JP6474785B2 - 被処理部材を熱化学的に強化するプロセスおよび装置 - Google Patents
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Description
−1回以上の炭化ステップを含み、各炭化ステップは、50mbar未満の圧力を有する炭素含有ガス雰囲気中で行われ、前記被処理部材は、900から1050℃の範囲の温度に保持され;
−随意であるが、1回以上の拡散ステップを含み、各拡散ステップは、100mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中で行われ;
−1回以上の窒化ステップを含み、各窒化ステップは、50mbar未満の圧力を有する窒素含有ガス雰囲気中で行われ、被処理部材は800から1050℃の範囲の温度に保持される。
−被処理部材の表面領域の炭素分布および窒素分布を正確に設定することができる;
−生産性が高まり、かつ搬送物をフレキシブルに搬送(charging)できる;そして
−エネルギー消費量および環境汚染を減らすことができる。
−1回以上の炭化ステップを含み、各炭化ステップは、50mbar未満の圧力を有する炭素含有ガス雰囲気中で行われ、前記被処理部材は900〜1050℃の温度に保持され;
−随意であるが、1回以上の拡散ステップを含み、各拡散ステップは、100mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中で行われ;
−1回以上の窒化ステップを含み、各窒化ステップは、50mbar未満の圧力を有する窒素含有ガス雰囲気中で行われ、前記被処理部材は800〜1050℃の温度に保持され、前記窒素含有ガス雰囲気は、窒素分子(N2)をドナーガスとして含み、かつ放電プラズマで励起され;
−前記プロセスは、2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔が15分よりも短く、かつ前記被処理部材が、300mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中に、これらの時間間隔の間に保持される。
−2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔が10分よりも短く、好適には5分よりも短く、特に1分よりも短く;
−前記被処理部材が、200mbar未満、好適には100mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中に、2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔において保持され;
−2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔における前記被処理部材の温度が、600℃超、好適には700℃超、特に800℃超であり;
−前記プロセスは順番に:
−炭化/窒化ステップ;
−炭化/拡散/窒化ステップ;
−窒化/炭化/窒化ステップ;
−窒化/炭化/窒化/炭化ステップ;または
−窒化/炭化/拡散/窒化ステップ、を含み;
−放電プラズマは、200〜1000Vの随意のパルスDC電圧、10〜200Aの直流電流、および2〜200kVAの直流電力で作用し;
−窒素含有ガス雰囲気は、前記窒化ステップ群のうちの1つ以上の窒化ステップにおいて、パルス直流放電プラズマを、好ましくは、火花放電インパルスと組み合わせることにより励起され;
−前記放電プラズマは、前記窒化ステップ群のうちの1つ以上の窒化ステップにおいて、活性グリッド電極を使用して発生させ;
−前記被処理部材は、10〜400V、好適には10〜200Vの絶対値を有する活性グリッド電極に対して負電位(バイアス電圧)に保持され;
−前記被処理部材は、前記活性グリッド電極に対して負電位(バイアス電圧)に保持され、前記被処理部材に印加される負電位の絶対値は、前記活性グリッド電極の負電位の絶対値の2〜12倍であり;
−プラズマ浸漬イオン注入を、前記窒化ステップ群のうちの1つ以上の窒化ステップにおいて使用し;
−前記被処理部材は、820〜1000℃、好適には920〜980℃の温度に、前記窒化ステップ群中に保持され;
−前記被処理部材は、940〜1050℃の温度に、前記炭化ステップ群中に保持され;
−前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス雰囲気は、N2と、随意であるが、H2およびアルゴンのような1種類以上のキャリアガスと、からなり;
−前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス雰囲気は、N2と、CO2またはCH4のような1種類以上の炭素含有ガスと、随意であるが、H2およびアルゴンのような1種類以上のキャリアガスと、からなり;
−前記窒化ステップ群においてN2に基づく炭素含有ガスの割合は、2〜20体積%、好適には4〜15体積%、特に4〜10体積%であり;
−前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス雰囲気の圧力は、40mbar未満、好適には30mbar未満、特に20mbar未満であり;
−前記炭化ステップ群における前記炭素含有ガス雰囲気は、C2H2,CO2,およびCH4のような炭素を含む1種類以上のドナーガスと、随意であるが、H2およびアルゴンのような1種類以上のキャリアガスと、からなり;
−前記炭化ステップ群における前記炭素含有ガス雰囲気の圧力は、40mbar未満、好適には30mbar未満、特に20mbar未満であり;
−前記プロセスは、0.9〜2barの圧力を有するN2雰囲気中で行われる高圧拡散ステップを含む;かつ/または
−前記プロセスは、順番に:
−窒化/炭化/高圧拡散ステップ
を含むことを特徴とする。
−m=2,3,4,5,6,7,8,9,または10とした場合のm個の低圧加熱チャンバと、
−前記低圧加熱チャンバ群に接続されるガス供給源であって、該ガス供給源が、前記低圧加熱チャンバ群に、N2と、C2H2,CO2,およびCH4のような炭素を含むドナーガスと、H2およびアルゴンのようなキャリアガスと、からなるグループから選択される1種類以上のガスを供給するように構成される、前記ガス供給源と;
−前記低圧加熱チャンバ群の各低圧加熱チャンバ、および更には、ロックチャンバおよび急冷チャンバ、または2機能ロック−急冷チャンバの接続先の移送チャンバと;または、
−それぞれが可動であり、かつ前記低圧加熱チャンバ群の各低圧加熱チャンバに接続することができるロックチャンバおよび急冷チャンバと;または、
−可動であり、かつ前記低圧加熱チャンバ群の各低圧加熱チャンバに接続することができる2機能ロック−急冷チャンバとを備え;
前記低圧加熱チャンバ群のうちの1つ以上の低圧加熱チャンバは、電気エネルギー供給源に接続され、かつ放電プラズマを、N2をドナーガスとして含む窒素含有ガス雰囲気中で、800℃以上の温度で、かつ100mbar未満の圧力で発生させるように構成される。
−前記電気エネルギー供給源は、放電プラズマを、200〜1000VのDC電圧、10〜200Aの直流電流、および2〜200kVAの直流電力で作用させるように構成され;
−前記電気エネルギー供給源は、パルスDC電圧を、好ましくは火花放電インパルスと組み合わせて動作するように構成され;かつ/または、
−前記低圧加熱チャンバ群のうちの1つ以上の低圧加熱チャンバには、活性グリッド電極が設けられることを特徴とする。
−搬入/排気/炭化/窒化/急冷/搬出ステップ;
−搬入/排気/炭化/拡散/窒化/急冷/搬出ステップ;
−搬入/排気/窒化/炭化/窒化/急冷/搬出ステップ;
−搬入/排気/窒化/炭化/窒化/炭化/急冷/搬出ステップ;
または、
−搬入/排気/窒化/炭化/拡散/窒化/急冷/搬出ステップを含む。
2 搬送物移載装置
3,3A 搬送物移載装置の支持体
4,4A 搬送物移載装置の位置決め脚
5 活性グリッド電極
10 固定ロックチャンバ
10A 可動ロックチャンバ
15 ロック−急冷チャンバ
17 移動装置
20 炭化処理用低圧加熱チャンバ
30 窒化処理用低圧加熱チャンバ
33 低圧加熱チャンバの内壁
34 低圧加熱チャンバの断熱材
35 低圧加熱チャンバの外壁
50 固定急冷チャンバ
50A 可動急冷チャンバ
57 移動装置
70 移送チャンバ(水平)
71 移送チャンバ(垂直)
90 電気エネルギー供給源
11,12,21,22,31,32,51,52,230 真空スライドバルブまたは真空ドア
90 電気エネルギー供給源
100 熱化学的強化装置
200 熱化学的強化装置
300 熱化学的強化装置
400 熱化学的強化装置
Claims (35)
- 被処理部材を熱化学的に強化する装置であって、
m=2,3,4,5,6,7,8,9,または10とした場合のm個の低圧加熱チャンバと、
前記低圧加熱チャンバ群に接続されるガス供給源であって、該ガス供給源が、前記低圧加熱チャンバ群に、N2と、C2H2,CO2,およびCH4のような炭素を含むドナーガスと、H2およびアルゴンのようなキャリアガスとからなるグループから選択される1種類以上のガスを供給するように構成される、前記ガス供給源と、
前記低圧加熱チャンバ群の各低圧加熱チャンバ、および更には、ロックチャンバおよび急冷チャンバ、または2機能ロック−急冷チャンバの接続先の移送チャンバと、
それぞれが可動であり、かつ前記低圧加熱チャンバ群の各低圧加熱チャンバに接続することができるロックチャンバおよび急冷チャンバと、または
可動であり、かつ前記低圧加熱チャンバ群の各低圧加熱チャンバに接続することができる2機能ロック−急冷チャンバとを備え、
前記低圧加熱チャンバ群のうちの1つ以上の低圧加熱チャンバは、電気エネルギー供給源に接続され、かつ放電プラズマを、N2をドナーガスとして含む窒素含有ガス雰囲気中で、800℃以上の温度で、かつ100mbar未満の圧力で発生させるように構成される、装置。 - 前記電気エネルギー供給源は、放電プラズマが、200〜1000VのDC電圧、10〜200Aの直流電流、および2〜200kVAの直流電力で動作するように構成されることを特徴とする、請求項1に記載の装置。
- 前記電気エネルギー供給源は、パルスDC電圧により動作するように、あるいはパルスDC電圧を火花放電インパルスと組み合わせて動作するように構成されることを特徴とする、請求項1または2に記載の装置。
- 前記低圧加熱チャンバ群のうちの1つ以上の低圧加熱チャンバには、活性グリッド電極が設けられることを特徴とする、請求項1乃至3の何れか1項に記載の装置。
- 被処理部材を熱化学的に強化するプロセスであって、該プロセスは可変の順序で:
1回以上の炭化ステップを含み、各炭化ステップは、50mbar未満の圧力を有する炭素含有ガス雰囲気中で行われ、前記被処理部材は900〜1050℃の温度に保持され;
随意であるが、1回以上の拡散ステップを含み、各拡散ステップは、100mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中で行われ、
1回以上の窒化ステップを含み、各窒化ステップは、50mbar未満の圧力を有する窒素含有ガス雰囲気中で行われ、前記被処理部材は800〜1050℃の温度に保持され、前記窒素含有ガス雰囲気は、窒素分子(N2)をドナーガスとして含み、かつ放電プラズマで励起され;
前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス雰囲気は、N2と、随意として、H2及びアルゴンのような1種類以上のキャリアガスとから成り、あるいは、N2と、CO2又はCH4のような1種類以上の炭素含有ガスと、随意として、H2及びアルゴンのような1種類以上のキャリアガスとから成り、
前記プロセスは、2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔が、15分よりも短く、かつ前記被処理部材が、これらの時間間隔の間に300mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中に保持されるように、請求項1乃至4の何れか1項による装置内で実行されることを含む、プロセス。 - 2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔は、10分よりも短いことを特徴とする、請求項5に記載のプロセス。
- 2つの連続するプロセスステップの前記時間間隔は、5分よりも短いことを特徴とする、請求項5に記載のプロセス。
- 2つの連続するプロセスステップの前記時間間隔は、1分よりも短いことを特徴とする、請求項5に記載のプロセス。
- 前記被処理部材は、200mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中に、2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔の間に保持されることを特徴とする、請求項5乃至8の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材が、二つの連続的なプロセスステップの間の時間間隔の間に100mbar未満の圧力を有するガス雰囲気中に保持されることを特徴とする、請求項5乃至8の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材の温度は、2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔の間に、600℃超であることを特徴とする、請求項5乃至10の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材の温度は、2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔の間に、700℃超であることを特徴とする、請求項5乃至10の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材の温度は、2つの連続するプロセスステップの間の時間間隔の間に、800℃超であることを特徴とする、請求項5乃至10の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記プロセスは、順番に:
炭化/窒化ステップと、
炭化/拡散/窒化ステップと、
窒化/炭化/窒化ステップと、
窒化/炭化/窒化/炭化ステップと、または
窒化/炭化/拡散/窒化ステップと、
を含むことを特徴とする、請求項5乃至13の何れか1項に記載のプロセス。 - 前記放電プラズマは、200〜1000Vの随意のパルスDC電圧、10から200Aの範囲の直流電流、および2〜200kVAの直流電力で動作することを特徴とする、請求項5乃至14の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記窒素含有ガス雰囲気は、前記窒化ステップ群のうちの1つ以上の窒化ステップにおいて、パルス直流放電プラズマにより励起され、あるいはパルス直流放電プラズマを火花放電インパルスと組み合わせることにより励起されることを特徴とする、請求項5乃至15の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記放電プラズマを、前記窒化ステップ群のうちの1つ以上の窒化ステップにおいて、活性グリッド電極を使用して発生させることを特徴とする、請求項5乃至16の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材は、10〜400Vの絶対値を有する活性グリッド電極に対して負電位に保持されることを特徴とする、請求項17に記載のプロセス。
- 前記被処理部材は、10〜200Vの絶対値を有する活性グリッド電極に対して負電位に保持されることを特徴とする、請求項17に記載のプロセス。
- プラズマ浸漬イオン注入を、前記窒化ステップ群のうちの1つ以上の窒化ステップにおいて使用することを特徴とする、請求項5乃至14の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材は、820〜1000℃の温度に、前記窒化ステップ群を行っている間に保持されることを特徴とする、請求項5乃至14の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材は、920〜980℃の温度に、前記窒化ステップ群を行っている間に保持されることを特徴とする、請求項5乃至20の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記被処理部材は、940〜1050℃の温度に、前記炭化ステップ群を行っている間に保持されることを特徴とする、請求項5乃至22の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス内の炭素含有ガスの割合は、N2に基づき、2〜20体積%であることを特徴とする、請求項5乃至23の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス内の炭素含有ガスの割合は、N2に基づき、4〜15体積%であることを特徴とする、請求項5乃至23の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス内の炭素含有ガスの割合は、N2に基づき、4〜10体積%であることを特徴とする、請求項5乃至23の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス雰囲気の圧力は、40mbar未満であることを特徴とする、請求項5乃至26の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス雰囲気の圧力は、30mbar未満であることを特徴とする、請求項5乃至26の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記窒化ステップ群における前記窒素含有ガス雰囲気の圧力は、20mbar未満であることを特徴とする、請求項5乃至26の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記炭化ステップ群における前記炭素含有ガス雰囲気は、C2H2,CO2,およびCH4のような炭素を含む1種類以上のドナーガスと、随意であるが、H2およびアルゴンのような1種類以上のキャリアガスと、からなることを特徴とする、請求項5乃至29の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記炭化ステップ群における前記炭素含有ガス雰囲気の圧力は、40mbar未満であることを特徴とする、請求項5乃至30の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記炭化ステップ群における前記炭素含有ガス雰囲気の圧力は、30mbar未満であることを特徴とする、請求項5乃至30の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記炭化ステップ群における前記炭素含有ガス雰囲気の圧力は、20mbar未満であることを特徴とする、請求項5乃至30の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記プロセスは、0.9〜2barの圧力を有するN2雰囲気中で行われる高圧拡散ステップを含むことを特徴とする、請求項5乃至29の何れか1項に記載のプロセス。
- 前記プロセスは、順番に:
窒化/炭化/高圧拡散ステップ
を含むことを特徴とする、請求項34に記載のプロセス。
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