JP6475031B2 - 静電チャック - Google Patents
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Description
金属ベースを構成する金属材料としては、チタン(Ti)、銅(Cu)、アルミニウム(Al)、これらの合金等を用いることができる。
(実施形態1)
図1に示すように、本実施形態の静電チャック1は、基板第1主面111及び基板第2主面112を有し、基板第1主面111に半導体ウェハ(被処理物)8を支持するセラミック基板11と、セラミック基板11に設けられ、半導体ウェハ8を吸着するための吸着用電極21と、セラミック基板11に設けられ、半導体ウェハ8を加熱するためのヒータ電極31と、ヒータ電極31に電気的に接続されたヒータ電極端子5と、ベース第1主面121及びベース第2主面122を有し、ベース第1主面121をセラミック基板11の基板第2主面112側に向けて配置された金属ベース12と、金属ベース12のベース第1主面121とベース第2主面122とを貫通して形成され、ヒータ電極端子5を収容する端子穴14と、を備えている。
本実施形態の静電チャック1において、ヒータ電極端子5は、セラミック基板11に固定された第1端子部51と、その第1端子部51に連結された第2端子部52とを有する。第2端子部52は、伸縮性を有する第2絶縁管62によって覆われている。そのため、本実施形態のように、第2絶縁管62として伸縮性を有する薄肉の絶縁管を用いれば、端子穴14内の構造を小径化できる。これにより、端子穴14の小径化を図ることができる。
本実施形態は、図4に示すように、静電チャック1において、ヒータ電極端子5の第2端子部52の構成を変更した例である。なお、実施形態1と同様の構成及び作用効果については説明を省略する。
本実施形態は、図5、図6に示すように、静電チャック1において、ヒータ電極端子5の構成を変更した例である。なお、実施形態1と同様の構成及び作用効果については説明を省略する。
本発明は、前述の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明を逸脱しない範囲において種々の態様で実施しうることはいうまでもない。
11…セラミック基板
111…基板第1主面
112…基板第2主面
12…金属ベース
121…ベース第1主面
122…ベース第2主面
14…端子穴
21…吸着用電極
31…ヒータ電極
5…ヒータ電極端子
51…第1端子部
52…第2端子部
61…第1絶縁管
62…第2絶縁管
8…半導体ウェハ(被処理物)
Claims (8)
- 基板第1主面及び基板第2主面を有し、前記基板第1主面に被処理物を支持するセラミック基板と、
該セラミック基板に設けられ、前記被処理物を吸着するための吸着用電極と、
前記セラミック基板に設けられ、前記被処理物を加熱するためのヒータ電極と、
該ヒータ電極に電気的に接続されたヒータ電極端子と、
ベース第1主面及びベース第2主面を有し、前記ベース第1主面を前記セラミック基板の前記基板第2主面側に向けて配置された金属ベースと、
該金属ベースの前記ベース第1主面と前記ベース第2主面とを貫通して形成され、前記ヒータ電極端子を収容する端子穴と、を備え、
前記ヒータ電極端子は、前記セラミック基板に固定された第1端子部と、該第1端子部に連結された第2端子部と、を有し、
前記端子穴内には、前記ヒータ電極端子の前記第1端子部を覆う第1絶縁管と、伸縮性を有し、前記ヒータ電極端子の前記第2端子部を覆う第2絶縁管と、が配設され、
該第2絶縁管は、前記第1絶縁管の少なくとも一部を覆っており、
前記第1絶縁管における外部に露出している部分と前記金属ベースとの間には、隙間が形成されていることを特徴とする静電チャック。 - 前記ヒータ電極端子の前記第2端子部は、前記ヒータ電極端子の軸方向に直交する方向に変位可能に構成されていることを特徴とする請求項1に記載の静電チャック。
- 前記第2絶縁管は、熱収縮チューブであることを特徴とする請求項1又は2に記載の静電チャック。
- 前記ヒータ電極端子は、さらに、前記第2端子部に連結され、前記金属ベースに固定された第3端子部を有し、前記第2端子部は、前記第1端子部と前記第3端子部との間に配置されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 前記端子穴内には、さらに、前記ヒータ電極端子の前記第3端子部を覆う第3絶縁管が配設され、該第3絶縁管は、前記第2絶縁管の少なくとも一部を覆っていることを特徴とする請求項4に記載の静電チャック。
- 前記金属ベースの内部には、冷却用流体を流通させる冷却流路が形成され、前記第2絶縁管は、その少なくとも一部が前記冷却流路よりも前記セラミック基板側に配設されていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 前記第2絶縁管と前記金属ベースとの間には、隙間が形成されていることを特徴とする請求項1〜6のいずれか1項に記載の静電チャック。
- 前記端子穴の内壁面には、陽極酸化皮膜が形成されていることを特徴とする請求項1〜7のいずれか1項に記載の静電チャック。
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