ内に収容されたシリコン融液に水平磁場を印加しながら前記シリコン融液からシリコン単結晶を引き上げるシリコン単結晶の製造方法であって、
磁場中心の高さ位置を融液面付近に設定して前記水平磁場を印加する第1の磁場印加工程と、
前記磁場中心の高さ位置を前記融液面よりも150mm以上下方に設定して前記水平磁場を印加する第2の磁場印加工程とを含み、
前記第1の磁場印加工程は、前記シリコン単結晶の結晶直径が一定に維持されたボディー部を育成するボディー部育成工程中に少なくとも行われ、
前記第2の磁場印加工程は、前記シリコン単結晶の結晶直径が徐々に減少したテール部を育成するテール部育成工程中に行われることを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記第1の磁場印加工程は、前記シリコン単結晶の引き上げ工程開始から前記シリコン単結晶の引き上げ率が90%に達する前記テール部育成工程の途中までの間に行われ、
前記第2の磁場印加工程は、前記シリコン単結晶の引き上げ率が90%に達してから前記引き上げ工程終了までの間に行われる、請求項1に記載のシリコン単結晶の製造方法。 - 石英ルツボ内に収容されたシリコン融液に水平磁場を印加しながら前記シリコン融液からシリコン単結晶を引き上げるシリコン単結晶の製造方法であって、
前記石英ルツボ内のシリコン原料を加熱してシリコン融液を生成するシリコン融液生成工程と、
前記シリコン融液に種結晶を着液させる着液工程と、
結晶直径が徐々に増加したショルダー部を育成するショルダー部育成工程と、
結晶直径が一定に維持されたボディー部を育成するボディー部育成工程と、
結晶直径が徐々に減少したテール部を育成するテール部育成工程とを備え、
前記ボディー部育成工程における前記水平磁場の中心位置の高さは融液面付近であり、
前記テール部育成工程における前記水平磁場の中心位置の高さは前記融液面よりも150mm以上下方であることを特徴とするシリコン単結晶の製造方法。 - 前記シリコン単結晶の引き上げ工程開始から前記シリコン単結晶の引き上げ率が90%に達する前記テール部育成工程の途中までの期間における前記水平磁場の中心位置の高さは融液面付近であり、
前記シリコン単結晶の引き上げ率が90%に達してから前記引き上げ工程終了までの期間における前記水平磁場の中心位置の高さは前記融液面よりも150mm以上下方である、請求項3に記載のシリコン単結晶の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015166585A JP6485286B2 (ja) | 2015-08-26 | 2015-08-26 | シリコン単結晶の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015166585A JP6485286B2 (ja) | 2015-08-26 | 2015-08-26 | シリコン単結晶の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017043510A JP2017043510A (ja) | 2017-03-02 |
JP6485286B2 true JP6485286B2 (ja) | 2019-03-20 |
Family
ID=58212027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015166585A Active JP6485286B2 (ja) | 2015-08-26 | 2015-08-26 | シリコン単結晶の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6485286B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7031641B2 (ja) | 2019-07-10 | 2022-03-08 | Jfeスチール株式会社 | カーボン除去方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101942320B1 (ko) * | 2017-08-10 | 2019-04-08 | 에스케이실트론 주식회사 | 단결정 잉곳 성장 장치 및 이를 이용한 단결정 잉곳의 성장 방법 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004189559A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp | 単結晶成長方法 |
JP5375636B2 (ja) * | 2010-01-29 | 2013-12-25 | 株式会社Sumco | シリコン単結晶の製造方法 |
-
2015
- 2015-08-26 JP JP2015166585A patent/JP6485286B2/ja active Active
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7031641B2 (ja) | 2019-07-10 | 2022-03-08 | Jfeスチール株式会社 | カーボン除去方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2017043510A (ja) | 2017-03-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5413354B2 (ja) | シリコン単結晶引き上げ装置及びシリコン単結晶の製造方法 | |
JP4829176B2 (ja) | 単結晶の製造方法 | |
CN108779577B (zh) | 单晶硅的制造方法 | |
JP6302192B2 (ja) | 単結晶の育成装置及び育成方法 | |
KR101501036B1 (ko) | 사파이어 단결정 및 그의 제조 방법 | |
JP6631460B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法およびシリコン単結晶 | |
JP6485286B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP5163386B2 (ja) | シリコン融液形成装置 | |
JP2015205793A (ja) | 単結晶引き上げ方法 | |
JP2016183071A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP5051033B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP2009292663A (ja) | シリコン単結晶の育成方法 | |
US20090293802A1 (en) | Method of growing silicon single crystals | |
JP2011184227A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP5375636B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
KR101892107B1 (ko) | 실리콘 단결정 성장 장치 및 이를 이용한 실리콘 단결정 성장 방법 | |
WO2019142613A1 (ja) | 原料供給方法およびシリコン単結晶の製造方法 | |
JP7424282B2 (ja) | 単結晶シリコンインゴットの製造方法 | |
JP7184029B2 (ja) | 単結晶シリコンインゴットの製造方法 | |
JP2004262723A (ja) | 単結晶引上装置及び単結晶引上方法 | |
JP2014214067A (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
KR101582022B1 (ko) | 열차폐장치 및 이를 포함하는 잉곳성장장치 | |
JP6699620B2 (ja) | シリコン単結晶の製造方法 | |
JP5053426B2 (ja) | シリコン単結晶製造方法 | |
KR20100071507A (ko) | 실리콘 단결정 제조 장치, 제조 방법 및 실리콘 단결정의 산소 농도 조절 방법 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20171208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20180727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20180807 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20180905 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190122 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190204 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6485286 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |